JP5037243B2 - 界面結合剤、該界面結合剤を含有するレジスト組成物、及び該界面結合剤からなる層を有する磁気記録媒体形成用積層体、並びに該界面結合剤を用いた磁気記録媒体の製造方法、及び該製造方法により製造された磁気記録媒体 - Google Patents
界面結合剤、該界面結合剤を含有するレジスト組成物、及び該界面結合剤からなる層を有する磁気記録媒体形成用積層体、並びに該界面結合剤を用いた磁気記録媒体の製造方法、及び該製造方法により製造された磁気記録媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5037243B2 JP5037243B2 JP2007179069A JP2007179069A JP5037243B2 JP 5037243 B2 JP5037243 B2 JP 5037243B2 JP 2007179069 A JP2007179069 A JP 2007179069A JP 2007179069 A JP2007179069 A JP 2007179069A JP 5037243 B2 JP5037243 B2 JP 5037243B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- magnetic recording
- forming
- laminate
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/74—Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
- G11B5/82—Disk carriers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/74—Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
- G11B5/743—Patterned record carriers, wherein the magnetic recording layer is patterned into magnetic isolated data islands, e.g. discrete tracks
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/855—Coating only part of a support with a magnetic layer
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/86—Re-recording, i.e. transcribing information from one magnetisable record carrier on to one or more similar or dissimilar record carriers
- G11B5/865—Re-recording, i.e. transcribing information from one magnetisable record carrier on to one or more similar or dissimilar record carriers by contact "printing"
Description
また、インプリント時のプロセス中でのパターン崩れを低減しパターン形状の安定性を向上する技術として、レジスト組成物中に無機微粒子を含有させる方法が提案されている(特許文献5参照)。しかし、特許文献5に記載された方法では、レジスト層と磁気記録媒体形成用積層体との結合性が十分でなく、特にナノレベルのインプリントによるパターニングでは磁気記録媒体形成用積層体からのレジスト層の剥離によるパターン崩れを十分に低減できず、さらにインプリント後の基体加工後のレジスト層の剥離(除去)時に無機微粒子が十分に除去できず、特に加工後の磁気記録媒体形成用積層体を磁気記録媒体としてハードディスクドライブに組み込んだ際には、微粒子残渣によりヘッドのフライト性に支障をきたし、磁気記録媒体を破壊してしまうという問題が発生していた。
また、パターン形成したレジスト層が磁気記録媒体形成用積層体から剥離を低減する技術として、カップリング剤を含有させたレジスト組成物を使用する方法が提案されている(特許文献6参照)。しかし、特許文献6に記載された方法では、磁気記録媒体形成用積層体とレジスト層の双方に結合性を有するカップリング剤を必須成分としておらず、また処理する磁気記録媒体形成用積層体の活性化が不十分なため、結果的にカップリング剤の使用量が多くなり、パターニング後のレジスト層の除去性能が悪化するという問題がある。また、実際の使用においては、カップリング剤がゾル状態になってしまうため、ナノインプリントでの微細パターニング性とインプリント後の残膜の薄膜化や磁気記録媒体形成用積層体の加工性の観点から十分な微細加工性能を得ることができない。
なお、従来のリソグラフィー技術の分野では、レジスト層と磁気記録媒体形成用積層体との密着性について、ウェットエッチング時に剥離せずにエッチング後の除去工程にて有機溶剤により除去可能となるように、磁気記録媒体形成用積層体表面とレジスト層との親和性に起因する密着性があれば十分であった。
また、レジスト層との相溶性が良好な界面結合剤を磁気記録媒体形成用積層体に表面処理し、さらに界面活性剤を併用することにより、レジスト層の塗布膜厚の面内均一性を向上することができることを見出した。
<1> 基板及び磁性層を有する磁気記録媒体形成用積層体とレジスト層とを結合する界面結合剤であって、前記磁気記録媒体形成用積層体の表面と架橋可能な第1官能基と、前記レジスト層と架橋可能な第2官能基とを有することを特徴とする界面結合剤である。
<2> 磁気記録媒体形成用積層体が表面に水酸基を有してなり、第1官能基が前記水酸基と架橋可能であり、レジスト層が架橋性モノマーを含有してなり、第2官能基が前記架橋性モノマーと架橋可能である前記<1>に記載の界面結合剤である。
<3> 酸素プラズマ処理、酸素アッシング処理、及びUVオゾン処理のいずれかにより分解可能である前記<1>から<2>のいずれかに記載の界面結合剤である。
<4> シランカップリング剤及びカルボン酸無水物の少なくともいずれかからなる前記<1>から<3>のいずれかに記載の界面結合剤である。
<5> 前記<1>から<4>のいずれかに記載の界面結合剤を含有することを特徴とするナノインプリント用レジスト組成物である。
<6> 基板及び磁性層を有する磁気記録媒体形成用積層体であって、前記<1>から<4>のいずれかに記載の界面結合剤からなる層を表面上に有することを特徴とする磁気記録媒体形成用積層体である。
<7> 基板及び磁性層を有する磁気記録媒体形成用積層体を備える磁気記録媒体の製造方法であって、前記<1>から<4>のいずれかに記載の界面結合剤を用いて前記磁気記録媒体形成用積層体の表面を処理する表面処理工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法である。
<8> 表面処理工程において表面が処理された磁気記録媒体形成用積層体の上にレジスト層を形成するレジスト層形成工程をさらに含む前記<7>に記載の磁気記録媒体の製造方法である。
<9> 磁気記録媒体形成用積層体の表面をUV照射、酸素プラズマ、酸素アッシング、アルカリ処理、及び酸処理のいずれかにより活性化することにより、前記磁気記録媒体形成用積層体の表面のOH基含有元素のモル比率を20%以上とさせる活性化工程をさらに含む前記<7>から<8>のいずれかに記載の磁気記録媒体の製造方法である。
<10> 表面処理工程において磁気記録媒体形成用積層体の磁性層よりも表面側に形成され、界面結合剤を少なくとも含む単層及び複層のいずれかを酸素プラズマ処理、酸素アッシング処理、及びUVオゾン処理のいずれかにより分解除去する分解除去工程をさらに含む前記<7>から<9>のいずれかに記載の磁気記録媒体の製造方法である。
<11> 前記<7>から<10>のいずれかに記載の製造方法により製造されたことを特徴とする磁気記録媒体である。
本発明の界面結合剤は、磁気記録媒体形成用積層体とレジスト層とを結合する界面結合剤である。
前記界面結合剤は、前記磁気記録媒体形成用積層体の表面と架橋可能な第1官能基と、前記レジスト層と架橋可能な第2官能基とを有してなり、更に必要に応じて適宜選択したその他の官能基を有してなる。
前記磁気記録媒体形成用積層体が表面に水酸基を有してなり、前記第1官能基が前記水酸基と架橋可能であり、前記レジスト層が架橋性モノマーを含有してなり、前記第2官能基が前記架橋性モノマーと架橋可能であることが好ましい。
前記界面結合剤は、例えば、シランカップリング剤及びカルボン酸無水物の少なくともいずれかからなることが好ましい。
前記磁気記録媒体形成用積層体については、後に詳述するが、磁気記録媒体を形成するための加工対象である。
レジスト層14(図1A)の材料としては、ポジ型レジスト材料及びネガ型レジスト材料のいずれであってもよい。レジスト層14の形成方法としては、特に制限はなく、目的に応じて公知の塗布方法の中から適宜選択することができ、例えば、スピンコート法などが好適に挙げられる。レジスト層14の厚みは、5nm〜200nmが好ましい。
第1官能基としては、磁気記録媒体形成用積層体の表面と架橋可能である限り、特に制限はなく、目的に応じて公知のものの中から適宜選択することができるが、例えば、アルコキシシラン部位、OH基と架橋性を有するカルボン酸無水物部位などが挙げられる。
第2官能基としては、レジスト層14(レジスト樹脂)に対して架橋性を有する官能基であれば、特に制限はなく、目的に応じて公知のものの中から適宜選択することができる。
その他の官能基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
前記シランカップリング剤としては、磁気記録媒体形成用積層体の表面に対して架橋性を有するアルコキシシラン部位と、レジスト層14(レジスト樹脂)に対して架橋性を有する各種の官能基を1分子中に含有していればよく、例えば、γ―イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、3−アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリクロロシラン、ビニルトリス(β−メトキシエトキシ)シラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン等のビニルシラン;γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン等のアクリルシラン;β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン等のエポキシシラン;N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノシラン;及び、その他のシランカップリング剤として、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、γ−クロロプロピルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。
前記カルボン酸無水物としては、表面が後述する活性化処理された磁気記録媒体形成用積層体上のOH基に対して架橋性を有するカルボン酸無水物部位と、レジスト層14(レジスト樹脂)に対して架橋性を有する各種の官能基を1分子中に含有していればよく、例えば、4−メタアクリルオキシエチルトリメリット酸無水物、γ−グリシドキシプロピルオキシエチルトリメリット酸無水物、γ−グリシドキシプロピルオキシエチルトリメリット酸無水物、γ−アミノプロピルオキシエチルトリメリット酸無水物、γ−クロロプロピルオキシエチルトリメリット酸無水物、等が挙げられる。
このうち、光硬化性の組成物については、例えば、硬化前においては光透過性が高く、微細凹凸パターンの形成能、塗布適性及びその他の加工適性、に優れると共に、硬化後においては感度(速硬化性)、解像性、ラインエッジラフネス性、塗膜強度、モールドとの剥離性、残膜特性、エッチング耐性、低硬化収縮性、基板密着性或いは他の諸点において総合的に優れた塗膜物性が得られる光ナノインプリントリソグラフィに広く用いることができる。
(1)室温での溶液流動性に優れるため、モールド凹部のキャビティ内に該組成物が流れ込みやすく、バブル欠陥等を引き起こすことがなく、モールド凸部、凹部のいづれにおいても光硬化後に残渣が残りにくい。
(2)硬化後の硬化膜は機械的性質に優れ、かつ塗膜と基板の密着性に優れ、塗膜とモールドの離型性に優れるため、モールドを引き剥がす際にパターン崩れや端部の欠けが生じて表面荒れを引き起こすことがないため良好なパターンを形成できる。
(3)光硬化後の体積収縮が小さく、モールド転写特性に優れるため、微細パターンの正確な賦型性が可能である。
(4)塗布均一性に優れるため、大型基板への塗布・微細加工分野などに適する。
(5)膜の光硬化速度が高いので、生産性が高い。
(6)エッチング加工精度、エッチング耐性などに優れるので、磁性層などの基板加工用エッチングレジストとして好適に用いることができる。
(7)エッチング後のレジスト剥離性に優れ、残渣を生じないため、エッチングレジストとして好適に用いることができる。
ここで、R11は水素原子又はメチル基が好ましい。R12、R13、R14、R15は、それぞれ、水素原子、メチル基、エチル基、ブロピル基、ブチル基、メトキシ基、エトキシ基が好ましく、水素原子、メチル基がより好ましく、水素原子がさらに好ましい。m1は、0又は1が好ましい。Z11は、メチレン基、酸素原子、−NH−基が好ましく、2つのZ11の少なくとも一方が酸素原子であることがより好ましい。W11は−C(=O)−が好ましい。
n1が2以上のとき、R14、R15は、それぞれ、同一であってもよいし、異なっていてもよい。
R21は水素原子又はメチル基が好ましい。R22、R23、R24及びR25は、それぞれ、水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ハロゲン原子、メトキシ基又はエトキシ基が好ましく、それぞれ、水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基がより好ましく、水素原子、メチル基、エチル基がさらに好ましい。n2は1又は2が好ましい。m2は、0又は1が好ましい。Y21はメチレン基又は酸素原子が好ましい。
)が挙げられる。
R32、R33、R34及びR35は、それぞれ、水素原子、メチル基、エチル基、ブロピル基、ブチル基、ハロゲン原子、メトキシ基、エトキシ基が好ましく、それぞれ、水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基がより好ましく、水素原子がさらに好ましい。n3は1又は2が好ましい。X31は−C=O−、メチレン基、エチレン基が好ましい。Y32は、メチレン基又は酸素原子が好ましい。
R64及びR65は、それぞれ、水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基が好ましい。
R71及びR72は、それぞれ、水素原子又はメチル基が好ましく、R73は水素原子、メチル基又はエチル基が好ましい。
併用できる化合物の具体例としては、2−アクリロイロキシエチルフタレート、2−アクリロイロキシ2−ヒドロキシエチルフタレート、2−アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタレート、2−アクリロイロキシプロピルフタレート、2−エチル−2−ブチルプロパンジオールアクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシルカルビトール(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、3−メトキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、アクリル酸ダイマー、脂肪族エポキシ(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、ブタンジオールモノ(メタ)アクリレート、ブトキシエチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、セチル(メタ)アクリレート、エチレンオキシド変性(以下「EO」という。)クレゾール(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコール(メタ)アクリレート、エトキシ化フェニル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、イソアミル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、イソオクチル(メタ)アクリレート、イソミリスチル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、メトキシジプロピレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシトリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシトリエチレングリコール(メタ)アクリレート、メチル(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールベンゾエート(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、オクチル(メ
タ)アクリレート、パラクミルフェノキシエチレングリコール(メタ)アクリレート、エピ
クロロヒドリン(以下「ECH」という)変性フェノキシアクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、フェノキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、フェノキシ
ヘキサエチレングリコール(メタ)アクリレート、フェノキシテトラエチレングリコール(
メタ)アクリレート、ポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコ
ール−ポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、EO変性コハク酸(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、トリブロモフェニル(メタ)アクリレート、EO変
性トリブロモフェニル(メタ)アクリレート、トリドデシル(メタ)アクリレート、p−イソプロペニルフェノール、スチレン、α−メチルスチレン、アクリロニトリル、ビニルカルバゾール、イソシアネートメチル(メタ)アクリレート、イソシアネートエチル(メタ)アクリレート、イソシアネートn−プロピル(メタ)アクリレート、イソシアネートイソプロピル(メタ)アクリレート、イソシアネートn−ブチル(メタ)アクリレート、イソシアネートイソブチル(メタ)アクリレート、イソシアネートsec−ブチル(メタ)アクリレート、イソシアネートtert−ブチル(メタ)アクリレート等のイソシアネートアルキル(メタ)アクリレート;(メタ)アクリロイルメチルイソシアネート、(メタ)アクリロイルエチルイソシアネート、(メタ)アクリロイルn−プロピルイソシアネート、(メタ)アクリロイルイソプロピルイソシアネート、(メタ)アクリロイルn−ブチルイソシアネート、(メタ)アクリロイルイソブチルイソシアネート、(メタ)アクリロイルsec−ブチルイソシアネート、(メタ)アクリロイルtert−ブチルイソシアネート等の(メタ)アクリロイルアルキルイソシアネートが例示される。
前記ナノインプリント用レジスト組成物に対しては、インプリント時の成形性と生産性、特に磁性層のパターニングに要求される微細加工性、さらにはパターン化されたレジスト層を使用して磁性層を加工するためのエッチング耐性、を両立することが先ず求められる。微細パターンでの成形性と、生産性を良好にするために、低粘度であることが好ましく、インプリント後のエッチング適性、特に微細加工性に有利なドライエッチング方式でのエッチング耐性を良好にするために炭素密度が高く、架橋密度が高いことが好ましく、微細パターンのインプリント性向上の観点から、パターン形成後のレジスト層強度が大きく、かつ磁気記録媒体形成用積層体との密着性が高いことが好ましい。更に、モールドとの離型性が良好であることが好ましい。
炭素密度を向上するためには、環構造導入が好ましい。ここで、更にレジスト層の強度を向上する観点から実質的な架橋密度を向上させるためには、モノマーを多官能化し、かつ硬化処理後の架橋重合反応率を向上することが必要である。
環構造を導入したモノマーは一般に構造が嵩高く、さらに架橋密度を向上させるために多官能化すると、架橋反応後半での反応の進行が進まなくなり、結果として架橋重合反応率の低下を招き、エッチング耐性と、微細化に対応できるパターン強度との両立が困難となる。また、硬化前のレジスト層の粘度が高くなり、成形性や生産性との両立も困難となる。
一方、環構造を導入したレジストとして、ノボラック系ポリマーが一般的に知られている。これらは環構造の導入率が高く、エッチング耐性に対しては有利な構造となっている。しかし、ポリマー素材であるため、膜の粘度が高く、また架橋重合反応率が十分に高くならないため、成形性と微細パターンでの強度とエッチング耐性とを両立することができない。
これらより、前記ナノインプリント用レジスト組成物は、環構造を有する1官能の重合性不飽和単量体を必須成分とすることが好ましく、さらに、多官能重合性不飽和単量体を含んでいることが好ましい。
上記の環構造を有する1官能の重合性不飽和単量体は、前記ナノインプリント用レジスト組成物の粘度を下げるのに有効であり、成形性とエッチング耐性とを両立する観点で全重合性化合物の10質量%以上添加される。好ましくは、10〜80質量%、より好ましくは、20〜70質量%、特に好ましくは、30〜60質量%の範囲で添加される。
環構造を有する1官能の重合性不飽和単量体の割合を、80質量%以下とすることにより、前記ナノインプリント用レジスト組成物を硬化した硬化膜の機械的な強度、エッチング耐性、より良好となる傾向であり、好ましい。一方で、環構造を有する1官能の重合性不飽和単量体は、組成物の粘度を低減できるため、全重合性化合物の10質量%以上添加されることが好ましい。
不飽和結合含有基を2個有する単量体(2官能重合性不飽和単量体)は、全重合性化合物の好ましくは90質量%以下、より好ましくは80質量%以下、特に好ましくは、70質量%以下の範囲で添加される。1官能及び2官能重合性不飽和単量体の割合は、全重合性化合物の、好ましくは1〜95質量%、より好ましくは3〜95質量%、特に好ましくは、5〜90質量%の範囲で添加される。不飽和結合含有基を3個以上有する多官能重合性不飽和単量体の割合は、全重合性不飽和単量体の、好ましくは80質量%以下、より好ましくは70質量%以下、特に好ましくは、60質量%以下の範囲で添加される。重合性不飽和結合含有基を3個以上有する重合性不飽和単量体の割合を80質量%以下とすることにより、組成物の粘度を下げられるため好ましい。
さらに、N−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N−メチルホルムアニリド、N−メチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ベンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、フェニルセロソルブアセテート等の高沸点溶剤を添加することもできる。これらは1種を単独使用してもよく、2種類以上を併用しても構わない。
これらの中でも、メトキシプロピレングリコールアセテート、2−ヒドロキシプロピン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、乳酸エチル、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、2−ヘプタノンなどが特に好ましい。
前記光重合開始剤の割合が0.1質量%未満では、感度(速硬化性)、解像性、ラインエッジラフネス性、塗膜強度が劣るため好ましくない。一方、光重合開始剤の割合が11質量%を超えると、光透過性、着色性、取り扱い性などが劣化するため好ましくない。これまで、染料及び顔料の少なくともいずれかを含むインクジェット用組成物や液晶デイスプレイカラーフィルタ用組成物においては、好ましい光重合開始剤及び光酸発生剤の少なくともいずれかの添加量が種々検討されてきたが、ナノインプリント用等の光ナノインプリントリソグラフィ用硬化性組成物についての好ましい光重合開始剤及び光酸発生剤の少なくともいずれかの添加量については報告されていない。すなわち、染料及び顔料の少なくともいずれかを含む系では、これらがラジカルトラップ剤として働くことがあり、光重合性、感度に影響を及ぼす。その点を考慮して、これらの用途では、光重合開始剤の添加量が最適化される。一方で、前記ナノインプリント用レジスト組成物では、染料及び顔料の少なくともいずれかは必須成分でなく、光重合開始剤の最適範囲がインクジェット用組成物や液晶デイスプレイカラーフィルタ用組成物等の分野のものとは異なる場合がある。
TPO(2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド)、Lucirin TPO−L(2,4,6−トリメチルベンゾイルフェニルエトキシホスフィンオキサイド)、ESACUR日本シイベルヘグナー社から入手可能なESACURE 1001M(1−[4−ベンゾイルフェニルスルファニル]フェニル]−2−メチル−2−(4−メチルフェニルスルホニル)プロパン−1−オン、N−1414旭電化社から入手可能なアデカオプトマー(登録商標)N−1414(カルバゾール・フェノン系)、アデカオプトマー(登録商標)N−1717(アクリジン系)、アデカオプトマー(登録商標)N−1606(トリアジン系)、三和ケミカル製のTFE−トリアジン(2−[2−(フラン−2−イル)ビニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン)、三和ケミカル製のTME−トリアジン(2−[2−(5−メチルフラン−2−イル)ビニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン)、三和ケミカル製のMP−トリアジン(2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン)、ミドリ化学製TAZ−113(2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン)、ミドリ化学製TAZ−108(2−(3,4−ジメトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン)、ベンゾフェノン、4,4‘−ビスジエチルアミノベンゾフェノン、メチル−2−ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド、4−フェニルベンゾフェノン、エチルミヒラーズケトン、2−クロロチオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントン、2−メチルチオキサントン、チオキサントンアンモニウム塩、ベンゾイン、4,4’−ジメトキシベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジルジメチルケタール、1,1,1−トリクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン及びジベンゾスベロン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、2−ベンゾイルナフタレン、4−ベンゾイル ビフェニル、4−ベンゾイル ジフェニルエーテル、1,4−ベンゾイルベンゼン、ベンジル、10−ブチル−2−クロロアクリドン、[4−(メチルフェニルチオ)フェニル]フェニルメタン)、2−エチルアントラキノン、2,2−ビス(2−クロロフェニル)4,5,4‘,5’−テトラキス(3,4,5−トリメトキシフェニル)1,2‘−ビイミダゾール、2,2−ビス(o−クロロフェニル)4,5,4’,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、トリス(4−ジメチルアミノフェニル)メタン、エチル−4−(ジメチルアミノ)ベンゾエート、2−(ジメチルアミノ)エチルベンゾエート、ブトキシエチル−4−(ジメチルアミノ)ベンゾエート、等が挙げられる。
前記フッ素系界面活性剤、 前記シリコーン系界面活性剤及び前記フッ素・シリコーン系界面活性剤が組成物中0.001未満では、塗布の均一性の効果が不十分であり、一方、5質量%を越えると、モールド転写特性を悪化させるため、好ましくない。前記フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤及びフッ素・シリコーン系界面活性剤は単独で用いてもよいし、2種類以上を組み合せて使用してもよい。また、フッ素系界面活性剤とシリコーン系界面活性剤の両方又は、フッ素・シリコーン系界面活性剤を含むことが好ましい。
特に、フッ素・シリコーン系界面活性剤を含むことが最も好ましい。
ここで、フッ素・シリコーン系界面活性剤とは、フッ素系界面活性剤及びシリコーン系界面活性剤の両方の要件を併せ持つものをいう。
このような界面活性剤を用いることにより、前記ナノインプリント用レジスト組成物を、基板上の塗布時に起こるストリエーションや鱗状の模様(レジスト膜の乾燥むら)などの塗布不良の問題を解決する目的、及びモールド凹部のキャビティ内への組成物の流動性を良くし、モールドとレジスト間の離型性を良くし、レジストと基板間の密着性を良くする、組成物の粘度を下げる等が可能になる。特に、前記ナノインプリント用レジスト組成物において、上記界面活性剤を添加することにより、塗布均一性を大幅に改良でき、スピンコーターやスリットスキャンコーターを用いた塗布において、基板サイズに依らず良好な塗布適性が得られる。
前記フッ素・シリコーン系界面活性剤の例としては、商品名X−70−090、X−70−091、X−70−092、X−70−093、(いずれも信越化学工業社製)、商品名メガフアックR−08、XRB−4(いずれも大日本インキ化学工業社製)が挙げられる。
一つのポリシロキサン分子に上記したような変性方法の2つ以上を行うこともできる。
上記離型剤は1種類のみ或いは2種類以上を組み合わせて添加することができる。
前記ナノインプリント用レジスト組成物に任意成分として添加できるエラストマー粒子は、平均粒子サイズが好ましくは10nm〜700nm、より好ましくは30〜300nmである。例えばポリブタジエン、ポリイソプレン、ブタジエン/アクリロニトリル共重合体、スチレン/ブタジエン共重合体、スチレン/イソプレン共重合体、エチレン/プロピレン共重合体、エチレン/α−オレフィン系共重合体、エチレン/α−オレフィン/ポリエン共重合体、アクリルゴム、ブタジエン/(メタ)アクリル酸エステル共重合体、スチレン/ブタジエンブロック共重合体、スチレン/イソプレンブロック共重合体などのエラストマーの粒子である。またこれらエラストマー粒子を、メチルメタアクリレートポリマー、メチルメタアクリレート/グリシジルメタアクリレート共重合体などで被覆したコア/シェル型の粒子を用いることができる。エラストマー粒子は架橋構造をとっていてもよい。
前記帯電防止剤としては、アニオン系、カチオン系、非イオン系、両性系のいずれでもよい。具体的には、エレクトロストリッパーA(花王(株)製)、エレノンNo.19(第一工業製薬(株)製)等のアルキル燐酸塩系アニオン界面活性剤、アモーゲンK(第一工業製薬(株)製)等のベタイン系両性界面活性剤、ニッサンノニオンL(日本油脂(株)製)等のポリオキシエチレン脂肪酸エステル系非イオン界面活性剤、エマルゲン106、同120、同147、同420、同220、同905、同910(花王(株)製)やニッサンノニオンE(日本油脂(株)製)等のポリオキシエチレンアルキルエーテル系非イオン界面活性剤、ポリオキシエチレンアルキルフェノールエーテル系、多価アルコール脂肪酸エステル系、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル系、ポリオキシエチレンアルキルアミン系等のその他の非イオン系界面活性剤が挙げられる。これらは1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
本発明のレジスト組成物は、本発明の界面結合剤を含有してなり、更に必要に応じて適宜選択したその他の化合物を含有してなるナノインプリント用レジスト組成物である。即ち、本発明の界面結合剤が、本発明のナノインプリント用レジスト組成物に添加して使用される。
その他の化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
本発明の磁気記録媒体形成用積層体は、図1Aに示すように、基板11と、磁性層12と、本発明の界面結合剤からなる層(不図示)をこの順に有してなり、必要に応じて適宜選択したその他の部材(層)を有してなる。
基板11としては、その形状、構造、大きさ、材質等については特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、前記形状としては、前記磁気記録媒体がハードディスク等の磁気ディスクである場合には、円板状である。また、前記構造としては、単層構造であっても、積層構造であってもよい。また、前記材質としては、磁気記録媒体の基材材料として公知のものの中から、適宜選択することができ、例えば、アルミニウム、ガラス、シリコン、石英、シリコン表面に熱酸化膜を形成してなるSiO2/Si、等が挙げられる。これらの基板材料は、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
磁性層12の材料としては、特に制限はなく、目的に応じて公知のものの中から適宜選択することができるが、例えば、Fe、Co、Ni、FeCo、FeNi、CoNi、CoNiP、FePt、CoPt、NiPtなどが好適に挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
磁性層12の厚みとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、通常、5nm〜30nm程度である。
磁性層12の形成方法としては、特に制限はなく、公知の方法に従って行うことができ、例えば、スパッタリング法、電着(電着法)等により行うことができる。
基板11と磁性層11間に磁性層配向用の結晶配向層、軟磁性下地層を適宜形成してもよい。特に軟磁性下地層は単層、あるいは複数層にて構成してもよい。
界面結合剤からなる層は、磁気記録媒体形成用積層体10が本発明の界面結合剤により表面処理されることにより形成されるものである限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
また、本発明の界面結合剤からなる層は、磁性層12の表面側に直接形成してもよく、後述するその他の部材(層)の単層及び複層のいずれかを介して形成してもよい。
前記その他の層としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、表面層13等が挙げられる。
これらの層は、1層のみ設けられてもよいし、2層以上設けられてもよく、また、単層構造であってもよいし、積層構造であってもよい。
また、各層の材料としては、特に制限はなく、目的に応じて公知のものの中から適宜選択することができる。
本発明の磁気記録媒体の製造方法は、表面処理工程を少なくとも含み、好ましくは、レジスト層形成工程、活性化工程、分解除去工程、などを含み、更に必要に応じて適宜選択した、その他の工程を含む。
前記表面処理工程は、本発明の界面結合剤を用いて磁気記録媒体形成用積層体の表面を処理する工程である。
前記表面処理工程により、磁気記録媒体形成用積層体の表面に、本発明の界面結合剤からなる層が形成される。
なお、界面結合剤をレジスト液中に添加して、前記表面処理工程と後述するレジスト層形成工程とを1つの工程によって行ってもよい。なお、界面結合剤をレジスト液中に添加する場合は、磁気記録媒体形成用積層体表面との界面結合性が低下するため、界面結合剤をレジスト液中の固形分に対して1〜10重量%添加するのが好ましい。また、後述の分解除去工程での分解除去性の観点からは、1〜5重量%程度添加するのが好ましい。
前記レジスト層形成工程は、表面処理工程において表面が処理された磁気記録媒体形成用積層体の上にレジスト層を形成する工程である。
前記ナノインプリント用レジスト組成物を塗布するための基板又は支持体は、石英、ガラス、光学フィルム、セラミック材料、蒸着膜、磁性膜、反射膜、Ni、Cu、Cr、Feなどの金属基板、紙、SOG、ポリエステルフイルム、ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルム等のポリマー基板、TFTアレイ基板、PDPの電極板、ガラスや透明プラスチック基板、ITOや金属などの導電性基材、絶縁性基材、シリコーン、窒化シリコーン、ポリシリコーン、酸化シリコーン、アモルファスシリコーンなどの半導体作製基板など特に制約されない。基板の形状は、板状でも良いし、ロール状でもよい。
前記活性化工程は、磁気記録媒体形成用積層体の表面をUV照射、酸素プラズマ、酸素アッシング、アルカリ処理、及び酸処理のいずれかにより活性化することにより、前記磁気記録媒体形成用積層体の表面のOH基含有元素のモル比率を20%以上とさせる工程である。
界面結合剤による処理(前記表面処理工程)の前に、磁気記録媒体形成用積層体10の表面をUV照射、酸素プラズマ、酸素アッシング、アルカリ処理、及び酸処理、等により事前処理してクリーニング及び活性化を行うことにより、レジスト層と磁気記録媒体形成用積層体との界面での結合形成数を増大させて界面をより強固にし、かつ処理面の汚染が除去され面状が良好とすることができる。
<分解除去工程>
前記分解除去工程は、表面処理工程において形成され、界面結合剤を少なくとも含む単層及び複層のいずれかを酸素プラズマ処理、酸素アッシング処理、及びUVオゾン処理のいずれかにより分解除去する工程である。
その他の工程としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、パターン形成工程、硬化処理工程、エッチング工程、レジスト層剥離工程、非磁性層埋込工程、リンス工程、水洗工程などが挙げられる。前記パターン形成工程、エッチング工程、レジスト層剥離工程、硬化処理工程、リンス工程、水洗工程以外のその他の工程としては、特に制限はなく、公知のパターン形成における工程の中から適宜選択することが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
前記パターン形成工程は、前記ナノインプリント用レジスト組成物からなるレジスト層にパターン(特に、微細凹凸パターン)を形成する工程である。具体的には、前記ナノインプリント用レジスト組成物を塗布し、必要に応じて乾燥させて前記ナノインプリント用レジスト組成物からなるレジスト層(パターン形成層)を形成してパターン受容体を作製し、当該パターン受容体のパターン形成層表面にモールドを圧接し、モールドパターンを転写する加工を行い、微細凹凸パターン形成層を露光して硬化させる。前記パターン形成方法による光インプリントリソグラフィは、積層化や多重パターニングもでき、通常の熱インプリントと組み合わせて用いることもできる。
光照射は、モールドを付着させた状態で行ってもよいし、モールド剥離後に行ってもよいが、モールドを密着させた状態で行うのが好ましい。
前記光透過性モールド材は、特に限定されないが、所定の強度、耐久性を有するものであればよい。具体的には、ガラス、石英、PMMA、ポリカーボネート樹脂などの光透明性樹脂、透明金属蒸着膜、ポリジメチルシロキサンなどの柔軟膜、光硬化膜、金属膜等が例示される。
また、前記光インプリントリソグラフィにおいては、光照射の際の基板温度は、通常、室温で行われるが、反応性を高めるために加熱をしながら光照射してもよい。光照射の前段階として、真空状態にしておくと、気泡混入防止、酸素混入による反応性低下の抑制、モールドと光ナノインプリントリソグラフィ用硬化性組成物の密着性向上に効果があるため、真空状態で光照射してもよい。好ましい真空度は、10-1Paから常圧の範囲で行われる。
前記硬化処理工程は、形成されたパターンを硬化する工程である。前記硬化処理工程としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、全面加熱処理や全面露光処理などが好適に挙げられる。
られる。全面加熱により、前記パターンの表面の膜強度が高められる。全面加熱における加熱温度としては、80〜200℃が好ましく、90〜180℃がより好ましい。該加熱温度が80℃以上とすることにより、加熱処理による膜強度がより向上する傾向にあり、200℃以下とすることにより、光ナノインプリントリソグラフィ用硬化性組成物中の成分の分解が生じ、膜質が弱く脆くなる傾向をより効果的に抑止できる。前記全面加熱を行う装置としては、特に制限はなく、公知の装置の中から、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ドライオーブン、ホットプレート、IRヒーターなどが挙げられる。また、ホットプレートを使用する場合には、加熱を均一に行う為に、パターンを形成した基材をプレートから浮かせて行うことが望ましい。
前記エッチング工程は、レジストパターンで覆われていない下地部分を除去する工程である。前記エッチング工程としては、公知のエッチング処理方法の中から適宜選択した方法により行うことができ、薄膜のパターンを得ることができる。
エッチング処理は、適当な枚数をまとめて処理するバッチ方式でもよいし、一枚毎に処理する枚葉処理でもよい。
硝酸・酢酸の混合液、Wにはアンモニア水・過酸化水素水の混合液、PSGには硝酸・フッ酸の混合液、BSGにはフッ酸・フッ化アンモニウム混合液などがそれぞれ使用される。
前記ウエットエッチングは、シャワー方式でもよいし、ディップ方式でもよいが、エッチングレート、面内均一性、配線幅の精度は処理温度に大きく依存するため、基板種、用途、線幅に応じて条件わ最適化する必要がある。また、前記ウエットエッチングを行う場合は、エッチング液の浸透によるアンダーカットを防止するためにポストベークを行うことが望ましい。通常これらのポストベークは90℃〜140℃程度で行われるが、必ずしもこれに限られてはいない。
前記ドライエッチングにおいて用いられるエッチャントガスとしては、それぞれの膜種に適合するエッチャントガスが使用される。a−Si/n+やs−Si用には四フッ化炭素(塩素)+酸素、四フッ化炭素(六フッ化硫黄)+塩化水素(塩素)、a−SiNx用には四フッ化炭素+酸素、a−SiOx用には四フッ化炭素+酸素、三フッ化炭素+酸素、Ta用には四フッ化炭素(六フッ化硫黄)+酸素、MoTa/MoW用には四フッ化炭素+酸素、Cr用には塩素+酸素、Al用には三塩化硼素+塩素、臭化水素、臭化水素+塩素、ヨウ化水素等が挙げられる。ドライエッチングの工程では、イオン衝撃や熱によりレジストの構造が大きく変質することがあり、剥離性にも影響する。
前記レジスト層剥離工程は、前記エッチング工程後、下層基板へのパターン転写に用いたレジスト層を剥離する工程である。
前記剥離は、液にて取り除く(ウエット剥離)か、あるいは、減圧下での酸素ガスのプラズマ放電により酸化させてガス状にして取り除く(ドライ剥離/アッシング)か、あるいはオゾンとUV光によって酸化させてガス状にして取り除く(ドライ剥離/UVアッシング)など、いくつかの剥離方法によってレジスト除去を行うことができる。剥離液には、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、オゾン溶解水のような水溶液系とアミンとジメチルスルホキシドやN−メチルピロリドンの混合物のような有機溶剤系が一般的に知られている。後者の例としてはモノエタノールアミン/ジメチルスルホキシド混合物(質量混合比=7/3)がよく知られている。
磁性層の加工後の剥離処理については、加工後のレジスト残渣と、レジスト層と基板との密着性を向上させている界面結合剤とを除去する目的と、加工後の磁性層へのダメージを抑制する目的で、ドライ剥離法を使用することが好ましく、酸素アッシングとUVアッシングを組み合わせて使用することが好ましい。
前記非磁性層埋込工程は、図1Eに示されるように、磁性層12に形成された凹凸形状における凹部に非磁性材料70を埋め込み、表面が平坦化する工程である。
本発明の磁気記録媒体は、本発明の前記磁気記録媒体の製造方法により製造される。
本発明の前記磁気記録媒体は、少なくとも基板11及び磁性層12を有してなり、必要に応じて適宜選択したその他の部材(層)を有してなる。
前記その他の層としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、非磁性材料層70等が挙げられる。
前記非磁性材料層70は、図1Eに示されるように、磁性層12に形成された凹凸形状における凹部に非磁性材料70が埋め込まれ、表面が平坦化されることにより形成される。必要に応じて、表面に保護膜が形成される。
前記非磁性材料としては、例えばSiO2、カーボン、アルミナ;ポリメタアクリル酸メチル(PMMA)、ポリスチレン(PS)等のポリマー;円滑油などが挙げられる。
前記保護膜としては、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)、スパッタカーボン等が好ましく、該保護膜の上に更に潤滑剤層を設けてもよい。
図1Aに示すように、直径2.5インチのガラス基板11上に、厚み20nmのFe合金からなる磁性層12と、さらにその上層にカーボンからなる厚み2nmの表面層13を積層した、磁気記録媒体形成用積層体10を用意した。
用意した磁気記録媒体形成用積層体10の表面を酸素プラズマ法により表面層13表面のクリニーングと活性化を行ったのち、以下に示す表面処理液1(界面結合剤)をスピンコート法により塗布して表面処理した後にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA、市販有機溶剤)液にて洗浄を行い、さらにベーキング(120℃、20分)を行い、表面処理した磁気記録媒体形成用積層体10を作製した。
(1)3−アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン(KBM−5103、信越化学工業株式会社製) 1g
(2)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA、市販有機溶剤) 99g
以下に示すレジスト液1を調液し、この調液したレジスト液1を、表面処理した磁気記録媒体形成用積層体10上に膜厚が80nmとなるようにスピンコート法にて塗布し、更にベーキング(100℃、10分)を行い、レジスト層14が形成された磁気記録媒体形成用積層体10を作製した。
(1)単官能性モノマー(ビスコート#160、大阪有機化学工業(株)製) 16g
(2)紫外線硬化型多官能性モノマー(アロニックスM220、東亜合成(株)製) 2g
(3)紫外線硬化型多官能性モノマー(アロニックスM310、東亜合成(株)製) 2g
(4)光重合開始剤(エチルー2,4,6−トリエチルベンゾインフェニルホスフィネート)(TPO−L、BASF社製) 0.4g
(5)界面活性剤(MEGAFAC)(TF−1396、大日本インキ化学工業(株)製) 0.02g
(6)市販有機溶剤(PGMEA) 80g
レジスト層14が形成された磁気記録媒体形成用積層体10に対して、表面に同心円上に放射状ストライプが160nmピッチ(凸部80nm幅、深さ80nm)で並んだ凹凸パターンが形成された2.5インチのディスク状の石英製モールド構造体100を押し当て、モールド構造体100全面にて均一に加圧することにより(図1B)、モールド構造体100上に形成された凹凸パターンをレジスト層14に転写し、加圧した状態でモールド構造体100側からUV照射により200mj/cm2を照射してパターニングした形状を固定化した後、モールド構造体100を剥離し、凹凸パターンが転写されたレジスト層14が形成された磁気記録媒体形成用積層体10を作製した(図1C)。
尚、使用したモールド構造体100は、インプリント前にオプツールDSX(ダイキン工業製)を用いて表面に離型処理を行った。
凹凸パターンが転写されたレジスト層14が形成された磁気記録媒体形成用積層体10に対し、図1Dに示すように、冷却した凹凸パターンが転写されたインプリントレジスト層14をマスクにして、アルゴンイオンミリング法(ULVAC社製、ICPエッチング装置NE−550)によりドライエッチングを行い、レジスト層14に形成された凹凸パターン形状に基づく凹凸形状を磁性層12に形成した。
その後、凹凸形状が形成された磁性層12の表面に酸素アッシング処理を行い、さらにUV処理を行うことで磁性層加工後に残ったレジスト層を除去した。
<非磁性層埋込工程>
次に、図1Eに示すように、凹部に非磁性材料70を埋め込み、表面を平坦化した。以上により、実施例1の磁気記録媒体100を作製した。
実施例1において、活性化工程及び表面処理工程を表1に記載の方法に変更する以外は同様の手順にてレジスト層形成工程、パターン形成工程、エッチング工程、レジスト層剥離工程、及び非磁性層埋込工程を行い、実施例2〜9、比較例1〜5の磁気記録媒体を作製した。
以下の方法により作製したサンプル、及び作製途中の中間体サンプルの評価を行った。その結果を表1に示す。
表面処理工程の第一段階目の処理後の磁気記録媒体形成用積層体について、X線光電子分光装置(ESCA)(商品名:AXIS−ULTRA、KRATOS社製)により、OH基の付いた炭素原子量のトータル炭素原子量に対する割合を定量した。なお、X線源としてAlのKα線を単色化して使用し測定した。
レジスト層形成工程におけるスピンコート後の塗布面状について、以下の基準で評価した。尚、ハジキとはレジスト液が基板上にコートされていない領域であり、スジとは放射方向に向かって膜厚が異なるため干渉色によりスジ状に目視で確認される面状故障を示す。
○ ハジキ、スジ無し
△ ハジキ無いが、スジ有り
× ハジキ、スジ有り
JIS K5600−5−6に記載の方法により、密着性の評価を行った。
○ 剥れ無し
△ 100マス中50マス以上が剥れずに残った
× 100マス中50マス以上が剥れた
インプリント後のレジスト層14を光学顕微鏡(商品名:MM−400、ニコン社製)及びSEM(商品名:S−4800、HITACHI社製)により観察し、パターンの剥れ有無、及びパターン形状のモールドに対する整合性より、大面積転写性、及び位置ズレに起因する欠陥について評価した。尚、SEMは半径方向の中間位置について、中心からの回転角を90度ごとにサンプリングして評価した。
○ 全面で剥れ無し
× 一部又は全面で剥れ有り
○ モールドに対する、高さ、パターン幅の整合性が80%以上
× 一部又は全面で、モールドに対する、高さ、パターン幅の整合性が80%より小さい、又はパターン倒れが見られる
レジスト層14に形成された凹凸パターン形状に基づく凹凸形状をエッチングにより形成した磁性層12について、半径方向の中間位置について、中心からの回転角を90度ごとにサンプリングしてAFM(商品名:SPA−4000、SII社製)により形状観察を行い、凹凸パターンが形成されているかの検証を行った。但し、比較例2〜5のサンプルについては、インプリントが正常に行われなかったため評価しなかった。
○ モールドに対する加工後の磁性層の高さ、パターン幅の整合性が80%以上
× モールドに対する加工後の磁性層の高さ、パターン幅の整合性が80%より小さく異常
凹凸形状に加工し、更に酸素アッシング処理とUV処理を行った後の磁性層表面について、レジスト層及び界面結合剤の残渣があるかを、TOF−SIMS(商品名:TOF−SIMS V、ION−TOF社製)を用い、Bi+の一次イオン銃を使用して検証した。
○ 残渣無し
× 残渣有り
11 基板
12 磁性層
13 表面層
14 レジスト層
70 非磁性層
100 モールド構造体
Claims (11)
- 基板及び磁性層を有する磁気記録媒体形成用積層体とレジスト層とを結合する界面結合剤であって、前記磁気記録媒体形成用積層体の表面と架橋可能な第1官能基と、前記レジスト層と架橋可能な第2官能基とを有することを特徴とする界面結合剤。
- 磁気記録媒体形成用積層体が表面に水酸基を有してなり、第1官能基が前記水酸基と架橋可能であり、レジスト層が架橋性モノマーを含有してなり、第2官能基が前記架橋性モノマーと架橋可能である請求項1に記載の界面結合剤。
- 酸素プラズマ処理、酸素アッシング処理、及びUVオゾン処理のいずれかにより分解可能である請求項1から2のいずれかに記載の界面結合剤。
- シランカップリング剤及びカルボン酸無水物の少なくともいずれかからなる請求項1から3のいずれかに記載の界面結合剤。
- 請求項1から4のいずれかに記載の界面結合剤を含有することを特徴とするナノインプリント用レジスト組成物。
- 基板及び磁性層を有する磁気記録媒体形成用積層体であって、請求項1から4のいずれかに記載の界面結合剤からなる層を表面上に有することを特徴とする磁気記録媒体形成用積層体。
- 基板及び磁性層を有する磁気記録媒体形成用積層体を備える磁気記録媒体の製造方法であって、請求項1から4のいずれかに記載の界面結合剤を用いて前記磁気記録媒体形成用積層体の表面を処理する表面処理工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
- 表面処理工程において表面が処理された磁気記録媒体形成用積層体の上にレジスト層を形成するレジスト層形成工程をさらに含む請求項7に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 磁気記録媒体形成用積層体の表面をUV照射、酸素プラズマ、酸素アッシング、アルカリ処理、及び酸処理のいずれかにより活性化することにより、前記磁気記録媒体形成用積層体の表面のOH基含有元素のモル比率を20%以上とさせる活性化工程をさらに含む請求項7から8のいずれかに記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 表面処理工程において磁気記録媒体形成用積層体の磁性層よりも表面側に形成され、界面結合剤を少なくとも含む単層及び複層のいずれかを酸素プラズマ処理、酸素アッシング処理、及びUVオゾン処理のいずれかにより分解除去する分解除去工程をさらに含む請求項7から9のいずれかに記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 請求項7から10のいずれかに記載の製造方法により製造されたことを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007179069A JP5037243B2 (ja) | 2007-07-06 | 2007-07-06 | 界面結合剤、該界面結合剤を含有するレジスト組成物、及び該界面結合剤からなる層を有する磁気記録媒体形成用積層体、並びに該界面結合剤を用いた磁気記録媒体の製造方法、及び該製造方法により製造された磁気記録媒体 |
US12/167,648 US20090011367A1 (en) | 2007-07-06 | 2008-07-03 | Interface binder, resist composition containing the same, laminate for forming magnetic recording medium having layer containing the same, manufacturing method of magnetic recording medium using the same, and magnetic recording medium produced by the manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007179069A JP5037243B2 (ja) | 2007-07-06 | 2007-07-06 | 界面結合剤、該界面結合剤を含有するレジスト組成物、及び該界面結合剤からなる層を有する磁気記録媒体形成用積層体、並びに該界面結合剤を用いた磁気記録媒体の製造方法、及び該製造方法により製造された磁気記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009016000A JP2009016000A (ja) | 2009-01-22 |
JP5037243B2 true JP5037243B2 (ja) | 2012-09-26 |
Family
ID=40221728
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007179069A Expired - Fee Related JP5037243B2 (ja) | 2007-07-06 | 2007-07-06 | 界面結合剤、該界面結合剤を含有するレジスト組成物、及び該界面結合剤からなる層を有する磁気記録媒体形成用積層体、並びに該界面結合剤を用いた磁気記録媒体の製造方法、及び該製造方法により製造された磁気記録媒体 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090011367A1 (ja) |
JP (1) | JP5037243B2 (ja) |
Families Citing this family (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2023169A4 (en) * | 2006-04-07 | 2011-03-16 | Asahi Glass Co Ltd | WIRE GRID POLARIZER AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME |
TW200909521A (en) * | 2007-07-27 | 2009-03-01 | Chisso Corp | Composition comprising polyester amide acid and ink-jet composition using the composition |
JP5413195B2 (ja) * | 2007-09-28 | 2014-02-12 | 旭硝子株式会社 | 微細パターン形成体、微細パターン形成体の製造方法、光学素子および光硬化性組成物 |
JP5243887B2 (ja) * | 2008-02-12 | 2013-07-24 | 富士フイルム株式会社 | ナノインプリント用硬化性組成物およびパターン形成方法 |
CN101981479A (zh) * | 2008-04-03 | 2011-02-23 | 旭硝子株式会社 | 线栅型偏振器及其制造方法 |
CN101981478B (zh) * | 2008-04-08 | 2012-11-07 | 旭硝子株式会社 | 线栅型偏振器的制造方法 |
WO2010005059A1 (ja) * | 2008-07-10 | 2010-01-14 | 旭硝子株式会社 | ワイヤグリッド型偏光子およびその製造方法 |
US8262975B2 (en) * | 2008-11-11 | 2012-09-11 | HGST Netherlands B.V | Self-releasing resist material for nano-imprint processes |
JP2010157706A (ja) * | 2008-12-03 | 2010-07-15 | Fujifilm Corp | 光インプリント用硬化性組成物およびそれを用いた硬化物の製造方法 |
KR100978491B1 (ko) * | 2008-12-11 | 2010-08-30 | 한국과학기술원 | L10 규칙화 구조의 FePt 나노 도트 어레이의 제조방법 |
JP4617387B2 (ja) * | 2009-06-17 | 2011-01-26 | キヤノン株式会社 | 微細構造体の製造方法 |
JP2011008848A (ja) * | 2009-06-24 | 2011-01-13 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | レジスト除去方法及び磁気記録媒体製造方法 |
US20110089140A1 (en) * | 2009-10-16 | 2011-04-21 | Liubo Hong | Process for fabricating ultra-narrow track width magnetic sensor |
US8216481B2 (en) * | 2009-10-16 | 2012-07-10 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Process for fabricating ultra-narrow dimension magnetic sensor |
JP5592646B2 (ja) * | 2009-12-28 | 2014-09-17 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
JP5549245B2 (ja) * | 2010-02-01 | 2014-07-16 | 住友電気工業株式会社 | ナノインプリント法による回折格子の形成方法 |
JP5483083B2 (ja) * | 2010-02-03 | 2014-05-07 | 富士フイルム株式会社 | 微細パターン製造方法 |
JP2011170905A (ja) * | 2010-02-16 | 2011-09-01 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | ディスクリートトラック構造を有する磁気記録媒体の製造方法 |
JP5463170B2 (ja) * | 2010-03-10 | 2014-04-09 | 富士フイルム株式会社 | 微細パターン製造方法、微細パターン付き基板、微細パターン付き基板を含む光源装置および画像表示装置 |
JP4973965B2 (ja) | 2010-06-18 | 2012-07-11 | Dic株式会社 | ウレタン(メタ)アクリレート樹脂組成物及びそれを用いた被覆材 |
JP5218521B2 (ja) | 2010-10-21 | 2013-06-26 | 大日本印刷株式会社 | インプリント方法とこれに用いる転写基材および密着剤 |
US20130084468A1 (en) * | 2011-09-30 | 2013-04-04 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Fabrication of bit patterned media using microcontact printing |
US11635688B2 (en) | 2012-03-08 | 2023-04-25 | Kayaku Advanced Materials, Inc. | Photoimageable compositions and processes for fabrication of relief patterns on low surface energy substrates |
JPWO2013154075A1 (ja) * | 2012-04-09 | 2015-12-17 | 旭硝子株式会社 | 微細パターンを表面に有する物品の製造方法 |
JP5816133B2 (ja) * | 2012-06-04 | 2015-11-18 | 株式会社東芝 | パターン形成方法、原版及びデータ処理方法 |
JP6333039B2 (ja) | 2013-05-16 | 2018-05-30 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、デバイス製造方法およびインプリント方法 |
JP6315904B2 (ja) | 2013-06-28 | 2018-04-25 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置及びデバイスの製造方法 |
JP5763796B2 (ja) * | 2014-02-05 | 2015-08-12 | 富士フイルム株式会社 | 微細パターン製造方法 |
CN107438498A (zh) | 2015-05-28 | 2017-12-05 | 哈里伯顿能源服务公司 | 制造聚晶金刚石工具的诱导材料偏析方法 |
EP3595071A4 (en) | 2017-03-07 | 2020-12-23 | Sumitomo Seika Chemicals CO. LTD. | ADDITIVE FOR WATER-FREE ELECTROLYTE SOLUTIONS, WATER-FREE ELECTROLYTE SOLUTION AND ELECTRICITY STORAGE DEVICE |
CN110383566B (zh) * | 2017-03-08 | 2022-07-01 | 住友精化株式会社 | 非水电解液用添加剂、非水电解液及蓄电装置 |
KR102419881B1 (ko) | 2017-08-10 | 2022-07-12 | 캐논 가부시끼가이샤 | 패턴 형성 방법 |
US10649119B2 (en) * | 2018-07-16 | 2020-05-12 | Facebook Technologies, Llc | Duty cycle, depth, and surface energy control in nano fabrication |
JP7292671B2 (ja) * | 2019-06-17 | 2023-06-19 | 株式会社レゾナック | 磁気記録媒体の製造方法 |
US11391950B2 (en) | 2019-06-26 | 2022-07-19 | Meta Platforms Technologies, Llc | Techniques for controlling effective refractive index of gratings |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4112213A (en) * | 1964-09-28 | 1978-09-05 | Johnson & Johnson | Pressure sensitive adhesive tapes and method of making same |
JPS60233153A (ja) * | 1984-05-04 | 1985-11-19 | Toray Silicone Co Ltd | プライマ−組成物 |
US4654262A (en) * | 1985-04-10 | 1987-03-31 | Itt Corporation | Polyolefin resin surface preparation |
US4983699A (en) * | 1989-01-03 | 1991-01-08 | Ppg Industries, Inc. | Silylated addition polymers with pendant ionic moieties |
US5246782A (en) * | 1990-12-10 | 1993-09-21 | The Dow Chemical Company | Laminates of polymers having perfluorocyclobutane rings and polymers containing perfluorocyclobutane rings |
US5175658A (en) * | 1990-12-27 | 1992-12-29 | International Buiness Machines Corporation | Thin film magnetic head having a protective coating and method for making same |
JP3151636B2 (ja) * | 1992-05-29 | 2001-04-03 | 日立マクセル株式会社 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
US5470491A (en) * | 1992-07-03 | 1995-11-28 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Process for producing a thin-film magnetic head having an insulation formed of a ladder-type silicone resin |
US5462700A (en) * | 1993-11-08 | 1995-10-31 | Alliedsignal Inc. | Process for making an array of tapered photopolymerized waveguides |
US5926739A (en) * | 1995-12-04 | 1999-07-20 | Micron Technology, Inc. | Semiconductor processing method of promoting photoresist adhesion to an outer substrate layer predominately comprising silicon nitride |
WO1999005216A1 (fr) * | 1997-07-28 | 1999-02-04 | Kaneka Corporation | Composition polymerisable |
US6210856B1 (en) * | 1999-01-27 | 2001-04-03 | International Business Machines Corporation | Resist composition and process of forming a patterned resist layer on a substrate |
US6497964B1 (en) * | 1999-07-22 | 2002-12-24 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Coating compositions and method for the surface protection of plastic substrate |
JP2001195729A (ja) * | 2000-01-17 | 2001-07-19 | Fujitsu Ltd | 記録媒体の製造方法及び記録媒体 |
US7265161B2 (en) * | 2002-10-02 | 2007-09-04 | 3M Innovative Properties Company | Multi-photon reactive compositions with inorganic particles and method for fabricating structures |
US6416935B1 (en) * | 2000-08-07 | 2002-07-09 | International Business Machines Corporation | Method for forming the air bearing surface of a slider |
US6709755B2 (en) * | 2001-10-18 | 2004-03-23 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method of priming inorganic substrates with a silane-based primer composition |
JP2004034325A (ja) * | 2002-06-28 | 2004-02-05 | Hitachi Chem Co Ltd | 表面凹凸形成方法、それにより得られる光学フィルム及び拡散反射板並びに拡散反射板の製造方法 |
US7300595B2 (en) * | 2003-12-25 | 2007-11-27 | Tdk Corporation | Method for filling concave portions of concavo-convex pattern and method for manufacturing magnetic recording medium |
JP4294521B2 (ja) * | 2004-03-19 | 2009-07-15 | 東京応化工業株式会社 | ネガ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法 |
JP4418300B2 (ja) * | 2004-05-25 | 2010-02-17 | 株式会社日立製作所 | 記録媒体作製方法とこれを用いた記録媒体及び情報記録再生装置 |
JP2006079805A (ja) * | 2004-08-11 | 2006-03-23 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体及びその製造方法と磁気記録再生装置 |
JP4008933B2 (ja) * | 2005-05-16 | 2007-11-14 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体およびその製造方法ならびに磁気記録装置 |
JP2007087463A (ja) * | 2005-09-20 | 2007-04-05 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体、その製造方法、及び磁気記録再生装置 |
JP2007087442A (ja) * | 2005-09-20 | 2007-04-05 | Fujifilm Corp | 磁気記録媒体 |
JP4742073B2 (ja) * | 2007-06-20 | 2011-08-10 | 富士フイルム株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法 |
KR101367906B1 (ko) * | 2007-07-24 | 2014-03-12 | 시게이트 테크놀로지 엘엘씨 | 패턴 자기 기록 매체의 제조방법 |
-
2007
- 2007-07-06 JP JP2007179069A patent/JP5037243B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-07-03 US US12/167,648 patent/US20090011367A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090011367A1 (en) | 2009-01-08 |
JP2009016000A (ja) | 2009-01-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5037243B2 (ja) | 界面結合剤、該界面結合剤を含有するレジスト組成物、及び該界面結合剤からなる層を有する磁気記録媒体形成用積層体、並びに該界面結合剤を用いた磁気記録媒体の製造方法、及び該製造方法により製造された磁気記録媒体 | |
JP5196933B2 (ja) | 光ナノインプリントリソグラフィ用硬化性組成物およびそれを用いたパターン形成方法 | |
JP5117002B2 (ja) | 光硬化性組成物およびそれを用いたパターン形成方法 | |
JP5243887B2 (ja) | ナノインプリント用硬化性組成物およびパターン形成方法 | |
EP2342243B1 (en) | Composition for imprints, pattern and patterning method | |
JP5671302B2 (ja) | インプリント用硬化性組成物、パターン形成方法およびパターン | |
KR101463849B1 (ko) | 광 나노임프린트 리소그래피용 경화성 조성물 및 그것을사용한 패턴 형성 방법 | |
JP2009051017A (ja) | 光ナノインプリントリソグラフィ用光硬化性組成物、及びパターン付き基板の製造方法 | |
JP2008202022A (ja) | 光ナノインプリントリソグラフィ用硬化性組成物およびそれを用いたパターン形成方法 | |
JP2009215179A (ja) | (メタ)アクリレート化合物、これを用いた硬化性組成物、光ナノインプリント用組成物、並びにこれらの硬化性組成物の硬化物およびその製造方法 | |
JP2009206197A (ja) | ナノインプリント用硬化性組成物、硬化物およびその製造方法 | |
JP2008084984A (ja) | 光ナノインプリントリソグラフィ用光硬化性組成物およびそれを用いたパターン形成方法 | |
JP2010034513A (ja) | インプリント用硬化性組成物、これを用いた硬化物およびその製造方法、並びに、液晶表示装置用部材 | |
JP2010000612A (ja) | ナノインプリント用硬化性組成物、パターン形成方法 | |
JP2010013514A (ja) | ナノインプリント用硬化性組成物、これを用いた硬化物、並びに、液晶表示装置用部材 | |
JP2010016149A (ja) | ナノインプリント用硬化性組成物、硬化物およびその製造方法、ならびに液晶表示装置用部材 | |
JP2010067621A (ja) | ナノインプリント用硬化性組成物、硬化物およびその製造方法 | |
JP2009203287A (ja) | ナノインプリント用硬化性組成物、これを用いた硬化物およびその製造方法、並びに、液晶表示装置用部材 | |
JP2009073958A (ja) | ナノインプリントリソグラフィ用硬化性組成物、それを用いた硬化物作成方法、および、硬化物 | |
JP5065209B2 (ja) | ナノインプリント用硬化性組成物、硬化物およびその製造方法 | |
WO2009110536A1 (ja) | ナノインプリント用硬化性組成物、これを用いた硬化物およびその製造方法、並びに、液晶表示装置用部材 | |
JP2010093065A (ja) | 光ナノインプリント用硬化性組成物、これを用いた硬化物およびその製造方法、ならびに液晶表示装置用部材 | |
JP5268384B2 (ja) | ナノインプリント用硬化性組成物およびパターン形成方法 | |
JP2010118434A (ja) | 光ナノインプリント用硬化性組成物、硬化物およびその製造方法 | |
WO2012137672A1 (ja) | パターン形成方法およびパターン |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100217 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110620 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110719 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120612 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120704 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150713 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |