JP5141658B2 - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
半導体装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5141658B2 JP5141658B2 JP2009225250A JP2009225250A JP5141658B2 JP 5141658 B2 JP5141658 B2 JP 5141658B2 JP 2009225250 A JP2009225250 A JP 2009225250A JP 2009225250 A JP2009225250 A JP 2009225250A JP 5141658 B2 JP5141658 B2 JP 5141658B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- cap
- base
- region
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B7/00—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
- B81B7/0032—Packages or encapsulation
- B81B7/007—Interconnections between the MEMS and external electrical signals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76898—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics formed through a semiconductor substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/481—Internal lead connections, e.g. via connections, feedthrough structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
また、上記半導体装置においては、ベース基板に貼り合わされる導電性を有した単結晶シリコンからなる一枚の基板を加工して形成されるキャップ基板が、ベース基板の表層部の所定領域に形成される力学量センサ素子を保護するための密封キャップとして機能する。
また、上記半導体装置は、前記キャップ基板において、前記ベース基板の表層部における前記力学量センサ素子が形成された所定領域に対向して凹部が形成され、前記キャップ基板が、前記凹部の周りで前記ベース基板に貼り合わされてなる構成としている。そして、前記キャップ基板の凹部における所定の領域に、絶縁膜が形成されている。これによって、半導体からなるベース基板の所定領域と導電性を有したキャップ基板の凹部とで構成される前記空間内において、前記凹部における所定の領域に形成された絶縁膜により、空間内に残った水分やキャップ凹部内の汚染物質等による短絡(ショート)等の不具合を抑制することができる。
上記半導体装置における前記絶縁膜は、請求項2に記載のように、前記凹部の内面にのみ形成されていることが好ましい。
また、上記半導体装置における前記導電膜は、例えば請求項3に記載のように、金属とすることができる。上記半導体装置においては、請求項4に記載のように、前記ベース基板と前記キャップ基板が、導電性接着剤により貼り合わされてなる構成であってよい。また、請求項5に記載のように、前記導電膜が、金(Au)−シリコン(Si)共晶接合による貼り合わせで形成されていてもよい。
これによって、埋め込み酸化膜を有するSOI基板からなるベース基板と単結晶シリコンからなるキャップ基板が、上記導電膜を介して、導電性を確保した状態で強固に貼り合わされると共に、前記ベース基板の力学量センサ素子が形成された所定領域とキャップ基板とで構成される空間を完全密封することができる。
また、請求項12に記載の発明は、埋め込み酸化膜を有するSOI基板からなるベース基板であって、前記埋め込み酸化膜に達するトレンチにより周囲から絶縁分離されたSOI層からなる複数個のベース半導体領域が表層部に形成されてなり、前記複数個のベース半導体領域のうち、少なくとも一個のベース半導体領域が、変位可能に形成された可動電極を有する可動半導体領域であり、少なくとももう一個のベース半導体領域が、前記可動電極と対向する固定電極を有する固定半導体領域であり、印加される力学量に応じて変位する前記可動電極と固定電極の間の距離変化に伴う静電容量の変化を測定して前記力学量を検出する、力学量センサ素子が形成されたベース基板と、前記ベース基板に貼り合わされる導電性を有した単結晶シリコンからなる一枚の基板を加工して形成されるキャップ基板であって、当該キャップ基板を貫通する絶縁分離トレンチにより、複数個の単結晶シリコンからなるキャップ導電領域が形成されてなるキャップ基板とを有してなり、前記キャップ基板が、導電膜を介して、前記ベース基板の表層部における前記力学量センサ素子が形成された所定領域に対向して貼り合わされて、前記所定領域とキャップ基板とで構成される空間が、密封されると共に、所定の前記キャップ導電領域が、前記導電膜を介して、所定の前記ベース半導体領域に電気的に接続されてなる、引き出し導電領域として機能し、前記可動半導体領域と前記固定半導体領域に、それぞれ、前記引き出し導電領域が接続され、前記ベース基板に貼り合わされたキャップ基板の貼り合わせ面と反対側の外部に露出する前記引き出し導電領域へ、電気的な接続が行われてなる半導体装置の製造方法であって、前記絶縁分離された複数個のベース半導体領域が表層部に形成されてなるベース基板を準備するベース基板準備工程と、前記ベース基板に貼り合わされる導電性を有したキャップ基板であって、当該キャップ基板を貫通する絶縁分離トレンチにより、複数個のキャップ導電領域が形成されてなるキャップ基板を準備するキャップ基板準備工程と、前記キャップ基板を、前記ベース基板の所定領域に対向するようにして、前記導電膜を介して、前記ベース基板に貼り合わせ、前記空間を密封すると共に、前記導電膜を介して、前記引き出し導電領域を前記所定のベース半導体領域に電気的に接続する基板貼り合わせ工程とを有してなり、前記キャップ基板準備工程が、前記キャップ基板となる1次基板の一方の面側に、前記絶縁分離トレンチとなる所定深さの1次絶縁トレンチを形成する1次絶縁トレンチ形成工程と、前記1次基板のもう一方の面側から研削して、前記1次絶縁トレンチの端部を露出し、前記1次絶縁トレンチを前記絶縁分離トレンチとすると共に、前記1次基板を前記キャップ基板とするキャップ基板形成工程と、前記キャップ基板形成工程後、前記キャップ基板のもう一方の面側に、前記ベース基板の表層部における所定領域に対向して凹部を形成する凹部形成工程とを有してなり、前記基板貼り合わせ工程において、前記キャップ基板の凹部を、前記ベース基板の所定領域に対向するようにして、前記キャップ基板を、凹部の周りで前記ベース基板に貼り合わせることを特徴としている。
尚、請求項13に記載のように、前記凹部形成工程において、前記キャップ基板の凹部における所定の領域に、絶縁膜を形成する。
上記製造方法においては、例えば請求項14に記載のように、前記導電膜が、金属であってもよいし、請求項15に記載のように、前記ベース基板と前記キャップ基板が、前記基板貼り合わせ工程において、導電性接着剤により貼り合わされてもよい。また、請求項16に記載のように、前記導電膜が、前記基板貼り合わせ工程において、金(Au)−シリコン(Si)共晶接合による貼り合わせで形成されてもよい。
1次絶縁トレンチ31aを形成するようにしてもよい。
を所定電位に設定して、電位印加リングを形成することができる。また、複数個のキャップ導電領域Ceにおける幾つかのキャップ導電領域に対して、接地電位(GND)と電源電位を分割する中間の電位をそれぞれ与えることもできる。これによって、隣接するキャップ導電領域Ce間の電位差を小さくして、絶縁分離性を高めることが可能である。勿論、キャップ導電領域Ceに電位を与えず、フローティング状態としてもよい。
B1〜B4,B6〜B8,B10,B11 ベース基板
23 トレンチ
27 絶縁分離トレンチ
Bs,Bs1〜Bs12,Bs15〜Bs19 ベース半導体領域
C1〜C8,C10〜C14 キャップ基板
31,44 絶縁分離トレンチ
Ce,Ce1,Ce2,Ce4,Ce5,Ce7〜Ce19 キャップ導電領域
32 凹部
T1〜T3 凸部
D1 接合面
Claims (16)
- 埋め込み酸化膜を有するSOI基板からなるベース基板であって、前記埋め込み酸化膜に達するトレンチにより周囲から絶縁分離されたSOI層からなる複数個のベース半導体領域が表層部に形成されてなり、
前記複数個のベース半導体領域のうち、少なくとも一個のベース半導体領域が、変位可能に形成された可動電極を有する可動半導体領域であり、少なくとももう一個のベース半導体領域が、前記可動電極と対向する固定電極を有する固定半導体領域であり、
印加される力学量に応じて変位する前記可動電極と固定電極の間の距離変化に伴う静電容量の変化を測定して前記力学量を検出する、力学量センサ素子が形成されたベース基板と、
前記ベース基板に貼り合わされる導電性を有した単結晶シリコンからなる一枚の基板を加工して形成されるキャップ基板であって、当該キャップ基板を貫通する絶縁分離トレンチにより分割されて、複数個の単結晶シリコンからなるキャップ導電領域が形成されてなるキャップ基板とを有してなり、
前記キャップ基板において、前記ベース基板の表層部における前記力学量センサ素子が形成された所定領域に対向して凹部が形成され、前記キャップ基板の凹部における所定の領域に、絶縁膜が形成されてなり、
前記キャップ基板が、前記凹部の周りで、導電膜を介して、前記ベース基板の前記所定領域に対向して貼り合わされて、前記所定領域とキャップ基板とで構成される空間が、密封されると共に、
所定の前記キャップ導電領域が、前記導電膜を介して、所定の前記ベース半導体領域に電気的に接続されてなる、引き出し導電領域として機能し、
前記可動半導体領域と前記固定半導体領域に、それぞれ、前記引き出し導電領域が接続され、
前記ベース基板に貼り合わされたキャップ基板の貼り合わせ面と反対側の外部に露出する前記引き出し導電領域へ、電気的な接続が行われてなることを特徴とする半導体装置。 - 前記絶縁膜が、前記凹部の内面にのみ形成されてなることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記導電膜が、金属からなることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記ベース基板と前記キャップ基板が、導電性接着剤により貼り合わされてなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記導電膜が、金(Au)−シリコン(Si)共晶接合による貼り合わせで形成されてなることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記可動半導体領域が、前記埋め込み酸化膜の一部を犠牲層エッチングすることにより形成されてなり、
前記可動電極と固定電極の対向面間における前記空間を誘電体層とする静電容量が形成され、
前記可動電極が、前記力学量に応じて前記対向面に対して垂直方向に変位することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記力学量が、加速度または角速度であることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。
- 前記複数個のキャップ導電領域のうち、所定のキャップ導電領域に、IC回路が形成されてなることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記複数個のキャップ導電領域のうち、前記引き出し導電領域を取り囲むキャップ導電領域が、所定電位に設定されてなることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記所定電位が、接地電位(GND)であることを特徴とする請求項9に記載の半導体装置。
- 埋め込み酸化膜を有するSOI基板からなるベース基板であって、前記埋め込み酸化膜に達するトレンチにより周囲から絶縁分離されたSOI層からなる複数個のベース半導体領域が表層部に形成されてなり、
前記複数個のベース半導体領域のうち、少なくとも一個のベース半導体領域が、変位可能に形成された可動電極を有する可動半導体領域であり、少なくとももう一個のベース半導体領域が、前記可動電極と対向する固定電極を有する固定半導体領域であり、
印加される力学量に応じて変位する前記可動電極と固定電極の間の距離変化に伴う静電容量の変化を測定して前記力学量を検出する、力学量センサ素子が形成されたベース基板と、
前記ベース基板に貼り合わされる導電性を有した単結晶シリコンからなる一枚の基板を加工して形成されるキャップ基板であって、当該キャップ基板を貫通する絶縁分離トレンチにより、複数個の単結晶シリコンからなるキャップ導電領域が形成されてなるキャップ基板とを有してなり、
前記キャップ基板が、導電膜を介して、前記ベース基板の表層部における前記力学量センサ素子が形成された所定領域に対向して貼り合わされて、前記所定領域とキャップ基板とで構成される空間が、密封されると共に、
所定の前記キャップ導電領域が、前記導電膜を介して、所定の前記ベース半導体領域に電気的に接続されてなる、引き出し導電領域として機能し、
前記可動半導体領域と前記固定半導体領域に、それぞれ、前記引き出し導電領域が接続され、
前記ベース基板に貼り合わされたキャップ基板の貼り合わせ面と反対側の外部に露出する前記引き出し導電領域へ、電気的な接続が行われてなる半導体装置の製造方法であって、
前記絶縁分離された複数個のベース半導体領域が表層部に形成されてなるベース基板を準備するベース基板準備工程と、
前記ベース基板に貼り合わされる導電性を有したキャップ基板であって、当該キャップ基板を貫通する絶縁分離トレンチにより、複数個のキャップ導電領域が形成されてなるキャップ基板を準備するキャップ基板準備工程と、
前記キャップ基板を、前記ベース基板の所定領域に対向するようにして、前記導電膜を介して、前記ベース基板に貼り合わせ、
前記空間を密封すると共に、前記導電膜を介して、前記引き出し導電領域を前記所定のベース半導体領域に電気的に接続する基板貼り合わせ工程とを有してなり、
前記キャップ基板準備工程が、
前記キャップ基板となる1次基板の一方の面側に、前記ベース基板の表層部における所定領域に対向して凹部を形成する凹部形成工程と、
前記1次基板の一方の面側に、前記絶縁分離トレンチとなる所定深さの1次絶縁トレンチを形成する1次絶縁トレンチ形成工程と、
前記1次基板のもう一方の面側から研削して、前記1次絶縁トレンチの端部を露出し、前記1次絶縁トレンチを前記絶縁分離トレンチとすると共に、前記1次基板を前記キャップ基板とするキャップ基板形成工程とを有してなり、
前記基板貼り合わせ工程において、
前記キャップ基板の凹部を、前記ベース基板の所定領域に対向するようにして、前記キャップ基板を、凹部の周りで前記ベース基板に貼り合わせることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 埋め込み酸化膜を有するSOI基板からなるベース基板であって、前記埋め込み酸化膜に達するトレンチにより周囲から絶縁分離されたSOI層からなる複数個のベース半導体領域が表層部に形成されてなり、
前記複数個のベース半導体領域のうち、少なくとも一個のベース半導体領域が、変位可能に形成された可動電極を有する可動半導体領域であり、少なくとももう一個のベース半導体領域が、前記可動電極と対向する固定電極を有する固定半導体領域であり、
印加される力学量に応じて変位する前記可動電極と固定電極の間の距離変化に伴う静電容量の変化を測定して前記力学量を検出する、力学量センサ素子が形成されたベース基板と、
前記ベース基板に貼り合わされる導電性を有した単結晶シリコンからなる一枚の基板を加工して形成されるキャップ基板であって、当該キャップ基板を貫通する絶縁分離トレンチにより、複数個の単結晶シリコンからなるキャップ導電領域が形成されてなるキャップ基板とを有してなり、
前記キャップ基板が、導電膜を介して、前記ベース基板の表層部における前記力学量センサ素子が形成された所定領域に対向して貼り合わされて、前記所定領域とキャップ基板とで構成される空間が、密封されると共に、
所定の前記キャップ導電領域が、前記導電膜を介して、所定の前記ベース半導体領域に電気的に接続されてなる、引き出し導電領域として機能し、
前記可動半導体領域と前記固定半導体領域に、それぞれ、前記引き出し導電領域が接続され、
前記ベース基板に貼り合わされたキャップ基板の貼り合わせ面と反対側の外部に露出する前記引き出し導電領域へ、電気的な接続が行われてなる半導体装置の製造方法であって、
前記絶縁分離された複数個のベース半導体領域が表層部に形成されてなるベース基板を準備するベース基板準備工程と、
前記ベース基板に貼り合わされる導電性を有したキャップ基板であって、当該キャップ基板を貫通する絶縁分離トレンチにより、複数個のキャップ導電領域が形成されてなるキャップ基板を準備するキャップ基板準備工程と、
前記キャップ基板を、前記ベース基板の所定領域に対向するようにして、前記導電膜を介して、前記ベース基板に貼り合わせ、
前記空間を密封すると共に、前記導電膜を介して、前記引き出し導電領域を前記所定のベース半導体領域に電気的に接続する基板貼り合わせ工程とを有してなり、
前記キャップ基板準備工程が、
前記キャップ基板となる1次基板の一方の面側に、前記絶縁分離トレンチとなる所定深さの1次絶縁トレンチを形成する1次絶縁トレンチ形成工程と、
前記1次基板のもう一方の面側から研削して、前記1次絶縁トレンチの端部を露出し、前記1次絶縁トレンチを前記絶縁分離トレンチとすると共に、前記1次基板を前記キャップ基板とするキャップ基板形成工程と、
前記キャップ基板形成工程後、前記キャップ基板のもう一方の面側に、前記ベース基板の表層部における所定領域に対向して凹部を形成する凹部形成工程とを有してなり、
前記基板貼り合わせ工程において、
前記キャップ基板の凹部を、前記ベース基板の所定領域に対向するようにして、前記キャップ基板を、凹部の周りで前記ベース基板に貼り合わせることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記凹部形成工程において、前記キャップ基板の凹部における所定の領域に、絶縁膜を形成することを特徴とする請求項11または12に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記導電膜が、金属からなることを特徴とする請求項11乃至13のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ベース基板と前記キャップ基板が、前記基板貼り合わせ工程において、導電性接着剤により貼り合わされることを特徴とする請求項11乃至14のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記導電膜が、前記基板貼り合わせ工程において、金(Au)−シリコン(Si)共晶接合による貼り合わせで形成されてなることを特徴とする請求項11乃至13のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009225250A JP5141658B2 (ja) | 2007-02-22 | 2009-09-29 | 半導体装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007042619 | 2007-02-22 | ||
JP2007042619 | 2007-02-22 | ||
JP2009225250A JP5141658B2 (ja) | 2007-02-22 | 2009-09-29 | 半導体装置およびその製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007257840A Division JP4792143B2 (ja) | 2007-02-22 | 2007-10-01 | 半導体装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010005785A JP2010005785A (ja) | 2010-01-14 |
JP5141658B2 true JP5141658B2 (ja) | 2013-02-13 |
Family
ID=39903224
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007257840A Expired - Fee Related JP4792143B2 (ja) | 2007-02-22 | 2007-10-01 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2009225250A Expired - Fee Related JP5141658B2 (ja) | 2007-02-22 | 2009-09-29 | 半導体装置およびその製造方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007257840A Expired - Fee Related JP4792143B2 (ja) | 2007-02-22 | 2007-10-01 | 半導体装置およびその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7859091B2 (ja) |
JP (2) | JP4792143B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014517912A (ja) * | 2011-04-14 | 2014-07-24 | ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | アウトオブプレーンスペーサが画成する電極 |
JP2016033504A (ja) * | 2014-07-31 | 2016-03-10 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、電子機器および移動体 |
KR101768254B1 (ko) * | 2013-06-12 | 2017-08-16 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 반도체 기반의 자기 센서 및 그 제조 방법 |
Families Citing this family (67)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8216870B2 (en) * | 2006-12-27 | 2012-07-10 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Mechanical quantity sensor and method of manufacturing the same |
US8017451B2 (en) | 2008-04-04 | 2011-09-13 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Electronic modules and methods for forming the same |
US8273603B2 (en) * | 2008-04-04 | 2012-09-25 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Interposers, electronic modules, and methods for forming the same |
JP4636187B2 (ja) * | 2008-04-22 | 2011-02-23 | 株式会社デンソー | 力学量センサの製造方法および力学量センサ |
JP5473253B2 (ja) * | 2008-06-02 | 2014-04-16 | キヤノン株式会社 | 複数の導電性領域を有する構造体、及びその製造方法 |
JP5289830B2 (ja) * | 2008-06-06 | 2013-09-11 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
JP5314979B2 (ja) * | 2008-09-22 | 2013-10-16 | アルプス電気株式会社 | Memsセンサ |
US8207586B2 (en) * | 2008-09-22 | 2012-06-26 | Alps Electric Co., Ltd. | Substrate bonded MEMS sensor |
US8089144B2 (en) | 2008-12-17 | 2012-01-03 | Denso Corporation | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
JP4962482B2 (ja) * | 2008-12-18 | 2012-06-27 | 株式会社デンソー | 半導体装置 |
JP4784641B2 (ja) | 2008-12-23 | 2011-10-05 | 株式会社デンソー | 半導体装置およびその製造方法 |
SE533992C2 (sv) * | 2008-12-23 | 2011-03-22 | Silex Microsystems Ab | Elektrisk anslutning i en struktur med isolerande och ledande lager |
JP5131180B2 (ja) * | 2008-12-23 | 2013-01-30 | 株式会社デンソー | 半導体装置およびその製造方法 |
JP4858547B2 (ja) * | 2009-01-09 | 2012-01-18 | 株式会社デンソー | 半導体装置およびその製造方法 |
US8426233B1 (en) * | 2009-01-09 | 2013-04-23 | Integrated Device Technology, Inc. | Methods of packaging microelectromechanical resonators |
JPWO2010104064A1 (ja) * | 2009-03-13 | 2012-09-13 | アルプス電気株式会社 | Memsセンサ |
JP2010238921A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Alps Electric Co Ltd | Memsセンサ |
US9340414B2 (en) * | 2009-07-07 | 2016-05-17 | MCube Inc. | Method and structure of monolithically integrated absolute pressure sensor |
JP5255536B2 (ja) * | 2009-08-10 | 2013-08-07 | アルプス電気株式会社 | Memsセンサ |
JP5218497B2 (ja) * | 2009-12-04 | 2013-06-26 | 株式会社デンソー | 半導体装置およびその製造方法 |
JP5115618B2 (ja) * | 2009-12-17 | 2013-01-09 | 株式会社デンソー | 半導体装置 |
TWI434803B (zh) * | 2010-06-30 | 2014-04-21 | Ind Tech Res Inst | 微機電元件與電路晶片之整合裝置及其製造方法 |
US20120018827A1 (en) * | 2010-07-23 | 2012-01-26 | Maxim Integrated Products, Inc. | Multi-sensor integrated circuit device |
DE102010039057B4 (de) * | 2010-08-09 | 2018-06-14 | Robert Bosch Gmbh | Sensormodul |
JP5206826B2 (ja) | 2011-03-04 | 2013-06-12 | 株式会社デンソー | 領域分割基板およびそれを用いた半導体装置ならびにそれらの製造方法 |
JP5827476B2 (ja) * | 2011-03-08 | 2015-12-02 | 株式会社東芝 | 半導体モジュール及びその製造方法 |
JP5598420B2 (ja) * | 2011-05-24 | 2014-10-01 | 株式会社デンソー | 電子デバイスの製造方法 |
JP5541306B2 (ja) | 2011-05-27 | 2014-07-09 | 株式会社デンソー | 力学量センサ装置およびその製造方法 |
JP5975457B2 (ja) * | 2011-05-31 | 2016-08-23 | 国立研究開発法人科学技術振興機構 | 三次元構造体及びセンサ |
US20130001710A1 (en) * | 2011-06-29 | 2013-01-03 | Invensense, Inc. | Process for a sealed mems device with a portion exposed to the environment |
FR2977885A1 (fr) * | 2011-07-12 | 2013-01-18 | Commissariat Energie Atomique | Procede de realisation d'une structure a electrode enterree par report direct et structure ainsi obtenue |
EP2776298B1 (en) * | 2011-11-09 | 2018-10-24 | Robert Bosch GmbH | Method of forming wide trenches using a sacrificial silicon slab |
US9466532B2 (en) * | 2012-01-31 | 2016-10-11 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Micro-electro mechanical system (MEMS) structures with through substrate vias and methods of forming the same |
JP5874609B2 (ja) * | 2012-03-27 | 2016-03-02 | 株式会社デンソー | 半導体装置およびその製造方法 |
US9139420B2 (en) * | 2012-04-18 | 2015-09-22 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | MEMS device structure and methods of forming same |
KR101405561B1 (ko) * | 2012-07-19 | 2014-06-10 | 현대자동차주식회사 | 멤스 센서 패키징 방법 |
JP2014054718A (ja) | 2012-09-14 | 2014-03-27 | Seiko Epson Corp | 電子装置 |
DE102012219550B4 (de) * | 2012-10-25 | 2024-04-18 | Robert Bosch Gmbh | Hybrid integriertes Bauteil |
CN103241704B (zh) * | 2013-05-14 | 2015-12-23 | 清华大学 | 三维集成传感器及其制备方法 |
WO2015013828A1 (en) | 2013-08-02 | 2015-02-05 | Motion Engine Inc. | Mems motion sensor and method of manufacturing |
US9630832B2 (en) * | 2013-12-19 | 2017-04-25 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor device and method of manufacturing |
JP6590812B2 (ja) * | 2014-01-09 | 2019-10-16 | モーション・エンジン・インコーポレーテッド | 集積memsシステム |
DE102014002824A1 (de) * | 2014-02-25 | 2015-08-27 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Bauteils |
NO2777050T3 (ja) * | 2014-02-25 | 2018-06-16 | ||
US20150262902A1 (en) | 2014-03-12 | 2015-09-17 | Invensas Corporation | Integrated circuits protected by substrates with cavities, and methods of manufacture |
WO2015166771A1 (ja) * | 2014-04-28 | 2015-11-05 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 加速度検出装置 |
WO2016174789A1 (ja) | 2015-04-27 | 2016-11-03 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
JP6548149B2 (ja) | 2015-04-27 | 2019-07-24 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
CN107534432B (zh) | 2015-04-28 | 2020-06-05 | 株式会社村田制作所 | 谐振子以及谐振装置 |
CN105036060A (zh) * | 2015-06-29 | 2015-11-11 | 华东光电集成器件研究所 | 一种mems器件及其制作方法 |
EP3153851B1 (en) | 2015-10-06 | 2024-05-01 | Carrier Corporation | Mems die with sensing structures |
CN105621348B (zh) * | 2015-12-29 | 2018-01-05 | 苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 | 一种mems惯性传感器件及其制造方法 |
US10002844B1 (en) | 2016-12-21 | 2018-06-19 | Invensas Bonding Technologies, Inc. | Bonded structures |
US10508030B2 (en) | 2017-03-21 | 2019-12-17 | Invensas Bonding Technologies, Inc. | Seal for microelectronic assembly |
CN107512699B (zh) * | 2017-07-27 | 2019-10-11 | 沈阳工业大学 | 基于键合技术的soi加速度敏感芯片制造方法 |
CN109467042A (zh) * | 2017-09-08 | 2019-03-15 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 用于封装mems器件的封装结构、mems芯片及微执行器 |
CN109467045A (zh) * | 2017-09-08 | 2019-03-15 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | Mems器件的封装方法及微执行器的制备方法 |
US10793421B2 (en) * | 2017-11-13 | 2020-10-06 | Vanguard International Semiconductor Singapore Pte. Ltd. | Wafer level encapsulation for MEMS device |
CN107986229B (zh) * | 2017-12-04 | 2020-09-29 | 成都振芯科技股份有限公司 | 一种微机电器件的开孔装置及其制备的复用方法 |
US11380597B2 (en) | 2017-12-22 | 2022-07-05 | Invensas Bonding Technologies, Inc. | Bonded structures |
US10923408B2 (en) | 2017-12-22 | 2021-02-16 | Invensas Bonding Technologies, Inc. | Cavity packages |
US10812046B2 (en) * | 2018-02-07 | 2020-10-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Micromechanical resonator having reduced size |
US11004757B2 (en) | 2018-05-14 | 2021-05-11 | Invensas Bonding Technologies, Inc. | Bonded structures |
US20220157865A1 (en) * | 2019-03-13 | 2022-05-19 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Semiconductor apparatus, imaging apparatus, and method of producing a semiconductor apparatus |
DE102021200073A1 (de) | 2021-01-07 | 2022-07-07 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauelement und entsprechendes mikromechanisches Bauelement |
WO2023195132A1 (ja) * | 2022-04-07 | 2023-10-12 | 富士通株式会社 | 電子装置、電子システム及び電子装置の製造方法 |
CN115585934B (zh) * | 2022-12-14 | 2023-03-10 | 深圳市长天智能有限公司 | 一种硅电容式压力传感器及其制造方法 |
Family Cites Families (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0498883A (ja) | 1990-08-16 | 1992-03-31 | Nippon Steel Corp | シリコンを用いたサーモパイル装置 |
JP2791429B2 (ja) | 1996-09-18 | 1998-08-27 | 工業技術院長 | シリコンウェハーの常温接合法 |
DE19700734B4 (de) * | 1997-01-11 | 2006-06-01 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Sensoren sowie nicht-vereinzelter Waferstapel |
US6228675B1 (en) * | 1999-07-23 | 2001-05-08 | Agilent Technologies, Inc. | Microcap wafer-level package with vias |
JP2001121500A (ja) * | 1999-10-19 | 2001-05-08 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 密閉型半導体装置及びその製造方法 |
DE10055081A1 (de) * | 2000-11-07 | 2002-05-16 | Bosch Gmbh Robert | Mikrostrukturbauelement |
US6890834B2 (en) * | 2001-06-11 | 2005-05-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Electronic device and method for manufacturing the same |
US20030034535A1 (en) * | 2001-08-15 | 2003-02-20 | Motorola, Inc. | Mems devices suitable for integration with chip having integrated silicon and compound semiconductor devices, and methods for fabricating such devices |
KR20030077754A (ko) * | 2002-03-27 | 2003-10-04 | 삼성전기주식회사 | 마이크로 관성센서 및 그 제조 방법 |
US7402897B2 (en) * | 2002-08-08 | 2008-07-22 | Elm Technology Corporation | Vertical system integration |
US6929974B2 (en) * | 2002-10-18 | 2005-08-16 | Motorola, Inc. | Feedthrough design and method for a hermetically sealed microdevice |
KR100447851B1 (ko) * | 2002-11-14 | 2004-09-08 | 삼성전자주식회사 | 반도체장치의 플립칩 방식 측면 접합 본딩 방법 및 이를이용한 mems 소자 패키지 및 패키지 방법 |
JP4342174B2 (ja) * | 2002-12-27 | 2009-10-14 | 新光電気工業株式会社 | 電子デバイス及びその製造方法 |
SE526366C3 (sv) * | 2003-03-21 | 2005-10-26 | Silex Microsystems Ab | Elektriska anslutningar i substrat |
JP2004333133A (ja) | 2003-04-30 | 2004-11-25 | Mitsubishi Electric Corp | 慣性力センサ |
JP2004333313A (ja) | 2003-05-08 | 2004-11-25 | Canon Inc | 加速度センサー |
US6936491B2 (en) * | 2003-06-04 | 2005-08-30 | Robert Bosch Gmbh | Method of fabricating microelectromechanical systems and devices having trench isolated contacts |
US7045868B2 (en) * | 2003-07-31 | 2006-05-16 | Motorola, Inc. | Wafer-level sealed microdevice having trench isolation and methods for making the same |
US6777263B1 (en) * | 2003-08-21 | 2004-08-17 | Agilent Technologies, Inc. | Film deposition to enhance sealing yield of microcap wafer-level package with vias |
US6892575B2 (en) * | 2003-10-20 | 2005-05-17 | Invensense Inc. | X-Y axis dual-mass tuning fork gyroscope with vertically integrated electronics and wafer-scale hermetic packaging |
US7247246B2 (en) * | 2003-10-20 | 2007-07-24 | Atmel Corporation | Vertical integration of a MEMS structure with electronics in a hermetically sealed cavity |
US6930367B2 (en) * | 2003-10-31 | 2005-08-16 | Robert Bosch Gmbh | Anti-stiction technique for thin film and wafer-bonded encapsulated microelectromechanical systems |
JP3975194B2 (ja) * | 2003-12-02 | 2007-09-12 | 株式会社フジクラ | パッケージの製造方法 |
US20050170609A1 (en) * | 2003-12-15 | 2005-08-04 | Alie Susan A. | Conductive bond for through-wafer interconnect |
JP4312631B2 (ja) * | 2004-03-03 | 2009-08-12 | 三菱電機株式会社 | ウエハレベルパッケージ構造体とその製造方法、及びそのウエハレベルパッケージ構造体から分割された素子 |
JP4371217B2 (ja) | 2004-03-12 | 2009-11-25 | 日本電気株式会社 | 半導体デバイスの気密封止構造 |
JP4577686B2 (ja) * | 2005-03-04 | 2010-11-10 | エルピーダメモリ株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
US7250322B2 (en) * | 2005-03-16 | 2007-07-31 | Delphi Technologies, Inc. | Method of making microsensor |
US7295029B2 (en) * | 2005-03-24 | 2007-11-13 | Memsic, Inc. | Chip-scale package for integrated circuits |
US7262622B2 (en) * | 2005-03-24 | 2007-08-28 | Memsic, Inc. | Wafer-level package for integrated circuits |
US7495462B2 (en) * | 2005-03-24 | 2009-02-24 | Memsic, Inc. | Method of wafer-level packaging using low-aspect ratio through-wafer holes |
JP4670427B2 (ja) * | 2005-03-28 | 2011-04-13 | パナソニック電工株式会社 | 半導体センサおよびその製造方法 |
JP4799059B2 (ja) * | 2005-06-27 | 2011-10-19 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP2007150098A (ja) | 2005-11-29 | 2007-06-14 | Denso Corp | 半導体装置 |
-
2007
- 2007-10-01 JP JP2007257840A patent/JP4792143B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-02-12 US US12/068,771 patent/US7859091B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-09-29 JP JP2009225250A patent/JP5141658B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-06-29 US US12/801,845 patent/US8349634B2/en active Active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014517912A (ja) * | 2011-04-14 | 2014-07-24 | ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | アウトオブプレーンスペーサが画成する電極 |
KR101768254B1 (ko) * | 2013-06-12 | 2017-08-16 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 반도체 기반의 자기 센서 및 그 제조 방법 |
JP2016033504A (ja) * | 2014-07-31 | 2016-03-10 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、電子機器および移動体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7859091B2 (en) | 2010-12-28 |
JP2008229833A (ja) | 2008-10-02 |
US8349634B2 (en) | 2013-01-08 |
US20100270630A1 (en) | 2010-10-28 |
JP4792143B2 (ja) | 2011-10-12 |
US20080290490A1 (en) | 2008-11-27 |
JP2010005785A (ja) | 2010-01-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5141658B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US10155659B2 (en) | Vacuum sealed MEMS and CMOS package | |
JP4793496B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP5206826B2 (ja) | 領域分割基板およびそれを用いた半導体装置ならびにそれらの製造方法 | |
US10486964B2 (en) | Method for forming a micro-electro mechanical system (MEMS) including bonding a MEMS substrate to a CMOS substrate via a blocking layer | |
US8283738B2 (en) | Semiconductor device including sensor member and cap member and method of making the same | |
JP5218497B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US9452924B2 (en) | MEMS devices and fabrication methods thereof | |
US8445304B2 (en) | Semi-conductor sensor fabrication | |
US10155655B2 (en) | MEMS devices and fabrication methods thereof | |
US20110227174A1 (en) | Semiconductor physical quantity sensor and method of manufacturing the same | |
JP5605347B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP6123613B2 (ja) | 物理量センサおよびその製造方法 | |
JP2015182158A (ja) | Memsデバイス | |
JP5392296B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US20140252506A1 (en) | Semi-conductor sensor fabrication | |
JP5999027B2 (ja) | 物理量センサ | |
US20230166967A1 (en) | Mems sensor and method of manufacturing mems sensor | |
JP2018004447A (ja) | 半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120214 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120406 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121023 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121105 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151130 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5141658 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |