JP5362599B2 - 電磁波源探査方法、電磁波源探査プログラム、電磁波源探査装置 - Google Patents
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Description
本発明は、電磁波を発生させる電磁波源を探査する技術に関するものである。
近年の電気・電子装置に搭載される半導体の低電圧化・高速化や無線通信装置の普及に伴い、電磁波環境(EMC)問題が深刻化している。EMCは、装置のイミュニティレベルの劣化、電磁波放射レベルの増大、装置内部干渉などの原因となる。半導体の低電圧化・高速化などに伴い、EMC問題も複雑化する。EMC問題に対処するために要する製品の開発・対策期間の増大を避けるには、EMCメカニズムに基づく最適な設計技術の構築が鍵となる。
このEMCメカニズムの解明には、電磁波放射の波源およびノイズの伝搬経路を特定することが重要である。そのため、装置の金属筐体表面や基板表面に流れる電流を測定することが必要になる場合がある。この波源および伝搬経路を同定するためには、電流の流れている方向・角度を高精度かつ短時間で測定することが重要である。これにより、EMCメカニズムを効率的に解明することができる。
下記特許文献1には、XYZ平面で直交させた3本の磁界プローブにより、異なる方向の磁界成分(電流成分と同等)を高い分解能で測定することのできる磁界検出装置および磁界分布測定装置が記載されている。
下記特許文献2には、3本の無指向性アンテナを使うことで規定レベル以上の電磁界強度を簡易的に検出する電磁界強度検出装置が記載されている。
下記特許文献3には、XYZ方向およびθ方向(Z軸を中心とした回転方向)に稼動する4軸スキャナへ磁界測定用のループアンテナを搭載し、被測定対象表面を走査するEMI(Electromagnetic Interference)測定装置および測定方法が記載されている。この装置および方法により、電流の強度分布、位相、方向を測定することができる。
上記特許文献1では、XYZ平面で直交させた3本の磁界プローブを使って磁界(電流)分布測定する技術を提案している。しかし、このプローブを使って電流方向を推定した場合、例えば、X平面を基準として45度と135度の方向に流れている電流を識別することが困難である。これは、XY平面における45度と135度の方向に流れる各電流が発生する磁界によってプローブに誘起する電圧は、X方向とY方向ともに全く同じとなることに起因する。このため、磁界プローブの誘起電圧がXY平面における45度方向と135度方向のいずれに向いているか識別することが困難となる。XYZ各軸に対応する3本の磁界プローブを用いた場合、角度45度と135度以外にも、例えば30度と150度など方向を識別することが難しい方向が幾つかあるため、電流方向を推定することが困難である。
上記特許文献2では、3本のアンテナを使った電磁界測定装置を提案している。しかし、3本のアンテナ何れも無指向性であるため、波源である電流の方向を推定することが難しい。
上記特許文献3では、XYZ方向およびθ方向に稼動する4軸スキャナに磁界測定用ループアンテナを搭載した測定装置が提案されている。この装置では、電流の直上で磁界測定用プローブをθ方向に回転させ、XY平面を走査する。プローブ誘起電圧が最大となる角度が、XY平面における電流方向となる。したがって、XY平面を走査しながら磁界測定用プローブをθ方向に回転させて磁界(電流)マップを測定し、各走査点でプローブ誘起電圧が最大となった角度をマッピングすれば、XY平面に流れる電流方向を推定することができる。
しかし、この装置において電流方向の推定精度を向上させるためには、プローブ回転角を細かくする必要がある。例えば、±10度の精度で測定するためには、プローブ回転範囲の0度〜180度を10度刻み18点で測定しなければならない。実際は、XY平面上での測定点数に前記の回転角度点数を掛けた値が測定点数となる。そのため、方向推定精度を向上させると測定点数が増大して測定時間が長くなる。すなわち、推定精度と測定時間がトレードオフの関係となる。
例えば、X方向:30点、Y方向:20点、回転方向:2点(0度と90度)を測定する場合、測定点数は30×20×2=1200点となり、測定時間は1時間程度となる。これを回転方向に9倍のステップ、18点で測定した場合、約10倍弱の測定点となり、測定時間もその分だけ増大する。したがって、短時間で精度良く電流方向を推定することが求められる。
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、電磁波源となる電流の方向を精度良く短時間で測定する技術を提供することを目的とする。
本発明に係る電磁波源探査方法では、同一平面上における基準位置からみた配置角度が異なる3本以上奇数本数のアンテナを用いて誘起電圧の絶対値を測定し、各アンテナの配置角度と誘起電圧を用いて電流の方向角を算出する。
本発明に係る電磁波源探査方法によれば、誘起電圧の絶対値のみを用いるので、短時間で測定を行うことができる。また、同一平面上における3本以上奇数本数のアンテナを用いるので、任意の電流方向を確実に識別することができ、良好な推定精度を得ることができる。
<実施の形態1>
図1は、本発明の実施の形態1に係る電磁波源探査装置100の構成図である。電磁波源探査装置100は、被測定対象200上を流れて電磁波発生源となる電流の方向を測定する装置である。電磁波源探査装置100は、アンテナモジュール110、ステージ120、3軸スキャナ130、同軸スイッチ140、スペクトラムアナライザ150、モータ制御ユニット160、制御コンピュータ170を備える。
図1は、本発明の実施の形態1に係る電磁波源探査装置100の構成図である。電磁波源探査装置100は、被測定対象200上を流れて電磁波発生源となる電流の方向を測定する装置である。電磁波源探査装置100は、アンテナモジュール110、ステージ120、3軸スキャナ130、同軸スイッチ140、スペクトラムアナライザ150、モータ制御ユニット160、制御コンピュータ170を備える。
被測定対象200は、ステージ120に固定される。
アンテナモジュール110は、3本のアンテナ111、112、113を備える。各アンテナには、電磁波源によって誘起電圧が生じる。各アンテナはこの誘起電圧を検出し、その値に相当する出力信号を出力する。
アンテナモジュール110は、3本のアンテナ111、112、113を備える。各アンテナには、電磁波源によって誘起電圧が生じる。各アンテナはこの誘起電圧を検出し、その値に相当する出力信号を出力する。
同軸スイッチ140は、アンテナモジュール110の各出力を受け取り、必要に応じてアンプを介して出力信号を増幅し、スペクトラムアナライザ150に出力する。
制御コンピュータ170は、モータ制御ユニット160を介して3軸スキャナ130を制御し、これによりアンテナモジュール110をXYZ各方向に移動させる。また、同軸スイッチ140を切り替えてアンテナモジュール110のいずれの出力を受信するかを制御する。その他、スペクトラムアナライザ150からアンテナモジュール110の周波数毎の測定結果を取得し、これに基づき被測定対象200上の電流方向を算出する。算出方法の詳細については後述する。制御コンピュータ170は、本実施の形態1における「演算装置」に相当する。
図1の右下図は、アンテナモジュール110を底面(図1の被測定対象200側)から見た各アンテナの配置を示す。アンテナモジュール110が備える3つのアンテナ111、112、113は、例えばアンテナ111が向いている方向を基準角とすると、同一平面上における基準角から見た配置角度が120°ずつ異なるように配置されている。すなわち、各アンテナはアンテナ111から見て120°ずつ順に配置角度を開いていくようにして放射状に配置されている。
以上、電磁波源探査装置100の構成を説明した。次に、電磁波源探査装置100が被測定対象200上を流れる電流の方向を算出する原理を説明する。
図2は、被測定対象200上を流れる電流によってアンテナ111に誘起電圧が生じる様子を示す図である。電流301は、被測定対象200上を流れる電流(i)であり、電磁波源探査装置100が検出する電磁波源に相当する。電流301の真上にアンテナ111が配置されている。アンテナ111は、ループアンテナとして構成された磁界アンテナであり、ループ面の面積はSである。電流301からアンテナ111(のループ中央部)までの高さはrである。
電流301が流れると、磁界302(H)が発生する。この磁界302がアンテナ111に鎖交すると、アンテナ111に誘起電圧303(Vant)が生じる。アンテナ111のループ面と電流301とがXY平面上で成す角度をθとする。この両者が平行となる場合をθ=0°と定義し、このときの誘起電圧303をV0と定義する。
この状態において、アンテナ111に生じるアンテナ誘起電圧303(Vant)は下記(式1)で、V0は下記(式2)で定義することができる。fは電流301の周波数、μ0は真空の透磁率である。
図3は、アンテナモジュール110に誘起する電圧および電流の方向を推定する手法を説明する図である。アンテナモジュール110は、アンテナ111、アンテナ112、アンテナ113を放射状に120°刻み(3等分)に配置した構成となっている。ここで、アンテナ111がXY平面上で向いている方向を基準として、電流301の角度をθと定義する。以後の説明では、記載の便宜上、電流角度θはアンテナ111を基準とした角度であるものとする。
アンテナ111〜アンテナ113に誘起される電圧Vant1〜Vant3は、上記(式1)(式2)を用いて、下記(式3)のように算出することができる。
アンテナ1に誘起する電圧Vant1を基準として、角度θは下記(式4)(式5)のように算出することができる。なお、90度〜180度の範囲の角度はθ1、0度〜90度の範囲はθ2を用いる。
以上、被測定対象200上を流れる電流301の方向角θを算出する原理を説明した。次に、電磁波源探査装置100が上記原理を用いて電流301の方向角θを算出する手順を説明する。
図4は、電磁波源探査装置100の動作フローである。以下、図4の各ステップについて説明する。
(図4:ステップ400)
ユーザが制御コンピュータ170を用いて、測定を開始するよう電磁波源探査装置100に対して指示すると、本動作フローが開始される。
(図4:ステップ400)
ユーザが制御コンピュータ170を用いて、測定を開始するよう電磁波源探査装置100に対して指示すると、本動作フローが開始される。
(図4:ステップ401)
制御コンピュータ170は、電流301の方向を算出するXY平面上の座標を設定する。ここでいうXY平面とは、図1におけるXY軸からなる平面のことである。
制御コンピュータ170は、電流301の方向を算出するXY平面上の座標を設定する。ここでいうXY平面とは、図1におけるXY軸からなる平面のことである。
(図4:ステップ402)
制御コンピュータ170は、アンテナ111〜113に誘起されている誘起電圧Vant1〜Vant3を、同軸スイッチ140〜スペクトラムアナライザ150を介してそれぞれ取得する。このとき、制御コンピュータ170は、必要に応じて同軸スイッチ140を切り替え、またスペクトラムアナライザ150に対して周波数を指定する。制御コンピュータ170は、Vant1が3つの誘起電圧のなかで最も大きいか否かを判定する。Vant1が最も大きい場合はステップS405へ進み、そうでない場合はステップS403へ進む。
制御コンピュータ170は、アンテナ111〜113に誘起されている誘起電圧Vant1〜Vant3を、同軸スイッチ140〜スペクトラムアナライザ150を介してそれぞれ取得する。このとき、制御コンピュータ170は、必要に応じて同軸スイッチ140を切り替え、またスペクトラムアナライザ150に対して周波数を指定する。制御コンピュータ170は、Vant1が3つの誘起電圧のなかで最も大きいか否かを判定する。Vant1が最も大きい場合はステップS405へ進み、そうでない場合はステップS403へ進む。
(図4:ステップ403)
制御コンピュータ170は、Vant1が0または0に近い値となっているか否かを判定するため、Vant2およびVant3に対するVant1の比Vant1/Vant2およびVant1/Vant3を算出する。制御コンピュータ170は、算出した比が所定閾値(例えば10−2)以下である場合は、Vant1が0または0に近い値となっているものと判断し、ステップS408へ進む。そうでない場合はステップS404へ進む。
制御コンピュータ170は、Vant1が0または0に近い値となっているか否かを判定するため、Vant2およびVant3に対するVant1の比Vant1/Vant2およびVant1/Vant3を算出する。制御コンピュータ170は、算出した比が所定閾値(例えば10−2)以下である場合は、Vant1が0または0に近い値となっているものと判断し、ステップS408へ進む。そうでない場合はステップS404へ進む。
(図4:ステップ403:補足)
本ステップは、θ=90°となっているか否かを判定する意義がある。すなわち、Vant2またはVant3が最大値をとる場合、θ=90°となっている可能性があり、このときVant1=0となるので、上記(式4)において0除算が発生する。本ステップにより、これを回避する。
本ステップは、θ=90°となっているか否かを判定する意義がある。すなわち、Vant2またはVant3が最大値をとる場合、θ=90°となっている可能性があり、このときVant1=0となるので、上記(式4)において0除算が発生する。本ステップにより、これを回避する。
(図4:ステップ404)
制御コンピュータ170は、Vant2が3つの誘起電圧のなかで最も大きいか否かを判定する。Vant2が最も大きい場合はステップS406へ進み、そうでない場合はステップS407へ進む。
制御コンピュータ170は、Vant2が3つの誘起電圧のなかで最も大きいか否かを判定する。Vant2が最も大きい場合はステップS406へ進み、そうでない場合はステップS407へ進む。
(図4:ステップ405)
Vant1が3つの誘起電圧のなかで最も大きい場合、θは0°〜30°または150°〜180°の範囲内にある。制御コンピュータ170は、上記(式5)を用いてθを算出する。
Vant1が3つの誘起電圧のなかで最も大きい場合、θは0°〜30°または150°〜180°の範囲内にある。制御コンピュータ170は、上記(式5)を用いてθを算出する。
(図4:ステップ406)
Vant2が3つの誘起電圧のなかで最も大きい場合、θは30°〜90°の範囲内にある。制御コンピュータ170は、上記(式5)を用いてθを算出する。
Vant2が3つの誘起電圧のなかで最も大きい場合、θは30°〜90°の範囲内にある。制御コンピュータ170は、上記(式5)を用いてθを算出する。
(図4:ステップ407)
Vant3が3つの誘起電圧のなかで最も大きい場合、θは90°〜150°の範囲内にある。制御コンピュータ170は、上記(式4)を用いてθを算出する。
Vant3が3つの誘起電圧のなかで最も大きい場合、θは90°〜150°の範囲内にある。制御コンピュータ170は、上記(式4)を用いてθを算出する。
(図4:ステップ408)
制御コンピュータ170は、ステップS403においてVant1が0または0に近い値になっていると判断した場合、θ=90°とする。
制御コンピュータ170は、ステップS403においてVant1が0または0に近い値になっていると判断した場合、θ=90°とする。
(図4:ステップ409)
制御コンピュータ170は、以上のステップを実行した座標(m,n)、電流301の値imn、電流301の方向角θmnを、メモリやHDD(Hard Disk Drive)などの記憶装置に格納する。
制御コンピュータ170は、以上のステップを実行した座標(m,n)、電流301の値imn、電流301の方向角θmnを、メモリやHDD(Hard Disk Drive)などの記憶装置に格納する。
(図4:ステップ410)
制御コンピュータ170は、XY平面上の他の座標についてさらに電流301の方向を算出する場合はステップS401に戻って同様の処理を繰り返す。これ以上電流301の方向を算出しない場合は、本動作フローを終了する。
以上、本実施の形態1における電磁波源探査装置100の動作フローを説明した。
制御コンピュータ170は、XY平面上の他の座標についてさらに電流301の方向を算出する場合はステップS401に戻って同様の処理を繰り返す。これ以上電流301の方向を算出しない場合は、本動作フローを終了する。
以上、本実施の形態1における電磁波源探査装置100の動作フローを説明した。
以上のように、本実施の形態1に係る電磁波源探査装置100は、各アンテナに生じた誘起電圧Vant1〜Vant3の絶対値を取得し、(式4)(式5)を用いて電流301の方向角θを算出する。各アンテナを用いて測定する直接的な測定対象は誘起電圧Vant1〜Vant3のみであるため、短時間で測定を完了することができる。
また、本実施の形態1において、アンテナモジュール110は配置角度を120°ずつずらした3本のアンテナ111〜113を備え、電磁波源探査装置100はその配置角度を用いて電流301の方向角θを算出する。これにより、X方向とY方向ともに誘起電圧が全く同じとなる角度がなくなるので、方向角θを精度良く算出することができる。
また、本実施の形態1では、同一平面上におけるアンテナ本数が3本であるため、同一平面(XY平面)上におけるアンテナ本数が2本以下である場合と比較して、より正確に方向角θを算出することができる。
<実施の形態2>
図5は、本発明の実施の形態2に係る電磁波源探査装置100の構成図である。本実施の形態2に係る電磁波源探査装置100は、実施の形態1の図1で説明した同軸スイッチ140とスペクトラムアナライザ150に代えて、オシロスコープ180を備える。
図5は、本発明の実施の形態2に係る電磁波源探査装置100の構成図である。本実施の形態2に係る電磁波源探査装置100は、実施の形態1の図1で説明した同軸スイッチ140とスペクトラムアナライザ150に代えて、オシロスコープ180を備える。
オシロスコープ180は、複数本の信号入力をサンプリングし、保持する機能を有している。そのため、実施の形態1のように各アンテナ111〜113が出力する信号を1つずつ切り替えながら入力する必要がなくなり、同軸スイッチ140は不要となる。
実施の形態1のように同軸スイッチ140を用いてアンテナを1本ずつ切り替えながら出力信号を取得する場合には、同時刻の出力波形を得ることはできない。これに対し、本実施の形態2の場合、例えばアンテナ111をトリガとして、アンテナ111〜113全ての出力波形を同時に取得することができる。換言すると、アンテナ111〜113全ての同時刻の波形を取得することができる利点がある。ただし本実施の形態2では、アンテナ毎にアンプを設ける必要がある。
オシロスコープ180が各アンテナから取得する出力信号は、時間軸に対する波形である。そのため、制御コンピュータ170は、FFT(Fast Fourier Transform)処理などを用いて、オシロスコープ180が取得した出力信号を周波数毎のスペクトラムに変換する。制御コンピュータ170は、各アンテナの出力に基づき誘起電圧の絶対値を周波数毎に取得し、実施の形態1と同様の手法を用いて電流301の方向角θを周波数毎に算出する。
以上のように、本実施の形態1によれば、各アンテナ出力の同時刻の信号波形を同時に得ることができる。したがって、電磁波源探査をより動的に行うことができる。なお、オシロスコープ180と同様に、複数信号を同時にサンプリングし保持する機能を有する機器を、オシロスコープ180に代えて用いることもできる。
<実施の形態3>
本発明の実施の形態3では、実施の形態1で説明した(式4)(式5)とは別の手法を用いて電流301の方向角θを算出する構成を説明する。
本発明の実施の形態3では、実施の形態1で説明した(式4)(式5)とは別の手法を用いて電流301の方向角θを算出する構成を説明する。
図6は、本実施の形態3に係る電磁波源探査装置100の構成図である。本実施の形態3に係る電磁波源探査装置100は、実施の形態1の図1で説明した構成の他に、以下の構成を有する。
本実施の形態3における同軸スイッチ140は、4本(以上)の信号を入力することができる。また、同軸スイッチ140の前段に、分配器191、4つのアンプ、ハイブリッドバラン192および193を備える。
分配器191は、方向角θを算出する基準となるアンテナ111の出力を2分割する。分割された各信号は、それぞれが分割前の信号と等しい。4つのアンプは、分割されたアンテナ111の出力およびアンテナ112〜113の出力をそれぞれ増幅する。
ハイブリッドバラン192と193は、180度ハイブリッドと言われる部品であり、入力された2つの信号の和と差を出力する。ハイブリッドバラン192はアンテナ111と113の出力を受け取り、これらの和と差を出力する。ハイブリッドバラン193はアンテナ111と112の出力を受け取り、これらの和と差を出力する。
制御コンピュータ170は、同軸スイッチ140、スペクトラムアナライザ150を介して、各ハイブリッドバランの出力を取得する。制御コンピュータ170は、ハイブリッドバラン192の出力に基づき、Vant1とVant3の和と差を取得することができる。同様に、ハイブリッドバラン193の出力に基づき、Vant1とVant2の和と差を取得することができる。
Vant1〜Vant3は、それぞれ上述の(式3)で表される。これらの和と差にはそれぞれcosθとsinθが含まれるので、連立方程式を解くことにより、θを算出する演算式を得ることができる。制御コンピュータ170は、その演算式に各ハイブリッドバランの出力を代入してθを算出する。
以上のように、本実施の形態3によれば、実施の形態1とは異なる検出機器の構成および演算式を用いて、実施の形態1と同様の効果を得ることができる。すなわち、アンテナ111〜113に生じる誘起電圧のみを用いて方向角θを算出するので、短時間に測定を終えることができ、また各アンテナ111〜113の配置により方向角θを精度良く算出することができる。
<実施の形態4>
図7は、本実施の形態4に係る電磁波源探査装置100の構成図である。本実施の形態4に係る電磁波源探査装置100は、実施の形態2の図5で説明した構成の他に、以下の構成を有する。
図7は、本実施の形態4に係る電磁波源探査装置100の構成図である。本実施の形態4に係る電磁波源探査装置100は、実施の形態2の図5で説明した構成の他に、以下の構成を有する。
本実施の形態4におけるオシロスコープ180は、4本(以上)の信号を入力することができる。また、オシロスコープ180の前段に、分配器191、4つのアンプ、ハイブリッドバラン192および193を備える。
分配器191、4つのアンプ、ハイブリッドバラン192および193の機能は、実施の形態3と同様である。オシロスコープ180は、各入力の時間波形を取得する。制御コンピュータ170は、各入力の時間波形の周波数スペクトルを取得し、周波数毎に実施の形態3で説明したものと同様の演算式を用いてθを算出する。
以上のように、本実施の形態4によれば、実施の形態2とは異なる検出機器の構成および演算式を用いて、実施の形態2と同様の効果を得ることができる。すなわち、アンテナ111〜113に生じる誘起電圧のみを用いて方向角θを算出するので、短時間に測定を終えることができ、また各アンテナ111〜113の配置により方向角θを精度良く算出することができる。さらには、各アンテナ111〜113の同時刻の出力波形を用いて方向角θを算出することができる。
<実施の形態5>
実施の形態1〜4では、3本のアンテナ111〜113を120°刻みで放射状に配置した例を示した。しかし、電流301の方向角θを算出するためには、基準角度から見た各アンテナの配置角度は必ずしも均等である必要はない。本発明の実施の形態5では、各アンテナの配置角度についてより一般化した例を説明する。
実施の形態1〜4では、3本のアンテナ111〜113を120°刻みで放射状に配置した例を示した。しかし、電流301の方向角θを算出するためには、基準角度から見た各アンテナの配置角度は必ずしも均等である必要はない。本発明の実施の形態5では、各アンテナの配置角度についてより一般化した例を説明する。
図8は、アンテナモジュール110に誘起する電圧および電流の方向を推定する手法を説明する図である。実施の形態1で説明した図3とは異なり、アンテナ111、アンテナ112、アンテナ113は、アンテナ111が向いている方向を基準角としてそれぞれは位置角度が角度α、β、γとなるように配置されている。
アンテナ111〜アンテナ113に誘起される電圧Vant1〜Vant3は、上記(式1)(式2)を用いて、下記(式6)のように算出することができる。
アンテナ1に誘起する電圧Vant1を基準として、角度θは下記(式7)(式8)のように算出することができる。なお、90度〜180度の範囲の角度はθ1、0度〜90度の範囲はθ2を用いる。
制御コンピュータ170は、上記(式7)(式8)を用いることにより、3本のアンテナ111〜113が任意の配置角度で配置されているアンテナモジュール110を用いて、電流301の方向角θを算出することができる。例えば上記(式7)(式8)に、α=120°、γ=120°を代入すると、(式4)(式5)と同様となる。電磁波源探査装置100の全体的な動作手順は、実施の形態1で説明した図4と同様でよい。
また、図8において電流301の角度θを2点以上変えたときのVant1〜Vant3を測定し、式(6)に代入して連立方程式を解くことでするアンテナモジュール110の刻み角度α,β,γを算出することができる。これにより、電流方向推定に重要となるアンテナモジュール110のアンテナの刻み角を構成する事が可能となる。
以上、本実施の形態5においてアンテナモジュール110に誘起する電圧および電流の方向を推定する手法を説明する手法を説明した。本実施の形態5で説明した手法は、実施の形態2〜4で説明した電磁波源探査装置100の構成に適用することもできる。
<実施の形態6>
実施の形態1〜5で説明した電磁波源探査手法は、制御コンピュータ170が実行する処理を導入することにより、既設の電磁波源探査装置に適用することができる。例えば制御コンピュータ170が実行する上述の処理をソフトウェアプログラム(電磁波源探査プログラム)として実装し、この電磁波源探査プログラムを既設の電磁波源探査装置の制御コンピュータや演算装置などに導入することが考えられる。
実施の形態1〜5で説明した電磁波源探査手法は、制御コンピュータ170が実行する処理を導入することにより、既設の電磁波源探査装置に適用することができる。例えば制御コンピュータ170が実行する上述の処理をソフトウェアプログラム(電磁波源探査プログラム)として実装し、この電磁波源探査プログラムを既設の電磁波源探査装置の制御コンピュータや演算装置などに導入することが考えられる。
具体的には、上記電磁波源探査プログラムを制御コンピュータにインストールする、電磁波源探査プログラムが実行する処理を回路デバイス上に組み込んで演算装置を構成し、電磁波源探査装置をその演算装置によって制御する、などの手法が考えられる。
ただし、上記電磁波源探査プログラムを導入する電磁波源探査装置は、実施の形態1〜5で説明したアンテナモジュール110と同様に、XY平面上における3方向の誘起電圧を検出することができる必要がある。この条件を満たす電磁波源探査装置であれば、具体的な装置構成によらず、制御コンピュータ170が実行する処理を導入することにより、実施の形態1〜5で説明した電磁波源探査手法と同様の効果を発揮することができる。
<実施の形態7>
本発明の実施の形態7では、アンテナモジュール110の実装形態として、プリント基板上に各アンテナ111〜113を実装した例を説明する。アンテナモジュール110の実装形態以外の構成は、実施の形態1〜6と同様である。
本発明の実施の形態7では、アンテナモジュール110の実装形態として、プリント基板上に各アンテナ111〜113を実装した例を説明する。アンテナモジュール110の実装形態以外の構成は、実施の形態1〜6と同様である。
図9は、アンテナモジュール110の側断面図である。本実施の形態7におけるアンテナモジュール110は、アンテナモジュール基板1000の内部に各アンテナ111〜113を金属配線によって形成した構成を有する。ここでは、実施の形態1と同様に、各アンテナ111〜113をループアンテナとして形成し、アンテナ111が向いている方向を基準角度として配置角度をずらして配置した例を示した。
アンテナモジュール基板1000の表面には同軸ケーブル2000が接続され、各アンテナと同軸ケーブルは直接接続またはコネクタ等の接続部材によって接続される。アンテナモジュール基板1000の裏面には、各アンテナおよび同軸ケーブル2000を接地するための共通GNDビア1310が存在する。
アンテナモジュール110は、ループアンテナの1辺を形成する部分を境界面として、内部的に2層に分かれている。以下の説明の都合上、同軸ケーブル2000を接続する面を面1100、ループアンテナの1辺を内装配線する面を面1200、被測定対象200と対向する面を面1300とする。
図10は、面1100、1200、1300を同軸ケーブル2000側から見た平面図である。図10(a)は面1100、図10(b)は面1200、図10(c)は面1300の平面図をそれぞれ示す。
面1100には、各アンテナ111〜113と同軸ケーブル2000を接続する3つの信号パターン1120と、同軸ケーブル2000を接地するGNDパターン1110とが形成されている。GNDパターン1110は、後述する共通GNDビア1310に接続されている。
面1200には、信号パターン1120と接続される信号ビア1210が形成されている。
面1200には、信号パターン1120と接続される信号ビア1210が形成されている。
面1300には、共通GNDビア1310が形成されている。共通GNDビア1310は、アンテナモジュール110外のGNDに接続される。また、各アンテナ111〜113およびGNDパターン1110は、共通GNDビア1310に接続される。アンテナ111〜113は、実施の形態1〜6いずれかで説明した配置角度で配置される。
以上のように、本実施の形態7によれば、プリント基板上にアンテナモジュール110を実装するので、プリント基板を製造する際に用いる製造手法と同様の手法により、アンテナモジュール110を精密に製造することができる利点がある。例えば、アンテナ111〜113の配置角度を厳密に制御することができる。
<実施の形態8>
図11は、本発明の実施の形態8に係るアンテナアレイ基板3000の斜視図である。実施の形態7で説明した、プリント基板上にアンテナモジュール110を製造する手法を用いることにより、基板上に複数のアンテナモジュール110を配置することができる。これにより、アンテナモジュール110をアレイ状に配置した平面アンテナを形成することができる。
図11は、本発明の実施の形態8に係るアンテナアレイ基板3000の斜視図である。実施の形態7で説明した、プリント基板上にアンテナモジュール110を製造する手法を用いることにより、基板上に複数のアンテナモジュール110を配置することができる。これにより、アンテナモジュール110をアレイ状に配置した平面アンテナを形成することができる。
このアンテナアレイ基板3000を用いることにより、アンテナモジュール110を移動させることなく、または少ない移動量で、平面を流れる電流を検出することができる。そのため、3軸スキャナ130のような移動機構を設ける必要がなくなり、電磁波源探査装置100の構成を簡易化できる利点がある。
<実施の形態9>
以上の実施の形態1〜8において、アンテナモジュール110は3本のアンテナ111〜113を有することを説明したが、アンテナ本数は必ずしも3本でなくともよい。ただし、特許文献1のように各軸方向に生じる誘起電圧が全く同じとなるような状況を回避するため、アンテナ本数は奇数本であることが望ましい。また、アンテナ本数が2本以下になると電流301の方向角θを正確に検出することが難しくなるため、アンテナ本数は3本以上であることが望ましい。
以上の実施の形態1〜8において、アンテナモジュール110は3本のアンテナ111〜113を有することを説明したが、アンテナ本数は必ずしも3本でなくともよい。ただし、特許文献1のように各軸方向に生じる誘起電圧が全く同じとなるような状況を回避するため、アンテナ本数は奇数本であることが望ましい。また、アンテナ本数が2本以下になると電流301の方向角θを正確に検出することが難しくなるため、アンテナ本数は3本以上であることが望ましい。
また、以上の実施の形態1〜8において、各アンテナ111〜113はループアンテナとして形成された磁界アンテナであることを説明したが、これに代えてまたはこれと併用して、電界アンテナを用いることもできる。すなわち、電流301に起因して生じる電磁波を検出することができるアンテナであれば、任意のアンテナを採用することができる。ただし、アンテナが電磁波を検出する仕組みに応じて、上述の(式2)は変更する必要がある。
アンテナ本数を3本より多くした場合、およびループアンテナ以外のアンテナを用いた場合のいずれにおいても、各アンテナの配置角度を用いて電流301の方向角θを算出する原理そのものは同様であることを付言しておく。
100:電磁波源探査装置、110:アンテナモジュール、111〜113:アンテナ、120:ステージ、130:3軸スキャナ、140:同軸スイッチ、150:スペクトラムアナライザ、160:モータ制御ユニット、170:制御コンピュータ、180:オシロスコープ、191:分配器、192〜193:ハイブリッドバラン、200:被測定対象、301:電流、302:磁界、303:誘起電圧、1000:アンテナモジュール基板、1100、1200、1300:面、1110:GNDパターン、1120:信号パターン、1210:信号ビア、1310:共通GNDビア、2000:同軸ケーブル、3000:アンテナアレイ基板。
Claims (9)
- 電磁波を発生させる電磁波源を探査する方法であって、
同一平面上における基準位置からみた配置角度がそれぞれ異なる3本以上奇数本数のアンテナそれぞれに前記電磁波源によって生じる電圧を取得するステップと、
前記3本以上のアンテナのなかから前記電磁波源が向いている方向を算出する基準とする基準アンテナおよび前記基準アンテナとは別の第2アンテナを指定するステップと、
前記基準アンテナに生じた前記電圧の絶対値と前記第2アンテナに生じた前記電圧の絶対値を算出する絶対値算出ステップと、
前記基準アンテナと前記第2アンテナの間の配置角度差および前記絶対値を用いて前記基準アンテナを基準とする前記電磁波源の方向角を算出する角度算出ステップと、
を有することを特徴とする電磁波源探査方法。 - 前記絶対値算出ステップでは、
前記基準アンテナに生じた前記電圧の時間波形と前記第2アンテナに生じた前記電圧の時間波形それぞれの周波数スペクトルを取得し、得られた周波数に対応する前記電圧の絶対値を算出する
ことを特徴とする請求項1記載の電磁波源探査方法。 - 前記絶対値算出ステップでは、
前記基準アンテナに生じた前記電圧と前記第2アンテナに生じた前記電圧との加算値の絶対値および差分値の絶対値を取得し、
前記角度算出ステップでは、
前記加算値の絶対値と前記差分値の絶対値を用いて前記電磁波源の方向角を算出する
ことを特徴とする請求項1記載の電磁波源探査方法。 - 請求項1記載の電磁波源探査方法をコンピュータに実行させることを特徴とする電磁波源探査プログラム。
- 同一平面上における基準位置からみた配置角度がそれぞれ異なる3本以上奇数本数のアンテナと、
請求項1記載の電磁波源探査方法を実行する演算装置と、
を備えたことを特徴とする電磁波源探査装置。 - 同一平面上における基準位置からみた配置角度がそれぞれ異なる3本以上奇数本数のアンテナと、
前記3本以上のアンテナそれぞれに同時刻に生じる前記電圧を測定してそれぞれの前記電圧の値を保持する測定器と、
請求項2記載の電磁波源探査方法を実行する演算装置と、
を備えたことを特徴とする電磁波源探査装置。 - 同一平面上における基準位置からみた配置角度がそれぞれ異なる3本以上奇数本数のアンテナと、
前記基準アンテナに生じた前記電圧と前記第2アンテナに生じた前記電圧とを測定しこれらの加算値および差分値を取得する測定器と、
請求項3記載の電磁波源探査方法を実行する演算装置と、
を備えたことを特徴とする電磁波源探査装置。 - 前記アンテナはプリント基板上に実装されていることを特徴とする請求項5記載の電磁波源探査装置。
- 前記3本以上のアンテナを組にしたアンテナモジュールを複数配置したアンテナモジュールアレイを備えることを特徴とする請求項8記載の電磁波源探査装置。
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