JP2001127500A - チップマウンタの部品撮像装置 - Google Patents

チップマウンタの部品撮像装置

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JP2001127500A
JP2001127500A JP30181699A JP30181699A JP2001127500A JP 2001127500 A JP2001127500 A JP 2001127500A JP 30181699 A JP30181699 A JP 30181699A JP 30181699 A JP30181699 A JP 30181699A JP 2001127500 A JP2001127500 A JP 2001127500A
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axis
mounting head
component
suction nozzle
driving
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Hironao Chigusa
宏尚 千種
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】ミラーの移動機構を必要とせず、構造が簡単で
小形のチップマウンタの部品撮像装置を提供する。 【解決手段】吸着ノズル11を上下方向へ駆動するZ軸
駆動機構と吸着ノズル11をZ軸を中心として回転方向
に駆動するθ軸駆動機構とを有する搭載ヘッド10と、
搭載ヘッド10をY軸方向へ駆動するY軸駆動機構3
と、Y軸駆動機構3をX軸方向へ駆動するX軸駆動機構
2とを備えたチップマウンタである。搭載ヘッド10の
ノズル11の上下動作範囲外であって、上昇位置にある
ノズル11に吸着された部品Wの斜め下方位置に配置さ
れたミラー15と、同じく搭載ヘッド10の上下動作範
囲外に、ミラー15によって反射され、ノズル11に吸
着された部品Wの画像を撮像するカメラ13とを搭載ヘ
ッド10に固定する。カメラ13で撮像されたデータ
を、搭載ヘッド10がXY移動している期間中に、画像
処理装置によって画像処理し、その画像処理結果に基づ
いてノズル11の位置をX軸,Y軸およびθ軸方向に制
御して部品Wの位置および姿勢を補正する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はチップマウンタの部
品撮像装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体集積回路装置や圧電部品な
どの電子部品をプリント基板などに自動搭載するチップ
マウンタでは、電子部品を自動的かつ正確に吸着/搭載
するために、吸着ノズルで吸着された電子部品をカメラ
で撮像し、電子部品の位置や形状を認識することが行な
われている。吸着ノズルで吸着された電子部品の位置や
形状を認識するには、一般に、搭載ヘッドを位置固定式
のカメラの上に移動・停止させ、カメラで撮像した後、
画像処理装置でデータが処理され、電子部品の姿勢や重
心位置が算出され、その値から搭載するプリント基板に
対して所定の姿勢と位置になるように補正が行なわれ、
搭載ヘッドをプリント基板上へ移動させた上で電子部品
をプリント基板に正しく搭載するようになっている。と
ころが、このような方式では、電子部品を撮像するカメ
ラの上で搭載ヘッドを一旦停止させなければならないの
で、時間ロスが大きく、搭載速度が低下してしまうとい
う欠点があった。
【0003】このような問題点を解消するものとして、
特開平5−231833号公報のように、搭載ヘッドに
可動ミラーとカメラとを設け、この可動ミラーを撮像時
にはヘッドの下方位置へ移動させ、電子部品の吸着時お
よび搭載時にはヘッドの移動経路外に退避させるものが
提案されている。
【0004】また、特開平11−74700号公報で
は、吸着ノズルで吸着された部品の画像を走査ミラーに
よってカメラの方向へ偏向させるものが提案されてい
る。走査ミラーはミラー移動機構によって複数の吸着ノ
ズルで吸着された各部品の下方位置へ順次進入させら
れ、走査ミラーはカメラで撮像される部品の画像が静止
画像となるように移動される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記のいずれの場合
も、搭載ヘッドが部品を吸着した後、プリント基板へ移
動する間に電子部品の画像を撮像することができるの
で、搭載速度を向上させることが可能である。しかしな
がら、可動ミラーや走査ミラーを移動させる必要がある
ので、その間は吸着した部品を回路基板などに搭載でき
ず、時間ロスを生じる。この時間ロスをなくすために
は、ミラーを高速で移動させなければならず、移動機構
が大型となる。また、このような大型のミラー移動機構
を搭載ヘッドに設けなければならないので、搭載ヘッド
が大型になるとともに、重量が増すという欠点がある。
さらに、ミラーを移動させる関係で、カメラとの位置関
係にずれが生じやすく、これを解消するために高精度な
移動機構を必要とし、コスト上昇を招く欠点があった。
【0006】そこで、本発明の目的は、ミラーの移動機
構を必要とせず、構造が簡単で小形のチップマウンタの
部品撮像装置を提供することにある。また、他の目的
は、搭載ヘッドのXY移動中に画像データ処理を行い、
位置補正を高速で行なうことが可能なチップマウンタの
部品撮像装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に記載の発明は、吸着ノズルを上下方向へ
駆動するZ軸駆動機構と吸着ノズルをZ軸を中心として
回転方向に駆動するθ軸駆動機構とを有する搭載ヘッド
と、搭載ヘッドをY軸方向へ駆動するY軸駆動機構と、
Y軸駆動機構をX軸方向へ駆動するX軸駆動機構とを備
えたチップマウンタにおいて、搭載ヘッドの可動部の上
下動作範囲外であって、上昇位置にある吸着ノズルに吸
着された部品の斜め下方位置に配置され、かつ搭載ヘッ
ドの固定部に固定されたミラーと、搭載ヘッドの可動部
の上下動作範囲外であって、かつ搭載ヘッドの固定部に
固定され、吸着ノズルに吸着された部品のミラーによる
反射画像を撮像するカメラと、を備えたことを特徴とす
るチップマウンタの部品撮像装置を提供する。
【0008】ミラーは搭載ヘッドの可動部の上下動作範
囲外に配置されているので、吸着ノズルが部品を吸着し
た後、所定位置まで上昇する時、ミラーと搭載ヘッドあ
るいは部品とが干渉しない。所定位置まで上昇した部品
は、部品の斜め下方位置にあるミラーを介してカメラで
撮像される。つまり、部品の画像を撮像するために、ミ
ラーを移動させる必要がないので、撮像時間および搭載
時間を短縮できるとともに、ミラーの移動機構が不要と
なるので、搭載ヘッドの構造が簡単となり、小形とな
る。また、ミラーを移動させることに伴うカメラとの位
置関係のずれも生じない。本発明では、部品の直下から
撮像するのではなく、斜め下方から撮像しているため、
画像に歪みが生じるが、斜め方向の画像であっても、画
像処理で補正することにより、部品の姿勢や位置を正確
に認識できる。
【0009】従来では、次のようなステップを経て部品
が回路基板に搭載される。部品吸着→ノズル上昇→搭載
ヘッドXY移動→ミラー移動→撮像→画像処理→搭載ヘ
ッド補正・停止→ノズル降下→部品搭載一方、本発明で
は次のようなステップを経て部品が回路基板に搭載され
る。部品吸着→ノズル上昇→撮像→搭載ヘッドXY移動
→画像処理→搭載ヘッド補正・停止→ノズル降下→部品
搭載このように本発明では、部品を吸着した吸着ノズル
が上昇位置まで上昇した瞬間に撮像できるので、搭載ヘ
ッドがXY移動している間に撮像する必要がない。その
ため、画像処理および補正にかける時間を従来に比べて
長く確保することができる。
【0010】本発明では、ミラーが上昇位置にある吸着
ノズルの斜め下方の位置に固定されているので、マウン
ト終了後の吸着ノズルに部品が付着したままの状態であ
る場合に、搭載ヘッドが次の部品の吸着のためにXY移
動している間に、吸着ノズルに付着している部品を撮像
でき、マウントミスを判断できる。なお、ミラーの高さ
方向の位置は、部品搭載面より上方に位置している方が
よい。その理由は、搭載ヘッドがXY移動中にミラーが
他の設備などに干渉したり、搭載時にミラーがプリント
基板に干渉するのを防止できるからである。
【0011】請求項2は、複数の吸着ノズルを個別に上
下方向へ駆動するZ軸駆動機構と吸着ノズルをZ軸を中
心として個別に回転方向に駆動するθ軸駆動機構とを有
する搭載ヘッドと、搭載ヘッドをY軸方向へ駆動するY
軸駆動機構と、Y軸駆動機構をX軸方向へ駆動するX軸
駆動機構とを備えたチップマウンタにおいて、搭載ヘッ
ドの可動部の上下動作範囲外であって、上昇位置にある
吸着ノズルに吸着された部品の斜め下方位置に配置さ
れ、かつY軸駆動機構の固定部に固定された単一のミラ
ーと、搭載ヘッドの可動部の上下動作範囲外であって、
かつY軸駆動機構の固定部に固定され、吸着ノズルに吸
着された部品のミラーによる反射画像を撮像する単一の
カメラとを備え、吸着ノズルで部品を吸着した後、Y軸
駆動機構を駆動することにより、ミラーとカメラとに対
して吸着ノズルに吸着された部品を走査し、全ての部品
の画像を撮像することを特徴とするチップマウンタの部
品撮像装置を提供する。
【0012】すなわち、搭載ヘッドが多連型である場
合、カメラおよびミラーも多連としてもよいが、カメラ
およびミラーの個数が増える欠点がある。そこで、請求
項2では、カメラおよびミラーがそれぞれ1台で多連搭
載ヘッドに対応できるようにしたものである。まず吸着
ノズルが上昇位置まで上昇すると、Y軸駆動機構の固定
部に固定されたミラーを介して端位置にある吸着ノズル
に吸着された部品をカメラで撮像する。次に、Y軸駆動
機構の可動部に設けられた搭載ヘッドをY軸方向へ1ピ
ッチずつ移動させ、ミラーとカメラとに対して吸着ノズ
ルに吸着された部品を走査することにより、全ての部品
の画像を撮像する。なお、搭載ヘッドのY軸方向への移
動は間欠移動である必要はなく、連続移動であっても、
適宜シャッタ機構などを用いることで、連続撮影が可能
である。
【0013】請求項1および2は、ミラーで反射した画
像をカメラで撮像する装置に関するものであるが、請求
項3および4のようにミラーを省略してカメラで直接撮
像してもよい。すなわち、請求項3は、吸着ノズルを上
下方向へ駆動するZ軸駆動機構と吸着ノズルをZ軸を中
心として回転方向に駆動するθ軸駆動機構とを有する搭
載ヘッドと、搭載ヘッドをY軸方向へ駆動するY軸駆動
機構と、Y軸駆動機構をX軸方向へ駆動するX軸駆動機
構とを備えたチップマウンタにおいて、搭載ヘッドの可
動部の上下動作範囲外であって、上昇位置にある吸着ノ
ズルに吸着された部品の斜め下方位置に配置され、吸着
ノズルに吸着された部品の画像を撮像するカメラを搭載
ヘッドの固定部に固定したことを特徴とするチップマウ
ンタの部品撮像装置を提供する。また、請求項4は、複
数の吸着ノズルを個別に上下方向へ駆動するZ軸駆動機
構と吸着ノズルをZ軸を中心として個別に回転方向に駆
動するθ軸駆動機構とを有する搭載ヘッドと、搭載ヘッ
ドをY軸方向へ駆動するY軸駆動機構と、Y軸駆動機構
をX軸方向へ駆動するX軸駆動機構とを備えたチップマ
ウンタにおいて、搭載ヘッドの可動部の上下動作範囲外
であって、上昇位置にある吸着ノズルに吸着された部品
の斜め下方位置に配置され、吸着ノズルに吸着された部
品の画像を撮像する単一のカメラをY軸駆動機構の固定
部に固定し、吸着ノズルで部品を吸着した後、Y軸駆動
機構を駆動することにより、カメラに対して吸着ノズル
に吸着された部品を走査し、全ての部品の画像を撮像す
ることを特徴とするチップマウンタの部品撮像装置を提
供する。
【0014】このようにミラーを省略することで、構造
を一層簡素化できるとともに、画像を反射させる必要が
ないので、画像の歪みを少なくすることができる。カメ
ラは一般にレンズ部とCCDなどの受光部と電子回路部
とで構成されているが、レンズ部と受光部を電子回路部
から分離すれば、レンズ部と受光部は小型に構成できる
ので、吸着ノズルに吸着された部品の斜め下方位置に容
易に配置できる。なお、電子回路部は必ずしも部品の斜
め下方に配置する必要はない。また、カメラ(レンズ部
と受光部と電子回路部)自体を小型化できる場合には、
カメラ全体を吸着ノズルに吸着された部品の斜め下方位
置に配置してもよい。
【0015】請求項5のように、カメラで撮像されたデ
ータを画像処理する画像処理装置を備え、搭載ヘッドが
X軸および/またはY軸方向へ移動している期間中に、
画像処理装置によって画像処理するとともに、この画像
処理結果に基づいて吸着ノズルの位置をX軸,Y軸およ
びθ軸方向に制御して部品の位置および姿勢を補正する
のが望ましい。すなわち、搭載ヘッドが部品を吸着して
マウント位置までXY移動する間に画像処理および補正
を行なうことにより、XY移動と画像処理および補正を
並行して実行でき、搭載速度を向上させることができ
る。
【0016】
【発明の実施の形態】図1〜図3は本発明にかかるチッ
プマウンタの部品撮像装置の第1実施例を示す。1はチ
ップマウンタを構成するXYロボットであり、このロボ
ット1は、X軸駆動機構(図示せず)を内蔵したX軸フ
レーム2とY軸駆動機構(図示せず)を内蔵したY軸フ
レーム3とを備えている。Y軸フレーム3の一端部はX
軸フレーム2にX軸方向に移動可能に取り付けられてお
り、X軸駆動機構によりX軸方向に駆動される。Y軸フ
レーム3には搭載ヘッド10がY軸方向に移動可能に取
り付けられており、Y軸駆動機構によりY軸方向に駆動
される。
【0017】搭載ヘッド10には、図示しない真空吸引
装置に接続された吸着ノズル11が設けられており、吸
着ノズル11の下端部にチップ部品などの部品Wを吸着
可能である。吸着ノズル11は搭載ヘッド10に内蔵さ
れたZ軸駆動機構(図示せず)により上下方向(Z軸方
向)に駆動され、かつθ軸駆動機構(図示せず)により
Z軸を中心として回転方向に角度調整される。
【0018】搭載ヘッド10は、X軸駆動機構およびY
軸駆動機構によって、部品供給部の一例であるテープフ
ィーダ20(図2参照)と部品搭載部の一例であるプリ
ント基板21との間を移動可能である。そして、搭載ヘ
ッド10に設けられた吸着ノズル11は、Z軸駆動機構
およびθ軸駆動機構によって、テープフィーダ20から
部品Wを吸着して持ち上げた後、プリント基板21の上
で降下して、所定位置に所定の姿勢(向き)で部品Wを
搭載する。
【0019】搭載ヘッド10の側部には、ブラケット1
2を介してCCDカメラなどのイメージセンサカメラ1
3が固定されており、カメラ13の斜め下方にはリテー
ナ14を介してミラー15が上向きに水平に固定されて
いる。このミラー15は、搭載ヘッド10の可動部(こ
こでは吸着ノズル11)の上下動作範囲外であって、上
昇位置にある吸着ノズル11に吸着された部品Wの斜め
下方位置に配置されている。なお、ミラー15は、部品
搭載面(プリント基板21の上面)より高い位置とする
のがよい。また、カメラ13も同様に、搭載ヘッド10
の可動部の上下動作範囲外に配置され、ミラー15で反
射された部品Wの画像を撮像できるように斜め下方に向
けて固定されている。そのため、ノズル11が部品Wを
吸着して上下動しても、ミラー15やカメラ13と干渉
することがない。吸着ノズル11に吸着された部品Wの
画像は、ミラー15によって反射され、カメラ13で撮
像される。カメラ13の撮像データは画像処理装置16
(図2参照)へ送られ、ここで部品Wの位置や姿勢が解
析される。そして、プリント基板21に対して部品Wが
所定の位置でかつ所定の向き(姿勢)で搭載されるよう
に、X,Yおよびθ方向に補正される。
【0020】ここで、上記構造よりなるチップマウンタ
の動作を説明する。まず、XYロボット1を作動させて
吸着ノズル11をテープフィーダ20の上方へ移動させ
る。そして、Z軸駆動機構により吸着ノズル11を降下
させ、テープフィーダ20によって送られるテープ20
aに収納された部品Wを1個吸着する。そして、部品W
を吸着したノズル11は所定位置まで上昇した時点で、
部品Wの画像がミラー15で反射されてカメラ13で撮
像される。撮像されたデータは画像処理装置16へ送ら
れ、プリント基板21の搭載位置および向きに対する
X,Yおよびθ方向のズレを演算し、このズレが解消す
る方向にX軸駆動機構,Y軸駆動機構およびθ軸駆動機
構を駆動し、補正する。
【0021】上記画像処理および補正動作は、搭載ヘッ
ド10がプリント基板21の上方位置までXY移動する
間に行なわれる。つまり、画像処理および補正動作とX
Y移動とが並行して行なわれるので、時間ロスを少なく
でき、搭載速度を上げることができる。搭載ヘッド10
がプリント基板21の上方位置に到達した後、Z軸駆動
機構が作動され、ノズル11に吸着された部品Wはプリ
ント基板21の正規位置に搭載される。
【0022】部品Wをプリント基板21に搭載した後、
ノズル11は上昇し、搭載ヘッド10はテープフィーダ
20の位置へ戻るが、その際、カメラ13はノズル11
の先端部を撮像し、部品Wがプリント基板21に搭載さ
れずにノズル11に付着したままになっていないかを確
認する。従来では、ノズル11に残った部品Wの有無を
検知するため真空吸着センサが設けられているが、1辺
が1mm未満の微小サイズの部品Wの場合、真空吸着セ
ンサでは誤検知しやすい。これに対し、カメラ13で撮
像すれば、微小部品であってもノズル11に残った部品
Wの有無を確実に検知できる。
【0023】図4,図5は本発明にかかるチップマウン
タの部品撮像装置の第2実施例を示す。なお、第1実施
例と同一部品には同一符号を付して説明を省略する。第
1実施例では、1本の吸着ノズル11に対して1個のカ
メラ13と1個のミラー15とが使用されている。搭載
ヘッド10に複数本の吸着ノズル11が設けられている
場合には、ノズルの本数に応じたカメラ13およびミラ
ー15を設けてもよいが、これではコスト上昇を招く。
そこで、第2実施例では、単一のミラー15と単一のカ
メラ13で複数本のノズル11a〜11cに吸着された
全ての部品W1 〜W3 を画像認識できるようにしたもの
である。
【0024】Y軸フレーム3にはブラケット30を介し
てカメラ13が固定され、このカメラ13の斜め下方に
リテーナ14を介してミラー15が上向きに取り付けら
れている。搭載ヘッド10にはY軸方向に並んだ複数本
(この実施例では3本)のノズル11a〜11cが設け
られている。この実施例の場合も、ミラー15の位置は
部品搭載面(プリント基板21の上面)より高い位置と
するのがよい。
【0025】この実施例の場合には、テープフィーダ2
0から部品Wを吸着したノズル11a〜11cが所定位
置まで上昇し、搭載ヘッド10がプリント基板21上ま
でXY移動する間に、搭載ヘッド10をY軸方向に1回
だけ走査させ、各ノズル11a〜11cに吸着された部
品W1 〜W3 をミラー15を介してカメラ13で撮像す
る。この時、搭載ヘッド10をノズル11a〜11cが
ミラー15と対応する各位置で一旦停止させてもよい
が、搭載ヘッド10をY軸方向へ連続的に移動させなが
ら、シャッタ機構などを用いて各部品W1 〜W3 の静止
画像を間欠的に撮像するようにしてもよい。
【0026】撮像されたデータは第1実施例と同様に画
像処理装置へ送られ、プリント基板21の搭載位置およ
び向きに対するX,Yおよびθ方向のズレを演算し、こ
のズレが解消する方向にX軸駆動機構,Y軸駆動機構お
よびθ軸駆動機構を駆動し、補正する。そして、搭載ヘ
ッド10がプリント基板21の上方位置に到達した後、
Z軸駆動機構が作動され、ノズル11a〜11cに吸着
された部品W1 〜W3 はプリント基板21の正規位置に
搭載される。
【0027】この実施例では、搭載ヘッド10に対して
ノズル11a〜11cがZ軸およびθ軸方向には個別に
移動可能であるが、X軸およびY軸方向には個別に移動
できない。しかし、個々のノズル11a〜11cは搭載
時に同時に降下するのではなく、それぞれの搭載位置に
XY動作を織りまぜながら降下するので、X,Y,θ共
に個別に位置補正が可能である。
【0028】図6は本発明にかかるチップマウンタの部
品撮像装置の第3実施例を示す。なお、第1実施例と同
一部品には同一符号を付して説明を省略する。この実施
例は、ミラーを用いずにカメラで直接部品の画像を撮像
するものである。カメラ13は、レンズ部13aとCC
Dなどの受光部13bと電子回路部13cとで構成され
ているが、レンズ部13と受光部13bとが電子回路部
13cから分離されている。レンズ部13と受光部13
bは、ノズル11の上下動作範囲外であって、吸着ノズ
ル11に吸着された部品Wの斜め下方位置に配置されて
いる。なお、電子回路部13cは、ノズル11の上下動
作範囲外であれば、必ずしも部品Wの斜め下方に配置す
る必要はない。レンズ部13aおよび受光部13bと電
子回路部13cとは、共にリテーナ14上に固定され、
電子回路部13cはブラケット12を介して搭載ヘッド
10に固定されている。レンズ部13aは斜め下方から
部品Wを撮像できるように、斜め上方に向けて取り付け
られている。
【0029】第3実施例の部品撮像装置の作動は、第1
実施例と同様であるため、その説明を省略する。この実
施例では、ミラーを省略することができるので、構造を
一層簡素化できるとともに、部品Wの画像を反射させる
必要がないので、画像の歪みを少なくすることができ
る。そのため、部品Wの位置や姿勢をより正確に認識で
きる。
【0030】第3実施例では、カメラ13を搭載ヘッド
10に固定したが、第2実施例と同様にY軸フレーム3
に固定し、複数本のノズル11a〜11cに吸着された
部品W 1 〜W3 を1個のカメラ13で撮像できるように
してもよい。この場合も、搭載ヘッド10がプリント基
板21上までXY移動する間に、搭載ヘッド10をY軸
方向に1回だけ走査させ、各ノズル11a〜11cに吸
着された部品W1 〜W3をカメラ13で撮像すればよ
い。
【0031】また、カメラ13自体を小型化できる場合
には、レンズ部13と受光部13bを電子回路部13c
から分離せず、カメラ13全体を吸着ノズル11に吸着
された部品Wの斜め下方位置に配置してもよい。
【0032】本発明において、ミラーとは、部品の画像
を反射するもののほか、画像を偏向させる機能を持つプ
リズムなども含むものである。また、部品の拡大画像を
得るために、ミラーとカメラの間にレンズなどを適宜配
置してもよい。
【0033】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、請求項1
に記載の発明によれば、ミラーおよびカメラを搭載ヘッ
ドの可動部の上下動作範囲外であって、搭載ヘッドの固
定部に固定したので、吸着ノズルや部品がミラーおよび
カメラと干渉せず、部品の画像を撮像するために、ミラ
ーを移動させる必要がないので、撮像時間および搭載時
間を短縮できる。そして、ミラーの移動機構が不要とな
るので、搭載ヘッドの構造が簡単となり、小形となると
ともに、ミラーを移動させることに伴うカメラとの位置
関係のずれも生じない。
【0034】また、請求項2に記載の発明によれば、搭
載ヘッドが複数の吸着ノズルを有する多連型である場合
に、カメラおよびミラーがそれぞれ1台で各吸着ノズル
に吸着された部品を撮像できるとともに、カメラおよび
ミラーはY軸駆動機構に固定されているので、移動機構
が不要であり、構造が簡素化される。
【0035】請求項3および4に記載の発明によれば、
請求項1および2における効果に加え、ミラーを省略す
ることで、構造を一層簡素化できるとともに、画像を反
射させる必要がないので、画像の歪みを少なくすること
ができるという効果を有する。
【0036】さらに、請求項5に記載の発明によれば、
搭載ヘッドがX軸および/またはY軸方向へ移動してい
る期間中に、画像処理装置によって画像処理するととも
に、この画像処理結果に基づいて吸着ノズルの位置をX
軸,Y軸およびθ軸方向に制御して部品の位置および姿
勢を補正するようにしたので、XY移動と画像処理およ
び補正を並行して実行でき、時間ロスを少なくし、搭載
速度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかるチップマウンタの第1実施例の
斜視図である。
【図2】図1のチップマウンタの動作説明図である。
【図3】図1のチップマウンタの要部の拡大斜視図であ
る。
【図4】本発明にかかるチップマウンタの第2実施例の
斜視図である。
【図5】図4の断面図である。
【図6】本発明にかかるチップマウンタの第4実施例の
一部断面図である。
【符号の説明】
1 XYロボット 2 X軸フレーム 3 Y軸フレーム 10 搭載ヘッド 11 吸着ノズル 13 カメラ 15 ミラー W 部品

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】吸着ノズルを上下方向へ駆動するZ軸駆動
    機構と吸着ノズルをZ軸を中心として回転方向に駆動す
    るθ軸駆動機構とを有する搭載ヘッドと、搭載ヘッドを
    Y軸方向へ駆動するY軸駆動機構と、Y軸駆動機構をX
    軸方向へ駆動するX軸駆動機構とを備えたチップマウン
    タにおいて、搭載ヘッドの可動部の上下動作範囲外であ
    って、上昇位置にある吸着ノズルに吸着された部品の斜
    め下方位置に配置され、かつ搭載ヘッドの固定部に固定
    されたミラーと、搭載ヘッドの可動部の上下動作範囲外
    であって、かつ搭載ヘッドの固定部に固定され、吸着ノ
    ズルに吸着された部品のミラーによる反射画像を撮像す
    るカメラと、を備えたことを特徴とするチップマウンタ
    の部品撮像装置。
  2. 【請求項2】複数の吸着ノズルを個別に上下方向へ駆動
    するZ軸駆動機構と吸着ノズルをZ軸を中心として個別
    に回転方向に駆動するθ軸駆動機構とを有する搭載ヘッ
    ドと、搭載ヘッドをY軸方向へ駆動するY軸駆動機構
    と、Y軸駆動機構をX軸方向へ駆動するX軸駆動機構と
    を備えたチップマウンタにおいて、搭載ヘッドの可動部
    の上下動作範囲外であって、上昇位置にある吸着ノズル
    に吸着された部品の斜め下方位置に配置され、かつY軸
    駆動機構の固定部に固定された単一のミラーと、搭載ヘ
    ッドの可動部の上下動作範囲外であって、かつY軸駆動
    機構の固定部に固定され、吸着ノズルに吸着された部品
    のミラーによる反射画像を撮像する単一のカメラとを備
    え、吸着ノズルで部品を吸着した後、Y軸駆動機構を駆
    動することにより、ミラーとカメラとに対して吸着ノズ
    ルに吸着された部品を走査し、全ての部品の画像を撮像
    することを特徴とするチップマウンタの部品撮像装置。
  3. 【請求項3】吸着ノズルを上下方向へ駆動するZ軸駆動
    機構と吸着ノズルをZ軸を中心として回転方向に駆動す
    るθ軸駆動機構とを有する搭載ヘッドと、搭載ヘッドを
    Y軸方向へ駆動するY軸駆動機構と、Y軸駆動機構をX
    軸方向へ駆動するX軸駆動機構とを備えたチップマウン
    タにおいて、搭載ヘッドの可動部の上下動作範囲外であ
    って、上昇位置にある吸着ノズルに吸着された部品の斜
    め下方位置に配置され、吸着ノズルに吸着された部品の
    画像を撮像するカメラを搭載ヘッドの固定部に固定した
    ことを特徴とするチップマウンタの部品撮像装置。
  4. 【請求項4】複数の吸着ノズルを個別に上下方向へ駆動
    するZ軸駆動機構と吸着ノズルをZ軸を中心として個別
    に回転方向に駆動するθ軸駆動機構とを有する搭載ヘッ
    ドと、搭載ヘッドをY軸方向へ駆動するY軸駆動機構
    と、Y軸駆動機構をX軸方向へ駆動するX軸駆動機構と
    を備えたチップマウンタにおいて、搭載ヘッドの可動部
    の上下動作範囲外であって、上昇位置にある吸着ノズル
    に吸着された部品の斜め下方位置に配置され、吸着ノズ
    ルに吸着された部品の画像を撮像する単一のカメラをY
    軸駆動機構の固定部に固定し、吸着ノズルで部品を吸着
    した後、Y軸駆動機構を駆動することにより、カメラに
    対して吸着ノズルに吸着された部品を走査し、全ての部
    品の画像を撮像することを特徴とするチップマウンタの
    部品撮像装置。
  5. 【請求項5】上記カメラで撮像されたデータを画像処理
    する画像処理装置を備え、搭載ヘッドがX軸および/ま
    たはY軸方向へ移動している期間中に、上記画像処理装
    置によって画像処理するとともに、この画像処理結果に
    基づいて吸着ノズルの位置をX軸,Y軸およびθ軸方向
    に制御して部品の位置および姿勢を補正することを特徴
    とする請求項1ないし4のいずれかに記載のチップマウ
    ンタの部品撮像装置。
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