JP5281786B2 - (Li,Na,K)(Nb,Ta)O3系圧電材料、及びその製造方法 - Google Patents
(Li,Na,K)(Nb,Ta)O3系圧電材料、及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5281786B2 JP5281786B2 JP2007295936A JP2007295936A JP5281786B2 JP 5281786 B2 JP5281786 B2 JP 5281786B2 JP 2007295936 A JP2007295936 A JP 2007295936A JP 2007295936 A JP2007295936 A JP 2007295936A JP 5281786 B2 JP5281786 B2 JP 5281786B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- less
- particle size
- piezoelectric material
- temperature
- sintered body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/495—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on vanadium, niobium, tantalum, molybdenum or tungsten oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. vanadates, niobates, tantalates, molybdates or tungstates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01G—COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
- C01G33/00—Compounds of niobium
- C01G33/006—Compounds containing, besides niobium, two or more other elements, with the exception of oxygen or hydrogen
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01G—COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
- C01G35/00—Compounds of tantalum
- C01G35/006—Compounds containing, besides tantalum, two or more other elements, with the exception of oxygen or hydrogen
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/09—Forming piezoelectric or electrostrictive materials
- H10N30/093—Forming inorganic materials
- H10N30/097—Forming inorganic materials by sintering
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
- H10N30/8542—Alkali metal based oxides, e.g. lithium, sodium or potassium niobates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
- C01P2002/30—Three-dimensional structures
- C01P2002/34—Three-dimensional structures perovskite-type (ABO3)
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
- C01P2002/50—Solid solutions
- C01P2002/52—Solid solutions containing elements as dopants
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2004/00—Particle morphology
- C01P2004/01—Particle morphology depicted by an image
- C01P2004/03—Particle morphology depicted by an image obtained by SEM
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
- C01P2006/10—Solid density
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
- C01P2006/40—Electric properties
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3201—Alkali metal oxides or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3201—Alkali metal oxides or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3203—Lithium oxide or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3241—Chromium oxides, chromates, or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3251—Niobium oxides, niobates, tantalum oxides, tantalates, or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3262—Manganese oxides, manganates, rhenium oxides or oxide-forming salts thereof, e.g. MnO
- C04B2235/3267—MnO2
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/327—Iron group oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3272—Iron oxides or oxide forming salts thereof, e.g. hematite, magnetite
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/327—Iron group oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3275—Cobalt oxides, cobaltates or cobaltites or oxide forming salts thereof, e.g. bismuth cobaltate, zinc cobaltite
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/327—Iron group oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3279—Nickel oxides, nickalates, or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3281—Copper oxides, cuprates or oxide-forming salts thereof, e.g. CuO or Cu2O
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3284—Zinc oxides, zincates, cadmium oxides, cadmiates, mercury oxides, mercurates or oxide forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/44—Metal salt constituents or additives chosen for the nature of the anions, e.g. hydrides or acetylacetonate
- C04B2235/449—Organic acids, e.g. EDTA, citrate, acetate, oxalate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
- C04B2235/54—Particle size related information
- C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
- C04B2235/5445—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof submicron sized, i.e. from 0,1 to 1 micron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
- C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
- C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
- C04B2235/6562—Heating rate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
- C04B2235/66—Specific sintering techniques, e.g. centrifugal sintering
- C04B2235/661—Multi-step sintering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/76—Crystal structural characteristics, e.g. symmetry
- C04B2235/768—Perovskite structure ABO3
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/77—Density
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/78—Grain sizes and shapes, product microstructures, e.g. acicular grains, equiaxed grains, platelet-structures
- C04B2235/782—Grain size distributions
- C04B2235/783—Bimodal, multi-modal or multi-fractional
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/78—Grain sizes and shapes, product microstructures, e.g. acicular grains, equiaxed grains, platelet-structures
- C04B2235/785—Submicron sized grains, i.e. from 0,1 to 1 micron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/78—Grain sizes and shapes, product microstructures, e.g. acicular grains, equiaxed grains, platelet-structures
- C04B2235/786—Micrometer sized grains, i.e. from 1 to 100 micron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/79—Non-stoichiometric products, e.g. perovskites (ABO3) with an A/B-ratio other than 1
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/42—Piezoelectric device making
Description
(但し、0.90≦a≦1.2、0.2≦x≦0.8、0.02≦y≦0.2、及び0.05≦z≦0.5)
で表される前記[1]または[2]に記載の(Li,Na,K)(Nb,Ta)O3系圧電材料。
組成式:{Liy(Na1−xKx)1−y}a(Nb1−zTaz)O3 (1)
(但し、0.90≦a≦1.2、0.2≦x≦0.8、0.02≦y≦0.2、及び0.05≦z≦0.5)
{Liy(Na1−xKx)1−y}a(Nb1−zTaz)O3(x=0.450,y=0.060,z=0.082,a=1.01)+0.02mol%MnO2の組成から成る仮焼/粉砕粉(粒径0.2〜0.5μm、粒形状は球状)をペレット状に成形した(ペレット状試料)。このペレット状試料を、大気中で200℃/hの速度で焼結温度970℃まで昇温した。970℃で3時間保持した後、炉冷した。X線回折プロファイルを測定し、半値幅中点法によりc軸とa軸の比のc/a(正方晶性)を算出した。走査型電子顕微鏡(SEM)により、焼結体表面の微構造を観察した。アルキメデス法による嵩密度を測定した。得られた焼結体の表面微構造(図4のSEM写真を参照)から、縦軸を面積基準として、等面積円相当径(直径)による粒径分布を解析した。短冊状に加工した後、シリコンオイル中で5kV/mm×15min(室温)の条件で分極処理を行い、電気的特性(比誘電率ε,圧電定数d31,誘電損失tanδ,電界誘起歪S4000,昇温時の誘電率が最大となる温度TOT、等)を評価した。S4000とは、4kV/mmの電界を加えた時の31方向(電界印加方向に対して垂直方向)の歪量である。これらの結果を表1と表2に示す。
比較例1で示したペレット状試料を、大気中で200℃/hの速度で800℃まで昇温し、800℃で3時間保持した後、200℃/hの速度で焼結温度970℃まで昇温した。970℃で3時間保持した後、炉冷した。得られた焼結体の表面微構造から、縦軸を面積基準として、等面積円相当径(直径)による粒径分布を解析した。比較例1で述べた特性と結晶構造を評価した。これらの結果を表1に示す。
比較例1で示したペレット状試料を、大気中で200℃/hの速度で850℃まで昇温し、850℃で3時間保持した後、200℃/hの速度で焼結温度970℃まで昇温した。970℃で3時間保持した後、炉冷した。得られた焼結体の表面微構造(図1のSEM写真を参照)から、縦軸を面積基準として、等面積円相当径(直径)による粒径分布を解析した。比較例1で述べた特性と結晶構造を評価した。これらの結果を表1〜表3に示す。
比較例1で示したペレット状試料を、大気中で200℃/hの速度で900℃まで昇温し、900℃で3時間保持した後、200℃/hの速度で焼結温度970℃まで昇温した。970℃で3時間保持した後、炉冷した。得られた焼結体の表面微構造から、縦軸を面積基準として、等面積円相当径(直径)による粒径分布を解析した。比較例1で述べた特性と結晶構造を評価した。これらの結果を表1に示す。
比較例1で示したペレット状試料を、大気中で200℃/hの速度で950℃まで昇温し、950℃で3時間保持した後、200℃/hの速度で焼結温度970℃まで昇温した。970℃で3時間保持した後、炉冷した。得られた焼結体の表面微構造から、縦軸を面積基準として、等面積円相当径(直径)による粒径分布を解析した。比較例1で述べた特性と結晶構造を評価した。これらの結果を表1に示す。
比較例1で示したペレット状試料を、大気中で200℃/hの速度で850℃まで昇温し、850℃で6時間保持した後、200℃/hの速度で焼結温度970℃まで昇温した。970℃で3時間保持した後、炉冷した。得られた焼結体の表面微構造(図2のSEM写真を参照)から、縦軸を面積基準として、等面積円相当径(直径)による粒径分布を解析した。比較例1で述べた特性と結晶構造を評価した。これらの結果を表2に示す。
比較例1で示したペレット状試料を、大気中で200℃/hの速度で850℃まで昇温し、850℃で10時間保持した後、200℃/hの速度で焼結温度970℃まで昇温した。970℃で3時間保持した後、炉冷した。得られた焼結体の表面微構造(図3のSEM写真を参照)から、縦軸を面積基準として、等面積円相当径(直径)による粒径分布を解析した。比較例1で述べた特性と結晶構造を評価した。これらの結果を表2に示す。
比較例1で示したペレット状試料を、大気中で200℃/hの速度で850℃まで昇温し、850℃で20時間保持した後、200℃/hの速度で焼結温度970℃まで昇温した。970℃で3時間保持した後、炉冷した。得られた焼結体の表面微構造(図5のSEM写真を参照)から、縦軸を面積基準として、等面積円相当径(直径)による粒径分布を解析した。比較例1で述べた特性と結晶構造を評価した。これらの結果を表2に示す。
{Liy(Na1−xKx)1−y}a(Nb1−zTaz)O3(x=0.450,y=0.060,z=0.082,a=1.01)の組成から成る仮焼/粉砕粉(粒径0.2〜0.5μm、粒形状は球状)をペレット状に成形した(ペレット状試料)。このペレット状試料を、大気中で200℃/hの速度で850℃まで昇温し、850℃で3時間保持した後、200℃/hの速度で焼結温度1050℃まで昇温した。1050℃で3時間保持した後、炉冷した。得られた焼結体の表面微構造から、縦軸を面積基準として、等面積円相当径(直径)による粒径分布を解析した。比較例1で述べた特性と結晶構造を評価した。これらの結果を表3に示す。
{Liy(Na1−xKx)1−y}a(Nb1−zTaz)O3(x=0.450,y=0.060,z=0.082,a=1.01)+0.01mol%Cr2O3の組成から成る仮焼/粉砕粉(粒径0.2〜0.5μm、粒形状は球状)をペレット状に成形した(ペレット状試料)。このペレット状試料を、大気中で200℃/hの速度で850℃まで昇温し、850℃で3時間保持した後、200℃/hの速度で焼結温度970℃まで昇温した。970℃で3時間保持した後、炉冷した。得られた焼結体の表面微構造から、縦軸を面積基準として、等面積円相当径(直径)による粒径分布を解析した。比較例1で述べた特性と結晶構造を評価した。これらの結果を表3に示す。
{Liy(Na1−xKx)1−y}a(Nb1−zTaz)O3(x=0.450,y=0.060,z=0.082,a=1.01)+0.01mol%Fe2O3の組成から成る仮焼/粉砕粉(粒径0.2〜0.5μm、粒形状は球状)をペレット状に成形した(ペレット状試料)。このペレット状試料を、大気中で200℃/hの速度で850℃まで昇温し、850℃で3時間保持した後、200℃/hの速度で焼結温度970℃まで昇温した。970℃で3時間保持した後、炉冷した。得られた焼結体の表面微構造から、縦軸を面積基準として、等面積円相当径(直径)による粒径分布を解析した。比較例1で述べた特性と結晶構造を評価した。これらの結果を表3に示す。
{Liy(Na1−xKx)1−y}a(Nb1−zTaz)O3(x=0.450,y=0.060,z=0.082,a=1.01)+0.02mol%CoOの組成から成る仮焼/粉砕粉(粒径0.2〜0.5μm、粒形状は球状)をペレット状に成形した(ペレット状試料)。このペレット状試料を、大気中で200℃/hの速度で850℃まで昇温し、850℃で3時間保持した後、200℃/hの速度で焼結温度970℃まで昇温した。970℃で3時間保持した後、炉冷した。得られた焼結体の表面微構造から、縦軸を面積基準として、等面積円相当径(直径)による粒径分布を解析した。比較例1で述べた特性と結晶構造を評価した。これらの結果を表3に示す。
{Liy(Na1−xKx)1−y}a(Nb1−zTaz)O3(x=0.450,y=0.060,z=0.082,a=1.01)+0.02mol%NiOの組成から成る仮焼/粉砕粉(粒径0.2〜0.5μm、粒形状は球状)をペレット状に成形した(ペレット状試料)。このペレット状試料を、大気中で200℃/hの速度で850℃まで昇温し、850℃で3時間保持した後、200℃/hの速度で焼結温度970℃まで昇温した。970℃で3時間保持した後、炉冷した。得られた焼結体の表面微構造から、縦軸を面積基準として、等面積円相当径(直径)による粒径分布を解析した。比較例1で述べた特性と結晶構造を評価した。これらの結果を表3に示す。
{Liy(Na1−xKx)1−y}a(Nb1−zTaz)O3(x=0.450,y=0.060,z=0.082,a=1.01)+0.02mol%CuOの組成から成る仮焼/粉砕粉(粒径0.2〜0.5μm、粒形状は球状)をペレット状に成形した(ペレット状試料)。このペレット状試料を、大気中で200℃/hの速度で850℃まで昇温し、850℃で3時間保持した後、200℃/hの速度で焼結温度970℃まで昇温した。970℃で3時間保持した後、炉冷した。得られた焼結体の表面微構造から、縦軸を面積基準として、等面積円相当径(直径)による粒径分布を解析した。比較例1で述べた特性と結晶構造を評価した。これらの結果を表3に示す。
{Liy(Na1−xKx)1−y}a(Nb1−zTaz)O3(x=0.450,y=0.060,z=0.082,a=1.01)+0.02mol%ZnOの組成から成る仮焼/粉砕粉(粒径0.2〜0.5μm、粒形状は球状)をペレット状に成形した(ペレット状試料)。このペレット状試料を、大気中で200℃/hの速度で850℃まで昇温し、850℃で3時間保持した後、200℃/hの速度で焼結温度970℃まで昇温した。970℃で3時間保持した後、炉冷した。得られた焼結体の表面微構造から、縦軸を面積基準として、等面積円相当径(直径)による粒径分布を解析した。比較例1で述べた特性と結晶構造を評価した。これらの結果を表3に示す。
Claims (4)
- 焼結体の表面微構造が、粒径5μm未満の微細粒、粒径5μm以上15μm未満の中間粒、粒径15μm以上100μm以下の粗大粒からなり、
(Li,Na,K)(Nb,Ta)O3を構成する全ての金属元素のモル数を1molとした場合のモル比で、Liが0.009〜0.109、Naが0.075〜0.427、Kが0.075〜0.427、Nbが0.227〜0.500、Taが0.022〜0.263を含み、かつ
Mn,Cr,Fe,Co,Ni,Cu,及びZnからなる群から選択される少なくとも1種の金属元素を含有し、
Mn、Cr、Fe、Co、Ni、Cu、およびZnからなる群から選択される少なくとも1種の金属元素のペロブスカイト型酸化物100モル部に対する金属原子換算の添加量が3モル部以下である(Li,Na,K)(Nb,Ta)O3系圧電材料。 - 面積基準で前記微細粒を10〜60%、前記粗大粒を1%以上含む請求項1に記載の(Li,Na,K)(Nb,Ta)O3系圧電材料。
- 組成式:{Liy(Na1−xKx)1−y}a(Nb1−zTaz)O3
(但し、0.90≦a≦1.2、0.2≦x≦0.8、0.02≦y≦0.2、及び0.05≦z≦0.5)
で表される請求項1または2に記載の(Li,Na,K)(Nb,Ta)O3系圧電材料。 - (Li,Na,K)(Nb,Ta)O3で表される組成となるように金属元素を含有する化合物を混合して仮焼した後に粉砕して仮焼/粉砕粉を得、前記仮焼/粉砕粉に、Mn,Cr,Fe,Co,Ni,Cu,及びZnからなる群から選択される少なくとも1種の金属元素を添加し、昇温過程において、800〜900℃の範囲内の一定温度で3〜10時間の一定時間維持するキープ工程を行った後、さらに昇温して焼結温度にて焼結する、焼結体の表面微構造が粒径5μm未満の微細粒、粒径5μm以上15μm未満の中間粒、粒径15μm以上100μm以下の粗大粒からなる(Li,Na,K)(Nb,Ta)O3系圧電材料の製造方法であって、
該(Li,Na,K)(Nb,Ta)O3系圧電材料は、(Li,Na,K)(Nb,Ta)O3を構成する全ての金属元素のモル数を1molとした場合のモル比で、Liが0.009〜0.109、Naが0.075〜0.427、Kが0.075〜0.427、Nbが0.227〜0.500、Taが0.022〜0.263を含み、Mn、Cr、Fe、Co、Ni、Cu、およびZnからなる群から選択される少なくとも1種の金属元素のペロブスカイト型酸化物100モル部に対する金属原子換算の添加量が3モル部以下である(Li,Na,K)(Nb,Ta)O3系圧電材料の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007295936A JP5281786B2 (ja) | 2007-11-14 | 2007-11-14 | (Li,Na,K)(Nb,Ta)O3系圧電材料、及びその製造方法 |
EP20080253658 EP2060547A3 (en) | 2007-11-14 | 2008-11-07 | (Li, Na, K) (Nb, Ta) O3 Based Piezoelectric material and manufacturing method thereof |
US12/267,717 US7893601B2 (en) | 2007-11-14 | 2008-11-10 | (Li, Na, K)(Nb, Ta) O3 based piezoelectric material |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007295936A JP5281786B2 (ja) | 2007-11-14 | 2007-11-14 | (Li,Na,K)(Nb,Ta)O3系圧電材料、及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009120443A JP2009120443A (ja) | 2009-06-04 |
JP5281786B2 true JP5281786B2 (ja) | 2013-09-04 |
Family
ID=40282334
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007295936A Expired - Fee Related JP5281786B2 (ja) | 2007-11-14 | 2007-11-14 | (Li,Na,K)(Nb,Ta)O3系圧電材料、及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7893601B2 (ja) |
EP (1) | EP2060547A3 (ja) |
JP (1) | JP5281786B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8535865B2 (en) | 2007-08-21 | 2013-09-17 | Angstrom Technologies, Inc. | Stable emissive toner composition system and method |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8282854B2 (en) * | 2008-01-08 | 2012-10-09 | Ngk Insulators, Ltd. | (Li, Na, K)(Nb, Ta, Sb)O3 based piezoelectric material and manufacturing method thereof |
JP2009184904A (ja) * | 2008-01-08 | 2009-08-20 | Ngk Insulators Ltd | (Li,Na,K)(Nb,Ta,Sb)O3系圧電材料、及びその製造方法 |
JP5011227B2 (ja) * | 2008-07-28 | 2012-08-29 | 日本碍子株式会社 | (Li,Na,K,Bi)(Nb,Ta)O3系圧電材料及びその製造方法 |
JP2010053021A (ja) * | 2008-07-28 | 2010-03-11 | Ngk Insulators Ltd | 圧電/電歪セラミックス焼結体及び散漫散乱強度比の算出方法 |
KR101228736B1 (ko) | 2011-04-04 | 2013-02-01 | 창원대학교 산학협력단 | 나트륨 칼륨 니오븀 탄탈륨 산화물 계통의 무연 압전 세라믹스의 조성물 및 그 제조방법 |
KR101236893B1 (ko) | 2011-07-13 | 2013-02-25 | 한국기계연구원 | 고상합성법을 이용하여 제조된 (Na,K)NbO3계 단결정 무연 압전재료 및 이의 제조방법 |
JP5967532B2 (ja) | 2012-07-26 | 2016-08-10 | 国立大学法人名古屋大学 | 圧電セラミックス |
JP6327914B2 (ja) * | 2014-04-11 | 2018-05-23 | 日本特殊陶業株式会社 | 無鉛圧電磁器組成物、それを用いた圧電素子、及び、無鉛圧電磁器組成物の製造方法 |
CN105461311B (zh) * | 2016-01-15 | 2018-06-12 | 北京工业大学 | Sol-gel法制备NaNbO3粉体及烧结获得单晶的方法 |
JP7077704B2 (ja) * | 2018-03-23 | 2022-05-31 | Tdk株式会社 | 圧電組成物および圧電素子 |
CN110128139A (zh) * | 2019-06-19 | 2019-08-16 | 哈尔滨理工大学 | 一种具有高压电和高铁电性能的knn基陶瓷及其制备方法 |
JP7319848B2 (ja) * | 2019-07-04 | 2023-08-02 | 住友化学株式会社 | 圧電積層体、圧電素子および圧電積層体の製造方法 |
JP7399752B2 (ja) | 2020-03-05 | 2023-12-18 | 住友化学株式会社 | 圧電膜、圧電積層体、圧電素子および圧電積層体の製造方法 |
WO2021002434A1 (ja) * | 2019-07-04 | 2021-01-07 | 住友化学株式会社 | 圧電膜、圧電積層体、圧電素子および圧電積層体の製造方法 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0625024B2 (ja) * | 1988-11-16 | 1994-04-06 | 住友金属鉱山株式会社 | 誘電体磁器の製造方法 |
JPH0731936B2 (ja) * | 1989-10-25 | 1995-04-10 | 新日本製鐵株式会社 | 高周波用誘電体共振器の製造方法 |
JPH06144837A (ja) * | 1992-11-10 | 1994-05-24 | Mizusawa Ind Chem Ltd | コロンバイト型ニオブ酸塩の合成法及びそれを用いるペロブスカイト型化合物の合成法 |
JPH11292627A (ja) * | 1998-04-07 | 1999-10-26 | Nissan Motor Co Ltd | 圧電材料およびその製造方法 |
JP3379479B2 (ja) * | 1998-07-01 | 2003-02-24 | セイコーエプソン株式会社 | 機能性薄膜、圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、プリンタ、圧電体素子の製造方法およびインクジェット式記録ヘッドの製造方法、 |
JP3508682B2 (ja) * | 1999-03-02 | 2004-03-22 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエータ、インクジェット式記録ヘッド、これらの製造方法及びインクジェットプリンタ |
JP4069578B2 (ja) * | 2000-09-08 | 2008-04-02 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電体膜及びこれを備えた圧電体素子 |
US6702952B2 (en) * | 2001-12-19 | 2004-03-09 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive material and method for preparing the same |
JP2004244300A (ja) * | 2003-01-23 | 2004-09-02 | Denso Corp | 圧電磁器組成物及びその製造方法,並びに圧電素子及び誘電素子 |
JP4480967B2 (ja) * | 2003-01-23 | 2010-06-16 | 株式会社デンソー | 圧電磁器組成物,圧電素子,及び誘電素子 |
JP4926389B2 (ja) * | 2004-06-17 | 2012-05-09 | 株式会社豊田中央研究所 | 結晶配向セラミックス、及びその製造方法 |
US7477004B2 (en) * | 2004-09-29 | 2009-01-13 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive porcelain composition, piezoelectric/electrostrictive article, and piezoelectric/electrostrictive film type element |
JP2006124251A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Denso Corp | 結晶配向セラミックスの製造方法 |
JP4541985B2 (ja) * | 2004-10-29 | 2010-09-08 | 株式会社デンソー | 多結晶体の製造方法 |
JP2006202990A (ja) * | 2005-01-20 | 2006-08-03 | Ngk Insulators Ltd | 圧電素子 |
JP5348885B2 (ja) * | 2005-03-08 | 2013-11-20 | 日本碍子株式会社 | 圧電/電歪磁器組成物及びその製造方法 |
JP5044902B2 (ja) * | 2005-08-01 | 2012-10-10 | 日立電線株式会社 | 圧電薄膜素子 |
WO2007052982A1 (en) * | 2005-11-04 | 2007-05-10 | Ceracomp Co., Ltd. | Piezoelectric single crystal and method of production of same, piezoelectric element, and dielectric element |
CN101038950B (zh) * | 2006-03-17 | 2010-06-23 | 日本碍子株式会社 | 压电陶瓷及其制造方法 |
JP5219388B2 (ja) * | 2006-03-17 | 2013-06-26 | 日本碍子株式会社 | 圧電セラミックス及びその製造方法 |
JP4258530B2 (ja) * | 2006-06-05 | 2009-04-30 | 日立電線株式会社 | 圧電薄膜素子 |
JP4800989B2 (ja) * | 2006-11-15 | 2011-10-26 | 日本碍子株式会社 | 圧電/電歪材料、圧電/電歪体、及び圧電/電歪素子 |
JP5021452B2 (ja) * | 2007-02-27 | 2012-09-05 | 日本碍子株式会社 | 圧電/電歪磁器組成物および圧電/電歪素子 |
JP4299360B2 (ja) * | 2007-08-21 | 2009-07-22 | 富士フイルム株式会社 | 圧電素子及びそれを用いた液体吐出装置 |
-
2007
- 2007-11-14 JP JP2007295936A patent/JP5281786B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-11-07 EP EP20080253658 patent/EP2060547A3/en not_active Withdrawn
- 2008-11-10 US US12/267,717 patent/US7893601B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8535865B2 (en) | 2007-08-21 | 2013-09-17 | Angstrom Technologies, Inc. | Stable emissive toner composition system and method |
US9104126B2 (en) | 2007-08-21 | 2015-08-11 | Angstrom Technologies, Inc. | Stable emissive toner composition system and method |
US9470997B2 (en) | 2007-08-21 | 2016-10-18 | Angstrom Technologies, Inc. | Stable emissive toner composition system and method |
US9823594B2 (en) | 2007-08-21 | 2017-11-21 | Angstrom Technologies, Inc. | Stable emissive toner composition system and method |
US10082744B2 (en) | 2007-08-21 | 2018-09-25 | Angstrom Technologies, Inc. | Stable emissive toner composition system and method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2060547A3 (en) | 2012-03-07 |
US7893601B2 (en) | 2011-02-22 |
US20090121589A1 (en) | 2009-05-14 |
EP2060547A2 (en) | 2009-05-20 |
JP2009120443A (ja) | 2009-06-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5281786B2 (ja) | (Li,Na,K)(Nb,Ta)O3系圧電材料、及びその製造方法 | |
JP4849338B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
KR101812507B1 (ko) | 세라믹 | |
KR101158444B1 (ko) | 압전 세라믹스 및 그 제조 방법 및 압전 디바이스 | |
KR101191246B1 (ko) | 압전 세라믹스 및 그 제조 방법 및 압전 디바이스 | |
JPWO2007094115A1 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
Chen et al. | Electromechanical properties and morphotropic phase boundary of Na 0.5 Bi 0.5 TiO 3-K 0.5 Bi 0.5 TiO 3-BaTiO 3 lead-free piezoelectric ceramics | |
US20130162108A1 (en) | Piezoelectric ceramic and piezoelectric device | |
JP5011227B2 (ja) | (Li,Na,K,Bi)(Nb,Ta)O3系圧電材料及びその製造方法 | |
JP5281782B2 (ja) | (Li,Na,K)(Nb,Ta)O3系圧電材料の製造方法 | |
CN100371298C (zh) | 晶粒取向陶瓷及其制造方法 | |
US8124047B2 (en) | Method for manufacturing (Li, Na, K)(Nb, Ta)O3 type piezoelectric material | |
JP5967532B2 (ja) | 圧電セラミックス | |
JP2011088786A (ja) | 圧電セラミックス | |
JP5550402B2 (ja) | 圧電磁器およびそれを用いた圧電素子 | |
Lee et al. | Preparation and piezoelectric properties of CeO2-added (Na0. 475K0. 475Li0. 05)(Nb0. 92Ta0. 05Sb0. 03) O3 lead-free ceramics | |
JP5550401B2 (ja) | 圧電磁器およびそれを用いた圧電素子 | |
JP5036758B2 (ja) | 圧電磁器およびそれを用いた圧電素子 | |
US8282854B2 (en) | (Li, Na, K)(Nb, Ta, Sb)O3 based piezoelectric material and manufacturing method thereof | |
JP2006124251A (ja) | 結晶配向セラミックスの製造方法 | |
JP5190894B2 (ja) | 圧電体又は誘電体磁器組成物並びに圧電体デバイス及び誘電体デバイス | |
JP4102308B2 (ja) | 圧電/電歪材料及びその製造方法 | |
JP2009184904A (ja) | (Li,Na,K)(Nb,Ta,Sb)O3系圧電材料、及びその製造方法 | |
Kaigawa et al. | (Li, Na, K)(Nb, Ta) O 3 based piezoelectric material | |
JP2013128002A (ja) | 圧電/電歪体膜の製造方法及びその製造に用いられる粉末組成物 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100818 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110628 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110816 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111013 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120529 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120705 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130108 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130226 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130514 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130527 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5281786 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |