JPH04365579A - 吸着ノズル - Google Patents

吸着ノズル

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JPH04365579A
JPH04365579A JP3143372A JP14337291A JPH04365579A JP H04365579 A JPH04365579 A JP H04365579A JP 3143372 A JP3143372 A JP 3143372A JP 14337291 A JP14337291 A JP 14337291A JP H04365579 A JPH04365579 A JP H04365579A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
suction
suction nozzle
nozzle
electronic component
suction hole
Prior art date
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Pending
Application number
JP3143372A
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English (en)
Inventor
Nobuyasu Shoda
鎗田 伸宜
Masaaki Sato
正明 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPH04365579A publication Critical patent/JPH04365579A/ja
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  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば、電子部品を
吸着する吸着ノズルに関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、吸着ノズルを用いて、回路基板
上に電子部品を連続的に装着する電子部品装着装置があ
る。この電子部品装着装置は、上記吸着ノズルで部品ト
レイから上記電子部品を吸着保持することによって取り
出し、ついで、この吸着ノズルをXYZ方向に駆動する
ことによって上記電子部品を回路基板上に搬送し装着す
る。そして、上記電子部品装着装置は、上述の動作を繰
り返すことによって電子部品を回路基板上に装着する。
【0003】上記吸着ノズルは、例えば図5に示すよう
に構成されている。すなわち、上記吸着ノズル1は電子
部品2の外形よりも小さい外形を有し、かつ下端面1a
は略平坦に形成されている。また、この吸着ノズル1の
上端側は図示しない真空装置に接続されている。
【0004】このような吸着ノズル1を用いて電子部品
2を吸着保持する場合には、上記電子部品装着装置は、
まず、上記吸着ノズル1を駆動し、上記電子部品2の上
面に上記吸着ノズル1の下端面を当接させる。そして、
上記真空装置を作動させ、上記吸着ノズル1の吸引孔1
b内に吸引力を生じさせる。このことでこの吸着ノズル
1は、図5に示すように、電子部品2を吸着保持するこ
とができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、一般に、上
記吸着ノズル1の吸着力を増加させようとすると、上記
吸引孔1bの径を大きくし、上記電子部品2の上面に吸
着力が働く面積(吸着面積)を大きくする必要がある。 しかし、近年、電子部品2はますます小型化され、吸引
孔1bの径を大きくするのには限界がある。
【0006】この発明は、このような事情に鑑みて成さ
れたもので、ノズルの吸引孔の径を大きくすることなく
吸着力を向上させることができる吸着ノズルを提供する
ことを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明は、吸引孔が形
成されたノズル本体を有し、このノズル本体の先端面に
ワ−クを吸着保持する吸着ノズルにおいて、上記ノズル
本体の先端面に、上記吸引孔から上記ノズル本体の外周
面に貫通する流通路を設けたことを特徴とする。
【0008】
【作用】このような吸着ノズルによれば、上記流通路を
気体が高速で流れることで、この流通路内にベルヌ−イ
の効果により負圧が生じ、この負圧によってワ−クを保
持することができる。
【0009】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照して
説明する。まず第1の実施例を図1、図2を参照して説
明する。
【0010】図2中5はこの発明の吸着ノズルである。 この吸着ノズル5の本体5aは内部に上下方向に貫通す
る吸引孔5bを有する。この吸引孔5bの上端側は図示
しない真空装置に接続されていると共に、下端は上記本
体5aの下端面に解放している。
【0011】また、上記本体5aの下端面には円周方向
に等間隔で複数個の凹部6が形成されている。この凹部
6は半径方向に吸引孔5bから本体5aの外周面に貫通
している。
【0012】このような構成の吸着ノズル5を用いて、
電子部品2を吸着保持する場合、電子部品吸着装置は、
図1に示すように、上記本体5aの下端面を上記電子部
品2の上面に当接させる。このことで、上記吸着ノズル
5の下端には、上記凹部6と上記電子部品2の上面とで
エア流通路7が4つ区画される。
【0013】ついで、上記電子部品吸着装置は、図示し
ない真空ポンプを作動させ、上記吸引孔5b内の空気を
上方向に流動させる。このことで、図1に矢印で示すよ
うに、上記吸着ノズル5の外部の空気は上記エア流通路
7から上記吸引孔5b内に吸引される。
【0014】このとき、上記エア流通路7内には吸着ノ
ズル5の外部の空気が高速で流れ込むから、ベルヌ−イ
の定理よりこの流通路7内は大気圧より負圧となる。し
たがって、上記吸着ノズル5は下端面に上記電子部品2
を吸着保持することができる。以下、この原理を詳しく
説明する。
【0015】上記真空ポンプにより上記吸着ノズル5の
吸引孔5b内を流れる空気の流量をQ(=一定)とする
。また、上記吸着ノズル5の吸引孔5bの空気の流れに
直角な断面積をA1 、上記各エア流通路7…の流れに
対して直角な断面積をA2 とする。そして、上記吸引
孔5b内の空気の流速をV1 、上記エア流通路7内の
流速をV2 とすると、連続の公式より(1)式が導か
れる。               Q=V1 ・A1 =V
2 ・A2 ・4  ……………………(1)(1)式
より、V2 は(2)式で表される。
【0016】               V2 =V1 ・(A1
 /A2 )・4  ……………………(2)次に、吸
着ノズル5の外部の圧力(大気圧・流速0)をP0 、
上記吸着ノズル5の吸引孔5bの圧力をP1 、上記エ
ア流通路7内の圧力をP2 とすると、ベルヌ−イの法
則より(3)式が成立する。 P0 /γ=(P1 /γ)+(V1 2 /2g)=
(P2 /γ)+(V2 2 /2g)       
                         
              ……………………(3)
    ただし、ここでγは比重量、gは重力加速度で
ある。上記(3)式を変形すると、P2 は(4)式の
ように示される。P2 =P1 +γ(V1 2 −V
2 2 )/2g=P0 −γ(V2 2 /2g)…
(4)(4)式において、V2 は正の値であるので、
P0 >P2となり、上記エア流通路内7の圧力P2 
は負圧となるから、この部分に上記電子部品2を吸着す
る力が生じる。
【0017】また、上記凹部6が形成されていることに
よって、上記吸着ノズル5の吸引孔5bの下端での吸引
力はエア流通路7がない場合の吸引力よりも小さくなる
ことが考えられるが、ベルヌ−イの効果によりこの減少
分を補うだけの圧力が生じるように、上記凹部6の形状
を定めてやれば、同じ内径で上記凹部6がない従来の吸
着ノズル1(図5に示す)の吸着力に比べてより大きな
吸着力を得ることができる。
【0018】例えば、上記A1 よりA2 を小さくす
れば、(2)式よりV2 >V1 となり、これを(4
)式に代入するとP1 >P2 となり上記流通路内の
圧力P2 は上記吸引孔内の圧力P1 よりも負圧にな
る。すなわち、A2 をできるだけ小さくしてやること
で上記エア流通孔7内に生じる吸引圧力P2 を大きく
することができる。
【0019】すなわち、上記凹部6(エア流通路7)の
形状を幅が広く高さが低い形状にしてやれば、上記電子
部品2の上面にベルヌ−イの効果による吸着力が有効に
働き、吸引孔5aの径が等しい従来例の吸着ノズル1(
図5に示す)に比較して、吸着力が向上する。次にこの
発明の第2の実施例を図3を参照して説明する。
【0020】上記第1の実施例では、上記吸着ノズル5
の先端面に凹部6を設けるようにしたが、凹部6を設け
る代わりに、上記吸着ノズル5の先端面に複数個の凸部
を設けるようにしても同様の効果を得ることができる。 これを第2の実施例として説明する。
【0021】図3中10aはこの第2の実施例の吸着ノ
ズル10の本体である。この吸着ノズル本体10aの周
壁には、この吸着ノズル10の軸方向に貫通する複数個
の貫通孔10c…が設けられている。この貫通孔10c
…はこの周壁の周方向に等間隔で設けられ、かつ各貫通
孔10cの下端開口部には半球形状の圧子11…が嵌め
込まれている。この圧子11はルビ−、サファイヤなど
硬い材料で形成され、かつ光透過性、光拡散性を有する
ものである。
【0022】また、上記貫通孔10c内には、光ファイ
バ12が挿通されている。この光ファイバ12の下端は
上記圧子11に接続され、上端側は図示しない光源に接
続されている。すなわち、上記図示しない光源からの光
は上記光ファイバ12を介して、上記圧子11から下方
に照射される。この光は、リング状に配置された上記半
球形状の圧子11…から下方に照射されるので、リング
状の拡散光となる。
【0023】上記電子部品装着装置は、上記吸着ノズル
10を駆動し、各圧子11の先端を上記電子部品2の上
面に当接させる。そして、上記電子部品装着装置は、図
示しない真空装置を作動させ、上記吸着ノズル10の吸
引孔10b内の空気を上方向へ流動させる。
【0024】このことで上記圧子11と圧子11の隙間
から外部の空気が上記吸引孔10c内に導入される。こ
のことで上記圧子11と圧子11の隙間には空気が高速
で流れ、ベルヌ−イの効果を生じる。
【0025】すなわち、上記圧子11と圧子11の隙間
と上記電子部品2の上面とで第1の実施例と同様にエア
流通路7´が区画され、この部分の圧力は大気圧より負
圧となり吸引力が生じるから上記吸着ノズル10の下端
部には電子部品2が吸着保持される。
【0026】ついで、上記電子部品装着装置は、上記吸
着ノズル10を駆動し、上記電子部品2を図示しない回
路基板に移送する。この移送経路の途中には上記吸着ノ
ズル10によって吸着保持された電子部品2を下方から
撮像する図示しない撮像カメラが設けられている。
【0027】すなわち、上記電子部品2を部品トレイか
ら取り出す際に、何等かの原因で上記吸着ノズル1の中
心軸と上記電子部品2の中心位置とがずれてしまう場合
があるが、上記撮像カメラでこのずれを検知し、上記電
子部品装着装置はこのずれ量にしたがって上記吸着ノズ
ル1による上記電子部品2の装着位置を補正する。
【0028】しかし、このとき、図5に示す従来例の構
成によれば、図6に示すように電子部品2から吸着ノズ
ル1がはみ出している場合でも、吸着ノズル1と電子部
品2とが図に斜線で示すように略同じ明るさで撮像され
てしまうということがある。このために、上記吸着ノズ
ル1を電子部品2の一部と誤認識し、ずれを正確に補正
することができない恐れがある。
【0029】また、ずれていることを検知することがで
きても、図6に示すような映像から電子部品2と吸着ノ
ズル1のずれ量を検出するには、電子部品2と吸着ノズ
ル1の境目が認識しずらいために演算処理が複雑となり
、処理時間がかかるということがある。
【0030】しかし、この第2の実施例の構成によれば
上記電子部品装着装置は、図3(b)に示すように、電
子部品2を吸着する際に上記光源を作動させ上記圧子1
1…から拡散光を照射する。このことで、上記吸着ノズ
ル10の先端は上記電子部品2よりも明るく撮像される
ので、上記電子部品と上記吸着ノズルとがずれていれば
、容易にそのことを検知することができる。
【0031】また、上記電子部品と上記吸着ノズル10
の境目をはっきりと認識でき、上記吸着ノズル10と上
記電子部品2がどれだけずれているのかを正確に認識す
ることができ、補正のための演算処理も高速で行うこと
ができる。
【0032】従って、上述のような構成によれば、従来
の同じ内径の吸着ノズル1に比べ、吸着力を増加させる
ことができると共に、電子部品2がずれて吸着されてい
る場合であっても、そのことを確実に検知することが可
能である。なお、この発明は上記一実施例に限定される
ものではなく、発明の要旨を変更しない範囲で種々変形
可能である。例えば上記第1の実施例では、上記凹部6
…は4つであるが、4つに限定されるものではなく、2
つ、3つ、5つ、6つあるいはそれ以上であっても良い
。また上記第2の実施例では、光ファイバ12および圧
子11の数は8つとしたが、これ以上であっても良いし
、これより少なくても良い。さらに、上記吸着ノズル5
(10)で吸着保持するワ−クは電子部品2に限定され
るものではなく、その他機械部品であっても良い。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の吸着ノ
ズルは、吸引孔が形成されたノズル本体を有し、このノ
ズル本体の先端面にワ−クを吸着保持するものであって
、上記吸着ノズル本体の先端面に、上記吸引孔とノズル
の外周面とに解放する流通路を設けたものである。
【0034】このような構成によれば、上記吸着ノズル
の先端部に形成された流通路内にベルヌ−イの効果を生
じさせることで、従来の同じ内径の吸着ノズルに比べ吸
着力が向上するという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例の吸着ノズルを示す一部断
面を有する斜視図。
【図2】(a)は同じく一部断面を有する側面図。 (b)はI−I線に沿う断面図。
【図3】(a)同じく第2の実施例を示す一部断面を有
する側面図。(b)は下面図。
【図4】同じく第2の実施例の吸着ノズルに電子部品が
ずれて吸着された状態を示す下面図。
【図5】従来例を示す一部断面を有する側面図。
【図6】同じく吸着ノズルに電子部品がずれて吸着され
た状態を示す下面図。
【符号の説明】
2…電子部品、5…吸着ノズル、5a…本体、5b…吸
引孔、6…凹部、7…エア流通路、10…吸着ノズル、
10a…ノズル本体、10b…吸引孔、10c…貫通孔
、11…圧子、12…光ファイバ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  吸引孔が形成されたノズル本体を有し
    、このノズル本体の先端面にワ−クを吸着保持する吸着
    ノズルにおいて、上記ノズル本体の先端面に、上記吸引
    孔から上記ノズル本体の外周面に貫通する流通路を設け
    たことを特徴とする吸着ノズル。
JP3143372A 1991-06-14 1991-06-14 吸着ノズル Pending JPH04365579A (ja)

Priority Applications (1)

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JP3143372A JPH04365579A (ja) 1991-06-14 1991-06-14 吸着ノズル

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JP3143372A JPH04365579A (ja) 1991-06-14 1991-06-14 吸着ノズル

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JPH04365579A true JPH04365579A (ja) 1992-12-17

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ID=15337258

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JP3143372A Pending JPH04365579A (ja) 1991-06-14 1991-06-14 吸着ノズル

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JP (1) JPH04365579A (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100490840B1 (ko) * 2002-05-23 2005-05-19 미래산업 주식회사 마운터 헤드의 노즐
DE19536005B4 (de) * 1995-09-28 2006-02-02 INSTITUT FüR MIKROTECHNIK MAINZ GMBH Vorrichtung zum hochgenauen Erfassen und Positionieren von Mikrobauelementen
WO2008038415A1 (fr) * 2006-09-25 2008-04-03 Nanto Seimitsu Co., Ltd. Élément de buse d'aspiration pour un composant électronique
JP2009154217A (ja) * 2007-12-25 2009-07-16 Kyocera Corp 真空吸着ノズル
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CN104626174A (zh) * 2013-11-13 2015-05-20 浙江大学 吸盘
JP2017198466A (ja) * 2016-04-25 2017-11-02 三菱電機株式会社 測定装置、半導体素子の測定方法

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