JP5173931B2 - 水素選択透過膜およびその製造方法 - Google Patents
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Description
しかし、固体高分子型燃料電池(PEFC)は触媒に白金を使用し、かつ、作動温度が低いため、電極触媒が少量のCOによって被毒し、特に高電流密度領域において性能劣化が著しいという欠点がある。このため、改質器で生成された改質ガス(水素リッチガス)に含有されるCO濃度を10ppm程度まで低減する必要がある。
このため、多孔質基体とPd合金膜の間の熱膨張率を有する材料からなる中間層を介在させて多孔質基体上にPd合金膜を形成することにより、昇温時や降温時にPd合金膜に作用する応力を緩和したもの(特許文献2)が開発されている。しかし、上記の中間層を備えた水素選択透過膜は、中間層が水素透過の点から阻害層となり、水素透過効率が悪いものであった。
このような問題を解消するために、Pd合金膜中に、多孔質基体とPd合金膜の間の熱膨張率を有する無機材料粒子(SiO2、Al2O3、ZrO2、TiO2、Cr2O3)を分散させたもの(特許文献3)が開発されている。
しかし、Pd合金膜に分散されている無機材料粒子はPd合金膜中の水素の拡散を阻害するものであり、無機材料粒子の含有量を必要最小限にしても、単位面積当りの水素透過流量が無機材料粒子を含有していないPd合金膜に比べて減少し、水素透過効率の向上には限界があった。また、無電解めっき法によって無機材料粒子を含有するPd合金膜を成膜するので、製膜速度が遅く量産に適していないという問題があった。さらに、Pd合金膜の表面に凹凸が発生し易く、同一面内でも水素透過性能にばらつきが生じるという問題もあった。
本発明は上述のような実情に鑑みてなされたものであり、水素精製において優れた水素透過効率を示し信頼性の高い水素選択透過膜と、このような水素選択透過膜を簡便に製造するための製造方法を提供することを目的とする。
本発明の他の態様として、前記ゼオライト粒子の平均粒子径は0.02〜2μmの範囲であるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記Pd合金膜形成工程では、Pdめっき液中にゼオライト粒子とともにPd合金膜を構成するための金属の酸化物を分散させるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記Pd合金膜形成工程では、Pdめっき液中に更に界面活性剤を添加するような構成とした。
[水素選択透過膜]
図1は、本発明の水素選択透過膜の一実施形態を示す部分断面図である。図1において、水素選択透過膜1は、複数の微細な貫通孔3を有する金属支持体2と、この金属支持体2の一方の面2a側に貫通孔3を覆うように配設されたPd合金膜4とを備えている。このPd合金膜4は、ゼオライトを分散含有するものである。尚、本発明では、Pd合金膜4は、Pd膜にゼオライトを分散含有するものも包含する。
水素選択透過膜1を構成する金属支持体2は、SUS304、SUS430等のオーステナイト系、フェライト系のステンレス鋼、銅、ニッケル等の電気導電性を有する材料を用いて作製することができ、厚みは10〜100μm、好ましくは20〜50μmの範囲内で適宜設定することができる。
このようなPd合金膜4の厚みは、単位面積当りの水素透過流量の向上の点から薄いほど好ましいが、例えば、0.3〜30μm、好ましくは1〜10μmの範囲内で適宜設定することができる。Pd合金膜4の厚みが0.3μm未満であると、ピンホール等の欠陥が生じ易く、また、30μmを超えると水素透過速度が低下するので好ましくない。
尚、上述の実施形態は例示であり、本発明の水素選択透過膜は、これらに限定されるものではない。
次に、本発明の水素選択透過膜の製造方法を説明する。
図2は、本発明の水素選択透過膜の製造方法の一実施形態を、上述の本発明の水素選択透過膜1を例として示す工程図である。
本発明の製造方法は、まず、エッチング工程において、複数の開口部を有するレジストパターンを金属支持体2の両面に形成し、このレジストパターンをマスクとして金属支持体2を表裏からエッチングして貫通孔3を穿設する(図2(A))。金属支持体2は、例えば、SUS304、SUS430等のオーステナイト系、フェライト系のステンレス鋼、銅、ニッケル等を使用することができる。金属支持体2の厚みは、例えば、10〜100μm、好ましくは20〜50μmの範囲で設定することができる。
次いで、導電性層形成工程において、金属支持体2の一方の面2bに絶縁層6を形成し、金属支持体2の他方の面2a側から電気めっきにより貫通孔3の内部を含む金属支持体2上に導電性層5を形成する(図2(B))。絶縁層6は、従来公知のレジスト材料、あるいは、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリカーボネートのようなフィルムを使用することができる。また、導電性層5は、後工程である除去工程での除去の容易さを考慮して、例えば、銅を用いて形成することができる。次に、金属支持体2上の導電性層5を研磨除去して金属支持体2の表面2aを露出させる(図2(C))。これにより、Pd合金膜4を形成するための平坦面が金属支持体2に得られる。
このような本発明の水素選択透過膜の製造方法は、Pd合金膜形成工程において、共析電気めっきによりゼオライト粒子を分散含有したPd合金膜4を成膜するので、成膜速度が速く量産に適している。また、導電性層形成工程における研磨面上にPd合金膜が形成され、かつ、Pd合金膜4は無機材料粒子を分散含有する場合と異なり、ゼオライト粒子が合金成分と共析されたものであるため、Pd合金膜4の厚みが均一であり、同一面内での水素透過性能はばらつきのないものとなる。また、Pd合金膜4は、ゼオライト粒子を分散含有していないPd合金膜単独に比べて熱膨張率が金属支持体2のそれに近く、また、見かけのPd合金膜厚が小さくなり、ゼオライト粒子を分散含有していないPd合金膜単独に比べて単位面積当りの水素透過流量が向上したものとなる。したがって、優れた水素透過効率を示し信頼性の高い水素選択透過膜の製造が可能である。
本発明の製造方法は、まず、Pd合金膜形成工程において、仮支持体8の一方の平坦面に、共析電気めっき法によりゼオライト粒子を分散含有したPd合金膜4を形成する(図3(A))。仮支持体8は、別工程にて作製される金属支持体2に対して選択的にエッチング可能な材料からなるものであり、例えば、金属支持体2がSUS304、SUS430等のオーステナイト系、フェライト系のステンレス鋼である場合には、銅、ニッケル等とすることができる。尚、仮支持体8のPd合金膜4を形成しない面は平坦面でなくてもよく、以下の実施形態においても同様である。
また、共析電気めっき法によるPd合金膜4の形成は、上述の製造方法の実施形態におけるPd合金膜4の形成と同様に行うことができ、ここでの説明は省略する。
次に、上述のように別工程で作製した金属支持体2とPd合金膜4を、接合工程において接合する。本発明では、金属支持体2とPd合金膜4とを間隙Gを設けて対向させ(図3(C))、この間隙部に電気めっきによりPd合金層7を形成することにより、金属支持体2をPd合金膜4に接合する(図3(D))。金属支持体2とPd合金膜4との間隙Gは、Pd合金層7の厚みを決定するものであり、間隙Gへの優先的な析出が生じ易いように、例えば、0.1〜3μmの範囲で適宜設定することができる。尚、本発明では、Pd合金層7は、電気めっきにより形成されたPd層を包含するものである。
尚、上述の実施形態は例示であり、本発明の水素選択透過膜の製造方法は、これらに限定されるものではない。
[実施例1]
(エッチング工程)
金属支持体として厚み50μmのSUS304材を準備した。次いで、このSUS304材の両面に感光性レジスト材料(東京応化工業(株)製 OFPR)をディップ法により塗布(塗布量7μm(乾燥時))した。次に、所定のフォトマスクを介して両面のレジスト塗膜を露光し、炭酸水素ナトリウム水溶液を使用して現像した。これにより、SUS304材の両面に、直径が80μmの円形開口をピッチ110μmで複数備えたレジストパターンを形成した。尚、表裏の円形開口はSUS304材を介して対向するものとした。
(エッチング条件)
・温度 : 50℃
・塩化第二鉄濃度: 45ボーメ
・圧力 : 0.30MPa
上記のように作製した金属支持体の一方の面にフィルムレジスト(旭化成(株)製 サンフォート)を貼設して絶縁層とした。
次いで、フィルムレジストを貼設していない金属支持体の露出した面に下記の条件で電気銅めっきにより導電性層を形成した。このように形成した導電性層は、金属支持体の貫通孔内を埋めるとともに、金属支持体の表面を被覆するものであった。
(電気銅めっき条件)
・使用浴 : 硫酸銅めっき浴
・電流密度 : 1A/dm2
・液温 : 30℃
次に、金属支持体上の導電性層を研磨除去して金属支持体の表面を露出させ、貫通孔内部のみに導電性層を残した。これにより、Pd合金膜を形成するための平坦面を金属支持体に現出させた。
次に、上記の平坦面上(フィルムレジストを貼設していない金属支持体上と、貫通孔に充填された導電性層上)に、下記の条件で共析電気めっきによりPd合金膜(厚み10μm、ゼオライト粒子含有量16体積%)を形成した。
(共析電気めっき条件)
・使用浴 : 塩化Pdめっき浴(Pd濃度:25g/L)
LTAゼオライト(平均粒子径1μm)を100g/L含有
金属酸化物(酸化銅)を100g/L含有
界面活性剤(CTAB)を4.75g/L含有
・pH : 7〜9
・電流密度 : 0.2A/cm2
・液温 : 60℃
SUS304材からフィルムレジストを除去し、その後、アンモニア系のエッチング液を使用して、スプレー方式により貫通孔内部の導電性層を選択的にエッチングして除去した。
これにより、水素選択透過膜が得られた。
(Pd合金膜形成工程)
仮支持体として厚み200μmの銅材を準備し、この銅材の一方の面に下記の条件で共析電気めっきによりPd合金膜(厚み5μm、ゼオライト粒子含有量16体積%)を形成した。
(共析電気めっき条件)
・使用浴 : 塩化Pdめっき浴(Pd濃度:25g/L)
LTAゼオライト(平均粒子径1μm)を100g/L含有
金属酸化物(酸化銅)を100g/L含有
界面活性剤(CTAB)を4.75g/L含有
・pH : 7〜9
・電流密度 : 0.2A/cm2
・液温 : 60℃
金属支持体として厚み50μmのSUS304材を準備した。次いで、このSUS304材に、実施例1のエッチング工程と同様にして、貫通孔を穿設した。
上記のように貫通孔を穿設した金属支持体を、仮支持体(銅材)上に形成したPd合金膜に1.5μmの間隙を設けて対向させ、金属支持体とPd合金膜を外部電極に接続し、この状態で下記の条件で電気めっきを行った。これにより、金属支持体とPd合金膜との間隙部にPd合金を析出させてPd合金層を形成し、金属支持体とPd合金膜とを接合した。
(Pd合金膜の成膜条件)
・使用浴 : 塩化Pdめっき浴(Pd濃度:25g/L)
・pH : 7〜8
・電流密度 : 1A/dm2
・液温 : 55℃
次に、アンモニア系のエッチング液を使用して、スプレー方式により仮支持体(銅材)を選択的にエッチングして除去した。
これにより、水素選択透過膜が得られた。
塩化Pdめっき浴に分散させるLTAゼオライトの量を調整して、Pd合金膜のゼオライト粒子の含有量を5体積%とした他は、実施例1と同様にして、水素選択透過膜を作製した。
塩化Pdめっき浴に分散させるLTAゼオライト粒子の量を調整して、Pd合金膜のゼオライト粒子の含有量を75体積%とした他は、実施例1と同様にして、水素選択透過膜を作製した。
塩化Pdめっき浴に界面活性剤(CTAB)を含有させない他は、実施例1と同様にして、水素選択透過膜を作製した。
塩化Pdめっき浴にLTAゼオライト粒子と界面活性剤(CTAB)を含有させない他は、実施例1と同様にして、水素選択透過膜を作製した。
塩化Pdめっき浴にLTAゼオライト粒子と界面活性剤(CTAB)を含有させない他は、実施例2と同様にして、水素選択透過膜を作製した。
塩化Pdめっき浴に分散させるLTAゼオライト粒子の量を調整して、Pd合金膜のゼオライト粒子の含有量を3体積%とした他は、実施例1と同様にして、水素選択透過膜を作製した。
塩化Pdめっき浴に分散させるLTAゼオライト粒子の量を調整して、Pd合金膜のゼオライト粒子の含有量を90体積%とした他は、実施例1と同様にして、水素選択透過膜を作製した。
Pd合金膜形成工程において、下記の条件で無電解めっきによりPd合金膜(厚み10μm、アルミナ粒子(Al2O3)含有量30体積%)を形成した他は、実施例1と同様にして、水素選択透過膜を作製した。
(無電解めっき条件)
・使用浴 : [Pd(NH3)4]Cl2H2Oを5.4g/L含有
2NaEDTAを67.2g/L含有
アンモニア水(38%)を651.3cc/L含有
H2NNH2H2Oを0.46cc/L含有
アルミナ粒子(平均粒子径0.2μm)を10g/L含有
・pH : 7
・液温 : 45℃
上記のように作製した各水素選択透過膜を3cm×3cmの寸法に切断して改質器に装着し、メタノールと水蒸気の混合物を高温高圧条件(500℃、0.50MPa)で連続供給し、改質開始直後から300時間経過するまでの間の水素選択透過膜の金属支持体側へ透過する水素リッチガスのCO濃度(ppm)、および、水素リッチガスの流量(L/分)を測定し、下記の表1に示した。
尚、各水素選択透過膜のPd合金膜の表面粗さRaを(株)菱化システム製Vert Scan 2.0を用いて測定した。その結果、共析電気めっき法で形成された実施例1〜5、比較例1〜4のPd合金膜の表面粗さRaは0.3〜0.6μmであったが、無電解めっき法で形成された比較例5のPd合金膜の表面粗さRaは2.1μmであり、平坦性が劣ることが明らかであった。
これに対し、Pd合金膜がゼオライト粒子を含有しない水素選択透過膜(比較例1、2)、および、Pd合金膜のゼオライト粒子含有量が極めて少ない水素選択透過膜(比較例3)は、優れた水素選択透過性を具備し水素透過速度が高いものの、本発明の水素選択透過膜(実施例1〜5)に比べて耐久性が悪く、実用上劣るものであった。
また、Pd合金膜のゼオライト粒子含有量が極めて多い水素選択透過膜(比較例4)は、耐久性が高いものの、本発明の水素選択透過膜(実施例1〜5)に比べて水素リッチガスの流量が極めて低く、実用上劣るものであった。
さらに、Pd合金膜にアルミナ粒子を含有する水素選択透過膜(比較例5)は、耐久性が高いものの、本発明の水素選択透過膜(実施例1〜5)に比べて水素リッチガスの流量が極めて低く、実用上劣るものであった。
2…金属支持体
3…貫通孔
4…Pd合金膜
5…導電性層
6…絶縁層
7…Pd合金層
8…仮支持体
Claims (7)
- 貫通孔を複数有する金属支持体と、該金属支持体の一方の面に前記貫通孔を覆うように配設されたPd合金膜とを備え、該Pd合金膜はゼオライト粒子を5〜80体積%の範囲で分散含有し、前記金属支持体はステンレス鋼であることを特徴とする水素選択透過膜。
- 前記ゼオライト粒子の平均粒子径は0.02〜2μmの範囲であることを特徴とする請求項1に記載の水素選択透過膜。
- ステンレス鋼からなる金属支持体に、両面エッチングにより複数の貫通孔を穿設するエッチング工程と、
前記金属支持体の一方の面に絶縁層を形成し、前記金属支持体の他方の面側から電気めっきにより前記貫通孔の内部を含む金属支持体上に導電性層を形成し、次いで、金属支持体上の前記導電性層を研磨除去して金属支持体の表面を露出させる導電性層形成工程と、
前記金属支持体の表面と前記貫通孔に形成された導電性層上とに、共析電気めっき法によりゼオライト粒子を5〜80体積%の範囲で分散含有したPd合金膜を形成するPd合金膜形成工程と、
前記絶縁層を除去し、次いで、前記貫通孔から前記導電性層を除去する除去工程と、を有することを特徴とする水素選択透過膜の製造方法。 - 導電性部材からなる仮支持体の一方の平坦面に共析電気めっき法によりゼオライト粒子を5〜80体積%の範囲で分散含有したPd合金膜を形成するPd合金膜形成工程と、
前記仮支持体を選択エッチングすることができるステンレス鋼からなる金属支持体に、両面エッチングにより複数の貫通孔を穿設するエッチング工程と、
前記金属支持体を前記Pd合金膜に間隙を設けて対向させ、前記間隙部に電気めっきによりPd合金層を形成することにより、前記金属支持体と前記Pd合金膜とを接合する接合工程と、
前記仮支持体を選択エッチングにより除去する除去工程と、を有することを特徴とする水素選択透過膜の製造方法。 - 前記ゼオライト粒子は、平均粒子径が0.02〜2μmの範囲のものであることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の水素選択透過膜の製造方法。
- 前記Pd合金膜形成工程では、Pdめっき液中にゼオライト粒子とともにPd合金膜を構成するための金属の酸化物を分散させることを特徴とする請求項3乃至請求項5のいずれかに記載の水素選択透過膜の製造方法。
- 前記Pd合金膜形成工程では、Pdめっき液中に更に界面活性剤を添加することを特徴とする請求項6に記載の水素選択透過膜の製造方法。
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