JP5161294B2 - 化学機械研磨装置および化学機械研磨方法 - Google Patents
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Description
したがって、上述した欠点を克服するシステムおよび方法が必要とされる。
Claims (17)
- 研磨パッド上に置かれた基板を研磨する化学機械研磨装置であって、
サブキャリアと、
各研磨動作の準備時に前記サブキャリアを研磨パッドから所定の距離だけ離れた初期位置に位置させる位置決めシステムと、
前記サブキャリアに連結され、チャンバを形成するゴム挿入物とを備え、
前記位置決めシステムは、研磨パッドの摩耗を決定するパッド摩耗決定装置を有し、前記位置決めシステムは、前記サブキャリアを前記初期位置から第2位置にまで、前記研磨パッドの摩耗に応じた距離だけ移動させるように構成され、
前記サブキャリアが前記初期位置または前記第2位置にあるとき、前記チャンバに流体を供給して該チャンバ内に圧力を形成することで、前記基板を前記研磨パッドに対して押し付けることを特徴とする化学機械研磨装置。 - 研磨中に前記基板を把持することができる把持リングをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の化学機械研磨装置。
- 前記化学機械研磨装置は、ダイアフラムに連結されるハウジングをさらに備え、前記把持リングは前記ダイアフラムに連結され、前記把持リングに下向きの力を付与する流体を受入可能なチャンバを形成することを特徴とする請求項2に記載の化学機械研磨装置。
- 前記把持リングに下向きの力を付与する流体の圧力は可変であることを特徴とする請求項3に記載の化学機械研磨装置。
- 前記ゴム挿入物および前記サブキャリアは、研磨中に流体を受けることが可能な複数のチャンバを形成することを特徴とする請求項1に記載の化学機械研磨装置。
- 前記複数のチャンバ内の流体の圧力は可変であることを特徴とする請求項5に記載の化学機械研磨装置。
- 前記流体の圧力は可変であることを特徴とする請求項1に記載の化学機械研磨装置。
- 研磨中の前記サブキャリアと前記ゴム挿入物との間の距離は、前記研磨パッドの摩耗に伴って変化することを特徴とする請求項1に記載の化学機械研磨装置。
- 前記化学機械研磨装置は、前記サブキャリアの底面に設けられた基準点をさらに備え、前記基準点は前記研磨パッド上の基板に接触可能であり、前記サブキャリアの下方への移動を制限して前記研磨パッドの上面の位置を決定することを特徴とする請求項1に記載の化学機械研磨装置。
- 前記位置決めシステムは、
前記サブキャリアとともに移動する、該サブキャリアに連結されたブラケットと、
下位置から移動可能なストッパ、および該ストッパを前記ブラケットの移動経路に沿って移動させるサーボモータを有するストッパアッセンブリと、
前記ブラケットと前記下位置にある前記ストッパとの間の距離を測定するセンサとを備え、
前記ストッパアッセンブリのサーボモータは、前記ブラケットと前記下位置にある前記ストッパとの間の距離よりも大きいか、または等しい距離だけ前記ストッパを前記下位置から移動させることを特徴とする請求項1に記載の化学機械研磨装置。 - 研磨パッドに基板を押し付けて該基板を研磨する化学機械研磨方法であって、
研磨パッドを用いた基板の研磨動作の準備時にサブキャリアを位置決めする工程を含み、
前記サブキャリアは、前記基板を保持するゴム挿入物に連結され、さらに位置決めシステムに連結されており、
前記位置決めシステムは、研磨パッドの摩耗を決定するパッド摩耗決定装置を有し、
前記サブキャリアを位置決めする工程は、前記パッド摩耗決定装置が研磨パッドの摩耗を決定する工程と、前記位置決めシステムが前記サブキャリアを前記研磨パッドの摩耗に応じた所定の距離だけ前記研磨パッドから移動させる工程を含むことを特徴とする方法。 - 研磨動作の準備時における前記サブキャリアの位置決め工程は、前記ゴム挿入物が前記サブキャリアに対して押し付けられた位置から前記サブキャリアを移動させる工程を含み、前記研磨パッドを用いた先の研磨動作からの研磨パッド高さの変化に少なくとも基づいた正味の距離だけ前記サブキャリアが移動されることを特徴とする請求項11に記載の方法。
- 研磨動作の準備時における前記サブキャリアの位置決め工程は、前記研磨パッドの摩耗率に研磨回数を掛けた値に少なくとも基づいた正味の距離だけ前記サブキャリアを移動させる工程を含むことを特徴とする請求項11に記載の方法。
- 前記摩耗率は、被除数と除数との比率であり、前記被除数は、前記研磨パッドを用いた第1の研磨動作と前記研磨パッドを用いた第2の研磨動作の間での前記研磨パッドの高さの違いであり、前記除数は、前記第1の研磨動作から前記第2の研磨動作までの、前記研磨パッドを用いた研磨動作の回数であることを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記方法は、前記研磨パッドの磨耗パラメータと前記ゴム挿入物の圧縮率パラメータとに少なくとも基づいて決定される位置までストッパを前記サブキャリアに対して相対的に移動させる工程をさらに含み、
研磨動作の準備時に前記サブキャリアを位置決めする工程は、前記サブキャリアに連結された部材が前記ストッパに接触するまで前記サブキャリアを移動させる工程を含むことを特徴とする請求項11に記載の方法。 - 前記磨耗パラメータは、前記研磨パッドを用いた先の研磨動作からの前記研磨パッドの高さの変化に関連付けられていることを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 前記圧縮率パラメータは、前記ゴム挿入物が前記サブキャリアに対して押し付けられたときから、前記ゴム挿入物が前記サブキャリアに対して押し付けられなくなったときまでの、前記サブキャリアの位置の違いに相当することを特徴とする請求項15に記載の方法。
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