JP5313849B2 - 光導波路装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図1〜図3は本発明の第1実施形態の光導波路装置の製造方法を示す断面図である。
図5及び図6は本発明の第2実施形態の光導波路装置の製造方法を示す断面図である。
図9及び図10は本発明の第3実施形態の光導波路装置の製造方法を示す断面図である。第3実施形態の特徴は、光反射性樹脂層を光路変換ミラーとして利用するばかりではなく、光導波路を配線基板に接着する接着剤として兼用することにある。
図11及び図12は本発明の第4実施形態の光導波路装置の製造方法を示す断面図である。第4実施形態の特徴は、金属ペースト層を光路変換ミラーとして利用するばかりではなく、光導波路を配線基板に接着する接着剤として兼用することにある。第4実施形態では、第1実施形態と同一工程及び同一要素には同一符号を付してその説明を省略する。
Claims (6)
- 配線基板と、
前記配線基板の上に接着され、両端に光路変換傾斜面を備えた光導波路と、
前記光導波路の前記光路変換傾斜面に接して形成され、光反射性樹脂層又は金属ペースト層から形成された光路変換ミラーとを有し、
前記光導波路は、前記光反射性樹脂層又は金属ペースト層によって前記配線基板に接着されており、前記光路変換傾斜面と接する前記光反射性樹脂層又は金属ペースト層が前記光路変換ミラーとして機能し、かつ、
前記光反射性樹脂層又は金属ペースト層は、前記光導波路の前記光路変換傾斜面の側方のみに部分的に形成されていることを特徴とする光導波路装置。 - 前記配線基板及び前記光導波路の上に形成され、前記配線基板の両端側の接続パッドに到達するビアボールと、前記光路変換傾斜面の上に配置された光透過用開口部とが設けられた絶縁樹脂層と、
前記ビアホールに充填された電極パッドと、
前記光導波路の一端側の前記光路変換傾斜面に光結合され、前記配線基板の一端側の前記電極パッドに接続された発光素子と、
前記光導波路の他端側の前記光路変換傾斜面に光結合され、前記配線基板の他端側の前記電極パッドに接続された受光素子とをさらに有することを特徴とする請求項1に記載の光導波路装置。 - 前記光反射性樹脂層は白色樹脂からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の光導波路装置。
- 配線基板の上に、両端に光路変換傾斜面を備える光導波路を接着する工程と、
前記光導波路の前記光路変換傾斜面に接するように、光反射性樹脂層又は金属ペースト層を、前記光導波路の前記光路変換傾斜面の側方のみに部分的に形成する工程と、
前記光反射性樹脂材又は金属ペースト材を硬化させることにより、前記光導波路の前記光路変換傾斜面に接する光路変換ミラーを得ると共に、前記光導波路を前記配線基板に接着する工程とを有し、
前記光路変換傾斜面と接する前記光反射性樹脂層又は金属ペースト層が前記光路変換ミラーとして機能することを特徴とする光導波路装置の製造方法。 - 前記光路変換ミラーを得る工程の後に、
前記配線基板及び前記光導波路の上に、前記配線基板の両端側の接続パッドに到達するビアボールと、前記光路変換傾斜面上に配置された光透過用開口部とが設けられた絶縁樹脂層を形成する工程と、
前記ビアホール内に電解めっきにより電極パッドを充填する工程と、
前記光導波路の一端側の前記光路変換傾斜面に光結合される発光素子を前記配線基板の一端側の前記電極パッドに接続すると共に、前記光導波路の他端側の前記光路変換傾斜面に光結合される受光素子を前記配線基板の他端側の前記電極パッドに接続する工程とをさらに有することを特徴とする請求項4に記載の光導波路装置の製造方法。 - 前記光反射性樹脂層は白色樹脂からなることを特徴とする請求項4又は5に記載の光導波路装置の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009271837A JP5313849B2 (ja) | 2009-11-30 | 2009-11-30 | 光導波路装置及びその製造方法 |
US12/946,198 US8903203B2 (en) | 2009-11-30 | 2010-11-15 | Optical waveguide device and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009271837A JP5313849B2 (ja) | 2009-11-30 | 2009-11-30 | 光導波路装置及びその製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011113039A JP2011113039A (ja) | 2011-06-09 |
JP2011113039A5 JP2011113039A5 (ja) | 2012-09-27 |
JP5313849B2 true JP5313849B2 (ja) | 2013-10-09 |
Family
ID=44068975
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009271837A Active JP5313849B2 (ja) | 2009-11-30 | 2009-11-30 | 光導波路装置及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8903203B2 (ja) |
JP (1) | JP5313849B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013003224A (ja) * | 2011-06-14 | 2013-01-07 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 光導波路及びその製造方法と光導波路装置 |
JP5845923B2 (ja) * | 2012-01-24 | 2016-01-20 | 日立金属株式会社 | 光モジュール及びその製造方法 |
JP5842714B2 (ja) * | 2012-03-30 | 2016-01-13 | 富士通株式会社 | 光導波路デバイス、および、光導波路デバイスの製造方法 |
KR101405611B1 (ko) | 2012-05-30 | 2014-06-10 | 엘지이노텍 주식회사 | 광 인쇄회로기판 및 이의 제조 방법 |
JP6105254B2 (ja) * | 2012-10-29 | 2017-03-29 | 新光電気工業株式会社 | 光導波路積層配線基板、光モジュール及び光導波路積層配線基板の製造方法 |
US8895429B2 (en) * | 2013-03-05 | 2014-11-25 | Eastman Kodak Company | Micro-channel structure with variable depths |
JP6235878B2 (ja) * | 2013-11-25 | 2017-11-22 | 新光電気工業株式会社 | 光導波路装置及びその製造方法 |
JP6460515B2 (ja) * | 2014-10-24 | 2019-01-30 | 日東電工株式会社 | 光電気混載基板およびその製法 |
US9721812B2 (en) * | 2015-11-20 | 2017-08-01 | International Business Machines Corporation | Optical device with precoated underfill |
JP2018105925A (ja) * | 2016-12-22 | 2018-07-05 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
DE102018105080A1 (de) | 2018-03-06 | 2019-09-12 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Halbleiterlaser |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09214003A (ja) * | 1996-01-31 | 1997-08-15 | New Japan Radio Co Ltd | 光半導体装置及びその製造方法 |
JP2002365457A (ja) | 2001-06-06 | 2002-12-18 | Sony Corp | 光導波路およびその製造方法、ならびに光信号伝送装置 |
CA2471963C (en) * | 2002-09-20 | 2012-07-10 | Toppan Printing Co., Ltd. | Optical waveguide and method of manufacturing the same |
US7091057B2 (en) * | 2003-12-19 | 2006-08-15 | Agency For Science, Technology And Research | Method of making a single-crystal-silicon 3D micromirror |
JP4587772B2 (ja) * | 2004-10-22 | 2010-11-24 | イビデン株式会社 | 多層プリント配線板 |
JP2006267346A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Fuji Xerox Co Ltd | 光学部材の製造方法 |
WO2007063813A1 (ja) | 2005-12-02 | 2007-06-07 | Kyocera Corporation | 光導波路部材、光配線基板、光配線モジュール及び表示装置、並びに光導波路部材および光配線基板の製造方法 |
JP4668049B2 (ja) * | 2005-12-02 | 2011-04-13 | 京セラ株式会社 | 光配線モジュール |
JP2008033217A (ja) * | 2006-07-06 | 2008-02-14 | Kuraray Co Ltd | 反射型スクリーン及び前面投射型表示システム |
JP4538484B2 (ja) | 2006-10-24 | 2010-09-08 | 太陽インキ製造株式会社 | 光硬化性熱硬化性樹脂組成物およびそれを用いたプリント配線板 |
JP4704322B2 (ja) * | 2006-11-30 | 2011-06-15 | 新光電気工業株式会社 | 光電気混載基板の製造方法 |
KR101084407B1 (ko) * | 2006-12-26 | 2011-11-18 | 미쓰이 가가쿠 가부시키가이샤 | 광 전기 혼재 기판 및 그의 제조 방법 |
JP2008250007A (ja) | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Fuji Xerox Co Ltd | 光電子回路基板 |
JP4674596B2 (ja) * | 2007-06-04 | 2011-04-20 | 富士ゼロックス株式会社 | 光電子回路基板の製造方法 |
JP4925979B2 (ja) * | 2007-09-05 | 2012-05-09 | 新光電気工業株式会社 | 光導波路の形成方法、光導波路、および光電混載回路 |
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JP2010028006A (ja) * | 2008-07-24 | 2010-02-04 | Sony Corp | 光学装置 |
JP2010139562A (ja) * | 2008-12-09 | 2010-06-24 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 光導波路、光導波路搭載基板及び光送受信装置 |
WO2010074186A1 (en) * | 2008-12-22 | 2010-07-01 | Panasonic Electric Works Co., Ltd. | Method for forming mirror-reflecting film in optical wiring board, and optical wiring board |
-
2009
- 2009-11-30 JP JP2009271837A patent/JP5313849B2/ja active Active
-
2010
- 2010-11-15 US US12/946,198 patent/US8903203B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011113039A (ja) | 2011-06-09 |
US20110129182A1 (en) | 2011-06-02 |
US8903203B2 (en) | 2014-12-02 |
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A521 | Written amendment |
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