JP4714052B2 - 水素精製フィルタおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
このような燃料電池は、燃料電池本体に使用する電解質、反応形態等により、リン酸型燃料電池(PAFC)、溶融炭酸塩型燃料電池(MCFC)、固体電解質型燃料電池(SOFC)、アルカリ型燃料電池(AFC)、固体高分子型燃料電池(PEFC)の5種類がある。このうち、固体高分子型燃料電池(PEFC)は、リン酸型燃料電池(PAFC)、アルカリ型燃料電池(AFC)等の他の燃料電池と比較して、電解質が固体である点において有利な条件を備えている。
改質ガスからCOを除去して水素を精製する手段の一つとして、Pd合金膜を備えた水素精製フィルタが開発されており、Pd合金膜は、膜にピンホールやクラック等がなければ原理的には水素のみが透過可能であり、改質ガス側を高温高圧(例えば、500℃、3〜10kg/cm2(0.29〜0.98MPa))とすることにより、低水素分圧側に水素を透過する。
また、上述の特許文献2の水素精製フィルタは、銅めっきによる貫通孔を埋める工程において、銅めっき層、特に貫通孔の奥部(後工程にてPd合金膜が形成される部位)にボイドと呼ばれる銅めっきが充填されない空隙が発生する場合があり、Pd合金膜の形成工程において、このボイドがPd合金膜のピンホール欠陥の原因となることがあった。このため、工程管理が煩雑となり、製造コストの低減に支障を来たしていた。
本発明は上述のような事情に鑑みてなされたものであり、水素精製において優れた水素透過効率を示す水素精製フィルタと、このようなフィルタを簡便に製造するための製造方法を提供することを目的とする。
本発明の他の態様として、前記外枠部材の幅は1〜5mmの範囲内であるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記外枠部材の厚みは前記Pd合金膜よりも3〜50μm厚いものであるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記膜形成工程では、真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング、無電解めっきのいずれかの方法により、窒化チタン、炭化チタン、窒化ケイ素、炭化ケイ素、酸化マグネシウム、酸化セリウム、酸化亜鉛のいずれかからなる前記拡散防止層を形成するような構成とした。
本発明の他の態様として、前記膜形成工程では、Zr、Mo、Ta、W、Cr、Hf、Nb、Ruのいずれかからなる薄膜を厚み0.01〜20μmの範囲で形成して前記拡散防止層とするような構成とした。
また、本発明の水素精製フィルタの製造方法は、支持体上に拡散防止層を介してPd合金膜を形成するので、形成されたPd合金膜は膜厚が均一で水素透過性能が高いものとなり、また、最終の水素精製フィルタには残らないような部材の付加・除去が不要なので、工程が簡便なものとなり、さらに、多孔支持体を作製するエッチング工程の前に、環状の外枠部材を形成するので、エッチング工程が終了した状態での水素精製フィルタの反りが防止され、製造工程中における取り扱い性が良好である。
[水素精製フィルタ]
図1は、本発明の水素精製フィルタの一実施形態を示す斜視図であり、図2は、図1に示される水素精製フィルタのA−A線における縦拡大部分断面図である。図1および図2において、水素精製フィルタ1は、複数の微細な孔部3を有する多孔支持体2と、この多孔支持体2の表面2a側に拡散防止層5を介して配設されたPd合金膜6と、Pd合金膜6の外側の領域であって、多孔支持体2の表面2a側に位置する環状の外枠部材8を備えるものである。そして、外枠部材8の厚みTは、Pd合金膜6の厚み以上である。
水素精製フィルタ1を構成する多孔支持体2は、SUS304、SUS430等のオーステナイト系、フェライト系のステンレス鋼等の材料を用いて作製することができ、厚みは10〜50μmの範囲内で適宜設定することができる。
水素精製フィルタ1を構成する拡散防止層5は、Pd合金膜6中への多孔支持体2の構成材料の拡散を防止し、かつ、多孔支持体2とPd合金膜6に対して高い密着性を確保するための層である。このような拡散防止層5は、Ti、Si、Al、Mg、Ce、Cr、Ca、Zr等から選択される1種以上の元素の窒化物、酸化物、炭化物からなる薄膜であり、例えば、窒化チタン(TiN)、炭化チタン(TiC)、窒化ケイ素(SiN)、炭化ケイ素(SiC)、酸化マグネシウム(MgO)、酸化セリウム(CeO2)、酸化亜鉛(ZnO)等の薄膜とすることができる。また、拡散防止層5として、Zr、Mo、Ta、W、Cr、Hf、Nb、Ru等の高融点金属からなる薄膜であってもよい。このような拡散防止層5の厚みは、材質を考慮して適宜設定することができ、例えば、0.01〜20μm、好ましくは0.5〜2μm程度とすることができる。
また、環状の外枠部材8の幅Wは、1〜5mmの範囲で設定することができ、外枠部材8の断面形状は、図示例では方形であるが、これに限定されるものではなく、台形、ドーム形状等であってもよい。
この水素精製フィルタ11は、環状の外枠部材18を多孔支持体12の裏面12b側に備えている他は、上述の水素精製フィルタ1と同様である。したがって、水素精製フィルタ11を構成する多孔支持部材12、拡散防止層15、Pd合金膜16、および、環状の外枠部材18は、それぞれ上述の多孔支持部材2、拡散防止層5、Pd合金膜6、および、環状の外枠部材8と同様とすることができ、ここでの説明は省略する。
次に、本発明の水素精製フィルタの製造方法を説明する。
図5および図6は、本発明の水素精製フィルタの製造方法の一実施形態を、上述の本発明の水素精製フィルタ1を例として示す工程図である。
本発明の製造方法は、まず、膜形成工程において、多孔支持体用の支持体2′の表面2′a側に拡散防止層5を形成し(図5(A))、この拡散防止層5上にPd合金膜6を形成する(図5(B))。
支持体2′は、SUS304、SUS430等のオーステナイト系、フェライト系のステンレス鋼等の材料を用いることができ、厚みは10〜50μmの範囲内とすることができる。
支持体2′のエッチングは、塩化第二鉄系等のエッチング液を使用し、裏面からのスプレー方式、裏面のみの浸漬方式等により行うことができる。このような裏面2′b側からの支持体2′のエッチングにより、形成される貫通孔3は、通常、裏面2′b側の開口が大きいものとなる。この場合、多孔支持体2の強度と水素透過効率とを高いレベルで維持するために、貫通孔3の最小開口径(表面2′a側)は、支持体2′の厚みの1.5〜3倍の大きさ、貫通孔3の最大開口径(裏面2′b側)は、支持体2′の厚みの3.5〜5倍の大きさとなるように、レジストパターン9の開口部9a、エッチング条件を設定することが好ましい。
上記のような本発明の製造方法では、支持体2′の平坦面上に拡散防止層5を介してPd合金膜6を形成するので、均一な膜厚のPd合金膜6の形成が可能である。また、多孔支持体2を作製するエッチング工程の前に、環状の外枠部材8を形成するので、エッチング工程が終了した状態での反りが防止され、製造工程中における取り扱い性が良好である。さらに、最終の水素精製フィルタ1には残らないような部材の付加・除去の工程がないので、工程が簡便なものとなる。
[実施例1]
支持体として厚み40μmの円形(直径35mm)のSUS304材を準備した。次いで、このSUS304材の両面に感光性レジスト材料(東京応化工業(株)製 OFPR)をディップ法により塗布(塗布量7μm(乾燥時))した。次に、開口直径30mmの円形開口を備えたフォトマスクを介して一方の面のレジスト塗膜を露光し、炭酸水素ナトリウムを使用して現像した。これにより、SUS304材の一方の面のみが直径30mmの円形で露出するようにレジストパターンを形成した。
次に、SUS304材の上記の円形露出部に、真空蒸着法により窒化チタンの薄膜(厚み0.5μm)を成膜して拡散防止層とした。
(Pd合金膜の成膜条件)
・使用浴 : 塩化Pdめっき浴(Pd濃度:12g/L)
・pH : 7〜8
・電流密度 : 1A/dm2
・液温 : 40℃
(Ni電解めっき条件)
・使用浴 : 塩化ニッケル浴
・液温 : 55℃
・電流密度 : 10A/dm2
(エッチング条件)
・温度 : 50℃
・塩化第二鉄濃度: 45ボーメ
・圧力 : 0.30MPa
次に、拡散防止層の選択エッチング液として過酸化水素水を用いて、貫通孔の奥部に露出している拡散防止層を選択的にエッチングして除去し、水洗した。(以上、エッチング工程)
上記の工程により、図1および図2に示されるような本発明の水素精製フィルタを得た。
また、水素精製フィルタを改質器に装着し、Pd合金膜にメタノールと水蒸気の混合物を高温高圧条件(500℃、0.50MPa)で連続100時間供給し、水素精製フィルタの多孔支持体側へ透過する水素リッチガスのCO濃度、および、水素リッチガスの流量を測定した。その結果、改質開始直後から300時間経過するまでの間のCO濃度は5〜10ppmと極めて低く、また、水素リッチガスの流量は1L/分であり、本発明の水素精製フィルタが優れた耐久性、水素透過効率を有することを確認した。
環状の外枠部材を、SUS304材の裏面側(拡散防止層、Pd合金膜が形成されていない面)の周縁部に形成した他は、実施例1と同様にして、図3に示されるような本発明の水素精製フィルタを得た。
作製した水素精製フィルタを水平定盤上に載置し、定盤からPd合金膜の表面までの高さを測定した結果、高さのバラツキが3mm以下であり、反りのないことが確認された。
また、水素精製フィルタを改質器に装着し、実施例1と同様の高温高圧条件でフィルタのPd合金膜にメタノールと水蒸気の混合物を供給し、フィルタの多孔支持体側へ透過する水素リッチガスのCO濃度、および、水素リッチガスの流量を測定した。その結果、改質開始直後から300時間経過するまでの間のCO濃度は5〜10ppmと極めて低く、また、水素リッチガスの流量は1L/分であり、本発明の水素精製フィルタが優れた耐久性、水素透過効率を有することを確認した。
環状の外枠部材を形成しない他は、実施例1と同様にして、水素精製フィルタを得た。
作製した水素精製フィルタを水平定盤上に載置し、定盤からPd合金膜の表面までの高さを測定した結果、高さのバラツキが7mmであり、反りが発生していることが確認された。
環状の外枠部材の厚みを2μmとした他は、実施例1と同様にして、水素精製フィルタを得た。
作製した水素精製フィルタを水平定盤上に載置し、定盤からPd合金膜の表面までの高さを測定した結果、高さのバラツキが5mmであり、反りが発生していることが確認された。
拡散防止層を形成しない他は、実施例1と同様にして、水素精製フィルタを得た。
作製した水素精製フィルタを水平定盤上に載置し、定盤からPd合金膜の表面までの高さを測定した結果、高さのバラツキが3mm以下であり、反りのないことが確認された。
また、水素精製フィルタを改質器に装着し、実施例1と同様の高温高圧条件でフィルタのPd合金膜にメタノールと水蒸気の混合物を供給し、フィルタの多孔支持体側へ透過する水素リッチガスのCO濃度、および、水素リッチガスの流量を測定した。その結果、改質開始直後から100時間経過するまでの間のCO濃度は5〜10ppmと極めて低く、また、水素リッチガスの流量は1L/分であったが、100時間経過したあたりから水素選択透過性が低下し、CO濃度は10ppmを超え、ガスのリーク量が増加し、水素リッチガスの純度が低下した。
2,12,22…多孔支持体
3,13,23…孔部
5,15,25…拡散防止層
6,16,26…Pd合金膜
8,18,28,28a,28b…外枠部材
2′…支持体
9…レジストパターン
9a…開口部
Claims (8)
- 孔部を複数有する多孔支持体と、該多孔支持体の一方の面の全域に配設された拡散防止層と、前記孔部を覆い、かつ、前記拡散防止層の周辺部が露出するように前記拡散防止層を介して前記多孔支持体上に配設されたPd合金膜と、該Pd合金膜の外側の領域であって前記拡散防止膜上と該Pd合金膜の外側の領域であって前記拡散防止膜が形成されていない前記多孔支持体の他方の面の周辺部との少なくとも一方に位置する環状の外枠部材とを備え、該外枠部材の厚みはPd合金膜の厚み以上であり、前記多孔支持体はステンレス鋼であり、前記外枠部材は鉄またはニッケルであり、前記拡散防止層はZr、Mo、Ta、W、Cr、Hf、Nb、Ruの1種からなる薄膜であることを特徴とする水素精製フィルタ。
- 前記多孔支持体の厚みは10〜50μmの範囲内であり、前記Pd合金膜の厚みは1〜5μmの範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の水素精製フィルタ。
- 前記外枠部材の幅は1〜5mmの範囲内であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の水素精製フィルタ。
- 前記外枠部材の厚みは前記Pd合金膜よりも3〜50μm厚いものであることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の水素精製フィルタ。
- 水素精製フィルタの製造方法において、
支持体の表面側に拡散防止層を形成し、該拡散防止層上にPd合金膜を形成する膜形成工程と、
前記Pd合金膜の外側領域の前記支持体上に、前記Pd合金膜以上の厚みを有する環状の外枠部材を形成する外枠部材形成工程と、
前記外枠部材よりも内側の領域に複数の開口部が位置するレジストパターンを前記支持体の裏面側に形成し、該レジストパターンをマスクとして前記支持体を裏面側からエッチングすることにより、前記支持体に複数の貫通孔を形成し、その後、該貫通孔に露出する前記拡散防止層をエッチングにより除去して多孔支持体を作製するエッチング工程と、を有することを特徴とする水素精製フィルタの製造方法。 - 前記外枠部材形成工程では、電解めっきにより、鉄またはニッケルからなる外枠部材を形成することを特徴とする請求項5に記載の水素精製フィルタの製造方法。
- 前記膜形成工程では、真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング、無電解めっきのいずれかの方法により、窒化チタン、炭化チタン、窒化ケイ素、炭化ケイ素、酸化マグネシウム、酸化セリウム、酸化亜鉛のいずれかからなる前記拡散防止層を形成することを特徴とする請求項5または請求項6に記載の水素精製フィルタの製造方法。
- 前記膜形成工程では、Zr、Mo、Ta、W、Cr、Hf、Nb、Ruのいずれかからなる薄膜を厚み0.01〜20μmの範囲で形成して前記拡散防止層とすることを特徴とする請求項5または請求項6に記載の水素精製フィルタの製造方法。
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