JPH07186080A - 吸着用パッド - Google Patents
吸着用パッドInfo
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- JPH07186080A JPH07186080A JP33792793A JP33792793A JPH07186080A JP H07186080 A JPH07186080 A JP H07186080A JP 33792793 A JP33792793 A JP 33792793A JP 33792793 A JP33792793 A JP 33792793A JP H07186080 A JPH07186080 A JP H07186080A
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- suction pad
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Abstract
(57)【要約】
【目的】半導体部品等の電子部品に帯電する静電気を完
全に除去することができるとともに、前記電子部品を柔
軟に吸着保持して搬送すること。 【構成】吸着用パッド２０は、電子部品４２の表面に当
接し、金属製の材料で形成されるワーク吸着部２６と、
前記ワーク吸着部２６と一体的に結合され、可撓性の材
料で形成される本体部２４と、前記本体部２４に取着さ
れ、金属製の材料で形成されるアダプタ３２と、一端部
が前記ワーク吸着部２６に接続され、他端部が前記アダ
プタ３２に接続され、金属製の材料で形成されるばね部
材３４とを備える。
全に除去することができるとともに、前記電子部品を柔
軟に吸着保持して搬送すること。 【構成】吸着用パッド２０は、電子部品４２の表面に当
接し、金属製の材料で形成されるワーク吸着部２６と、
前記ワーク吸着部２６と一体的に結合され、可撓性の材
料で形成される本体部２４と、前記本体部２４に取着さ
れ、金属製の材料で形成されるアダプタ３２と、一端部
が前記ワーク吸着部２６に接続され、他端部が前記アダ
プタ３２に接続され、金属製の材料で形成されるばね部
材３４とを備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、静電気の発生を防止す
ることが必要な部品、例えば、半導体部品等の電子部品
を吸着して、任意の位置に好適に搬送することが可能な
吸着用パッドに関する。
ることが必要な部品、例えば、半導体部品等の電子部品
を吸着して、任意の位置に好適に搬送することが可能な
吸着用パッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、例えば、半導体部品等の電子
部品を搬送するために真空吸引源に連結された吸着用パ
ッドが用いられている。この吸着用パッドは、導電性Ｎ
ＢＲ、導電性シリコンゴム等の導電性ゴムから形成され
る。
部品を搬送するために真空吸引源に連結された吸着用パ
ッドが用いられている。この吸着用パッドは、導電性Ｎ
ＢＲ、導電性シリコンゴム等の導電性ゴムから形成され
る。
【０００３】しかしながら、前記導電性ゴムを材料とす
る吸着用パッドでは、前記半導体部品等を吸着する際、
または任意の位置に搬送した後、離脱する際、該半導体
部品の被吸着面と吸着用パッドとが接触して摩擦が起こ
り、半導体部品の表面に静電気を発生させるという不都
合がある。前記静電気によって半導体部品自体が保有す
る特性が損なわれてしまうからである。
る吸着用パッドでは、前記半導体部品等を吸着する際、
または任意の位置に搬送した後、離脱する際、該半導体
部品の被吸着面と吸着用パッドとが接触して摩擦が起こ
り、半導体部品の表面に静電気を発生させるという不都
合がある。前記静電気によって半導体部品自体が保有す
る特性が損なわれてしまうからである。
【０００４】そこで、半導体部品等の電子部品に帯電す
る静電気の発生を防止するための吸着用パッドが、例え
ば、特開平４−８２６８５号公報に開示されている。
る静電気の発生を防止するための吸着用パッドが、例え
ば、特開平４−８２６８５号公報に開示されている。
【０００５】前記特開平４−８２６８５号公報に係る吸
着用パッド２では、図１０に示すように、金属パッド４
が導電性ニトリルゴム６に嵌め込まれ、パッド金具８に
よって固定される。この場合、前記導電性ニトリルゴム
６が電子部品１０に接触しないように、該導電性ニトリ
ルゴム６の先端部と電子部品１０の表面との間にギャッ
プ１２が画成される。
着用パッド２では、図１０に示すように、金属パッド４
が導電性ニトリルゴム６に嵌め込まれ、パッド金具８に
よって固定される。この場合、前記導電性ニトリルゴム
６が電子部品１０に接触しないように、該導電性ニトリ
ルゴム６の先端部と電子部品１０の表面との間にギャッ
プ１２が画成される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記特
開平４−８２６８５号公報に開示された技術思想では、
金属パッド４と電子部品１０との摩擦によって発生する
静電気および予め電子部品１０の表面に分布する静電気
が、前記金属パッド４、導電性ニトリルゴム６並びにパ
ッド金具８を通じて導出される。しかしながら、この場
合、前記導電性ニトリルゴム６は、金属よりも高い抵抗
値を有するために、電子部品１０に帯電する静電気を完
全に取り除くことができないという不都合がある。
開平４−８２６８５号公報に開示された技術思想では、
金属パッド４と電子部品１０との摩擦によって発生する
静電気および予め電子部品１０の表面に分布する静電気
が、前記金属パッド４、導電性ニトリルゴム６並びにパ
ッド金具８を通じて導出される。しかしながら、この場
合、前記導電性ニトリルゴム６は、金属よりも高い抵抗
値を有するために、電子部品１０に帯電する静電気を完
全に取り除くことができないという不都合がある。
【０００７】一方、電子部品１０に帯電する静電気を完
全に取り除くために、金属製の吸着ノズル（図示せず）
によって前記電子部品１０を吸着する方法がある。しか
しながら、この吸着ノズルを用いた場合では、吸着ノズ
ル全体が金属製で形成されて柔軟性がないため、電子部
品１０の被吸着面にわずかな傾斜面、あるいは湾曲面等
があると吸着不良を起こすという他の不都合がある。
全に取り除くために、金属製の吸着ノズル（図示せず）
によって前記電子部品１０を吸着する方法がある。しか
しながら、この吸着ノズルを用いた場合では、吸着ノズ
ル全体が金属製で形成されて柔軟性がないため、電子部
品１０の被吸着面にわずかな傾斜面、あるいは湾曲面等
があると吸着不良を起こすという他の不都合がある。
【０００８】さらに、電子部品によっては、帯電した静
電気が導出される速度が速いと該電子部品が保有する特
性を損なう場合がある。
電気が導出される速度が速いと該電子部品が保有する特
性を損なう場合がある。
【０００９】本発明は、前記の各種不都合を克服するた
めになされたものであって、半導体部品等の電子部品に
帯電する静電気を完全に除去することができるととも
に、前記電子部品を柔軟に吸着保持して搬送することが
可能な吸着用パッドを提供することを目的とする。
めになされたものであって、半導体部品等の電子部品に
帯電する静電気を完全に除去することができるととも
に、前記電子部品を柔軟に吸着保持して搬送することが
可能な吸着用パッドを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、半導体部品等の電子部品を吸着保持し
て搬送するための吸着用パッドにおいて、前記電子部品
の表面に当接し、金属製の材料で形成されるワーク吸着
部と、前記ワーク吸着部と一体的に結合され、可撓性の
材料で形成される本体部と、前記本体部に取着され、金
属製の材料で形成されるアダプタと、一端部が前記ワー
ク吸着部に接続され、他端部が前記アダプタに接続さ
れ、金属製の材料で形成される弾性部材と、を備えるこ
とを特徴とする。
めに、本発明は、半導体部品等の電子部品を吸着保持し
て搬送するための吸着用パッドにおいて、前記電子部品
の表面に当接し、金属製の材料で形成されるワーク吸着
部と、前記ワーク吸着部と一体的に結合され、可撓性の
材料で形成される本体部と、前記本体部に取着され、金
属製の材料で形成されるアダプタと、一端部が前記ワー
ク吸着部に接続され、他端部が前記アダプタに接続さ
れ、金属製の材料で形成される弾性部材と、を備えるこ
とを特徴とする。
【００１１】この場合、前記弾性部材をばね部材または
ベロウズで形成し、前記ばね部材またはベロウズを、本
体部に画成された孔部内に配設しまたは本体部の外部に
配設すると好適である。
ベロウズで形成し、前記ばね部材またはベロウズを、本
体部に画成された孔部内に配設しまたは本体部の外部に
配設すると好適である。
【００１２】さらに、前記ばね部材の一部に整流器およ
び／または可変抵抗器を接続すると好適である。
び／または可変抵抗器を接続すると好適である。
【００１３】
【作用】上記の本発明に係る吸着用パッドでは、予め、
半導体部品等の電子部品の表面に分布する静電気、並び
に電子部品とワーク吸着部との摩擦によって発生する静
電気は、夫々接触する金属製のワーク吸着部、弾性部
材、およびアダプタを介してアース側に放電される。従
って、電子部品に帯電する静電気が除去される。
半導体部品等の電子部品の表面に分布する静電気、並び
に電子部品とワーク吸着部との摩擦によって発生する静
電気は、夫々接触する金属製のワーク吸着部、弾性部
材、およびアダプタを介してアース側に放電される。従
って、電子部品に帯電する静電気が除去される。
【００１４】また、電子部品に傾斜面または湾曲面があ
る場合、可撓性を有する本体部および弾発力を有する弾
性部材が共働して揺動することにより、ワーク吸着部は
前記傾斜面または湾曲面に沿って柔軟に吸着する。
る場合、可撓性を有する本体部および弾発力を有する弾
性部材が共働して揺動することにより、ワーク吸着部は
前記傾斜面または湾曲面に沿って柔軟に吸着する。
【００１５】さらに、弾性部材であるばね部材の一部に
整流器を接続することにより、アース側に導出されるべ
き静電気が逆流することを防止する。
整流器を接続することにより、アース側に導出されるべ
き静電気が逆流することを防止する。
【００１６】さらにまた、弾性部材であるばね部材の一
部に可変抵抗器を接続して、抵抗値を可変とすることに
より、電子部品からアース側に導出される静電気の導出
速度を制御する。この結果、電子部品の特性が損なわれ
ることが防止される。
部に可変抵抗器を接続して、抵抗値を可変とすることに
より、電子部品からアース側に導出される静電気の導出
速度を制御する。この結果、電子部品の特性が損なわれ
ることが防止される。
【００１７】
【実施例】次に、本発明に係る吸着用パッドについて好
適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細
に説明する。
適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細
に説明する。
【００１８】図１は、本発明の第１実施例に係る吸着用
パッドを示す縦断面図である。
パッドを示す縦断面図である。
【００１９】この吸着用パッド２０は、基本的には、略
円筒状を呈し内部に軸線方向に沿って貫通する孔部２２
が画成され、可撓性の材料、例えば、ゴムで形成される
本体部２４と、前記本体部２４の底面部に一体的に固着
され、金属製の材料で形成されるワーク吸着部２６と、
前記孔部２２に画成された溝部２８に環状凸部３０が嵌
合され、金属製の材料で形成されるアダプタ３２とから
構成される。なお、前記本体部２４は、例えば、合成ゴ
ム、天然ゴムあるいは導電性ゴム等の可撓性を有するも
のであればよい。
円筒状を呈し内部に軸線方向に沿って貫通する孔部２２
が画成され、可撓性の材料、例えば、ゴムで形成される
本体部２４と、前記本体部２４の底面部に一体的に固着
され、金属製の材料で形成されるワーク吸着部２６と、
前記孔部２２に画成された溝部２８に環状凸部３０が嵌
合され、金属製の材料で形成されるアダプタ３２とから
構成される。なお、前記本体部２４は、例えば、合成ゴ
ム、天然ゴムあるいは導電性ゴム等の可撓性を有するも
のであればよい。
【００２０】前記本体部２４の軸線方向に沿って画成さ
れた孔部２２内には、金属製の材料で形成されるばね部
材３４が配設され、前記ばね部材３４はその弾発力によ
って一端部がワーク吸着部２６に接触し、他端部がアダ
プタ３２に接触するように形成される。
れた孔部２２内には、金属製の材料で形成されるばね部
材３４が配設され、前記ばね部材３４はその弾発力によ
って一端部がワーク吸着部２６に接触し、他端部がアダ
プタ３２に接触するように形成される。
【００２１】前記ワーク吸着部２６およびアダプタ３２
は、例えば、銅、鉄等の材料によって形成され、ワーク
吸着部２６の略中心部には、本体部２４の孔部２２に連
通する吸引孔３６が画成され、一方、アダプタ３２の略
中心部には孔部２２に連通し、軸線方向に沿って貫通す
る通路３８が画成される。
は、例えば、銅、鉄等の材料によって形成され、ワーク
吸着部２６の略中心部には、本体部２４の孔部２２に連
通する吸引孔３６が画成され、一方、アダプタ３２の略
中心部には孔部２２に連通し、軸線方向に沿って貫通す
る通路３８が画成される。
【００２２】なお、金属製の材料で形成されるワーク吸
着部２６とゴム製の材料で形成される本体部２４とは一
体的に固着されるが、この場合、例えば、加硫接着等の
方法によりワーク吸着部２６と本体部２４とを一体成形
すると好適である。
着部２６とゴム製の材料で形成される本体部２４とは一
体的に固着されるが、この場合、例えば、加硫接着等の
方法によりワーク吸着部２６と本体部２４とを一体成形
すると好適である。
【００２３】本発明の第１実施例に係る吸着用パッド２
０は、基本的には以上のように構成されるものであり、
次にその動作並びに作用効果について説明する。
０は、基本的には以上のように構成されるものであり、
次にその動作並びに作用効果について説明する。
【００２４】先ず、吸着用パッド２０を図示しない保持
手段を介してロボットのアーム等に装着する。続いて、
チューブ４０の一端部をアダプタ３２の通路３８に接続
するとともに、他端部を図示しない真空吸引源に接続す
る。
手段を介してロボットのアーム等に装着する。続いて、
チューブ４０の一端部をアダプタ３２の通路３８に接続
するとともに、他端部を図示しない真空吸引源に接続す
る。
【００２５】以上のような作業を経た後、前記真空吸引
源を駆動し、ワーク吸着部２６の吸引孔３６を介して半
導体部品等の電子部品４２を吸着する（図１参照）。そ
こで、吸着用パッド２０によって前記電子部品４２が吸
着保持された状態でロボットのアームを変位させ、任意
の位置に該電子部品４２を搬送する。
源を駆動し、ワーク吸着部２６の吸引孔３６を介して半
導体部品等の電子部品４２を吸着する（図１参照）。そ
こで、吸着用パッド２０によって前記電子部品４２が吸
着保持された状態でロボットのアームを変位させ、任意
の位置に該電子部品４２を搬送する。
【００２６】その際、電子部品４２に予め分布する静電
気、およびワーク吸着部２６と電子部品４２との摩擦に
よって発生する静電気は、夫々接触する金属製のワーク
吸着部２６、ばね部材３４、並びにアダプタ３２を介し
て図示しないアースに放電される。このため、電子部品
４２に分布並びに帯電する静電気を完全に除去すること
ができる。
気、およびワーク吸着部２６と電子部品４２との摩擦に
よって発生する静電気は、夫々接触する金属製のワーク
吸着部２６、ばね部材３４、並びにアダプタ３２を介し
て図示しないアースに放電される。このため、電子部品
４２に分布並びに帯電する静電気を完全に除去すること
ができる。
【００２７】また、本体部２４が可撓性を有するゴム製
の材料で形成され、且つワーク吸着部２６がばね部材３
４の弾発作用によって揺動自在に設けられているため、
電子部品４２の被吸着面に図示しない傾斜面または湾曲
面があっても、前記傾斜面または湾曲面に沿って本体部
２４とばね部材３４とが共働して揺動するため、吸着不
良等を起こすことなく柔軟に電子部品４２を吸着するこ
とが可能となる。
の材料で形成され、且つワーク吸着部２６がばね部材３
４の弾発作用によって揺動自在に設けられているため、
電子部品４２の被吸着面に図示しない傾斜面または湾曲
面があっても、前記傾斜面または湾曲面に沿って本体部
２４とばね部材３４とが共働して揺動するため、吸着不
良等を起こすことなく柔軟に電子部品４２を吸着するこ
とが可能となる。
【００２８】次に、本発明の第２実施例に係る吸着用パ
ッド５０を図２に示す。なお、以下の実施例において、
前記第１実施例と同一の構成要素には同一の参照符号を
付してその詳細な説明を省略するとともに、動作並びに
作用効果については、前記第１実施例と異なる点につい
てのみ説明する。
ッド５０を図２に示す。なお、以下の実施例において、
前記第１実施例と同一の構成要素には同一の参照符号を
付してその詳細な説明を省略するとともに、動作並びに
作用効果については、前記第１実施例と異なる点につい
てのみ説明する。
【００２９】第２実施例に係る吸着用パッド５０では、
図１に示すばね部材３４に代替して弾発性を有する金属
製のベロウズ５２を本体部２４内の孔部２２に配設して
いる。従って、この場合、電子部品４２に帯電した静電
気は、夫々接触する金属製のワーク吸着部２６、ベロウ
ズ５２並びにアダプタ３２を介して図示しないアースに
放電される。
図１に示すばね部材３４に代替して弾発性を有する金属
製のベロウズ５２を本体部２４内の孔部２２に配設して
いる。従って、この場合、電子部品４２に帯電した静電
気は、夫々接触する金属製のワーク吸着部２６、ベロウ
ズ５２並びにアダプタ３２を介して図示しないアースに
放電される。
【００３０】次に、本発明の第３実施例に係る吸着用パ
ッド６０を図３に示す。
ッド６０を図３に示す。
【００３１】第３実施例に係る吸着用パッドでは、図１
に示すばね部材３４の一部に整流器６２を接続している
点で異なる。この場合、前記整流器６２は、図示しない
アース側に放電される静電気が再び電子部品４２側に逆
流することを防止する機能を営む。なお、前記ばね部材
３４の間に合成樹脂等の絶縁体からなるスペーサ６４を
介装すると好適である。
に示すばね部材３４の一部に整流器６２を接続している
点で異なる。この場合、前記整流器６２は、図示しない
アース側に放電される静電気が再び電子部品４２側に逆
流することを防止する機能を営む。なお、前記ばね部材
３４の間に合成樹脂等の絶縁体からなるスペーサ６４を
介装すると好適である。
【００３２】次に、本発明の第４実施例に係る吸着用パ
ッド７０を図４に示す。
ッド７０を図４に示す。
【００３３】第４実施例に係る吸着用パッド７０では、
図１に示すばね部材３４の一部に可変抵抗器７２を接続
している点で異なる。この場合、前記可変抵抗器７２
は、その抵抗値を可変とすることにより、電子部品４２
側から図示しないアースに放電される静電気の導出速度
を制御することができる。従って、急速に静電気をアー
ス側に導出させることを阻止して、電子部品４２の特性
が損なわれることを防止することができる。
図１に示すばね部材３４の一部に可変抵抗器７２を接続
している点で異なる。この場合、前記可変抵抗器７２
は、その抵抗値を可変とすることにより、電子部品４２
側から図示しないアースに放電される静電気の導出速度
を制御することができる。従って、急速に静電気をアー
ス側に導出させることを阻止して、電子部品４２の特性
が損なわれることを防止することができる。
【００３４】次に、本発明の第５実施例に係る吸着用パ
ッド８０を図５に示す。
ッド８０を図５に示す。
【００３５】第５実施例に係る吸着用パッド８０は、前
記第２実施例と第３実施例とを組み合わせたものであ
り、図１に示すばね部材３４の一部に整流器６２と可変
抵抗器７２とを直列に接続して構成する。なお、前記整
流器６２並びに可変抵抗器７２の機能は前述した通りで
ある。また、参照符号６４ａはスペーサである。
記第２実施例と第３実施例とを組み合わせたものであ
り、図１に示すばね部材３４の一部に整流器６２と可変
抵抗器７２とを直列に接続して構成する。なお、前記整
流器６２並びに可変抵抗器７２の機能は前述した通りで
ある。また、参照符号６４ａはスペーサである。
【００３６】次に、本発明の第６実施例に係る吸着用パ
ッド９０を図６に示す。
ッド９０を図６に示す。
【００３７】第６実施例に係る吸着用パッド９０は、ワ
ーク吸着部２６およびアダプタ３２の夫々にフランジ部
９２、９４を形成し、本体部２４の外周部に沿って設け
られたばね部材９６が前記フランジ部９２、９４によっ
て係止されている点で図１に示す吸着用パッド２０と異
なる。この場合、前記ばね部材９６を本体部２４の外周
面に沿って設けることにより、吸着用パッド９０を製造
する際の組み付けが容易となる利点がある。
ーク吸着部２６およびアダプタ３２の夫々にフランジ部
９２、９４を形成し、本体部２４の外周部に沿って設け
られたばね部材９６が前記フランジ部９２、９４によっ
て係止されている点で図１に示す吸着用パッド２０と異
なる。この場合、前記ばね部材９６を本体部２４の外周
面に沿って設けることにより、吸着用パッド９０を製造
する際の組み付けが容易となる利点がある。
【００３８】次に、本発明の第７実施例に係る吸着用パ
ッド１００を図７に示す。なお、以下の実施例におい
て、第６実施例に係る吸着用パッドを構成するばね部材
９６およびフランジ部９２、９４は略同一に形成される
ため、その詳細な説明を省略する。
ッド１００を図７に示す。なお、以下の実施例におい
て、第６実施例に係る吸着用パッドを構成するばね部材
９６およびフランジ部９２、９４は略同一に形成される
ため、その詳細な説明を省略する。
【００３９】第７実施例に係る吸着用パッド１００は、
図６に示す吸着用パッドのばね部材９６の一部に整流器
６２を接続している点で異なる。
図６に示す吸着用パッドのばね部材９６の一部に整流器
６２を接続している点で異なる。
【００４０】次に、本発明の第８実施例に係る吸着用パ
ッド１１０を図８に示す。
ッド１１０を図８に示す。
【００４１】第８実施例に係る吸着用パッド１１０は、
図６に示す吸着用パッド９０のばね部材９６の一部に可
変抵抗器７２を接続している点で異なる。
図６に示す吸着用パッド９０のばね部材９６の一部に可
変抵抗器７２を接続している点で異なる。
【００４２】次に、本発明の第９実施例に係る吸着用パ
ッド１２０を図９に示す。
ッド１２０を図９に示す。
【００４３】第９実施例に係る吸着用パッド１２０は、
図６に示す吸着用パッド９０のばね部材９６の一部に整
流器６２および可変抵抗器７２を直列に接続している点
で異なる。
図６に示す吸着用パッド９０のばね部材９６の一部に整
流器６２および可変抵抗器７２を直列に接続している点
で異なる。
【００４４】
【発明の効果】本発明に係る吸着用パッドによれば、以
下の効果が得られる。
下の効果が得られる。
【００４５】すなわち、電子部品に帯電する静電気が除
去されることにより、前記電子部品の特性を損なうこと
なく好適に吸着搬送することができる。
去されることにより、前記電子部品の特性を損なうこと
なく好適に吸着搬送することができる。
【００４６】また、電子部品に傾斜面または湾曲面があ
る場合であっても、ワーク吸着部は前記傾斜面または湾
曲面に沿って柔軟に吸着することができる。
る場合であっても、ワーク吸着部は前記傾斜面または湾
曲面に沿って柔軟に吸着することができる。
【００４７】さらに、弾性部材であるばね部材の一部に
整流器を接続することにより、アース側に導出される静
電気が逆流することを防止することができる。
整流器を接続することにより、アース側に導出される静
電気が逆流することを防止することができる。
【００４８】さらにまた、弾性部材であるばね部材の一
部に可変抵抗器を接続して、抵抗値を可変とすることに
より、電子部品からアース側に導出される静電気の導出
速度を制御し、この結果、電子部品の特性が損なわれる
ことを防止する。
部に可変抵抗器を接続して、抵抗値を可変とすることに
より、電子部品からアース側に導出される静電気の導出
速度を制御し、この結果、電子部品の特性が損なわれる
ことを防止する。
【図１】本発明の第１実施例に係る吸着用パッドを示す
縦断面図である。
縦断面図である。
【図２】本発明の第２実施例に係る吸着用パッドを示す
縦断面図である。
縦断面図である。
【図３】本発明の第３実施例に係る吸着用パッドを示す
縦断面図である。
縦断面図である。
【図４】本発明の第４実施例に係る吸着用パッドを示す
縦断面図である。
縦断面図である。
【図５】本発明の第５実施例に係る吸着用パッドを示す
縦断面図である。
縦断面図である。
【図６】本発明の第６実施例に係る吸着用パッドを示す
部分縦断面図である。
部分縦断面図である。
【図７】本発明の第７実施例に係る吸着用パッドを示す
部分縦断面図である。
部分縦断面図である。
【図８】本発明の第８実施例に係る吸着用パッドを示す
部分縦断面図である。
部分縦断面図である。
【図９】本発明の第９実施例に係る吸着用パッドを示す
部分縦断面図である。
部分縦断面図である。
【図１０】従来例に係る吸着用パッドを示す縦断面図で
ある。
ある。
２、２０、５０、６０、７０、８０、９０、１００、１
１０、１２０…吸着用パッド
２２…孔部 ２４…本体部 ２６…ワーク吸
着部 ３２…アダプタ ３４…ばね部材 ３６…吸引孔 ３８…通路 ４０…チューブ ４２…電子部品 ５２…ベロウズ ６２…整流器 ７２…可変抵抗器
１０、１２０…吸着用パッド
２２…孔部 ２４…本体部 ２６…ワーク吸
着部 ３２…アダプタ ３４…ばね部材 ３６…吸引孔 ３８…通路 ４０…チューブ ４２…電子部品 ５２…ベロウズ ６２…整流器 ７２…可変抵抗器
Claims (4)
- 【請求項１】半導体部品等の電子部品を吸着保持して搬
送するための吸着用パッドにおいて、 前記電子部品の表面に当接し、金属製の材料で形成され
るワーク吸着部と、 前記ワーク吸着部と一体的に結合され、可撓性の材料で
形成される本体部と、 前記本体部に取着され、金属製の材料で形成されるアダ
プタと、 一端部が前記ワーク吸着部に接続され、他端部が前記ア
ダプタに接続され、金属製の材料で形成される弾性部材
と、 を備えることを特徴とする吸着用パッド。 - 【請求項２】請求項１記載の吸着用パッドにおいて、弾
性部材は、ばね部材またはベロウズからなることを特徴
とする吸着用パッド。 - 【請求項３】請求項２記載の吸着用パッドにおいて、ば
ね部材は、本体部に画成された孔部内に配設され、また
は本体部の外部に配設されることを特徴とする吸着用パ
ッド。 - 【請求項４】請求項３記載の吸着用パッドにおいて、ば
ね部材の一部に整流器および／または可変抵抗器を接続
することを特徴とする吸着用パッド。
Priority Applications (7)
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|---|---|---|---|
| JP33792793A JP3325984B2 (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 吸着用パッド |
| DE4430381A DE4430381C2 (de) | 1993-08-31 | 1994-08-26 | Saugpipette |
| GB9417438A GB2281281B (en) | 1993-08-31 | 1994-08-30 | Suction pad, rotation-stop and guide mechanism for the same |
| GB9705341A GB2308583B (en) | 1993-08-31 | 1994-08-30 | Suction pad including a rotation prevention and guide mechanism |
| US08/296,918 US5582450A (en) | 1993-08-31 | 1994-08-31 | Suction pad, rotation-stop and guide mechanism for the same |
| US08/701,740 US5707093A (en) | 1993-08-31 | 1996-08-22 | Suction pad, rotation--stop and guide mechanism for the same |
| US08/937,157 US5904387A (en) | 1993-08-31 | 1997-09-25 | Suction pad, rotation-stop and guide mechanism for the same |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Family
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| WO2009091061A1 (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-23 | Kyocera Corporation | 真空吸着ノズル |
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| JP2011177874A (ja) * | 2010-03-04 | 2011-09-15 | Mitsubishi Electric Corp | 回転板位置調整装置及び方法 |
| JP2016039295A (ja) * | 2014-08-08 | 2016-03-22 | Tdk株式会社 | ガスパージユニット、ロードポート装置およびパージ対象容器の設置台 |
| JP2017127955A (ja) * | 2016-01-22 | 2017-07-27 | ヤンマー株式会社 | 吸着搬送装置 |
| JP2021163803A (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-11 | 株式会社ディスコ | 搬送機構及びシート拡張装置 |
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|---|---|---|---|---|
| JP2019118941A (ja) * | 2018-01-10 | 2019-07-22 | 東レエンジニアリング株式会社 | 搬送物受取装置および搬送物受取方法 |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP33792793A patent/JP3325984B2/ja not_active Expired - Fee Related
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