JP5180590B2 - 積層型光電変換装置 - Google Patents
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Description
図2は、本発明の実施例1において作製された集積型シリコンハイブリッド太陽電池を模式的に示す断面図である。この太陽電池の作製においては、まず透光性基板1として910mm×455mm×4mmの白板ガラスが用いられた。透光性基板1の上面上には、微細な表面凹凸構造を有する酸化錫の透明導電膜2が熱CVD法によって形成された。得られた透明導電膜2において、厚さは0.8μm、日本電色社製ヘイズメータNDH5000W型にてC光源で透明導電膜2側から測定したヘイズ率は15%、そしてシート抵抗は12Ω/□であった。また、原子間力顕微鏡(AFM)による測定にはNano−Rシステム(Pacific Nanotechnology社製)のノンコンタクトモードが用いられ、一辺が5μmの正方形領域を各辺に沿って256分割して観察したAFM像から得られたSdrは47%であった。
本発明の実施例2による集積型シリコンハイブリッド太陽電池においては、実施例1に比べて、透明導電膜2のヘイズ率が27%、シート抵抗が9Ω/□、そしてSdrが32%にそれぞれ変更されたことのみにおいて異なっていた。実施例2で作製されたミニモジュールの初期と安定化後に測定された出力特性結果も表1に示されている。
本発明の実施例3による集積型シリコンハイブリッド太陽電池においては、実施例1に比べて、非晶質i型シリコン系光電変換層3iの厚さが0.09μmに変更され、かつ結晶質i型シリコン系光電変換層4iの厚さが0.3μmに変更されたことのみにおいて異なっていた。実施例3で作製されたミニモジュールの初期と安定化後に測定された出力特性結果も表1に示されている。
本発明の実施例4〜6による集積型シリコンハイブリッド太陽電池においては、実施例1に比べて、非晶質i型シリコン系光電変換層3iと結晶質i型シリコン系光電変換層4iの厚さが種々に変更されたことのみにおいて異なっていた。実施例4〜6で作製されたミニモジュールの初期に測定された出力特性結果も表1に示されている。
比較例1による集積型シリコンハイブリッド太陽電池においては、実施例1に比べて、結晶化前i型シリコン層3biとn型シリコンオキサイド層3nとの代わりに、結晶質n型シリコン層を厚さ30nmに形成したことのみにおいて異なっていた。比較例1で作製されたミニモジュールの初期に測定された出力特性結果も表1に示されている。
比較例2による集積型シリコンハイブリッド太陽電池においては、実施例6に比べて、結晶化前i型シリコン層3biとn型シリコンオキサイド層3nとの代わりに、結晶質n型シリコン層を厚さ30nmに形成したことのみにおいて異なっていた。比較例2で作製されたミニモジュールの初期に測定された出力特性結果も表1に示されている。
比較例3と4による集積型シリコンハイブリッド太陽電池においては、比較例1に比べて、非晶質i型シリコン系光電変換層3iと結晶質i型シリコン系光電変換層4iの厚さが変更されたことのみにおいて異なっていた。比較例3と4で作製されたミニモジュールの初期と安定化後に測定された出力特性結果も表1に示されている。
実施例7による集積型シリコンハイブリッド太陽電池においては、実施例1に比べて、非晶質i型シリコン系光電変換層3iを厚さ0.04μmの非晶質i型シリコンゲルマニウム光電変換層に変更し、かつ結晶質i型シリコン系光電変換層4iの厚さを0.55μmに変更したことのみにおいて異なっていた。
実施例8と9による集積型シリコンハイブリッド太陽電池においては、実施例7に比べて、非晶質i型シリコンゲルマニウム光電変換層3iの厚さが0.03μmと0.05μmにそれぞれ変更され、かつ結晶質i型シリコン系光電変換層4iの厚さが0.4μmと0.7μmにそれぞれ変更されたことのみにおいて異なっていた。これらの実施例8と9で作製されたミニモジュールに関しても、測定された初期の出力特性が表2に示されている。
比較例5による集積型シリコンハイブリッド太陽電池においては、比較例1に比べて、非晶質i型シリコン系光電変換層3iが厚さ0.04μmの非晶質i型シリコンゲルマニウム光電変換層に変更され、かつ結晶質i型シリコン系光電変換層4iの厚さが0.55μmに変更されたことのみにおいて異なっていた。なお、非晶質i型シリコンゲルマニウム光電変換層3iの形成においては、実施例7と同様のプラズマCVD条件が用いられた。この比較例5で作製されたミニモジュールに関しても、測定された初期の出力特性が表2に示されている。
まず、透光性絶縁基板1iとして130mm×130mm×50μm厚のポリエチレンナフタレート(PEN)フィルムを用いた。透光性絶縁基板1iをそれより寸法の大きいガラス基板上に密着させ、シリコーン系粘着剤の付いたポリイミド(PI)テープでその4隅を固定した後、その一主面上に、RFスパッタ法により厚さ50nmのZnOから成る裏面下地層5uと厚さ90nmのシリコンから成る裏面光吸収層5v、厚さ200nmのAgから成る裏面金属層5m、および厚さ60nmのZnOから成る裏面透明反射層5tを基板温度200℃で形成した。なお得られた裏面金属層5mの表面には高さ0.03〜0.06μmの微小な凹凸が多数形成された。次に、裏面下地層5u、裏面光吸収層5v、裏面金属層5mおよび裏面透明反射層5t(以下、これらをまとめて裏面電極層5と呼ぶ)を複数の帯状パタ−ンへと分割するために、YAG基本波パルスレーザーを透光性絶縁基板1iに基板を通して照射することにより、幅50μmの裏面電極層分離溝5aを形成し、超音波洗浄および乾燥を行った。
次に、非晶質シリコン系光電変換ユニット3を形成するために、引き続きプラズマCVD装置を用いて厚さ10nmのn型シリコンオキサイド層(図示せず)、厚さ0.11μmの非晶質i型シリコン系光電変換層(図示せず)、厚さ10nmの非晶質p型シリコンカーバイド(p型a−SiC)層(図示せず)を順次積層した。
本発明の実施例11による集積型シリコンハイブリッド太陽電池においては、実施例10に比べて、非晶質i型シリコン系光電変換層3iの厚さが0.09μmに変更され、かつ結晶質i型シリコン系光電変換層4iの厚さが0.3μmに変更されたことのみにおいて異なっていた。実施例11で作製されたミニモジュールの初期と安定化後に測定された出力特性結果も表3に示されている。
本発明の実施例12、13による集積型シリコンハイブリッド太陽電池においては、実施例10に比べて、非晶質i型シリコン系光電変換層3iの厚さと結晶質i型シリコン系光電変換層4iの厚さが変更されたことのみにおいて異なっていた。実施例12、13で作製されたミニモジュールの初期に測定された出力特性結果も表3に示されている。
本発明の実施例14〜16による集積型シリコンハイブリッド太陽電池においては、実施例10に比べて、n型シリコンオキサイド層の厚さが変更されたことのみにおいて異なっていた。実施例14〜16で作製されたミニモジュールの初期に測定された出力特性結果も表3に示されている。
比較例6による集積型シリコンハイブリッド太陽電池においては、実施例10に比べて、n型シリコンオキサイド層の代わりに、結晶質n型シリコン層を厚さ30nmに形成したことのみにおいて異なっていた。比較例6で作製されたミニモジュールの初期に測定された出力特性結果も表3に示されている。
比較例7による集積型シリコンハイブリッド太陽電池においては、実施例13に比べて、n型シリコンオキサイド層の代わりに、結晶質n型シリコン層を厚さ30nmに形成したことのみにおいて異なっていた。比較例7で作製されたミニモジュールの初期に測定された出力特性結果も表3に示されている。
比較例8による集積型シリコンハイブリッド太陽電池においては、比較例6に比べて、非晶質i型シリコン系光電変換層3iと結晶質i型シリコン系光電変換層4iの厚さが変更されたことのみにおいて異なっていた。比較例8で作製されたミニモジュールの初期と安定化後に測定された出力特性結果も表3に示されている。
なお、逆タイプにおいては本実施例で用いたようなフレキシブル基板を用いる場合が多い。その場合、非晶質i型シリコン系光電変換層と結晶質i型シリコン系光電変換層の厚さが薄いほうが、基板への残留応力が小さく、従って基板の反りの抑制につながることは言うまでもない。
Claims (6)
- 非晶質シリコン系光電変換ユニットと結晶質シリコン系光電変換ユニットとを積層した積層型光電変換装置であって、
前記非晶質シリコン系光電変換ユニットは、第2導電型層と、非晶質シリコン系光電変換層と、第1導電型シリコンオキサイド層とを含み、
前記結晶質シリコン光電変換ユニットは、第2導電型シリコン層と、結晶質シリコン系光電変換層と、第1導電型層とを含み、
前記非晶質光電変換ユニットに含まれる非晶質シリコン系光電変換層の厚さが0.03μm以上で0.17μm未満であって、前記結晶質光電変換ユニットに含まれる結晶質シリコン系光電変換層の厚さが0.2μm以上で1.0μm未満であり、
前記非晶質光電変換ユニットに含まれる第1導電型シリコンオキサイド層と前記結晶質光電変換ユニットに含まれる第2導電型シリコン層とが互いに接合しており、
前記非晶質光電変換ユニットに含まれる第1導電型シリコンオキサイド層は、X線光電子分光法で測定した酸素量が35原子%以上であることを特徴とする積層型光電変換装置。 - 前記非晶質シリコン系光電変換層は、シリコンゲルマニウムからなることを特徴とする請求項1に記載の積層型光電変換装置。
- 前記非晶質光電変換ユニットに含まれる第1導電型シリコンオキサイド層の厚さが5nm以上で20nm未満であることを特徴とする請求項1または2に記載の積層型光電変換装置。
- 前記結晶質光電変換ユニット内において、前記結晶質シリコン系光電変換層の前記非晶質光電変換ユニットから遠い側に、さらに第1導電型シリコンオキサイド層を含むことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の積層型光電変換装置。
- 透明絶縁基板上に順に積層された透明電極層、前記非晶質光電変換ユニット、および前記結晶質光電変換ユニットが複数の短冊状の積層型光電変換セルを形成するように、複数の平行な直線状の分離溝によって分離されていて、かつそれらの複数のセルは前記分離溝に平行な複数の接続用溝を介して互いに電気的に直列接続されて集積化されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の積層型光電変換装置。
- 絶縁基板上に順に積層された前記結晶質光電変換ユニット、前記非晶質光電変換ユニット、および透明電極層が複数の短冊状の積層型光電変換セルを形成するように、複数の平行な直線状の分離溝によって分離されていて、かつそれらの複数のセルは前記分離溝に平行な複数の接続用溝を介して互いに電気的に直列接続されて集積化されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の積層型光電変換装置。
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