JP2008173521A - 液中プラズマ処理装置、及び液中プラズマ処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液中プラズマ処理装置11は、洗浄水Wを導入可能な容器12と、超音波発生装置13と、マイクロ波発生装置14と、減圧装置15とを備える。減圧装置15は、容器12内の気体を排出してその容器12内を減圧状態にする。超音波発生装置13は、容器12内の洗浄水W中に超音波を照射してキャビテーションを多発的に生じさせ、マイクロ波発生装置14は、洗浄水W中のキャビテーション発生領域にマイクロ波を照射して放電プラズマPを発生させる。この放電プラズマPによって、紫外線を放つ液中光源Lを発生させ、その紫外線を洗浄水Wの有害物質に直接照射することで有害物質を分解して無害化する。
【選択図】 図1
Description
[第2の実施の形態]
[第3の実施の形態]
12…容器
13…超音波照射手段としての超音波発生装置
14,45…液中光源発生手段としてのマイクロ波発生装置
15…減圧手段としての減圧装置
24…マイクロ波発生器
31…導波管
34…スロットアンテナとして機能する開口部
52…バブリング手段としてのバブリング装置
L…液中光源
P…放電プラズマ
W…液体としての洗浄水
Claims (7)
- 被処理物質を含む液体を導入可能な容器と、
前記液体中に気泡を発生させる気泡発生手段と、
前記液体中における気泡発生領域に電磁波を照射して放電プラズマによる発光現象を誘起し、前記気泡発生領域に紫外線及び可視光線を放つ液中光源を発生させる液中光源発生手段と
を備えたことを特徴とする液中プラズマ処理装置。 - 前記液中光源発生手段は、マイクロ波を発生するマイクロ波発生器と、前記マイクロ波を伝搬させる導波管と、前記導波管の先端部に形成され前記マイクロ波を出力するスロットアンテナとを有することを特徴とする請求項1に記載の液中プラズマ処理装置。
- 前記気泡発生手段は、前記容器内の気体を排出して前記容器内を減圧状態にする減圧手段を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の液中プラズマ処理装置。
- 前記気泡発生手段は、前記容器内の液体中に超音波を照射してキャビテーションを発生させる超音波照射手段を含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の液中プラズマ処理装置。
- 前記気泡発生手段は、前記容器内の液体中に酸素ガス、オゾンガスまたは過酸化水素ガスをバブリングするバブリング手段を含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の液中プラズマ処理装置。
- 容器内に導入された液体中に気泡を発生させて気泡発生領域に電磁波を照射して放電プラズマを発生させることにより、前記液体中に含まれる被処理物質をその放電プラズマで処理する液中プラズマ処理方法であって、
前記放電プラズマによる発光現象を誘起して前記気泡発生領域に紫外線及び可視光線を放つ液中光源を発生させ、その紫外線を前記液体中にて前記被処理物質に直接照射することにより、併せて前記被処理物質の処理を行うことを特徴とする液中プラズマ処理方法。 - 前記液中光源は308nmにピークを有する紫外線を発生することを特徴とする請求項6に記載の液中プラズマ処理方法。
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