JP5064905B2 - 半導体装置 - Google Patents

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Description

本発明は、半導体装置に係り、特に、スイッチとして機能するパワーMOSFETを駆動する回路における保護技術に係る。
近年、自動車電装用のユニットに用いられているリレーは、無接点化を目的としてパワーMOSFET等の半導体デバイスに置き換えられている。また、パワーMOSFETに対して電流制限回路、過熱検知回路、断線検知回路などの保護機能を内蔵し、自己診断結果を制御側のマイコンに伝えることが可能なIPD(Inteligent Power Device)が用いられるようになってきている。
このようなIPDでは、IPDの接地線の断線(GND浮き)が生じると、IPDの出力をオフとしたいにもかかわらずオンしてしまいIPD自体が損傷を受ける可能性がある。したがって、IPDにおいて、断線検知機能が保護機能の1つとして要求されている。例えば、特許文献1には、接地線の断線による素子破壊を防止した半導体集積回路装置が開示されている。この半導体集積回路装置は、接地線に流れる電流の有無を検出する接地線断線検出回路と、この接地線断線検出回路の断線検出出力信号に従いパワー出力素子を強制的にオフ状態にさせるスイッチ素子とを含む。このような半導体集積回路装置によれば、ICの接地線の断線または接触不良が生じると、パワー出力素子が強制的にオフ状態にされるから、発熱やそれによる素子破壊が防止される。
図4は、特許文献1における半導体集積回路装置の回路図である。図4において、インバータ回路N1の入力端に接続される入力端子INがハイレベルとなると、インバータ回路N1の出力端に接続されるMOSFETQ2のゲート電位がローレベルとなる。したがってMOSFETQ2は、オフ状態となって、パワーMOSFETQ1は、ゲートに昇圧回路BSTの出力電圧が供給されてオンとなる。一方、入力端子INがローレベルとなると、MOSFETQ2がオンとなって、パワーMOSFETQ1は、ゲートへの昇圧回路BSTの出力電圧が遮断されてオフとなる。
ここで接地線断線検出回路は、トランジスタT1、T2、抵抗R1からなる電流ミラー回路で構成される。GND端子が正常に外部の接地電位と接続された状態であるならば、電流ミラー回路にバイアス電流が流れる。この場合、トランジスタT2がオン状態となり、トランジスタT2のコレクタ電位はローレベルになる。これにより、MOSFETQ3がオフ状態となり、パワーMOSFETQ1のゲートに影響を与えない。
一方、GND端子が断線状態であるならば、抵抗R1、トランジスタT1による電流経路に電流が流れなくなり、トランジスタT2はオフ状態となる。このため、電源VDDからトランジスタT3、抵抗R2を介してMOSFETQ3のゲート電位が与えられ、ゲート電位が上昇する。したがって、MOSFETQ3はオン状態となり、MOSFETQ1は強制的にオフ状態とされる。これにより、MOSFETQ1に電流が流れることによる発熱やそれによる素子破壊が防止される。
なお、関連技術として、特許文献2には、一つの内部回路の外部の所定電位に接続されるべき端子、たとえばグランド端子が遮断されてオープンした場合にも正常に動作し、且つ外部にグランド端子がオープン状態になったことを報知し得る電気回路装置が開示されている。
特開平3−166816号公報 特開平5−6966号公報
以下の分析は本発明において与えられる。
ところで、半導体集積回路装置(半導体装置)は、例えば図5に示すように電源端子Vccに接続されたN型基板の上にP型拡散層を形成し、ここに集積回路を形成する。そして、P型拡散層が接地端子GNDに接続される。このような構造の半導体集積回路装置において、N型基板とP型拡散層との間には逆バイアスされたpn接合に係る寄生容量Cjが存在する。
図6は、半導体装置の寄生容量の存在を模式的に表す図である。図6において、IPDである半導体装置は、バッテリ等の電源(例えば14V)から電源端子Vcc、出力端子OUTを介して負荷に電源を供給する。半導体装置は、入力端子INにアクティブ信号を与えるか否かで負荷に電源を供給するか否かを定めるスイッチとして機能する。このような半導体装置の接地端子GNDに接続される内部GND(内部接地配線)と電源端子Vccとの間には、上記の寄生容量Cjが存在する。
このような半導体装置において、GND断線に因る出力MOSトランジスタの損傷は、Vcc−GND間の寄生容量Cjによって電源投入時に出力MOSトランジスタがハーフオンする(完全にオンとならずドレイン・ソース間に電位が存在する)ことで生じることが多い。
図7は、半導体装置の寄生容量による突入電流Idの変化の例を示す図である。寄生容量Cj(CVCC−GND)が50、75、100pFの時に、突入電流Idが2〜4(A)にもなることが示される。
ところで、特許文献1に記載の半導体集積回路装置は、接地線に流れる電流の有無を検出している。すなわち、接地線に流れる電流の有無を検出する接地線断線検出回路に常時電流を流している状態において、接地線に流れる電流が検出されないことで接地線の断線を判断している。
このような半導体集積回路装置では、GNDが断線した状態の時に電源を立ち上げると、図4に示すトランジスタT3、抵抗R2を介して、トランジスタT2のコレクタがチャージアップされて、MOSFETQ3がオンする。この際、回路電流を低く抑えるために、抵抗R2の値は、充分に高いものを使用する必要がある。したがって、トランジスタT2のコレクタ電位の立ち上がりが遅く、MOSFETQ1を強制的にオフさせるタイミングが遅れ、MOSFETQ1が損傷を受ける虞がある。特に電源投入時の検出の遅れは致命的損傷を与える可能性が高い。
本発明の1つのアスペクト(側面)に係る半導体装置は、負荷に出力電流を供給する出力用MOSトランジスタのゲートおよびソース間にそれぞれドレインおよびソースを接続すると共に、接地端子に接続される内部接地配線にゲートを接続するスイッチ用MOSトランジスタと、スイッチ用MOSトランジスタのゲート・ソース間を接続する電位差発生回路と、入力端子と内部接地配線との間に直列接続される、互いに逆方向となる第1および第2のダイオードと、を備える。電位差発生回路は、抵抗素子と第3のダイオードとの直列接続回路である。
本発明によれば、GND浮き(接地配線の断線)時に発生する出力用MOSトランジスタのゲートの浮きをスイッチ用MOSトランジスタが素早く検出して出力用MOSトランジスタのゲート・ソース間を短絡させる。したがって、出力用MOSトランジスタが導通状態になって発熱し損傷を受けることを防ぐことができる。
本発明の実施形態に係る半導体装置は、負荷(図1の12)に出力電流を供給する出力用MOSトランジスタ(図1のNM1)のゲートおよびソース間にそれぞれドレインおよびソースを接続すると共に、接地端子に接続される内部接地配線にゲートを接続するスイッチ用MOSトランジスタ(図1のNM2)と、スイッチ用MOSトランジスタのゲート・ソース間を接続する電位差発生回路(図1のR1)と、を備える。
本発明の半導体装置において、電源と内部接地配線(図1のGW)との間に存在する寄生容量によって電源投入時に電位差発生回路の両端に所定値以上の電圧が発生した場合にスイッチ用MOSトランジスタがオンとなり、通常動作時に電位差発生回路の両端の電圧は所定値未満であってスイッチ用MOSトランジスタがオフとなるように構成されることが好ましい。
本発明の半導体装置において、出力端子(図1のOUT)と、接地端子(図1のGND)と、出力端子を介して負荷に出力電流を供給する出力用MOSトランジスタと、をさらに備えるようにしてもよい。
本発明の半導体装置において、電位差発生回路は、抵抗素子、ダイオード、定電流回路、MOSトランジスタのいずれかあるいはこれらの内の2以上の組み合わせ回路を含んでもよい。
本発明の半導体装置において、入力端子(図2のIN)と、入力端子と内部接地配線との間に直列接続される、互いに逆方向となる第1および第2のダイオード(図2のD2、D4)と、を備え、電位差発生回路は、抵抗素子(図2のR1)と第3のダイオード(図2のD3)との直列接続回路であってもよい。
本発明の半導体装置において、入力端子にアクティブな信号が与えられた場合に出力用MOSトランジスタをオンとするように出力用MOSトランジスタのゲートに昇圧電圧を供給する昇圧回路(図3の14)と、スイッチ用MOSトランジスタのゲートおよびソース間にそれぞれゲートおよびソースを接続すると共に、電位差発生回路の両端に所定値以上の電圧が発生した場合に出力用MOSトランジスタのゲートへの昇圧電圧の供給を停止するように昇圧回路を制御する制御用MOSトランジスタ(図3のNM3)と、をさらに備えるようにしてもよい。
以上のような構成の半導体装置によれば、GND浮き(断線)状態において電源が投入された場合には、電源配線と内部接地配線との間の寄生容量によって電源電圧に追従して内部接地配線の電圧が上昇する。上昇した内部接地配線の電位を受けてスイッチ用MOSトランジスタがオンすることで、出力用MOSトランジスタのゲート・ソース間が瞬時に短絡される。したがって、出力用MOSトランジスタがハーフオンするのを防止する。
また、半導体装置は、スタンバイ電流無しにて実現を可能とする。さらに、検出機能にはスタンバイ電流が不要であって異常時のみ電流を消費する構成とされ、低消費電力回路として有用である。
以下、実施例に即し、図面を参照して詳しく説明する。
図1は、本発明の第1の実施例に係る半導体装置の回路図である。図1において、半導体装置10は、バッテリ等の電源装置11と負荷12との間を接続するハイサイドスイッチとして機能する。半導体装置10は、電源端子Vcc、出力端子OUT、入力端子IN、接地端子GND、NMOSトランジスタNM1、NM2、内部回路13、抵抗素子R1、R2、R3、ダイオードD1、D2を備える。
NMOSトランジスタNM1は、負荷12に出力電流を供給する出力用のMOSトランジスタであって、ドレインを電源端子Vccに接続し、ソースを出力端子OUTに接続し、ゲートを抵抗素子R3を介して内部回路13の出力端に接続する。
NMOSトランジスタNM2は、ドレインをNMOSトランジスタNM1のゲートに接続し、ソースをNMOSトランジスタNM1のソースに接続し、ゲートを内部接地配線GWの一端に接続する。
抵抗素子R1は、NMOSトランジスタNM2のゲート・ソース間に接続される。なお、内部接地配線GWの電位が上昇することで内部接地配線GWと出力端子OUTとの間にNMOSトランジスタNM2をオンとするような電位差を生じさせる電位差発生回路を抵抗素子R1の代わり用いてもよい。例えば、電位差発生回路として、抵抗素子、ダイオード、定電流回路、MOSトランジスタ、あるいはこれらの内の組み合わせなどを用いることができる。
内部回路13は、入力端を抵抗素子R2を介して入力端子INに接続し、出力端を抵抗素子R3を介してNMOSトランジスタNM1のゲートに接続する。また、電源側端を電源端子Vccに接続し、接地側端を内部接地配線GWの一端に接続する。
ダイオードD1は、アノード側を内部回路13の入力端に接続し、カソード側を電源端子Vccに接続する。
ダイオードD2は、アノード側を内部接地配線GWに接続し、カソード側を内部回路13の入力端に接続する。
ダイオードD1、D2は、入力端子INに静電気等の異常電圧が印加された場合に、電源端子Vccあるいは接地端子GNDに放電するように動作し、内部回路13等の静電気放電による損傷を防止する。
内部接地配線GWは、接地抵抗R0を介して接地端子GNDに接続する。なお、接地抵抗R0は、内部接地配線GWから接地端子GNDを介し電源装置11への接地点までの配線経路Pにおける抵抗分を表すものとする。内部接地配線GWと電源端子Vccとの間には、課題において説明したように図示されないpn接合に係る寄生容量が存在する。
以上のような構成の半導体装置10において、入力端子INにアクティブ信号が与えられる場合、内部回路13が抵抗素子R3を介してNMOSトランジスタNM1のゲートにハイレベルを出力する。これによって、NMOSトランジスタNM1がオン状態となって電源装置11から負荷12に対して電源を供給する。また、入力端子INにアクティブ信号が与えられない場合、内部回路13はローレベルを出力し、NMOSトランジスタNM1がオフとなって電源装置11から負荷12に対する電源供給を遮断する。これらの動作の場合、NMOSトランジスタNM2のゲートは、ほぼ接地電位となっていてNMOSトランジスタNM2がオンすることはない。
ところで、図1において、内部接地配線GWと接地端子GNDとの間、あるいは接地端子GNDと電源装置11の接地側との間の配線が断線した状態にあるとする。すなわち、配線経路Pにおいて断線状態にあるとする。以下、この状態では接地抵抗R0の値が無限大になるものとして説明を行う。
この状態で、電源端子Vccの電位が急激に立ち上げられると、電源端子Vccと内部接地配線GW間に存在する寄生容量によって内部接地配線GWすなわちNMOSトランジスタNM2のゲートの電位が瞬時に上昇する。したがって、NMOSトランジスタNM2が急速にオンし、NMOSトランジスタNM1のゲート・ソース間は、低インピーダンスで接続される。このため、NMOSトランジスタNM1はオフ状態となる。
また、電源電圧が印加されている状態から、入力端子INをアクティブ状態に変化させたとする。この時、配線経路Pにおいて断線状態にある。しかし、内部接地配線GWの電位は不定電位ではなく、NMOSトランジスタNM1がオフであるために、「出力端子OUTの電位≒負荷12の接地電位」となっている。ここで、暗電流がゼロとなることは無いため、入力端子INをアクティブにした瞬間、内部回路13からの回路電流が内部接地配線GW→抵抗素子R1→出力端子OUTへ流れ込む。したがって、NMOSトランジスタNM2のゲート・ソース間にI(回路電流)×R1の電圧が発生する。この電圧によってNMOSトランジスタNM2がオンとなって、NMOSトランジスタNM1のゲート・ソース間は、低インピーダンスで接続される。このため、NMOSトランジスタNM1はオフ状態となる。
以上のようにいずれの場合も、NMOSトランジスタNM2は、NMOSトランジスタNM1のゲート・ソース間を短絡させるスイッチとして機能する。この場合、NMOSトランジスタNM2のゲート電位の昇圧が非常に早く行われるため、NMOSトランジスタNM1の損傷に対する保護機能は、従来回路よりも優れている。
図2は、本発明の第2の実施例に係る半導体装置の回路図である。図2において、図1と同一の符号は、同一物を表し、その説明を省略する。図2の半導体装置10aは、図1の半導体装置10に対し、ダイオードD3、D4を追加する。ダイオードD3は、内部接地配線GWと抵抗素子R1間に挿入され、アノード側を内部接地配線GWに接続し、カソード側を抵抗素子R1に接続する。ダイオードD4は、内部回路13の入力端とダイオードD2間に挿入され、アノード側を内部回路13の入力端に接続し、カソード側をダイオードD2のカソード側に接続する。なお、ダイオードD2、D4の位置が互いに入れ替わっても良く、ダイオードD3、抵抗素子R1の位置が互いに入れ替わっても良い。
入力端子INには、保護素子であるダイオードD1とダイオードD4を介したダイオードD2が接続される。入力端子INがハイレベルあるいはローレベルとされることで半導体装置10aはアクティブ動作となる。すなわち内部回路13が昇圧電圧を発生してNMOSトランジスタNM2のゲートに供給する。この場合、入力端子INは、通常、プルアップもしくはプルダウンされている状態となる。入力の違いにおける半導体装置10aの動作を以下において説明する。
(1)入力端子INがプルアップ(入力LOWアクティブ)回路の場合
車載品等の場合、入力端子INは、内部GND(内部接地配線GW)では無く電源装置11のGND側に接地することでアクティブとなる。GNDと内部接地配線GWが切り離された状態でアクティブとされると、ダイオードD4がない(短絡状態の)場合、回路電流は内部接地配線GW→ダイオードD2→抵抗素子R2→入力端子IN(GND)へと流れる。R1≫R2であれば、回路電流はほとんど抵抗素子R1を流れることが無く、NMOSトランジスタNM2がオンするに至らない。したがって、NMOSトランジスタNM1は、ターンオン動作に入ることとなる。その際、電源端子Vcc−内部接地配線GW間の電位は、「VCC(電源端子Vccの電位)−I(R2の電流)×R2−VF(ダイオードD2の順方向電圧降下)」となる。この電位で内部回路13における昇圧機能が動作しNMOSトランジスタNM1を十分にオンすることができるゲート昇圧を得られる場合は、NMOSトランジスタNM1は破壊に至らない。しかし、NMOSトランジスタNM1をオンとするゲート昇圧を得られない場合には、NMOSトランジスタNM1がハーフオンとなって破壊に至る可能性がある。
そこで、回路電流が内部接地配線GW→ダイオードD2→抵抗素子R2→入力端子IN(GND)の経路を流れないようにダイオードD4を逆方向に追加挿入している。ダイオードD4を追加することで、この回路電流が遮断され、入力アクティブ時に回路電流は抵抗素子R1のみに流れることとなる。したがって、NMOSトランジスタNM2がオンしNMOSトランジスタNM1がオフ状態を継続することができる。
(2)入力(IN)がプルダウン(入力HIGHアクティブ)回路の場合
通常、プルダウン電位は内部GNDである為、GNDと内部接地配線GWが切り離されている際には内部接地配線GWの電位は、「(出力端子OUTの電位≒負荷12のGND側電位)+VF(ダイオードD3の順方向電圧降下)」以下となっている。入力端子INをハイレベルにすると、入力端子IN→抵抗素子R2→内部回路13→内部接地配線GW→抵抗素子R1→出力端子OUTへと流れる電流が発生する。抵抗素子R1には、この電流の他に内部回路13の回路電流が流れることとなる。したがって、NMOSトランジスタNM2のゲート・ソース間電圧が発生しトランジスタNMOSトランジスタNM2がオンすることでNMOSトランジスタNM1のゲート・ソース間は低インピーダンスで接続されることとなる。
なお、上記動作において、GNDと内部接地配線GWが切り離されていない「正常状態」では、不要な回路電流を発生することは無く、スタンバイ電流は零である。
以上の構成において、ダイオードD3は、NMOSトランジスタNM2のしきい値(VT)以上のVF値(順方向電圧降下値)を有するようにすればよい。これは、GNDと内部接地配線GWが切り離されている場合であっても、VCC−内部接地配線GW間のインピーダンスは、無限大では無く、電源端子Vcc→出力端子OUTへの微小な電流経路が生じている。したがって、内部接地配線GWの電位は、「(出力端子OUTの電位≒負荷12のGND側電位)+VF」となるからである。つまりダイオードD3のVF値をNMOSトランジスタNM2のVT以上とすることで、回路電流が流れ出す以前からNMOSトランジスタNM1のゲート・ソース間はショート状態となり、より安全な保護回路構成となる。なお、ダイオードD3のVF値を増やすだけではなく、直列接続されるダイオード数を増やすことによっても、NMOSトランジスタNM2のVT以上への調整は可能である。
以上のような構成の半導体装置によれば、入力信号の違い(HIGHアクティブ、LOWアクティブ)によらず、GNDの浮き(断線)時に内部GND電位を素早く検出し、NMOSトランジスタNM1のゲート・ソース間を短絡させる。したがって、NMOSトランジスタNM1がハーフオン動作するのを防止することができる。
図3は、本発明の第3の実施例に係る半導体装置の回路図である。図3において、図2と同一の符号は、同一物を表し、その説明を省略する。図3の半導体装置10aは、図2における内部回路13の回路の例を示すものである。
図3において、内部回路13は、昇圧回路14、NMOSトランジスタNM3、PMOSトランジスタPM1、PM2、PM3、定電流回路I1、I2、スイッチ回路SW1、SW2、SW3を備え、異常オフ指令回路としての機能を含む。
昇圧回路14は、接地側を内部接地配線GWに接続し、電源側をPMOSトランジスタPM2およびスイッチ回路SW2を介して電源端子Vccに接続し、出力端を抵抗素子R3を介してNMOSトランジスタNM1のゲートに接続する。
NMOSトランジスタNM3は、ソースを出力端子OUTに接続し、ゲートを内部接地配線GWに接続し、ドレインをスイッチ回路SW1を介して定電流回路I1の一端に接続する。定電流回路I1の他端は、電源端子Vccに接続される。
PMOSトランジスタPM1は、ソースを電源端子Vccに接続し、ゲートを定電流回路I1の一端に接続し、一端が内部接地配線GWに接続される定電流回路I2の他端にドレインを接続する。
PMOSトランジスタPM2は、ソースをスイッチ回路SW2を介して電源端子Vccに接続し、ゲートをPMOSトランジスタPM1のドレインに接続し、ドレインを昇圧回路14の電源側に接続する。
PMOSトランジスタPM3は、ソースをスイッチ回路SW3を介して電源端子Vccに接続し、ゲートをPMOSトランジスタPM1のドレインに接続し、ドレインを昇圧回路14の出力端に接続する。
以上のように構成される内部回路13において、スイッチ回路SW1、SW2、SW3は、入力端子INがアクティブとされる場合、オン状態にある。この状態において、定電流回路I1とNMOSトランジスタNM3で構成したインバータがGND浮き(断線)検出信号を検出する。すなわち、GND浮き(断線)検出は、以下のようにしてなされる。
ダイオードD3及び抵抗素子R1によって発生した電位差がNMOSトランジスタNM3のしきい値Vt以上となると、NMOSトランジスタNM3のドレイン電位が出力端子OUTの電位(≒GNDの電位)まで引き下げられ、PMOSトランジスタPM1がオンする。PMOSトランジスタPM1がオンするに伴い、PMOSトランジスタPM1のドレインは、電源端子Vccの電位レベルにまで引き上げられる。したがって、PMOSトランジスタPM2、PM3がオフとなり、NMOSトランジスタNM1のゲートへの電荷注入経路が閉ざされる。
実施例1、2では、NMOSトランジスタNM2によってNMOSトランジスタNM1のゲート・ソース間をショートさせることでオフさせる構成としている。これに対し実施例3では、入力端子INがアクティブとされた場合、電源端子VccからNMOSトランジスタNM1のゲートへ電荷注入経路が形成される。この場合、GND浮き(断線)時に、PMOSトランジスタPM2、PM3によってNMOSトランジスタNM1のゲートへの電荷注入経路も断つようにしている。このような構成によって、保護機能をより確実なものとすることが出来る。
なお、前述の特許文献等の各開示を、本書に引用をもって繰り込むものとする。本発明の全開示(請求の範囲を含む)の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態ないし実施例の変更・調整が可能である。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素の多様な組み合わせないし選択が可能である。すなわち、本発明は、請求の範囲を含む全開示、技術的思想にしたがって当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。
本発明の第1の実施例に係る半導体装置の回路図である。 本発明の第2の実施例に係る半導体装置の回路図である。 本発明の第3の実施例に係る半導体装置の回路図である。 従来の半導体装置の回路図である。 半導体装置の構造を模式的に表す図である。 半導体装置の寄生容量の存在を模式的に表す図である。 半導体装置の寄生容量による突入電流の変化の例を示す図である。
符号の説明
10、10a 半導体装置
11 電源装置
12 負荷
13 内部回路
14 昇圧回路
D1、D2、D3、D4 ダイオード
GND 接地端子
GW 内部接地配線
I1、I2 定電流回路
IN 入力端子
NM1、NM2、NM3 NMOSトランジスタ
OUT 出力端子
P 配線経路
PM1、PM2、PM3 PMOSトランジスタ
R0 接地抵抗
R1、R2、R3 抵抗素子
SW1、SW2、SW3 スイッチ回路
Vcc 電源端子

Claims (5)

  1. 負荷に出力電流を供給する出力用MOSトランジスタのゲートおよびソース間にそれぞれドレインおよびソースを接続すると共に、接地端子に接続される内部接地配線にゲートを接続するスイッチ用MOSトランジスタと、
    前記スイッチ用MOSトランジスタのゲート・ソース間を接続する電位差発生回路と、
    入力端子と前記内部接地配線との間に直列接続される、互いに逆方向となる第1および第2のダイオードと、
    を備え
    前記電位差発生回路は、抵抗素子と第3のダイオードとの直列接続回路であることを特徴とする半導体装置。
  2. 電源と前記内部接地配線との間に存在する寄生容量によって電源投入時に前記電位差発生回路の両端に所定値以上の電圧が発生した場合に前記スイッチ用MOSトランジスタがオンとなり、通常動作時に前記電位差発生回路の両端の電圧は所定値未満であって前記スイッチ用MOSトランジスタがオフとなるように構成されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
  3. 前記出力用MOSトランジスタは、出力端子を介して前記負荷に出力電流を供給することを特徴とする請求項1または2記載の半導体装置。
  4. 前記内部接地配線は、接地抵抗を介して前記接地端子に接続されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一に記載の半導体装置。
  5. 前記入力端子にアクティブな信号が与えられた場合に前記出力用MOSトランジスタをオンとするように前記出力用MOSトランジスタのゲートに昇圧電圧を供給する昇圧回路と、
    前記スイッチ用MOSトランジスタのゲートおよびソース間にそれぞれゲートおよびソースを接続すると共に、前記電位差発生回路の両端に所定値以上の電圧が発生した場合に前記出力用MOSトランジスタのゲートへの前記昇圧電圧の供給を停止するように前記昇圧回路を制御する制御用MOSトランジスタと、
    をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一に記載の半導体装置。
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