JP5156913B2 - プラズマ処理装置、及びプラズマ処理方法 - Google Patents
プラズマ処理装置、及びプラズマ処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5156913B2 JP5156913B2 JP2006217591A JP2006217591A JP5156913B2 JP 5156913 B2 JP5156913 B2 JP 5156913B2 JP 2006217591 A JP2006217591 A JP 2006217591A JP 2006217591 A JP2006217591 A JP 2006217591A JP 5156913 B2 JP5156913 B2 JP 5156913B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- ultrasonic
- treated
- liquid
- plasma processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
Description
[第2の実施の形態]
[第3の実施の形態]
[第4の実施の形態]
12…容器
13,44…超音波照射手段としての超音波発生装置
14,45…電磁波照射手段としてのマイクロ波発生装置
15…減圧手段としての減圧装置
21,53…超音波振動子
24…マイクロ波発生器
31…導波管
34…スロットアンテナとして機能する開口部
52…超音波照射手段としての超音波霧化装置
P…放電プラズマ
R1…容器内第1領域
R2…容器内第2領域
W…液体としての洗浄水
Claims (5)
- 有害な被処理物質を含む液体を放電プラズマで処理することにより当該被処理物質を分解して無害化するためのプラズマ処理装置であって、
前記被処理物質を含む前記液体が導入可能な容器と、
前記液体の導入時に液相となるべき容器内第1領域に超音波を照射して前記被処理物質を気化または霧化させるべく、前記容器の底部に設けられた超音波照射手段としての超音波振動子と、
前記液体の導入時に気相となるべき容器内第2領域に電磁波を照射して前記気相中にて放電プラズマを発生させるべく、前記容器の上壁における前記超音波振動子の設置位置の直上の位置に設けられるとともに電磁波出力部分が前記超音波振動子に対向して配置された電磁波照射手段と
を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記容器内の気体を排出して前記容器内を減圧状態にする減圧手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記電磁波照射手段は、マイクロ波を発生するマイクロ波発生器と、前記マイクロ波を伝搬させる導波管と、前記導波管の先端部に形成され前記マイクロ波を出力するスロットアンテナとを有するとともに、前記スロットアンテナは、前記容器の上壁における前記超音波振動子の設置位置の直上の位置に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマ処理装置。
- 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の装置を用いて、有害な被処理物質を含む液体を放電プラズマで処理することにより当該被処理物質を分解して無害化するプラズマ処理方法であって、
前記被処理物質を含む前記液体を導入した容器内における液相に超音波を照射して前記被処理物質を気化または霧化させ、前記被処理物質を液相から気相に移行させるステップと、
前記容器内における気相に電磁波を照射して前記気相中にて放電プラズマを発生させ、気化または霧化した前記被処理物質をその放電プラズマで処理するステップと
を含むことを特徴とするプラズマ処理方法。 - 前記容器内を減圧状態にするステップをさらに含むことを特徴とする請求項4に記載のプラズマ処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006217591A JP5156913B2 (ja) | 2006-08-09 | 2006-08-09 | プラズマ処理装置、及びプラズマ処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006217591A JP5156913B2 (ja) | 2006-08-09 | 2006-08-09 | プラズマ処理装置、及びプラズマ処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008041578A JP2008041578A (ja) | 2008-02-21 |
JP5156913B2 true JP5156913B2 (ja) | 2013-03-06 |
Family
ID=39176344
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006217591A Expired - Fee Related JP5156913B2 (ja) | 2006-08-09 | 2006-08-09 | プラズマ処理装置、及びプラズマ処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5156913B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101176039B1 (ko) | 2009-11-06 | 2012-08-24 | 황병화 | 초음파 진동을 이용한 케비테이션 토출 장치 |
KR101217280B1 (ko) * | 2010-04-29 | 2012-12-31 | (주) 지스트 | 정밀부품용 자동세정장치 및 그 세정방법 |
CN102485658B (zh) * | 2010-12-02 | 2013-09-04 | 易乾东 | 磁共振水处理装置 |
CN102206022B (zh) * | 2011-05-05 | 2013-02-06 | 镇江维赛科技发展有限公司 | 用于污水深度处理的系统物化生物生态学方法 |
JP5109004B1 (ja) * | 2011-11-11 | 2012-12-26 | マイクロ波化学株式会社 | 化学反応装置 |
JP5114616B1 (ja) * | 2011-11-11 | 2013-01-09 | マイクロ波化学株式会社 | 化学反応装置 |
US9406501B2 (en) | 2012-05-31 | 2016-08-02 | Semes Co., Ltd. | Apparatus and method for cleaning substrate |
KR101512100B1 (ko) | 2012-05-31 | 2015-04-23 | 세메스 주식회사 | 기판 세정 장치 및 기판 세정 방법 |
JP2014000070A (ja) * | 2012-06-20 | 2014-01-09 | Blue Oceans:Kk | 常温殺菌装置 |
CN102849889B (zh) * | 2012-10-19 | 2013-08-21 | 安徽工业大学 | 一种高温高压微波物化处理含磷污水的系统和方法 |
CN109618442B (zh) * | 2019-01-22 | 2020-12-29 | 江南大学 | 一种适用于液态物料的微波-超声耦合腔体 |
JP2022059529A (ja) * | 2020-10-01 | 2022-04-13 | マイクロ波化学株式会社 | マイクロ波処理装置、及びマイクロ波処理方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001300297A (ja) * | 2000-04-21 | 2001-10-30 | Daido Steel Co Ltd | ダイオキシン含有被処理物質の浄化方法 |
JP4696378B2 (ja) * | 2001-03-12 | 2011-06-08 | 富士電機ホールディングス株式会社 | 金属を含む有機化合物廃液の処理装置とその処理方法 |
JP2002301136A (ja) * | 2001-04-04 | 2002-10-15 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 有害物および有害菌分解装置 |
JP2003236338A (ja) * | 2002-02-15 | 2003-08-26 | Mitsubishi Electric Corp | 有機ハロゲン含有ガスの処理方法および装置 |
JP3624238B2 (ja) * | 2002-04-01 | 2005-03-02 | 株式会社テクノネットワーク四国 | プラズマを発生させる方法およびプラズマ発生装置 |
JP3624239B2 (ja) * | 2002-10-29 | 2005-03-02 | 株式会社テクノネットワーク四国 | 液中プラズマ発生装置、薄膜形成方法およびシリコンカーバイト膜 |
JP2005000867A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | 写真廃液の処理方法、処理装置及び銀回収方法 |
JP3769625B1 (ja) * | 2004-12-21 | 2006-04-26 | 国立大学法人愛媛大学 | 液中プラズマ発生装置および液中プラズマ発生方法 |
-
2006
- 2006-08-09 JP JP2006217591A patent/JP5156913B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008041578A (ja) | 2008-02-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5156913B2 (ja) | プラズマ処理装置、及びプラズマ処理方法 | |
JP2008173521A (ja) | 液中プラズマ処理装置、及び液中プラズマ処理方法 | |
JP4982658B2 (ja) | 液中プラズマ処理装置、及び液中プラズマ処理方法 | |
JP6563395B2 (ja) | 創傷治療用器具 | |
KR101748054B1 (ko) | 디스미어 처리 방법 및 디스미어 처리 장치 | |
JP4678718B2 (ja) | プラズマ発生装置 | |
JP2002172389A (ja) | 有機性廃液の超音波処理装置 | |
KR100817371B1 (ko) | 처리 장치 | |
JP2012011313A (ja) | 液体処理装置および液体処理方法 | |
JP2007059317A (ja) | プラズマ発生装置、及びプラズマ発生方法 | |
JP2002301136A (ja) | 有害物および有害菌分解装置 | |
JP2004082038A (ja) | 超音波洗浄方法、超音波洗浄装置および、超音波洗浄ノズルのノズル部の製造方法 | |
JP2007173367A (ja) | 薬液処理装置および薬液処理方法 | |
JPWO2003096769A1 (ja) | 高周波反応処理装置 | |
JP2008016404A (ja) | マイクロ波プラズマ装置 | |
JP4654134B2 (ja) | 揮発性有機化合物汚染土壌の浄化システム、及びその浄化方法 | |
JP2003311226A (ja) | 洗浄処理方法及び洗浄処理装置 | |
JP2007227785A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2012066218A (ja) | 超音波発生装置 | |
JPH1033447A (ja) | 食器洗浄機 | |
JP2001300524A (ja) | 難分解性有機物の分解方法 | |
JP2005238228A (ja) | 有機ハロゲン化合物放電分解装置およびその方法 | |
JP2007234292A (ja) | ワーク処理装置 | |
JPH11253744A (ja) | 排煙脱硫装置 | |
JP5531192B2 (ja) | 超音波発生装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090803 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110802 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110930 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120410 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120419 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121030 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121107 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121113 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5156913 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151221 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151221 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151221 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151221 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151221 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |