JP4982658B2 - 液中プラズマ処理装置、及び液中プラズマ処理方法 - Google Patents
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Description
[第2の実施の形態]
12,67,68…容器
14…プラズマ発生手段としてのマイクロ波発生装置
21…マイクロ波発生器
22…導波管
22a…先端面
32…マイクロ波透過部材
34…スロットとしての開口部
41,61,71…気泡捕捉手段としての石英板
42,62…捕捉空間としての貫通穴
72,75…捕捉空間としての凹部
74…気泡捕捉手段としての上蓋
77…捕捉空間としての穴部
W…液体としての処理水
Claims (5)
- 被処理物質を含む液体を導入可能な容器と、
マイクロ波を発生するマイクロ波発生器と、前記マイクロ波を伝搬させる導波管とを有し、前記導波管の先端部から前記液体中にマイクロ波を照射して放電プラズマを誘起させるプラズマ発生手段と、
前記導波管の先端部近傍に配置され、前記マイクロ波の照射によって前記液体中に発生した気泡を捕捉するための捕捉空間を有する気泡捕捉手段と
を備え、
前記導波管の先端面には前記マイクロ波を出力するためのスロットが形成され、
前記気泡捕捉手段は、誘電体材料からなり、前記導波管の外部においてその導波管の先端面に密接配置されたマイクロ波透過部材であり、前記捕捉空間は、そのマイクロ波透過部材において前記スロットに対応する位置に形成された凹部または穴部である
ことを特徴とする液中プラズマ処理装置。 - 前記気泡捕捉手段は、前記導波管の先端面に密接配置された石英板であることを特徴とする請求項1に記載の液中プラズマ処理装置。
- 前記捕捉空間は、前記石英板において前記スロットを部分的に露出させるようスロットに沿って設けられた複数の貫通穴であることを特徴とする請求項2に記載の液中プラズマ処理装置。
- 被処理物質を含む液体を導入可能な容器と、
マイクロ波を発生するマイクロ波発生器と、前記マイクロ波を伝搬させる導波管とを有し、前記導波管の先端部から前記液体中にマイクロ波を照射して放電プラズマを誘起させるプラズマ発生手段と、
前記導波管の先端部近傍に配置され、前記マイクロ波の照射によって前記液体中に発生した気泡を捕捉するための捕捉空間を有する気泡捕捉手段と
を備え、
前記気泡捕捉手段は、誘電体材料からなり、前記導波管内においてその先端部に設けられたマイクロ波透過体であり、前記捕捉空間は、そのマイクロ波透過体の先端面にて開口形成された穴部である
ことを特徴とする液中プラズマ処理装置。 - マイクロ波発生器で発生させたマイクロ波を導波管で伝搬させ、容器内に導入された液体中に前記導波管の先端部から前記マイクロ波を照射して放電プラズマを発生させることにより、前記液体中に含まれる被処理物質をその放電プラズマで処理する、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の装置を用いた液中放電プラズマ処理方法であって、
前記導波管の先端部近傍において気泡を捕捉するための捕捉空間を有する気泡捕捉手段を配置し、前記マイクロ波の照射によって前記液体中に発生した気泡を前記捕捉空間に捕捉して、その捕捉した気泡中に放電プラズマを発生させるようにしたことを特徴とする液中プラズマ処理方法。
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