JP5131491B2 - ジャイロモジュール - Google Patents
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本発明は、2軸の角速度検出を行えるジャイロモジュールを提供することを目的とする。
第1の形態のジャイロモジュールは、第1検出軸と第2検出軸とを有するジャイロ素子片を2つ有し、一方の前記ジャイロ素子片と他方の前記ジャイロ素子片とを、前記各第1検出軸の検出感度極性を同じにするとともに、前記各第2検出軸の検出感度極性を反転させて配設し、前記各ジャイロ素子片から出力する信号を加算および減算し、これらの演算結果を出力する演算回路を備え、前記演算回路の後段に比較手段が接続されるとともに、警報発信号を入力することによって警報を発する警報手段が前記比較手段の後段に接続されており、前記比較手段は、前記各ジャイロ素子片から出力する信号を加算した結果と前記信号を減算した結果とを入力して各値を比較し、前記各値が同じになっている時間が予め設定した時間よりも長くなったときに、前記2つのジャイロ素子片の少なくともいずれか一方が故障したと判断し、前記警報手段に前記警報発信号を出力してなることを特徴とする。
これによりジャイロ素子片が出力する信号を、第1検出軸回りの角速度成分と、第2検出軸回りの角速度の成分に分離することができ、これらの2軸の出力を得ることができる。
これにより双音叉振動ジャイロセンサが出力する信号を、Y軸回りの角速度成分と、Z軸回りの角速度成分に分離することができ、これらの2軸の出力を得ることができる。
これによりジャイロ素子片が出力する信号を、光学軸回りの角速度成分と、機械軸回りの角速度成分に分離することができ、これらの2軸の出力を得ることができる。
これによりジャイロ素子片が故障したとしても、故障が発生したことを知らせることができる。
そしてローパスフィルタからの出力信号を加算回路22、減算回路24に供給する構成を有する。
なおジャイロ素子片30は、フォトリソグラフィ加工技術を用いて製造できるので、小型化することができる。また駆動腕36や検出腕40に錘部38,42や溝44を設けることによっても小型化することができるとともに、感度を高くすることができる。
なおZ軸を完全に一致させ、Y軸を完全に180°反転させて構成すれば検出精度の高い2軸ジャイロモジュール10となる。
なおY軸を完全に一致させ、Z軸を完全に180°反転させて構成すれば検出精度の高い2軸ジャイロモジュール10となる。
なお真空封止工程としては、2つの凹陥部64を個別に真空封止しても良い。
また、一度の真空工程で2つの凹陥部64内を真空状態にしても良い。
したがって真空封止工程を簡素化することができる。
さらには、Z軸方向における2つのジャイロ素子片30間の距離が短くなるので2つのジャイロ素子片30のY軸回転に対する角速度の検知結果の差(絶対値)は小さいものとなる。
なお2つのジャイロ素子片30を一枚の中間基板50に平面方向に並べて配設した構成でもよい。
この場合、特に図5に示すように、2つのジャイロ素子片30を重ねた構成においては、外部端子70と検出電極とが導通した構成となり、また2つの中間基板50を凹陥部の底面に搭載することができる。
そしてこの結果、第1の検出軸出力としてはZ軸回りの角速度に対する検出結果のみが得られる。
そしてこの結果、第2の検出軸出力としてはY軸回りの角速度に対する検出結果のみが得られる。
なお一方のジャイロ素子片30と他方のジャイロ素子片30が、上下を反転して配置してあれば、第1検出軸はY軸となる。また一方のジャイロ素子片30と他方のジャイロ素子片30が、平面方向に反転して配置してあれば、第1検出軸はZ軸となる。
Claims (1)
- 第1検出軸と第2検出軸とを有するジャイロ素子片を2つ有し、
一方の前記ジャイロ素子片と他方の前記ジャイロ素子片とを、前記各第1検出軸の検出感度極性を同じにするとともに、前記各第2検出軸の検出感度極性を反転させて配設し、
前記各ジャイロ素子片から出力する信号を加算および減算し、これらの演算結果を出力する演算回路を備え、
前記演算回路の後段に比較手段が接続されるとともに、警報発信号を入力することによって警報を発する警報手段が前記比較手段の後段に接続されており、
前記比較手段は、前記各ジャイロ素子片から出力する信号を加算した結果と前記信号を減算した結果とを入力して各値を比較し、前記各値が同じになっている時間が予め設定した時間よりも長くなったときに、前記2つのジャイロ素子片の少なくともいずれか一方が故障したと判断し、前記警報手段に前記警報発信号を出力してなることを特徴とするジャイロモジュール。
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