JP5053391B2 - 真空吸着ノズル - Google Patents
真空吸着ノズル Download PDFInfo
- Publication number
- JP5053391B2 JP5053391B2 JP2009550077A JP2009550077A JP5053391B2 JP 5053391 B2 JP5053391 B2 JP 5053391B2 JP 2009550077 A JP2009550077 A JP 2009550077A JP 2009550077 A JP2009550077 A JP 2009550077A JP 5053391 B2 JP5053391 B2 JP 5053391B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction nozzle
- vacuum suction
- electronic component
- component
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 141
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical group O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 104
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 88
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 85
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 79
- 239000002156 adsorbate Substances 0.000 claims description 54
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 50
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 39
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 72
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 description 21
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 19
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 19
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 18
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 17
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 16
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 16
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 16
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 14
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 12
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 11
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 11
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 9
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910000428 cobalt oxide Inorganic materials 0.000 description 9
- IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N cobalt(ii) oxide Chemical compound [Co]=O IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 9
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 8
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 8
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 8
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 8
- 235000019646 color tone Nutrition 0.000 description 7
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 7
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 7
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N yttrium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 5
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 5
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 5
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 5
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 4
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 3
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 3
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 229910002076 stabilized zirconia Inorganic materials 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052575 non-oxide ceramic Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011225 non-oxide ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000001694 spray drying Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001233 yttria-stabilized zirconia Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
- H05K13/0404—Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
- H05K13/0408—Incorporating a pick-up tool
- H05K13/0409—Sucking devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
2 吸着面
3 吸引孔
4 円錐部
5 円筒部
6 頭部
7 連続面
8 溝
10 保持部材
11 受け部
12 吸引孔
14 電子部品装着機
15 電子部品
15a 凹部
16 トレイ
17 ライト
18 CCDカメラ
19 画像解析装置
22 第2成分の結晶粒子
23 主成分の結晶粒子
以下、本発明の真空吸着ノズルの第1の実施の形態の例について説明する。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る真空吸着ノズルを電子部品装着機の保持部材に組み付けたときの構成の一例を示すものであり、(a)は斜視図であり、(b)は(a)の縦断面図である。
図2に示す例の電子部品装着装置20に、濃い色調を呈する真空吸着ノズル1を具備した電子部品装着機14を用いれば、真空吸着ノズル1に吸着された電子部品15をライト17で照射してCCDカメラ18で撮影したときに、電子部品15の背景となる真空吸着ノズル1が濃い色調を呈しているので、色合いが白色系,銀色系あるいは灰色系のものが多い電子部品15を区別しやすい色合いのものとすることができ、電子部品15の輪郭は明瞭なものとなる。これにより、位置や角度の認識エラーや誤った補正による装着ずれを低減させることができる。
本発明の真空吸着ノズル1を構成するセラミックスとしては、安定化剤を含むジルコニア,アルミナ,炭化珪素など公知の材料を用いることができる。
以下、本発明の第2の実施の形態の例を説明する。
図1は本発明の真空吸着ノズルを電子部品装着機の保持部材に組み付けたときの構成の一例を示すものであり、(a)は斜視図、(b)は(a)の縦断面図である。
本発明の真空吸着ノズル1を構成するセラミックスとしては、炭化珪素,アルミナ,安定化剤を含むジルコニアなどの公知の材料を用いることができる。
以下、本発明の実施例を説明する。
主成分としてイットリアを3モル%含む安定化ジルコニアを用い、第2成分としてアルミナを用いて、試料No.1〜11を作製した。まず、ジルコニアおよびアルミナを別々のボールミルに溶媒とともに入れ、所定の粒度まで粉砕してスラリーを作製した。このスラリーを混合し、スプレードライヤーを用いて噴霧乾燥し、顆粒を作製した。ジルコニアとアルミナとの混合割合は、ジルコニアが90質量%、アルミナが10質量%となるようにした。
SEM写真上で面積(A)の既知の円を描き、円内の粒子数ncと円周にかかった粒子数niから(1)式によって単位面積当たりの粒子数NGを求めた。そして、1/NGが1個の粒子の占める面積であるから、(2)式によって平均結晶粒径Dを求めた。なお、ここで示すmはSEM写真の倍率である。
NG=(nc+ni/2)/(A/m2)・・・(1)
D=2/√(πNG)・・・(2)
{Σ(長径+短径)/2}/アルミナ結晶粒子の個数・・・(3)
次に、主成分がジルコニアで第2成分がアルミナの試料No.12〜21の真空吸着ノズルを、実施例1と同様の作製方法にて作製した。また、主成分がアルミナであり第2成分が炭化チタンである真空吸着ノズルの成形体を実施例1と同様の作製方法にて作製し、真空乾燥機で乾燥させた。その後、真空雰囲気中で最高温度を1500〜1650℃の範囲とし、最高温度での保持時間を1〜5時間として焼成し、それぞれ焼結体とした。その後、実施例1と同様に加工して、試料No.22,23の真空吸着ノズルを得た。なお、試料No.22,23の組成では、アルミナを90質量%、炭化チタンを10質量%とした。
次に、主成分および第2成分としてイットリアを3モル%含む安定化ジルコニアからなる真空吸着ノズルを作製した。まず、主成分のジルコニアおよび第2成分のジルコニアを、別々のボールミルに溶媒とともに入れた。そして、主成分のジルコニアについては焼結後の平均結晶粒径が0.5μmとなるように、第2成分のジルコニアについては焼結後の平均結晶粒径が1.5〜2.5μmとなるように、それぞれ粉砕した。そして、これらのスラリーを別々にスプレードライヤーを用いて噴霧乾燥して、それぞれの顆粒を作製した。
次に、主成分としてイットリアを3モル%含む安定化ジルコニアを50〜90質量%用い、第2成分として酸化鉄,酸化亜鉛,炭化チタン,窒化チタンのいずれか1種を10〜50質量%用いて、成形体を得るまでの作製方法は実施例1と同様の方法で、真空吸着ノズルの成形体を作製した。ここで、第2成分として酸化鉄または酸化亜鉛を用いた真空吸着ノズルの成形体については、乾燥機に入れて乾燥させた後、大気雰囲気中で最高温度を1300〜1500℃の範囲とし、最高温度での保持時間を1〜5時間として焼成して、焼結体とした。また、第2成分として炭化チタンまたは窒化チタンを用いた真空吸着ノズルの成形体では、真空乾燥機に入れて乾燥した後、真空雰囲気中で最高温度を1400〜1650℃の範囲とし、最高温度での保持時間を1〜5時間として焼成して、焼結体とした。得られた焼結体を実施例1と同様に加工して、試料No.26〜45の真空吸着ノズルを得た。
まず、セラミックスとして、安定化剤としてイットリアを3モル%含むジルコニアを選択し、黒色化してカメラの視認性を高めるための着色剤として酸化鉄,酸化コバルト,酸化クロム,酸化ニッケルをジルコニア100質量%に対して合計10質量%添加した。この原料に水を加えてボールミルで粉砕・混合してスラリーを作製し、このスラリーをスプレードライヤーを用いて噴霧乾燥して、それぞれの顆粒を作製した。
得られた結果を表5に示す。
次に、実施例5と同様にして真空吸着ノズル1を作製し、図6に示すような形状の溝8を6本形成し、この6本の溝8が吸着面2の外周を6等分するように配置した。溝8の幅Hと深さIは表2に示すように設定した。そして、真空吸着ノズル1の円筒部5は、長さが3.2mm,外径が1mm,内径が0.3mmであり、円筒部5の肉厚が0.35mm、溝8の長さJが1mmとなるように作製した。これらを試料No.109〜115とした。
得られた結果を表6に示す。
次に、実施例6と同様にして真空吸着ノズル1を作製し、図6に示すような形状の溝8を4本形成して、4本の溝8は吸着面2の外周を4等分するように配置した。溝8の幅Hおよび深さIは、表7に示すように設定した。そして、真空吸着ノズル1の円筒部5を、長さが6mm,外径が2mm,内径が0.3mmであり、円筒部5の肉厚が0.85mm、溝8の長さJが1mmとなるように作製した。これらを試料No.116〜123とした。
得られた結果を表7に示す。
次に、図11に示すように、実施例6で用いた試料No.111の真空吸着ノズル1の6本の溝8のうち、1本の溝8を形成しない5本の溝8を有した真空吸着ノズル1を作製した。この真空吸着ノズル1を電子部品装着機14に取り付けて、0603タイプ(寸法が0.6mm×0.3mm)の電子部品15の1000万個の吸着テストを行ない、ダミー基板上に電子部品15を実装して電子部品15の位置ずれについて調べた。
次に、実施例1の試料No.7と同様の材料と製造方法を用いて、図4に示す例のような、真空吸着ノズル1の吸着面2の近傍の円筒部5の側面から吸着面2に向かって滑らかに変化する連続面7を有する形状の真空吸着ノズルと、試料No.7の材料と製造方法を用いて図6のような真空吸着ノズルの側面から吸着面に向かう複数の溝を有する形状の真空吸着ノズルとを作製して、位置ずれおよび持ち帰りについて実施例1と同様の評価を実施した。その結果、図4および図6に示す例の形状の真空吸着ノズルは、位置ずれおよび持ち帰りについてはともに3個以内であった。
Claims (9)
- 吸着物を真空吸着する吸着面と、前記吸着面に連通する吸引孔とを備える真空吸着ノズルにおいて、
前記吸着面を含む先端部がセラミックスからなり、
前記セラミックスが、該セラミックスを構成する主成分と、該主成分の平均結晶粒径よりも大きい平均結晶粒径を有する第2成分とを含み、
前記吸着面において、前記第2成分の結晶粒子が前記主成分の結晶粒子よりも突出しているとともに、
前記主成分の平均結晶粒径が0.2μm以上1.0μm以下の範囲にあり、前記第2成分の平均結晶粒径が1.0μm以上22.0μm以下の範囲にあることを特徴とする真空吸着ノズル。 - 前記第2成分の平均突出高さが1μm以上7μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の真空吸着ノズル。
- 前記主成分がジルコニアであることを特徴とする請求項1または2に記載の真空吸着ノズル。
- 前記第2成分がアルミナであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の真空吸着ノズル。
- 前記第2成分が酸化亜鉛,酸化鉄,炭化チタン,窒化チタンのうちいずれかであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の真空吸着ノズル。
- 真空吸着ノズルの全長にわたる抵抗値が103Ω以上1011Ω以下であることを特徴とする請求項5に記載の真空吸着ノズル。
- 前記吸着面の前記吸引孔付近が突出し、前記吸着面が外周から側面にかけて湾曲していることを特徴とする請求項1に記載の真空吸着ノズル。
- 当該真空吸着ノズルの先端部の外周に、前記吸着面まで達する複数の溝を有することを特徴とする請求項1に記載の真空吸着ノズル。
- 前記複数の溝は同一形状であって、前記の真空吸着ノズルの先端部の外周に等間隔で形成されていることを特徴とする請求項8に記載の真空吸着ノズル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009550077A JP5053391B2 (ja) | 2008-01-18 | 2009-01-19 | 真空吸着ノズル |
Applications Claiming Priority (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008008765 | 2008-01-18 | ||
JP2008008765 | 2008-01-18 | ||
JP2008219247 | 2008-08-28 | ||
JP2008219247 | 2008-08-28 | ||
PCT/JP2009/050667 WO2009091061A1 (ja) | 2008-01-18 | 2009-01-19 | 真空吸着ノズル |
JP2009550077A JP5053391B2 (ja) | 2008-01-18 | 2009-01-19 | 真空吸着ノズル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2009091061A1 JPWO2009091061A1 (ja) | 2011-05-26 |
JP5053391B2 true JP5053391B2 (ja) | 2012-10-17 |
Family
ID=40885441
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009550077A Expired - Fee Related JP5053391B2 (ja) | 2008-01-18 | 2009-01-19 | 真空吸着ノズル |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2242348A4 (ja) |
JP (1) | JP5053391B2 (ja) |
CN (1) | CN101911860B (ja) |
WO (1) | WO2009091061A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5111351B2 (ja) * | 2008-12-24 | 2013-01-09 | 京セラ株式会社 | 真空吸着ノズル |
JP5501887B2 (ja) * | 2009-07-29 | 2014-05-28 | 京セラ株式会社 | 真空吸着ノズル |
JP5300674B2 (ja) * | 2009-09-24 | 2013-09-25 | 京セラ株式会社 | 真空吸着ノズル |
JP2011071370A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Kyocera Corp | 真空吸着ノズル |
CN102390996B (zh) * | 2011-08-11 | 2013-05-15 | 九江嘉远科技有限公司 | 一种吸嘴制作工艺 |
JP7404384B2 (ja) * | 2019-10-29 | 2023-12-25 | 京セラ株式会社 | 装飾部材および装飾部材の製造方法 |
TWI768571B (zh) * | 2019-11-28 | 2022-06-21 | 日商京瓷股份有限公司 | 紡絲噴嘴及紡絲裝置 |
EP3833174A1 (en) * | 2019-12-06 | 2021-06-09 | Mycronic AB | A mounting tool for a component mounting machine |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6167560A (ja) * | 1984-09-08 | 1986-04-07 | Toyota Motor Corp | 中空部を有する繊維強化金属複合材料製成形部材の製造方法 |
JPS6173846A (ja) * | 1984-09-19 | 1986-04-16 | Toyota Motor Corp | 多孔質繊維強化金属複合材料及びその製造方法 |
JPH07186080A (ja) * | 1993-12-28 | 1995-07-25 | Smc Corp | 吸着用パッド |
JPH1126993A (ja) * | 1997-07-02 | 1999-01-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 吸着ノズル及びその製造方法 |
JP2003012368A (ja) * | 2001-06-27 | 2003-01-15 | Kyocera Corp | 半導電性ジルコニア焼結体 |
JP2003218590A (ja) * | 2002-01-18 | 2003-07-31 | Nec Corp | 部品吸着具、部品把持機構及び部品把持方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0290700A (ja) | 1988-09-28 | 1990-03-30 | Sony Corp | チップ部品マウント装置 |
JPH089500B2 (ja) * | 1989-03-01 | 1996-01-31 | 東レ株式会社 | Al▲下2▼O▲下3▼―ZrO▲下2▼系セラミックスおよびその製造方法 |
JPH04365579A (ja) | 1991-06-14 | 1992-12-17 | Toshiba Corp | 吸着ノズル |
JPH0987029A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-03-31 | Toshiba Corp | 炭化けい素基複合材料および同材料を用いた耐摩耗摺動部品 |
JPH10117099A (ja) * | 1996-10-14 | 1998-05-06 | Kyocera Corp | 光学測定用物体保持装置 |
JPH1126933A (ja) | 1997-06-30 | 1999-01-29 | Hitachi Chem Co Ltd | 無電解めっき用フィルム状接着剤及びこれを用いたプリント配線板の製造方法 |
JPH1199426A (ja) * | 1997-09-30 | 1999-04-13 | Kyocera Corp | 電子部品吸着用ノズル |
JP3347295B2 (ja) * | 1998-09-09 | 2002-11-20 | 松下電器産業株式会社 | 部品実装ツールとそれによる部品実装方法および装置 |
EP1707325A4 (en) * | 2003-12-19 | 2007-12-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | PARTS ASSEMBLY HEAD, RECEIVING NOZZLE, METHOD FOR PRODUCING A RECEIVING NOZZLE |
-
2009
- 2009-01-19 JP JP2009550077A patent/JP5053391B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2009-01-19 EP EP09701919.4A patent/EP2242348A4/en not_active Withdrawn
- 2009-01-19 CN CN2009801024405A patent/CN101911860B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2009-01-19 WO PCT/JP2009/050667 patent/WO2009091061A1/ja active Application Filing
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6167560A (ja) * | 1984-09-08 | 1986-04-07 | Toyota Motor Corp | 中空部を有する繊維強化金属複合材料製成形部材の製造方法 |
JPS6173846A (ja) * | 1984-09-19 | 1986-04-16 | Toyota Motor Corp | 多孔質繊維強化金属複合材料及びその製造方法 |
JPH07186080A (ja) * | 1993-12-28 | 1995-07-25 | Smc Corp | 吸着用パッド |
JPH1126993A (ja) * | 1997-07-02 | 1999-01-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 吸着ノズル及びその製造方法 |
JP2003012368A (ja) * | 2001-06-27 | 2003-01-15 | Kyocera Corp | 半導電性ジルコニア焼結体 |
JP2003218590A (ja) * | 2002-01-18 | 2003-07-31 | Nec Corp | 部品吸着具、部品把持機構及び部品把持方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2242348A4 (en) | 2017-01-04 |
CN101911860B (zh) | 2013-04-10 |
EP2242348A1 (en) | 2010-10-20 |
CN101911860A (zh) | 2010-12-08 |
WO2009091061A1 (ja) | 2009-07-23 |
JPWO2009091061A1 (ja) | 2011-05-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5053391B2 (ja) | 真空吸着ノズル | |
JP2009154217A (ja) | 真空吸着ノズル | |
JP5404889B2 (ja) | 真空吸着ノズル組み立て体 | |
US8112875B2 (en) | Vacuum suction nozzle for component mounting apparatus | |
JP5235909B2 (ja) | ジルコニア質焼結体およびその製造方法 | |
JPWO2009107581A1 (ja) | 真空吸着ノズル | |
JP2012143861A (ja) | 真空吸着ノズル組み立て体 | |
JP2011071370A (ja) | 真空吸着ノズル | |
JP5501887B2 (ja) | 真空吸着ノズル | |
JP5111351B2 (ja) | 真空吸着ノズル | |
JP5595052B2 (ja) | 真空吸着ノズル | |
EP3238890B1 (en) | Suction nozzle | |
JP3383739B2 (ja) | ワーク保持装置 | |
JP2003261376A (ja) | ジルコニア焼結体及びその製造方法 | |
JP5300674B2 (ja) | 真空吸着ノズル | |
JP4969487B2 (ja) | 真空吸着ノズル | |
JP6484777B2 (ja) | セラミックス製黒色ノズル | |
EP3326948A1 (en) | Fiber guide | |
JP2023051628A (ja) | 実装用吸着ノズル | |
JPH1199426A (ja) | 電子部品吸着用ノズル | |
KR100533861B1 (ko) | 반도체성지르코니아소결체및반도체성지르코니아소결체로이루어지는정전기제거부재 | |
JP2024014417A (ja) | 部品実装ノズル、部品実装装置および部品実装ノズルの製造方法 | |
JP2010109059A (ja) | 真空吸着ノズル組み立て体 | |
JP2022153105A (ja) | 基板保持部材およびその製造方法 | |
JPH03225841A (ja) | ダイボンディング用コレット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111122 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120120 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120626 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120725 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5053391 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150803 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |