JP2008041578A - プラズマ処理装置、及びプラズマ処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラズマ処理装置11は、洗浄水Wを導入可能な容器12と、超音波発生装置13と、マイクロ波発生装置14と、減圧装置15とを備える。超音波発生装置13は、容器12内の洗浄水W中に超音波を照射してキャビテーションを多発的に生じさせ、洗浄水Wに含まれる有害物質を液相から気相に移行させる。マイクロ波発生装置14は、容器12内における気相にマイクロ波を照射して気相中にて放電プラズマを発生させ、気化した有害物質をその放電プラズマで分解して無害化する。
【選択図】 図1
Description
[第2の実施の形態]
[第3の実施の形態]
[第4の実施の形態]
12…容器
13,44…超音波照射手段としての超音波発生装置
14,45…電磁波照射手段としてのマイクロ波発生装置
15…減圧手段としての減圧装置
21,53…超音波振動子
24…マイクロ波発生器
31…導波管
34…スロットアンテナとして機能する開口部
52…超音波照射手段としての超音波霧化装置
P…放電プラズマ
R1…容器内第1領域
R2…容器内第2領域
W…液体としての洗浄水
Claims (6)
- 被処理物質を含む液体が導入可能な容器と、
前記液体の導入時に液相となるべき容器内第1領域に超音波を照射して前記被処理物質を気化または霧化させるべく、前記容器に設けられた超音波照射手段と、
前記液体の導入時に気相となるべき容器内第2領域に電磁波を照射して前記気相中にて放電プラズマを発生させるべく、前記容器に設けられた電磁波照射手段と
を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記容器内の気体を排出して前記容器内を減圧状態にする減圧手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記超音波照射手段は、前記容器の底部に設けられた超音波振動子であることを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記電磁波照射手段は、マイクロ波を発生するマイクロ波発生器と、前記マイクロ波を伝搬させる導波管と、前記導波管の先端部に形成され前記マイクロ波を出力するスロットアンテナとを有するとともに、前記容器における前記超音波照射手段の設置位置よりも上方の位置に設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 被処理物質を含む液体を導入した容器内における液相に超音波を照射して前記被処理物質を気化または霧化させ、前記被処理物質を液相から気相に移行させるステップと、
前記容器内における気相に電磁波を照射して前記気相中にて放電プラズマを発生させ、気化または霧化した前記被処理物質をその放電プラズマで処理するステップと
を含むことを特徴とするプラズマ処理方法。 - 前記容器内を減圧状態にするステップをさらに含むことを特徴とする請求項5に記載のプラズマ処理方法。
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