JP5047502B2 - 樹脂混合物を含むフォトレジスト組成物 - Google Patents
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Description
前記のように、本発明のブレンド及びレジストの第一樹脂には、ヘテロ置換(特に、ヒドロキシ及びチオ)炭素環式アリール部分、例えばヒドロキシナフチル基が含まれる。
本発明の混合物及びレジストの第二樹脂には、複数のポリマー鎖又は部位の間の架橋を提供する、1以上の官能基を含む。例えば、本発明のポリマーには、ポリマー鎖の間の架橋を可能にするためのアルコール、アルデヒド、エステル、アルケニル基、ケトン、アミン、チオール、スルフィドなどの1以上の基が架橋された形で含まれていてよい。架橋された形でのこれらの基は、当業者には明らかであろう。例えば、ヒドロキシ基は、エーテル、エステルなどとして存在し得る。スルフィドは、チオエーテルとして存在し得る。アミンは、より高次のアミン、例えば第三級アミンとして存在し得る。
前記のように、好ましくは、第一樹脂及び第二樹脂の少なくとも一方には、光酸不安定基、例えば、レジストコーティング層の露光領域と非露光領域との間に十分な溶解度差を提供することができる光酸不安定エステル又はアセタール基、が含まれる。例えば、樹脂は、重合したtert−ブチルアクリレート、tert−ブチルメタクリレート、メチルアダマンチルアクリレート及び/又はメチルアダマンチルメタクリレート単位などを好適に含み得る。他に特に定めない限り、本明細書において言及されるアクリレート基又はアクリレート化合物には、置換されたアクリレート化合物、例えばメタクリレート化合物が含まれる。
本発明の混合物及びレジストの樹脂は、種々の方法によって調製され得る。一つの好適な方法は、フリーラジカル重合を含んでもよい付加反応であり、例えば、前記のような種々の単位を提供するために選択されたモノマーの、ラジカル開始剤の存在下における、不活性雰囲気(例えば、N2又はアルゴン)下での、例えば約70℃以上のような上昇した温度(但し、反応温度は、使用する具体的な試薬の反応性及び(溶媒を使用する場合には)反応溶媒の沸点に依存して、変化し得る)での反応による。好適な反応溶媒には、例えば、テトラヒドロフラン又は更に好適にはハロゲン化溶媒、例えばフッ素化溶媒若しくは塩素化溶媒などが包含される。任意の具体的な系のための好適な反応温度は、本明細書の開示に基づいて当業者によって経験的に容易に決定され得る。種々のフリーラジカル開始剤が使用され得る。例えば、アゾ化合物、例えばアゾ−ビス−2,4−ジメチルペンタンニトリルが使用され得る。また、過酸化物、過エステル、過酸及び過硫酸塩も使用され得る。
化学増幅型ポジ型フォトレジスト配合物中に使用される本発明の樹脂混合物は、好ましくは、所望のようにレジストレリーフ画像の形成することを可能にするため、十分な量の光発生酸不安定基を含有する。例えば、かかる酸不安定基の好適な量は、ポリマーの全単位の少なくとも1モルパーセント、更に好ましくは全ポリマー単位の約2〜7モルパーセント、なお更に典型的に約3〜30、40、50又は60モルパーセントである。
下記の実施例において、下記のモノマー及びポリマー単位が使用され、及びしばしば、描かれた単位の直ぐ下に指定したような、基を指定する略語で呼ばれる。理解されるように、ポリマー中に組み込まれる場合、下記の単位は、描かれた炭素−炭素二重結合によって重合される。
6−ヒドロキシ−2−ビニルナフタレン(HVN)の合成
6−ヒドロキシ−2−ビニルナフタレン(HVN)の合成は、6−ヒドロキシ−2−ナフトアルデヒドから出発する3工程の反応によって実施した。第一工程において、6−ヒドロキシ−2−ナフトアルデヒド(HNAL)を、エチルビニルエーテルで保護して、6−(1−エトキシエトキシ)−2−ナフトアルデヒド(EENAL)を得た。これに続いて、EENALのウィッティッヒ反応によって、6−(1−エトキシエトキシ)−2−ビニルナフタレンを得た。最後に、これを、ピリジニウムp−トルエンスルホネートを使用して脱保護して、6−ヒドロキシ−2−ビニルナフタレン(HVN)を得た。
磁気攪拌機、添加漏斗及び還流凝縮器を取り付けた500mLの三つ口フラスコの中に、25gのHNAL(0.1462モル)及び300mLの酢酸エチルを装入した。6−ヒドロキシ−2−ナフトアルデヒドは、室温で3時間攪拌した後でも、完全に可溶性ではなかった。これに、3.30gのPPTS(0.0131モル)を添加し、そしてこの溶液混合物を70℃へ加熱した。この温度で、21gのエチルビニルエーテル(0.2912モル)を滴下により添加し、そしてこの反応混合物は、数滴のエチルビニルエーテルを添加すると均一になった。エチルビニルエーテル添加が完結した後、反応温度を室温にまで下げ、そしてこの反応混合物を一晩攪拌した。この粗生成物を、カラムクロマトグラフィー(シリカゲル、CH2Cl2)によって精製して、26gの純粋な6−(1−エトキシエトキシ)−2−ナフトアルデヒドを得た(収率:73%)。
オーバーヘッド機械式攪拌機を取り付けた1Lの三つ口フラスコの中に、45gのメチルトリフェニルホスホニウムブロミド(0.126モル)を窒素雰囲気下で添加した。これに、水を含有していない300mLのTHF及び16.02gのカリウムtert−ブトキシド(0.1428モル)を添加した。1時間攪拌した後、50mLのTHF中に溶解させた20gの6−(1−エトキシエトキシ)−2−ナフトアルデヒド(0.0819モル)を、カニューレを使用して滴下により添加し、そしてこの反応混合物を一晩攪拌した。一晩攪拌した後、脱イオン水(200mL)を注射器で添加し、そして相が分離した。水相をエーテル(2×100mL)で抽出し、及び混ぜ合わせた抽出液をMgSO4で乾燥させた。濾過しそして濃縮した後、粗生成物を、カラムクロマトグラフィー(シリカゲル、ヘキサン/CH2Cl2 40/60〜10/90)によって精製して、19.12gの純粋な6−(1−エトキシエトキシ)−2−ビニルナフタレンを得た(96%)。
18gの6−(1−エトキシエトキシ)−2−ビニルナフタレン(0.0743モル)を、80mLのエタノール中に溶解させた。これに、1.6gのピリジニウムp−トルエンスルホネート(0.0064モル)を添加した。この反応混合物を50℃で攪拌した。3時間後に、TLC分析(シリカ、CH2Cl2)によって、反応が終わったことが示された。この反応混合物を室温にまで冷却し、そして溶媒を減圧下で除去した。粗生成物を、カラムクロマトグラフィー(シリカゲル、CH2Cl2)によって精製して、11.15gの純粋な6−ヒドロキシ−2−ビニルナフタレンを得た(62%)。
2−メチル−アクリル酸1−{4−[1−(2−メチル−アクリロイルオキシ)−エトキシ]−ブトキシ}−エチルエステル(BDADMA)の合成
1Lのフラスコ内で、21.33gの(4−ビニルオキシ−ブトキシ)−エテン(0.15モル)及び34.44gのメタクリル酸を、500gの塩化メチレンと混合した。これに、3.8gのピリジニウムp−トルエンスルホネート(0.03モル)を添加し、そしてこの反応混合物を室温で窒素雰囲気下で攪拌した。5時間攪拌した後、この反応混合物を、半飽和食塩水で2回洗浄し、そしてMgSO4で乾燥させた。溶媒を蒸発させた後、粗生成物を、カラムクロマトグラフィー(シリカゲル、ヘキサン/CH2Cl2混合物)によって精製して、26gの純粋な2−メチル−アクリル酸1−{4−[1−(2−メチル−アクリロイルオキシ)−エトキシ]−ブトキシ}−エチルエステル(BDADMA)を得た(収率:73%)。
MAMA/α−GBLMA/HVN 45/35/20ターポリマーの合成
10.60gの2−メチル−アクリル酸2−メチル−アダマンタン−2−イルエステル(MAMA)、5.98gの2−メチル−アクリル酸2−オキソ−テトラヒドロフラン−3−イルエステル(α−GBLMA)及び3.42gの6−ヒドロキシ−2−ビニルナフタレン(HVN)を、20gのテトラヒドロフラン(THF)中に溶解させた。この混合物を、窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した。1.16gのV601(ジメチル−2,2−アゾジイソブチレート)を10gのTHF中に溶解させ、そして窒素入口及び凝縮器を取り付けた150mLのフラスコの中に装入した。窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した後、V601溶液を含有する反応器を、75℃に保持した油浴中に入れ、そしてモノマー溶液を、0.222mL/分の速度でこの反応器の中に供給した。モノマー供給を3時間実施した。モノマー供給が完結した後、この重合混合物を、75℃で更に1時間攪拌した。合計で4時間の重合時間(3時間供給及び1時間攪拌)の後、この重合混合物を室温にまで冷却した。1Lのイソプロピルアルコール中で、沈殿がなされた。濾過した後、ポリマーを真空オーブン内で50℃で48時間乾燥させて、16.4gのコポリマー(Mw=14,300及びMw/Mn=1.8)を得た。
MAMA/α−GBLMA/HVN 45/40/15ターポリマーの合成
10.60gのMAMA、6.84gのα−GBLMA及び2.57gのHVNを、20gのTHF中に溶解させた。この混合物を、窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した。1.16gのV601(ジメチル−2,2−アゾジイソブチレート)を10gのTHF中に溶解させ、そして窒素入口及び凝縮器を取り付けた150mLのフラスコの中に装入した。窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した後、V601溶液を含有する反応器を、75℃に保持した油浴中に入れ、そしてモノマー溶液を、0.222mL/分の速度でこの反応器の中に供給した。モノマー供給を3時間実施した。モノマー供給が完結した後、この重合混合物を、75℃で更に1時間攪拌した。合計で4時間の重合時間(3時間供給及び1時間攪拌)の後、この重合混合物を室温にまで冷却した。1Lのイソプロピルアルコール中で、沈殿がなされた。濾過した後、ポリマーを真空オーブン内で50℃で48時間乾燥させて、16.1gのコポリマー(Mw=14,250及びMw/Mn=1.9)を得た。
MAMA/α−GBLMA/HVN 45/45/10ターポリマーの合成
10.60gのMAMA、7.69gのα−GBLMA及び1.71gのHVNを、20gのTHF中に溶解させた。この混合物を、窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した。1.16gのV601(ジメチル−2,2−アゾジイソブチレート)を10gのTHF中に溶解させ、そして窒素入口及び凝縮器を取り付けた150mLのフラスコの中に装入した。窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した後、V601溶液を含有する反応器を、75℃に保持した油浴中に入れ、そしてモノマー溶液を、0.222mL/分の速度でこの反応器の中に供給した。モノマー供給を3時間実施した。モノマー供給が完結した後、この重合混合物を、75℃で更に1時間攪拌した。合計で4時間の重合時間(3時間供給及び1時間攪拌)の後、この重合混合物を室温にまで冷却した。1Lのイソプロピルアルコール中で、沈殿がなされた。濾過した後、ポリマーを真空オーブン内で50℃で48時間乾燥させて、16.9gのコポリマー(Mw=14,040及びMw/Mn=1.8)を得た。
MAMA/α−GBLMA/HVN 40/45/15ターポリマーの合成
9.57gのMAMA、7.82gのα−GBLMA及び2.61gのHVNを、20gのTHF中に溶解させた。この混合物を、窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した。1.18gのV601(ジメチル−2,2−アゾジイソブチレート)を10gのTHF中に溶解させ、そして窒素入口及び凝縮器を取り付けた150mLのフラスコの中に装入した。窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した後、V601溶液を含有する反応器を、75℃に保持した油浴中に入れ、そしてモノマー溶液を、0.222mL/分の速度でこの反応器の中に供給した。モノマー供給を3時間実施した。モノマー供給が完結した後、この重合混合物を、75℃で更に1時間攪拌した。合計で4時間の重合時間(3時間供給及び1時間攪拌)の後、この重合混合物を室温にまで冷却した。1Lのイソプロピルアルコール中で、沈殿がなされた。濾過した後、ポリマーを真空オーブン内で50℃で48時間乾燥させて、16.6gのコポリマー(Mw=13,590及びMw/Mn=1.8)を得た。
MAMA/α−GBLMA/HVN 40/50/10ターポリマーの合成
9.57gのMAMA、8.69gのα−GBLMA及び1.74gのHVNを、20gのTHF中に溶解させた。この混合物を、窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した。1.18gのV601(ジメチル−2,2−アゾジイソブチレート)を10gのTHF中に溶解させ、そして窒素入口及び凝縮器を取り付けた150mLのフラスコの中に装入した。窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した後、V601溶液を含有する反応器を、75℃に保持した油浴中に入れ、そしてモノマー溶液を、0.222mL/分の速度でこの反応器の中に供給した。モノマー供給を3時間実施した。モノマー供給が完結した後、この重合混合物を、75℃で更に1時間攪拌した。合計で4時間の重合時間(3時間供給及び1時間攪拌)の後、この重合混合物を室温にまで冷却した。1Lのイソプロピルアルコール中で、沈殿がなされた。濾過した後、ポリマーを真空オーブン内で50℃で48時間乾燥させて、16.1gのコポリマー(Mw=13,120及びMw/Mn=1.8)を得た。
MAMA/α−GBLMA/HVN 35/45/20ターポリマーの合成
8.51gのMAMA、7.95gのα−GBLMA及び3.53gのHVNを、20gのTHF中に溶解させた。この混合物を、窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した。1.20gのV601(ジメチル−2,2−アゾジイソブチレート)を10gのTHF中に溶解させ、そして窒素入口及び凝縮器を取り付けた150mLのフラスコの中に装入した。窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した後、V601溶液を含有する反応器を、75℃に保持した油浴中に入れ、そしてモノマー溶液を、0.222mL/分の速度でこの反応器の中に供給した。モノマー供給を3時間実施した。モノマー供給が完結した後、この重合混合物を、75℃で更に1時間攪拌した。合計で4時間の重合時間(3時間供給及び1時間攪拌)の後、この重合混合物を室温にまで冷却した。1Lのイソプロピルアルコール中で、沈殿が実施なされた。濾過した後、ポリマーを真空オーブン内で50℃で48時間乾燥させて、17.4gのコポリマー(Mw=14,540及びMw/Mn=1.9)を得た。
MAMA/α−GBLMA/HVN 35/50/15ターポリマーの合成
8.51gのMAMA、8.83gのα−GBLMA及び2.65gのHVNを、20gのTHF中に溶解させた。この混合物を、窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した。1.20gのV601(ジメチル−2,2−アゾジイソブチレート)を10gのTHF中に溶解させ、そして窒素入口及び凝縮器を取り付けた150mLのフラスコの中に装入した。窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した後、V601溶液を含有する反応器を、75℃に保持した油浴中に入れ、そしてモノマー溶液を、0.222mL/分の速度でこの反応器の中に供給した。モノマー供給を3時間実施した。モノマー供給が完結した後、この重合混合物を、75℃で更に1時間攪拌した。合計で4時間の重合時間(3時間供給及び1時間攪拌)の後、この重合混合物を室温にまで冷却した。1Lのイソプロピルアルコール中で、沈殿がなされた。濾過した後、ポリマーを真空オーブン内で50℃で48時間乾燥させて、15.9gのコポリマー(Mw=14,040及びMw/Mn=1.9)を得た。
MAMA/α−GBLMA/HVN 35/55/10ターポリマーの合成
8.51gのMAMA、9.72gのα−GBLMA及び1.77gのHVNを、20gのTHF中に溶解させた。この混合物を、窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した。1.20gのV601(ジメチル−2,2−アゾジイソブチレート)を10gのTHF中に溶解させ、そして窒素入口及び凝縮器を取り付けた150mLのフラスコの中に装入した。窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した後、V601溶液を含有する反応器を、75℃に保持した油浴中に入れ、そしてモノマー溶液を、0.222mL/分の速度でこの反応器の中に供給した。モノマー供給を3時間実施した。モノマー供給が完結した後、この重合混合物を、75℃で更に1時間攪拌した。合計で4時間の重合時間(3時間供給及び1時間攪拌)の後、この重合混合物を室温にまで冷却した。1Lのイソプロピルアルコール中で、沈殿がなされた。濾過した後、ポリマーを真空オーブン内で50℃で48時間乾燥させて、16.0gのコポリマー(Mw=13,990及びMw/Mn=1.9)を得た。
MAMA/α−GBLMA/CNNMA/BDADMA 40/40/10/10ターポリマーの合成
17.54gのMAMA、12.74gのα−GBLMA、3.84gの2−メチル−アクリル酸5−シアノ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−イルエステル(CNNMA)及び5.88gの2−メチル−アクリル酸1−{4−[1−(2−メチル−アクリロイルオキシ)−エトキシ]−ブトキシ}−エチルエステル(BDADMA)を、40gのTHF中に溶解させた。この混合物を、窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した。3.02gのV601(ジメチル−2,2−アゾジイソブチレート)を20gのTHF中に溶解させ、そして窒素入口及び凝縮器を取り付けた250mLのフラスコの中に装入した。窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した後、V601溶液を含有する反応器を、75℃に保持した油浴中に入れ、そしてモノマー溶液を、0.444mL/分の速度でこの反応器の中に供給した。モノマー供給を3時間実施した。モノマー供給が完結した後、この重合混合物を、75℃で更に1時間攪拌した。合計で4時間の重合時間(3時間供給及び1時間攪拌)の後、この重合混合物を室温にまで冷却した。1Lのイソプロピルアルコール中で、沈殿がなされた。濾過した後、ポリマーを真空オーブン内で50℃で48時間乾燥させて、33.4gのコポリマー(Mw=10,990及びMw/Mn=2.1)を得た。
MAMA/α−GBLMA/CNNMA/BDADMA 36/36/18/10ターポリマーの合成
15.77gのMAMA、11.45gのα−GBLMA、6.90gのCNNMA及び5.88gのBDADMAを、40gのTHF中に溶解させた。この混合物を、窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した。3.01gのV601(ジメチル−2,2−アゾジイソブチレート)を20gのTHF中に溶解させ、そして窒素入口及び凝縮器を取り付けた250mLのフラスコの中に装入した。窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した後、V601溶液を含有する反応器を、75℃に保持した油浴中に入れ、そしてモノマー溶液を、0.444mL/分の速度でこの反応器の中に供給した。モノマー供給を3時間実施した。モノマー供給が完結した後、この重合混合物を、75℃で更に1時間攪拌した。合計で4時間の重合時間(3時間供給及び1時間攪拌)の後、この重合混合物を室温にまで冷却した。1Lのイソプロピルアルコール中で、沈殿がなされた。濾過した後、ポリマーを真空オーブン内で50℃で48時間乾燥させて、33.4gのコポリマー(Mw=10,720及びMw/Mn=2.0)を得た。
MAMA/α−GBLMA/CNNMA/BDADMA 32/32/26/10ターポリマーの合成
14.00gのMAMA、10.17gのα−GBLMA、9.96gのCNNMA及び5.87gのBDADMAを、40gのTHF中に溶解させた。この混合物を、窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した。3.01gのV601(ジメチル−2,2−アゾジイソブチレート)を20gのTHF中に溶解させ、そして窒素入口及び凝縮器を取り付けた250mLのフラスコの中に装入した。窒素を20分間バブリングさせることによって脱気した後、V601溶液を含有する反応器を、75℃に保持した油浴中に入れ、そしてモノマー溶液を、0.444mL/分の速度でこの反応器の中に供給した。モノマー供給を3時間実施した。モノマー供給が完結した後、この重合混合物を、75℃で更に1時間攪拌した。合計で4時間の重合時間(3時間供給及び1時間攪拌)の後、この重合混合物を室温にまで冷却した。1Lのイソプロピルアルコール中で、沈殿がなされた。濾過した後、ポリマーを真空オーブン内で50℃で48時間乾燥させて、33.4gのコポリマー(Mw=10,800及びMw/Mn=2.1)を得た。
HVN/MADA/NLAターポリマー(6−ヒドロキシ−2−ビニルナフタレン(HVN)、2−メチル−2−アダマンチルアクリレート(MADA)及びアクリルオキシ−ノルボルナン−ブチロラクトン(NLA)の重合した単位からなるポリマー)の合成
1.66gのHVN、4.29gの2−メチル−2−アダマンチルアクリレート(MADA)、4.05gのアクリルオキシ−ノルボルナン−ブチロラクトン(NLA)及び0.2242gのV601(ジメチル−2,2−アゾジイソブチレート)を、30mLのTHF中に溶解させた。この混合物を、窒素を20分間バブリングさせることによって脱気し、次いで75℃で保持した油浴中に入れて、重合を開始させた。12時間の重合の後、重合混合物をヘキサン/イソプロパノール80/20v/v混合物の中に沈殿させた。第二の沈殿を、ヘキサン/イソプロパノール50/50v/v混合物中で実施した。濾過した後、僅かに黄色みを帯びた粉末が得られ、これを真空オーブン内で50℃で一晩乾燥させて、9gのHVN/MADA/NLAターポリマーを得た(90%収率)。
2−ビニルナフタレン(VN)と1−エトキシエチルメタクリレート(EEMA)との、60モル%のVNを有するコポリマーを調製した。このコポリマーを、Siウェーハの上にスピンコートし、酸化物エッチ条件(C4F8/Ar/CO/O2;1500W;45mT)下で60秒間エッチングし、次いで原子間力顕微鏡法(AFM)を使用して表面粗さを測定した。このコポリマーは、5.46nmのrms粗さ(Rq)を示した。
フォトレジスト調製及びリソグラフ処理
Claims (13)
- 1)光活性成分、並びに
2)i)ヒドロキシナフチル基を含む第一樹脂、及び
ii)第一樹脂とは異なる、架橋した基を含む第二樹脂
を含む樹脂成分
を含む、ポジ型フォトレジスト組成物であって、
第一樹脂及び第二樹脂が、それぞれ、ヘテロ置換炭素環式アリール基以外の芳香族基を実質的に含有せず、第一樹脂及び第二樹脂の両方ではなく一方が、光酸不安定基を含む、フォトレジスト組成物。 - 第一樹脂及び第二樹脂の一方又は両方が、重合したアクリレート単位を含む、請求項1記載のフォトレジスト組成物。
- 第一樹脂及び第二樹脂の両方ではなく一方が、重合したアクリレート単位を含む、請求項1記載のフォトレジスト組成物。
- 第一樹脂及び第二樹脂の両方が、重合したアクリレート単位を含む、請求項1記載のフォトレジスト組成物。
- a)請求項1記載のフォトレジスト組成物のコーティング層を基体の上に適用する工程及び
b)このフォトレジスト組成物層を放射線に露光し、及び露光したフォトレジスト組成物コーティング層を現像する工程
を含む、フォトレジストレリーフ画像を提供する方法。 - 1)光活性成分、並びに
2)i)ヒドロキシナフチル基を含む第一樹脂、及び
ii)第一樹脂とは異なる、架橋した基を含む第二樹脂
を含む樹脂成分
を含む、ポジ型フォトレジスト組成物であって、
第一樹脂及び第二樹脂の一方又は両方が、重合したアクリレート単位を含み、および第一樹脂及び第二樹脂の両方ではなく一方が、光酸不安定基を含む、フォトレジスト組成物。 - 第一樹脂及び第二樹脂が、ヒドロキシナフチル基以外の芳香族基を実質的に含有しない、請求項6記載のフォトレジスト組成物。
- 第一樹脂及び第二樹脂の一方が、重合したアクリレート単位を含む、請求項8記載のフォトレジスト組成物。
- 第一樹脂及び第二樹脂の両方が、重合したアクリレート単位を含む、請求項68記載のフォトレジスト組成物。
- a)請求項6記載のフォトレジスト組成物のコーティング層を基体の上に適用する工程及び
b)このフォトレジスト組成物層を放射線に露光し、及び露光したフォトレジスト組成物コーティング層を現像する工程
を含む、フォトレジストレリーフ画像を提供する方法。 - 請求項1記載のフォトレジスト組成物を含むマイクロエレクトロニクスウェーハ基体。
- 請求項2記載のフォトレジスト組成物を含むマイクロエレクトロニクスウェーハ基体。
- 請求項6記載のフォトレジスト組成物を含むマイクロエレクトロニクスウェーハ基体。
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