JP5739685B2 - 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気記録再生装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る磁気抵抗効果素子10の構成を示す図である。
本発明の酸化物層21を挿入する形態は、図1に示される実施形態(酸化物層21が第1の金属層と第2の金属層に挟まれた構造でスペーサ層に配置)に限定されない。例えば、図5から8に示されるように様々な位置に挿入することができる。各変形例について以下に説明する。
図5は、実施形態に係る磁気抵抗効果素子10の第1の変形例を示す図である。図1に示す第1の実施形態と同一構成については、同一符号を付し、説明を省略する。
図6は、実施形態に係る磁気抵抗効果素子10の第2の変形例を示す図である。図1に示す第1の実施形態と同一構成については、同一符号を付し、説明を省略する。
図7は、実施形態に係る磁気抵抗効果素子10の第3の変形例を示す図である。図1に示す第1の実施形態と同一構成については、同一符号を付し、説明を省略する。
図9は、実施形態に係る磁気抵抗効果素子200の第4の変形例を示す図である。
図4は、本発明の第2の実施形態に係る磁気抵抗効果素子10の構成を示す図である。
ピニング層13:Ir22Mn78[7nm]
磁化固着層14:Co90Fe10[4.4nm]/Ru[0.9nm]/Fe50Co50[4nm]
酸化物層21:Zn−Fe−O[1.5nm]
磁化自由層18:Fe50Co50[3nm]
また、本実施例に係わる磁気抵抗効果素子10のRAは0.2Ωμm2、MR変化率は14%であり、比較例1のMR変化率よりも大きな値を示すことが確認された。第1の実施形態と同様に第1の変形例に係わる磁気抵抗効果素子10でも、MRの変化率の向上をさせることができることがわかる。MR変化率が向上した理由として、酸化物層が高いスピン依存散乱効果と低い抵抗率の実現によるスピンフリップの低減を両立できているため、結果として高いスピンフィルター効果を発現しているためと考えられる。
図8は、第2の実施形態に係る磁気抵抗効果素子10の変形例を示す図である。図1に示す第2の実施形態と同一構成については、同一符号を付し、説明を省略する。
また、上述した第5の変形例以外にも、第2の実施形態においても、第1の実施形態の第2の変形例と同様にトップスピンバルブ構造も用いることができる。
次に、磁気抵抗効素子10を用いた磁気記録再生装置、磁気ヘッドアセンブリについて説明する。
次に、第4の実施形態について説明する。
次に、第5の実施形態について説明する。
第1の実施形態に係る磁気抵抗効果素子10を作製して、RA値及びMR変化率を評価した。すなわち、図1に示すようにスペーサ層として第1の金属層/酸化物層/第2の金属層を設けた構造を作製した。
ピニング層13:Ir22Mn78[7nm]
磁化固着層14:Co90Fe10[4.4nm]/Ru[0.9nm]/Fe50Co50[4nm]
第1の金属層:Cu[0.5nm]
酸化物層21:Zn−Fe−O[1.5nm]
第1の金属層:Cu[0.5nm]
磁化自由層18:Fe50Co50[3nm]
最後に、280℃で5時間アニール処理を行い、電極11、20を形成した。
第1の実施形態に係わる係る磁気抵抗効果素子10を作製してRA値及びMR変化率を評価した。すなわち、図1に示すようにスペーサ層として第1の金属層/酸化物層/第2の金属層を設けた構造を作製した。実施例1と異なる点は、第1の金属層と第2の金属層の材料をCuからZnに変更した点である。
ピニング層13:Ir22Mn78[7nm]
磁化固着層14:Co90Fe10[4.4nm]/Ru[0.9nm]/Fe50Co50[4nm]
第1の金属層:Zn[0.5nm]
酸化物層21:Zn−Fe−O[1.5nm]
第1の金属層:Zn[0.5nm]
磁化自由層18:Fe50Co50[3nm]
また、本実施例に係わる磁気抵抗効果素子10のRAは0.2Ωμm2、MR変化率は9.0%であった。
第1の実施形態に係わる係る磁気抵抗効果素子10を作製してRA値及びMR変化率を評価した。すなわち、図1に示すようにスペーサ層として第1の金属層/酸化物層/第2の金属層を設けた構造を作製した。実施例1と異なる点は、第2の金属層のみをZnに変更した点である。
ピニング層13:Ir22Mn78[7nm]
磁化固着層14:Co90Fe10[4.4nm]/Ru[0.9nm]/Fe50Co50[4nm]
第1の金属層:Cu[0.5nm]
酸化物層21:Zn−Fe−O[1.5nm]
第1の金属層:Zn[0.5nm]
磁化自由層18:Fe50Co50[3nm]
また、本実施例に係わる磁気抵抗効果素子10のRAは0.2Ωμm2、MR変化率は14%であった。
第1の実施形態に係わる係る磁気抵抗効果素子10を作製してRA値及びMR変化率を評価した。すなわち、図1に示すようにスペーサ層として第1の金属層/酸化物層/第2の金属層を設けた構造を作製した。実施例1と異なる点は、第1の金属層と第2の金属層をCuからAgに変更した点である。
ピニング層13:Ir22Mn78[7nm]
磁化固着層14:Co90Fe10[4.4nm]/Ru[0.9nm]/Fe50Co50[4nm]
第1の金属層:Ag[0.5nm]
酸化物層21:Zn−Fe−O[1.5nm]
第1の金属層:Ag[0.5nm]
磁化自由層18:Fe50Co50[3nm]
また、本実施例に係わる磁気抵抗効果素子10のRAは0.2Ωμm2、MR変化率は9.2%であった。
第1の実施形態に係わる係る磁気抵抗効果素子10を作製してRA値及びMR変化率を評価した。すなわち、図1に示すようにスペーサ層として第1の金属層/酸化物層/第2の金属層を設けた構造を作製した。実施例1と異なる点は、第1の金属層と第2の金属層をCuからAuに変更した点である。
ピニング層13:Ir22Mn78[7nm]
磁化固着層14:Co90Fe10[4.4nm]/Ru[0.9nm]/Fe50Co50[4nm]
第1の金属層:Au[0.5nm]
酸化物層21:Zn−Fe−O[1.5nm]
第1の金属層:Au[0.5nm]
磁化自由層18:Fe50Co50[3nm]
また、本実施例に係わる磁気抵抗効果素子10のRAは0.2Ωμm2、MR変化率は7.5%であった。
第1の実施形態に係わる係る磁気抵抗効果素子10を作製してRA値及びMR変化率を評価した。すなわち、図1に示すようにスペーサ層として第1の金属層/酸化物層/第2の金属層を設けた構造を作製した。実施例1と異なる点は、酸化物層21の材料を変更した点である。
ピニング層13:Ir22Mn78[7nm]
磁化固着層14:Co90Fe10[4.4nm]/Ru[0.9nm]/Fe50Co50[4nm]
第1の金属層:Cu[0.5nm]
酸化物層21:Zn−Fe50Co50−O[1.5nm]
第1の金属層:Zn[0.5nm]
磁化自由層18:Fe50Co50[3nm]
また、本実施例に係わる磁気抵抗効果素子10のRAは0.2Ωμm2、MR変化率は13.5%であった。
第1の実施形態で説明した図1に示す磁気抵抗効果素子10について、酸素曝露量を変化させることで、磁気抵抗効果素子のRA値と磁気抵抗効果素子を構成する機能層の抵抗率を変化させた。実施例1と異なる点は酸化物層21の膜厚が異なる点である。そして、磁気抵抗効果素子のRA値と機能層の抵抗率が、MR変化率に及ぼす影響を調べた。
ピニング層13:Ir22Mn78[7nm]
磁化固着層14:Co90Fe10[4.4nm]/Ru[0.9nm]/Fe50Co50[4nm]
第1の金属層:Cu[0.5nm]
酸化物層21:Zn−Fe−O[1nm]
第1の金属層:Zn[0.5nm]
磁化自由層18:Fe50Co50[3nm]
酸化物層21の作製方法は、Cuからなるスペーサ層上に、Feを1nm形成し、その上にZnを0.6nm形成した。次に、IAOによりZnとFeの混合酸化物(以下、Zn−Fe−Oと表記する)へと変換行い機能層を形成した。その後、Arプラズマ照射による還元処理を行った。また、磁気抵抗効果素子のRA値と機能層の抵抗率がMR変化率に及ぼす影響を調べるために、IAOで用いる酸素曝露量を変化させて、異なるRA値を有する磁気抵抗効果素子を作製した。このときの実施例7での酸素曝露量は、1.2×104Langmiur、実施例8では、1.5×104Langmiur、実施例9では1.8×104Langmiur、実施例10では3.0×104Langmiur、実施例11では4.5×104Langmiurとした。比較例2では、6.0×104Langmiurとした。
機能層の抵抗率は、機能層の抵抗率をρZn−Fe−O、機能層の膜厚をtZn−Fe−O、機能層を設けたことによる磁気抵抗効果素子の面積抵抗の増大量をΔRAZn−Fe−Oとして、下記の式1のから機能層の抵抗率ρZn−Fe−Oを求めた。
また、機能層の膜厚は、断面TEM観察像から求めて、実施例7、8、9、及び比較例2に係わる機能層の膜厚は何れも1.5nmであった。なお、ΔRAの値は、機能層を設けていない状態の磁気抵抗効果素子のRA値(表1の比較例1)と機能層を設けた状態での磁気抵抗効果素子のRA値との差分を用いている。
第1の実施形態で説明した図1に示す磁気抵抗効果素子10について、第1の金属層の膜厚を変えて作製し、第1の金属層の膜厚がMR変化率に及ぼす影響を調べた。第1の金属層の膜厚以外は製造プロセス含めて実施例3と同様である。
ピニング層13:Ir22Mn78[7nm]
磁化固着層14:Co90Fe10[4.4nm]/Ru[0.9nm]/Fe50Co50[4nm]
第1の金属層:Cu[表2に記載]
酸化物層21:Zn−Fe−O[1.5nm]
第1の金属層:Zn[0.5nm]
磁化自由層18:Fe50Co50[3nm]
本実施例の素子特性を調べた結果を表2に示す。表2から第1の金属層の膜厚が0.5nmから3nmのすべての場合で、MR変化率が向上していることがわかる。また、第1の金属層の膜厚が2nm以下の場合に高いMR変化率が得られており、1nm以下の場合に特に高いMR変化率が得られている。これは、第1の金属層を厚くするに従い、酸化物層界面への磁化固着層13からのスピン蓄積が弱まり、磁化固着層側のスピンフィルター効果が弱まるためと考えられる。磁化固着層側のスピンフィルター効果を高めるためには第1の金属層が薄いほど望ましいが、磁化固着層と磁化自由層の磁気結合を十分に分断するためには、第1の金属層の膜厚がある程度厚いことが望ましい。このようなトレードオフから、第1の金属層の膜厚は適切に設定することが望ましい。
第1の実施形態で説明した図1に示す磁気抵抗効果素子10について、第2の金属層の膜厚を変えて作製し、第2の金属層の膜厚がMR変化率に及ぼす影響を調べた。第2の金属層の膜厚以外は実施例3と同様である。
ピニング層13:Ir22Mn78[7nm]
磁化固着層14:Co90Fe10[4.4nm]/Ru[0.9nm]/Fe50Co50[4nm]
第1の金属層:Cu[0.5nm]
酸化物層21:Zn−Fe−O[1.5nm]
第1の金属層:Zn[表3に記載]
磁化自由層18:Fe50Co50[3nm]
本実施例の素子特性を調べた結果を表3に示す。表3から第2の金属層の膜厚が0.5nmから3nmのすべての場合で、MR変化率が向上していることがわかる。また、第2の金属層の膜厚が2nm以下の場合に高いMR変化率が得られており、1nm以下の場合に特に高いMR変化率が得られている。これは、第2の金属層を厚くするに従い、酸化物層界面への磁化自由層16からのスピン蓄積が弱まり、磁化固着層側のスピンフィルター効果が弱まるためと考えられる。磁化自由層側のスピンフィルター効果を高めるためには第2の金属層が薄いほど望ましいが、磁化固着層と磁化自由層の磁気結合を十分に分断するためには、第1の金属層の膜厚がある程度厚いことが望ましい。このようなトレードオフから、第1の金属層の膜厚は適切に設定することが望ましい。
第1の実施形態に係わる係る磁気抵抗効果素子10を作製してRA値及びMR変化率を評価した。すなわち、図1に示すようにスペーサ層として第1の金属層/酸化物層/第2の酸化物機能層を設けた構造を作製した。実施例3と異なる点は、酸化物層21の膜厚を変えた点である。
ピニング層13:Ir22Mn78[7nm]
ピン層14:Co90Fe10[4.4nm]/Ru[0.9nm]/Fe50Co50[4nm]
第1の金属層:Cu[0.5nm]
酸化物層21:Zn−Fe−O[表5に記載]
第1の金属層:Zn[0.5nm]
フリー層18:Fe50Co50[3nm]
本実施例の素子特性を調べた結果を表4に示す。表4から酸化物層21の膜厚が0.2nmから5nmのすべての場合で、MR変化率が向上していることがわかる。また、第2の金属層の膜厚が0.5nm以上4nm以下の場合に高いMR変化率が得られていることがわかった。
第2の実施形態に係る磁気抵抗効果素子10を作製してRA値及びMR変化率を評価した。すなわち、図4に示すようにスペーサ層として酸化物層21を設けた構造を作製した。
ピニング層13:Ir22Mn78[7nm]
ピン層14:Co90Fe10[4.4nm]/Ru[0.9nm]/Fe50Co50[4nm]
酸化物層21:Zn−Fe−O[1.5nm]
フリー層18:Fe50Co50[3nm]
また、本実施例に係わる磁気抵抗効果素子10のRAは0.2Ωμm2、MR変化率は14%であり、比較例1のMR変化率よりも大きな値を示すことが確認された。第1の実施形態と同様に第2の実施形態に係わる磁気抵抗効果素子10でも、MRの変化率の向上をさせることができることがわかる。MR変化率が向上した理由として、酸化物層が高いスピン依存散乱効果と低い抵抗率の実現によるスピンフリップの低減を両立できているため、結果として高いスピンフィルタリング効果を発現しているためと考えられる。
機能層を用いていない磁気抵抗効果素子を作製してRA値及びMR変化率を評価した。
ピニング層13:Ir22Mn78[7nm]
磁化固着層14:Co90Fe10[4.4nm]/Ru[0.9nm]/Fe50Co50[4nm]
スペーサ層16:Cu[3nm]
磁化自由層18:Fe50Co50[4nm]
また、本実施例に係わる磁気抵抗効果素子10のRAは0.08Ωμm2、MR変化率は1.5%であった。
11、20 電極
12 下地層
13 ピニング層
14 磁化固着層
16 スペーサ層
18 磁化自由層
19 キャップ層
21 酸化物層
Claims (11)
- 第1の磁性層と、
第2の磁性層と、
前記第1の磁性層と前記第2の磁性層との間に設けられたスペーサ層と、
を備えた積層体と、
前記積層体の膜面に垂直に電流を流すための一対の電極とを有し、
前記スペーサ層が、In、Sn、Cdから選択される少なくとも1つの元素及びFe、
Co、Niから選択される少なくとも1つの元素を含み、膜面内に均一に構成された酸化
物層を含むことを特徴とする磁気抵抗効果素子。 - 前記スペーサ層は第1の金属層と第2の金属層とをさらに有し、前記酸化物層は前記第
1の金属層と前記第2の金属層との間に設けられていることを特徴とする請求項1に記載
の磁気抵抗効果素子。 - 前記酸化物層の抵抗率が5×105μΩcm以下であることを特徴とする請求項1に記
載の磁気抵抗効果素子。 - 前記積層体の膜面を電流が垂直に流れる部分の面積と前記積層体の膜面に垂直に電流を
流したときに前記一対の電極から得られる抵抗との積が5Ωμm2以下であることを特徴
とする請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記酸化物層がZn及びFeを含むことを特徴とする請求項1に記載の磁気抵抗効果素
子。 - 前記第1の金属層と前記第2の金属層とがCu、Ag、Au、Znからなる群から選択
される少なくとも1つの元素を含むことを特徴とする請求項2に記載の磁気抵抗効果素子
。 - 前記酸化物層はさらにAl、B、Ga、In、C、Si、Ge、Snから選択される少
なくとも1つの元素を含むことを特徴とする請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記酸化物層の層厚は、0.5nm以上4nm以下であることを特徴とする請求項1に
記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記第1の金属層と前記第2の金属層の層厚は、2nm以下であることを特徴とする請
求項2に記載の磁気抵抗効果素子。 - 請求項1に記載の磁気抵抗効果素子を一端に搭載するサスペンションと、前記サスペン
ションの他端に接続されたアクチュエータアームとを備えることを特徴とする磁気ヘッド
アセンブリ。 - 請求項10に記載の磁気ヘッドアセンブリと、前記磁気抵抗効果素子を用いて情報が記
録される磁気記録媒体とを備えることを特徴とする磁気記録再生装置。
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JP5956793B2 (ja) | 2012-03-16 | 2016-07-27 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッドアセンブリ、磁気記録再生装置及び磁気メモリ |
US9368176B2 (en) * | 2012-04-20 | 2016-06-14 | Alexander Mikhailovich Shukh | Scalable magnetoresistive element |
JPWO2015008718A1 (ja) * | 2013-07-19 | 2017-03-02 | コニカミノルタ株式会社 | 磁気センサー及びその製造方法 |
US20150028440A1 (en) * | 2013-07-26 | 2015-01-29 | Agency For Science, Technology And Research | Magnetoresistive device and method of forming the same |
JP6173854B2 (ja) * | 2013-09-20 | 2017-08-02 | 株式会社東芝 | 歪検知素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル |
JP6223761B2 (ja) | 2013-09-20 | 2017-11-01 | 株式会社東芝 | 歪検知素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサおよびタッチパネル |
US9230597B2 (en) * | 2013-11-01 | 2016-01-05 | HGST Netherlands B.V. | Magnetic head having a spin torque oscillator (STO) with a hybrid heusler field generation layer (FGL) |
JP6196557B2 (ja) * | 2014-01-20 | 2017-09-13 | 株式会社東芝 | 圧力センサ、マイクロフォン、加速度センサ及び圧力センサの製造方法 |
US9396745B2 (en) | 2014-03-07 | 2016-07-19 | Seagate Technology Llc | Multi-sensor reader with different readback sensitivities |
JP6097344B2 (ja) * | 2015-07-06 | 2017-03-15 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、磁気抵抗効果素子の製造方法、磁気ヘッド、および磁気記録再生装置 |
JP6958691B2 (ja) * | 2019-05-28 | 2021-11-02 | Tdk株式会社 | トンネル層 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2774774B1 (fr) * | 1998-02-11 | 2000-03-03 | Commissariat Energie Atomique | Magnetoresistance a effet tunnel et capteur magnetique utilisant une telle magnetoresistance |
US6295718B1 (en) * | 1999-08-16 | 2001-10-02 | Headway Technologies, Inc. | Method for fabricating a non-parallel magnetically biased multiple magnetoresistive (MR) layer magnetoresistive (MR) sensor element |
JP3833512B2 (ja) | 2000-10-20 | 2006-10-11 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子 |
US6888703B2 (en) * | 2001-09-17 | 2005-05-03 | Headway Technologies, Inc. | Multilayered structures comprising magnetic nano-oxide layers for current perpindicular to plane GMR heads |
US7390584B2 (en) * | 2002-03-27 | 2008-06-24 | Nve Corporation | Spin dependent tunneling devices having reduced topological coupling |
JP4382333B2 (ja) | 2002-03-28 | 2009-12-09 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド及び磁気再生装置 |
WO2003092083A1 (fr) * | 2002-04-24 | 2003-11-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Element magnetoresistant |
JP4690675B2 (ja) * | 2004-07-30 | 2011-06-01 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、および磁気記録再生装置 |
JP2006049426A (ja) * | 2004-08-02 | 2006-02-16 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子とその製造方法、およびそれを用いた磁気ヘッドと磁気再生装置 |
US7542234B1 (en) * | 2005-10-04 | 2009-06-02 | Storage Technology Corporation | Apparatus for improving performance of a tape transducer positioning mechanism |
JP2008252018A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子およびそれを用いた磁気ランダムアクセスメモリ |
US8031441B2 (en) * | 2007-05-11 | 2011-10-04 | Headway Technologies, Inc. | CPP device with an enhanced dR/R ratio |
US20090174971A1 (en) * | 2008-01-03 | 2009-07-09 | Yoshihiro Tsuchiya | Cpp-type magneto resistive effect element having a pair of magnetic layers |
JP5150284B2 (ja) * | 2008-01-30 | 2013-02-20 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子およびその製造方法 |
JP2010080535A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
JP2010080839A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子の製造方法、磁気抵抗効果素子、磁気ヘッドアセンブリおよび磁気記録再生装置 |
JP2011013249A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Daiichikosho Co Ltd | スピーカシステムを備えるカラオケシステム |
JP5514209B2 (ja) * | 2009-07-31 | 2014-06-04 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子 |
JP5518896B2 (ja) | 2009-11-27 | 2014-06-11 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、及び磁気記録再生装置 |
JP5356431B2 (ja) * | 2011-02-17 | 2013-12-04 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気記録装置 |
JP5629608B2 (ja) * | 2011-02-25 | 2014-11-26 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッドアセンブリ、磁気記録再生装置、メモリセルアレイ、及び磁気抵抗効果素子の製造方法 |
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