JP2002263475A

JP2002263475A - 金属を含む有機化合物廃液の処理方法とその処理装置

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Publication number: JP2002263475A
Application number: JP2001069017A
Authority: JP
Inventors: Yasushi Sakakibara; 康史榊原; Makoto Koguchi; 信虎口
Original assignee: Fuji Electric Co Ltd
Current assignee: Fuji Electric Co Ltd
Priority date: 2001-03-12
Filing date: 2001-03-12
Publication date: 2002-09-17
Anticipated expiration: 2021-03-12
Also published as: JP4696378B2

Abstract

(57)【要約】【課題】金属性微粒子や有害金属を含む有機化合物廃液
を効率的、かつ安全に減容処理できるものとする。【解決手段】プラズマ反応処理手段３に反応ガス供給手
段２から反応ガスを送ってプラズマ８０を形成し、形成
されたプラズマ８０中へ廃液供給手段１から金属を含む
有機化合物廃液を送り、有機化合物廃液を加熱分解する
とともに、金属類を残さとして分離、除去する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、金属加工、あるい
は金属配管、金属容器等の洗浄工程で生じる金属微粒子
あるいは有機金属を含む有機化合物廃液の処理方法に係
わり、特に有害金属や放射性核種などを含む有機化合物
廃液の濃縮減容処理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】金属加工工程、あるいは金属配管、金属
容器等の洗浄工程で生じる金属微粒子あるいは有機金属
を含む有機化合物廃液、特に原子力発電所等で生じる有
害金属、放射性核種などを含む有機化合物廃液、例え
ば、金属微粉末やアルコラート類を含んだアルコール
類、金属微粉末や有機金属類を含んだ有機溶剤類等の有
機化合物廃液は、容易に廃棄処分にすることができず、
通常、貯蔵施設に保管されている。しかしながら貯蔵施
設までの輸送や、貯蔵施設での保管には多大な費用を要
するので、これらの金属を含む有機化合物廃液の減容・
無害化手段の確立が急務の課題となっている。従来、こ
の種の有機化合物廃液の減容方法としては、蒸発させて
分離する方法、あるいは吸着材に吸着させて分離する方
法等が用いられている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、蒸発さ
せて分離する方法の場合、発生する有機性ガスを完全に
無害化することは困難で、安全上の問題が大きいという
難点がある。また吸着材などによって分離する方法の場
合には、有害物を含む二次廃棄物が新たに生成され、別
途この二次廃棄物を処理が必要となるので、本質的な問
題の解決にはならない。

【０００４】本発明は、この技術の現状を考慮してなさ
れたもので、上記のごとき課題を解決して、金属性微粒
子あるいは有害金属等を含む有機化合物廃液を、実用的
な処理速度で、安全かつ安定に、さらには連続的に、減
容処理することのできる処理方法、ならびに処理装置を
提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明においては、（１）金属を含む有機化合物廃液の処理方法として、請
求項１に記載のごとく、金属を含む有機化合物廃液を反
応ガスのプラズマと反応させて有機成分を分解させると
ともに、含有金属を残さとして分離除去する処理方法を
用いることとし、特に、請求項２に記載のごとく、上記
の反応ガスとして、空気または酸素を用いることとす
る。

【０００６】また、金属を含む有機化合物廃液の処理装
置を、（２）請求項３に記載のごとく、有機化合物廃液供給手
段、反応ガス供給手段、プラズマ反応処理手段、排気手
段、排ガス洗浄手段、および運転制御手段を備えて構成
することとし、さらに、請求項４記載のごとく、上記の
反応ガス供給手段より供給する反応ガスを空気または酸
素とする。

【０００７】（３）さらに上記の（２）において、プラ
ズマ反応処理手段を、請求項５に記載のごとく、有機化
合物廃液と反応ガスの導入部を備えた円筒状の電気絶縁
管と、この電気絶縁管の外側に同軸に巻かれた誘導コイ
ルとから構成し、誘導コイルに高周波電流を通電して電
気絶縁管の内部に誘導結合プラズマを発生して、有機化
合物廃液と反応ガスとを反応させるよう構成することと
する。さらにまた、請求項６に記載のごとく、反応ガス
が円筒状の電気絶縁管の内壁に沿って周方向に流入する
ように上記の反応ガスの導入部を構成し、かつ有機化合
物廃液が円筒状の電気絶縁管の中心軸上に沿って流れる
ように上記の有機化合物廃液の導入部を構成することと
する。

【０００８】（４）あるいは、上記の（２）において、
プラズマ反応処理手段を、請求項７に記載のごとく、有
機化合物廃液と反応ガスの導入部を備えた電気絶縁性の
プラズマ反応容器と対向する電極とから構成し、対向す
る電極に高周波電圧を印加して電気絶縁性のプラズマ反
応容器の内部に容量結合プラズマを発生して、有機化合
物廃液と反応ガスを反応させるよう構成することとす
る。

【０００９】（５）あるいは、上記の（２）において、
プラズマ反応処理手段を、請求項８に記載のごとく、有
機化合物廃液と反応ガスの導入部を備え、対向電極を内
蔵したプラズマ反応容器から構成し、対向電極に直流あ
るいは交流電圧を印加して容器の内部にプラズマを発生
し、有機化合物廃液と反応性ガスを反応させるよう構成
することとする。

【００１０】（６）また、上記の（２）〜（５）におい
て、有機化合物廃液供給手段を、請求項９に記載のごと
く、金属を含む有機化合物廃液を加熱、気化して供給す
る加熱配管を備えて構成することとし、さらには、請求
項１０に記載のごとく、気化した有機化合物廃液の蒸気
を反応ガスと混合して同一の導入部よりプラズマ反応処
理手段へと導入することとする。

【００１１】（７）あるいは、上記の（２）〜（５）に
おいて、有機化合物廃液供給手段を、請求項１１に記載
のごとく金属を含む有機化合物廃液を液状として送る輸
送手段を備えるものとして構成し、かつプラズマ反応処
理手段に上記の輸送手段により輸送された有機化合物廃
液を加熱、気化する加熱手段を備えることとする。（８）あるいは、上記の（２）〜（５）において、有機
化合物廃液供給手段を、請求項１２に記載のごとく、有
機化合物廃液に含まれる金属を予め分離させるための化
学的処理手段および／あるいは物理的処理手段を備える
ものとして構成することとする。

【００１２】（９）また、上記の（２）〜（８）におい
て、排ガス洗浄手段を、請求項１３に記載のごとく、排
ガスに含まれる金属を回収するための化学調整を行う水
シャワーを備えるものとして構成することとする。（１０）また、上記の（２）〜（８）において、排気手
段を、水封式ポンプを備えるものとして構成し、真空封
止用の水を化学調整して循環使用し、排気系へ散逸する
有害物質を循環水に捕捉し、循環水から有害物質を分離
回収することとする。

【００１３】上記の（１）のごとき処理方法を用いるこ
ととし、有機化合物廃液を空気または酸素からなる反応
ガスのプラズマと反応させれば、例えば有機化合物がエ
チルアルコールである場合には、次式のごとき反応が生
じて、エチルアルコールは二酸化炭素と水に分解され
る。

【００１４】

【化１】C₂H₅OH ＋ 3O₂ → 2CO₂ ＋ 3H₂O また、例えば有機化合物が揮発性有機金属のアルコラー
トである場合には、次式のごとき反応が生じて、二酸化
炭素と水、および酸化ナトリウムとなり、有害金属は金
属酸化物となるので、水洗いにより容易に回収できる。

【００１５】

【化２】 2C₂H₅ONa ＋ 6O₂ → 4CO₂ ＋ 5H₂O ＋ Na₂O 上記の（２）のごとく処理装置を構成すれば、上記の
（１）のごとき処理方法による金属を含む有機化合物廃
液の処理が可能となる。すなわち、プラズマ反応処理手
段内に供給された有機化合物廃液は、例えば酸素プラズ
マと反応して二酸化炭素や水となり、無害化されて排出
される。また、有機金属としてプラズマ反応処理手段内
に供給された微量金属類は金属酸化物に変換される。生
成された生成物は排気手段により、プラズマ反応処理手
段外に排出される。

【００１６】特に、上記の（３）のごとくとすれば、一
般に誘導結合プラズマと呼ばれるプラズマを発生させ
て、金属を含む有機化合物廃液の処理を行うことができ
る。なお、このとき、反応ガスが円筒状の電気絶縁管の
内壁に沿って周方向に流入するように上記の反応ガスの
導入部を構成し、かつ有機化合物廃液が円筒状の電気絶
縁管の中心軸上に沿って流れるように上記の有機化合物
廃液の導入部を構成すれば、有機化合物廃液のガスは、
通常プラズマからの熱保護のために水冷されている絶縁
管の管壁より隔たって通過し、かつ、絶縁管の中心軸に
対象に形成される誘導プラズマに偏心することなく導入
されるので、高い反応効率が得られ、かつ、プラズマの
安定性が維持される。

【００１７】また、上記の（４）のごとくとすれば、一
般に容量結合プラズマと呼ばれるプラズマを発生させ
て、金属を含む有機化合物廃液の処理を行うことができ
る。この方式では、上記の（３）の方式と同様に、プラ
ズマ反応容器内に電極を設置する必要がないので、プラ
ズマ反応容器内の雰囲気を酸化性あるいは還元性等自由
に選定できる。

【００１８】また、上記の（４）のごとく、プラズマ反
応容器内に電極を配置して、プラズマを発生させること
も可能である。この場合の利点は、プラズマ反応容器を
全て金属で構成することができること、また、プラズマ
用電源として安価な直流電源あるいは商用周波数程度の
交流電源が利用できることにある。また、有機化合物廃
液の輸送、供給を液体状態で行うと、液滴状で供給され
る可能性が強く、供給が間欠的となり、プラズマが不安
定になり易いが、上記の（６）のごとくとすれば、有機
化合物廃液が蒸気として供給されるので、連続的な供給
が維持され、安定なプラズマが得られ、有機化合物廃液
が効率よく処理される。なお、このとき、有機化合物廃
液ガスと反応ガスを混合してプラズマ反応容器に供給す
れば、混合ガスのプラズマが形成されるので、反応容器
内の有機化合物廃液成分と反応ガスの濃度が均一とな
り、良好な反応が得られる。

【００１９】また、上記の（７）のごとくとすれば、液
滴状で供給される可能性が強く、供給が間欠的となり、
プラズマが不安定になりやすいという欠点があるが、有
機化合物廃液を気化したのちプラズマ反応容器に導入す
る場合と比べ、気化器からプラズマ反応容器までの供給
経路を加熱保温する必要がなく、経済的である。また、
上記の（８）のごとくとすれば、廃液中に含まれる金属
微粒子や有機金属として存在する金属類が予め効果的に
分離された有機化合物廃液がプラズマ反応容器内に供給
されるので、プラズマ反応容器内に持ちこまれる金属類
が低減し、金属酸化物に変換される量も低減されるので
処理が容易となる。

【００２０】また、上記の（９）のごとく、プラズマ反
応容器外に排出される排ガスを洗浄すれば、金属酸化物
に変換された微量物質も容易に溶解あるいは懸濁物とし
て捕捉できるので分離回収が可能となり、システム外へ
の散逸が容易に防止されることとなる。また、プラズマ
反応容器内において反応生成物として形成された二酸化
炭素と水は真空ポンプによってプラズマ反応容器の外部
へと排出されるが、このとき、上記の（１０）のごとく
真空ポンプとして水封ポンプを用いることとし、真空封
止用の水を循環して使用すれば、特別の洗浄手段を用い
ることなく、有機化合物廃液処理後に残る金属残さを循
環水に捕捉して回収することができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明を実施例を揚げて説
明する。＜第１の実施例＞図１は、本発明の金属を含む有機化合
物廃液の処理装置の第１の実施例の構成図である。図に
見られるごとく、本実施例の処理装置は、基本的に有機
化合物廃液供給手段１と反応ガス供給手段２とプラズマ
反応処理手段３と排気手段４と排ガス洗浄手段５、なら
びにこれらの各手段の運転を管理・制御する図示しない
運転制御手段から構成されている。

【００２２】このうち、プラズマ反応処理手段３は、電
気絶縁内管３１ａと電気絶縁外管３１ｂよりなる円筒状
の電気絶縁管の一端に反応ガスの導入部３４と有機性液
体廃液の導入部３５を配して構成されたプラズマ反応容
器３６と、電気絶縁管の外側に同軸に巻かれた高周波誘
導コイル３２と、この高周波誘導コイル３２に高周波電
流を通電する高周波電源３３から構成されている。電気
絶縁内管３１ａと電気絶縁外管３１ｂはいずれも電気絶
縁性と耐熱性を兼ね備えた石英によって形成されてお
り、電気絶縁内管３１ａの内径はφ36 mm である。ま
た、電気絶縁内管３１ａと電気絶縁外管３１ｂの隙間に
は冷却するための冷却水が流されている。上記の反応ガ
スの導入部３４は、反応ガスを絶縁管の周方向に導入す
るノズルと絶縁管の径方向に導入するノズルを備えてい
る。また、上記の有機化合物廃液の導入部３５は、有機
化合物廃液を絶縁管の軸方向に導入するよう構成されて
おり、プラズマ８０の熱から保護するために図示しない
冷媒によって冷却されている。高周波誘導コイル３２
は、通常、3 〜 10 ターン巻装して構成されるが、本実
施例においては 5ターン巻装して構成した。また、高周
波電源３３の出力周波数は13.56 MHz、定格出力は 3 kW
である。

【００２３】図２は、本実施例に用いた有機化合物廃液
供給手段１の構成図である。図において、１１は、有機
化合物廃液を貯留するための廃液タンク、１２は、廃液
タンク１１の内部に設置された廃液加熱用のヒーター、
１３は、ヒーター１２を加熱するためのヒーター電源で
ある。また、１４は、廃液タンク１１で生じた廃液蒸気
を加熱してプラズマ反応処理手段３へと移送する加熱配
管である。したがって、本構成においては、ヒーター１
２の加熱により廃液タンク１１で生じた廃液蒸気が、加
熱配管１４で加熱され、凝縮することなく連続的にプラ
ズマ反応処理手段３へ供給される。

【００２４】図３は、本実施例に用いた排気手段４と排
ガス洗浄手段５の構成図である。図において、４１は排
気ポンプ、５１は水シャワー装置、５２はシャワー水循
環装置である。プラズマ反応処理手段３のプラズマ反応
容器３６は排気ポンプ４１によって排気されて減圧状態
に保持される。また、排気ポンプ４１によって排気され
た排ガスは水シャワー装置５１に導かれ、排ガス中に含
まれる微量の金属物質はこの水シャワーに捕捉され、そ
の後、金属物質は回収のための化学調整を行なうことに
より除去される。

【００２５】本構成における金属を含む有機化合物廃液
の処理は以下のごとく行われる。まず、反応ガス供給手
段２より反応ガス、例えば酸素あるいは空気を反応ガス
の導入部３４より電気絶縁管の一端に導入し、排気ポン
プ４１によって排気して減圧状態に保持し、高周波電源
３３の出力電圧を高周波誘導コイル３２に印可する。電
気絶縁管の内部に導入された反応ガスは、高周波誘導コ
イルにより形成される電界により電離し、プラズマ８０
が形成される。このようにプラズマ８０が形成されてい
る状態において、図２に示した有機化合物廃液供給手段
１のヒーター１２を加熱させて生じた有機化合物廃液の
蒸気を加熱配管１４を介して輸送し、有機化合物廃液の
導入部３５より電気絶縁管の内部へと導入する。導入さ
れた有機化合物廃液の蒸気は、プラズマ８０により加熱
され、瞬時に熱分解し、酸素と反応を起こして二酸化炭
素と水蒸気になる。有機化合物廃液中に含まれていた微
量の金属は、二酸化炭素および水蒸気とともに排気ポン
プ４１を通して水シャワー装置５１に導かれ、シャワー
水に捕捉された後、金属物質は回収のための化学調整を
行なうことにより除去される。

【００２６】本構成の処理装置において、エチルアルコ
ールを有機化合物とする金属微粒子を含む廃液を、酸素
を反応ガスとして用いて処理した結果によれば、エチル
アルコールの供給量を 7.6 g/min、酸素供給量を 11.4
l/min 、高周波電力を 1 kW、プラズマ反応容器の圧力
を 26.6 kPa として処理したときのアルコールの分解率
は 99 ％以上に達し、装置外に排出されるガスは二酸化
炭素と水（水蒸気）のみであった。

【００２７】＜第２の実施例＞図４は、本発明の金属を
含む有機化合物廃液の処理装置の第２の実施例のプラズ
マ反応処理手段の構成図である。本構成のプラズマ反応
処理手段は、図に見られるように、反応ガスの導入部３
４と有機化合物廃液の導入部３５を備え、開口部に電気
絶縁性窓３７を備えた金属製のプラズマ反応容器３６Ａ
と、電気絶縁性窓３７に対向して配置された電極３８
と、高周波電源３３Ａにより構成されている。

【００２８】本構成においては、反応ガスの導入部３４
よりプラズマ反応容器３６Ａの内部へ反応ガス、例えば
空気あるいは酸素を導入し、図示しない排気手段によっ
て減圧排気し、高周波電源３３Ａにより電極３８とプラ
ズマ反応容器３６Ａとの間に高周波電圧を印加すること
によって、プラズマ反応容器３６Ａの内部に容量結合プ
ラズマ８０が発生する。したがって、この状態におい
て、図示しない有機化合物廃液供給手段から供給された
有機化合物廃液、例えばアルコール廃液を導入部３５を
介してプラズマ反応容器３６Ａの内部に導入すれば、有
機化合物廃液はプラズマ８０によって加熱され、瞬時に
熱分解し、酸素と反応を起こして二酸化炭素と水蒸気に
分解されることとなる。

【００２９】＜第３の実施例＞図５は、本発明の金属を
含む有機化合物廃液の処理装置の第３の実施例のプラズ
マ反応処理手段の構成図である。本構成のプラズマ反応
処理手段は、図に見られるように、反応ガスの導入部３
４と有機化合物廃液の導入部３５を備えた金属製のプラ
ズマ反応容器３６Ｂと、このプラズマ反応容器３６Ｂの
内部に対向して配置された電極３８Ａと、電源３３Ｂに
より構成されている。

【００３０】本構成においては、プラズマ反応容器３６
Ｂの内部へ反応ガスを導入し、図示しない排気手段によ
って減圧排気し、電源３３Ｂにより電極３８Ａとプラズ
マ反応容器３６Ｂとの間に直流あるいは交流電圧を印加
することによって、プラズマ８０が発生する。したがっ
て、この状態において、有機化合物廃液、例えばアルコ
ール廃液を導入部３５を介してプラズマ反応容器３６Ａ
の内部に導入すれば、有機化合物廃液はプラズマ８０に
よって加熱され、瞬時に熱分解し、酸素と反応を起こし
て二酸化炭素と水蒸気に分解されることとなる。

【００３１】なお、上記の第１〜第３の実施例に用いら
れているプラズマ反応処理手段は、いずれも、排気配管
を含めてすべて冷却されており、また、一般の焼却炉な
どと異なり、装置自体は室温で運転可能であるので安全
性が極めて高い。＜第４の実施例＞図６は、本発明の金属を含む有機化合
物廃液の処理装置の第４の実施例の有機化合物廃液供給
手段の構成図である。本図において、１１Ａは有機化合
物廃液を貯えた廃液タンク、１５は廃液輸送ポンプであ
り、プラズマ反応処理手段３の有機化合物廃液の導入部
に組み込まれているのは加熱用のヒーター３９である。

【００３２】本構成では、廃液タンク１１Ａに貯えられ
た有機化合物廃液を廃液輸送ポンプ１５によって吸引
し、液相の状態でプラズマ反応処理手段３へと送り、ヒ
ーター３９によって加熱して気相（蒸気）とし、この有
機化合物廃液の蒸気をプラズマにより加熱して処理を行
うものである。＜第５の実施例＞図７は、本発明の金属を含む有機化合
物廃液の処理装置の第５の実施例の有機化合物廃液供給
手段の構成図である。本図において、１１Ｂは有機化合
物廃液を貯えた廃液タンクである。廃液タンク１１Ｂの
内部には上部と下部を区画するフィルター１６が組み込
まれており、廃液タンク１１Ｂの下部には薬液注入用の
図示しない供給口が、また底部にはドレインが備えられ
ている。また、１５は、有機化合物廃液をプラズマ反応
処理手段３へと供給する廃液輸送ポンプである。

【００３３】本構成では、廃液タンク１１Ｂの下部にお
いて薬液処理によって有機化合物廃液に含まれる金属等
の微粒子が化学的に分離処理され、フィルター１６によ
る物理的分離処理を経て廃液タンク１１Ｂの上部に達し
た有機化合物廃液が、廃液輸送ポンプ１５によってプラ
ズマ反応処理手段３へと送られることとなる。したがっ
て、プラズマ反応処理手段３へ持ちこまれる金属等の微
粒子は本質的に微量に押さえられる。

【００３４】＜第６の実施例＞図８は、本発明の金属を
含む有機化合物廃液の処理装置の第６の実施例の排気手
段と排ガス洗浄手段の構成図である。本図において、４
２は、プラズマ反応処理手段３のプラズマ反応容器を減
圧排気するための排気装置として用いられる水封ポン
プ、５３は、水封ポンプ４２の真空封止用の水を化学調
整して循環使用するための水循環装置である。本構成で
は、特別の洗浄手段を用いることなく、有機化合物廃液
処理後に残る金属残さを循環水に補足して回収すること
ができる。

【００３５】

【発明の効果】上述のように、本発明においては、（１）請求項１、あるいは請求項２に記載のごとき処理
方法を用いることとしたので、金属性微粒子あるいは有
害金属等を含む有機化合物廃液を、実用的な処理速度
で、安全かつ安定に、さらには連続的に、減容処理する
ことが可能となった。

【００３６】（２）また、請求項３〜請求項１４に記載
のごとく処理装置を構成することとしたので、金属性微
粒子あるいは有害金属等を含む有機化合物廃液を、実用
的な処理速度で、安全かつ安定に、さらには連続的に、
減容処理する処理装置が得られることとなった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の金属を含む有機化合物廃液の処理装置
の第１の実施例の構成図

【図２】第１の実施例に用いた有機化合物廃液供給手段
の構成図

【図３】第１の実施例に用いた排気手段と排ガス洗浄手
段の構成図

【図４】本発明の金属を含む有機化合物廃液の処理装置
の第２の実施例のプラズマ反応処理手段の構成図

【図５】本発明の金属を含む有機化合物廃液の処理装置
の第３の実施例のプラズマ反応処理手段の構成図

【図６】本発明の金属を含む有機化合物廃液の処理装置
の第４の実施例の有機化合物廃液供給手段の構成図

【図７】本発明の金属を含む有機化合物廃液の処理装置
の第５の実施例の有機化合物廃液供給手段の構成図

【図８】本発明の金属を含む有機化合物廃液の処理装置
の第６の実施例の排気手段と排ガス洗浄手段の構成図

【符号の説明】

１有機化合物廃液供給手段２反応ガス供給手段３プラズマ反応処理手段４排気手段５排ガス洗浄手段１１，１１Ａ，１１Ｂ廃液タンク１２ヒーター１３ヒーター電源１４加熱配管１５廃液輸送ポンプ１６フィルター３１ａ電気絶縁内管３１ｂ電気絶縁外管３２高周波誘導コイル３３，３３Ａ高周波電源３３Ｂ電源３４導入部（反応ガス）３５導入部（有機化合物廃液）３６，３６Ａ，３６Ｂプラズマ反応容器３７電気絶縁性窓３８，３８Ａ電極３９ヒーター４１排気ポンプ４２水封ポンプ５１水シャワー装置５２シャワー水循環装置５３水循環装置８０プラズマ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】金属を含む有機化合物廃液を反応ガスのプ
ラズマと反応させ、有機成分を分解させるとともに、含
有金属を残さとして分離除去することを特徴とする金属
を含む有機化合物廃液の処理方法。
【請求項２】前記の反応ガスが、空気または酸素である
ことを特徴とする請求項１に記載の金属を含む有機化合
物廃液の処理方法。
【請求項３】金属を含む有機化合物廃液を貯槽から定量
供給する有機化合物廃液供給手段と、有機化合物廃液と
反応させる反応ガスを定量供給する反応ガス供給手段
と、有機化合物廃液供給手段により供給された有機化合
物廃液を反応ガス供給手段により供給された反応ガスの
プラズマと反応させて分解処理するプラズマ反応処理手
段と、プラズマ反応処理手段を構成するプラズマ処理容
器を減圧排気する排気手段と、排気手段により排気され
る排ガスを洗浄する排ガス洗浄手段と、前記の各種構成
手段の運転を管理・制御する運転制御手段とを備えてな
ることを特徴とする金属を含む有機化合物廃液の処理装
置。
【請求項４】反応ガス供給手段により供給される前記反
応ガスが、空気または酸素であることを特徴とする請求
項３に記載の金属を含む有機化合物廃液の処理装置。
【請求項５】前記のプラズマ反応処理手段が、有機化合
物廃液と反応ガスの導入部を備えた円筒状の電気絶縁管
と、該電気絶縁管の外側に同軸に巻かれた誘導コイルを
備えてなり、該誘導コイルに高周波電流を通電して電気
絶縁管の内部に誘導結合プラズマを発生し、有機化合物
廃液と反応ガスとを反応させる手段であることを特徴と
する請求項３または４に記載の金属を含む有機化合物廃
液の処理装置。
【請求項６】反応ガス供給手段により供給された反応ガ
スが円筒状の電気絶縁管の内壁に沿って周方向に流入す
るように前記の反応ガスの導入部が構成され、かつ有機
化合物廃液供給手段より供給された有機化合物廃液が円
筒状の電気絶縁管の中心軸上に沿って流れるように前記
の有機化合物廃液の導入部が構成されていることを特徴
とする請求項５に記載の金属を含む有機化合物廃液の処
理装置。
【請求項７】前記のプラズマ反応処理手段が、有機化合
物廃液と反応ガスの導入口を備えた電気絶縁性のプラズ
マ反応容器と、対向する電極とを用いて構成され、対向
する電極に高周波電圧を印加して電気絶縁性のプラズマ
反応容器の内部に容量結合プラズマを発生し、有機化合
物廃液と反応ガスを反応させる手段であることを特徴と
する請求項３または４に記載の金属を含む有機化合物廃
液の処理装置。
【請求項８】前記のプラズマ反応処理手段が、有機化合
物廃液と反応ガスの導入部を備え、かつ対向電極を内蔵
したプラズマ反応容器を用いて構成され、対向電極に直
流あるいは交流電圧を印加してプラズマ反応容器の内部
にプラズマを発生し、有機化合物廃液と反応性ガスを反
応させる手段であることを特徴とする請求項３または４
に記載の金属を含む有機化合物廃液の処理装置。
【請求項９】前記の有機化合物廃液供給手段が、金属を
含む有機化合物廃液を加熱、気化してプラズマ反応処理
手段に供給する加熱配管を備えてなることを特徴とする
請求項３乃至８のいずれかに記載の金属を含む有機化合
物廃液の処理装置。
【請求項１０】前記の加熱配管により気化した有機化合
物廃液の蒸気が、反応ガスと混合されて同一の導入部よ
りプラズマ反応処理手段へと導入されていることを特徴
とする請求項９に記載の金属を含む有機化合物廃液の処
理装置。
【請求項１１】前記の有機化合物廃液供給手段が金属を
含む有機化合物廃液を液状として送る輸送手段を備え、
かつ前記のプラズマ反応処理手段が輸送手段により輸送
された有機化合物廃液を加熱、気化する加熱手段を備え
てなることを特徴とする請求項３乃至８のいずれかに記
載の金属を含む有機化合物廃液の処理装置。
【請求項１２】前記の有機化合物廃液供給手段が、有機
化合物廃液に含まれる金属を予め分離させるための化学
的処理手段および／あるいは物理的処理手段を備えてな
ることを特徴とする請求項３乃至８のいずれかに記載の
金属を含む有機化合物廃液の処理装置。
【請求項１３】排ガス洗浄手段が、排ガスに含まれる金
属を回収するための化学調整を行う水シャワーを備えた
ことを特徴とする請求項３乃至１２のいずれかに記載の
金属を含む有機化合物廃液の処理装置。
【請求項１４】プラズマ処理容器を減圧排気する排気手
段が水封式ポンプを備えてなり、真空封止用の水を化学
調整して循環使用し、排気系へ散逸する有害物質を循環
水に捕捉し、循環水から有害物質を分離回収することを
特徴とする請求項３乃至１２のいずれかに記載の金属を
含む有機化合物廃液の処理装置。
【請求項１５】前記の有機化合物が、アルコール類の少
なくとも一つ、あるいはアルコール類の少なくとも一つ
とアルコラート類の少なくとも一つとの混合液であるこ
とを特徴とする請求項１または２に記載の金属を含む有
機化合物廃液の処理方法。
【請求項１６】前記の有機化合物が、有機溶剤類の少な
くとも一つ、あるいは有機溶剤類の少なくとも一つと有
機金属類の少なくとも一つとの混合液であることを特徴
とする請求項１または２に記載の金属を含む有機化合物
廃液の処理方法。
【請求項１７】前記の有機化合物が、アルコール類の少
なくとも一つ、あるいはアルコール類の少なくとも一つ
とアルコラート類の少なくとも一つとの混合液であるこ
とを特徴とする請求項３乃至１４のいずれかに記載の金
属を含む有機化合物廃液の処理装置。
【請求項１８】前記の有機化合物が、有機溶剤類の少な
くとも一つ、あるいは有機溶剤類の少なくとも一つと有
機金属類の少なくとも一つとの混合液であることを特徴
とする請求項３乃至１４のいずれかに記載の金属を含む
有機化合物廃液の処理装置。