JP5024812B2 - 誘電体構造及びその製造方法 - Google Patents
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Description
このような小型デバイスへの応用に際しては、誘電体への印加電圧を低くし、基板等への集積及び実装を容易にするために、バルク単結晶やセラミックスではなく、基板上に成膜した膜構造体として用いることが望ましい。特に、強誘電体構造体は、電気機械結合定数が高く、また入出力特性の線形性により、消費電力が小さく、熱的な影響が小さいため小型化に適した駆動・検知方式が実現可能であり、これらの材料をMEMS等の小型デバイスの構成要素として適用する利点は多い。
この製造方法では、誘電体膜(Pt/Ti/PZT/Pt/Ti)を基板(SiO2/Si)全面に塗布した後に、リソグラフィーによるリフトオフプロセスにより微細構造やパターニングを形成している。この製造方法は、後工程であるエッチングにより、基板及び膜の双方ともに除去する箇所が多く存在するため原材料の無駄な使用が多く、また、ドライエッチングやウェットエッチングに際しては、温室効果ガスや有毒物質を使用するために、半導体プロセスを多用した既存の製造技術手法の改良が望まれている。このような状況を踏まえて以下の技術が提案されている。
また、特許文献2は、層間絶縁層及び導電体層を積層させた基板上に、エアロゾル化した誘電体を堆積させることによって、キャパシタを形成する技術が記載されている。
また、特許文献3には、導電性ペーストを付着した可とう性金属基板上に、厚膜誘電体ペーストを塗布・焼成した後に、有機基板上へ付着することで転写させる技術が記載されている。
また、非特許文献1には、スクリーン印刷によりサファイア基板上に形成したPZT厚膜を裏面よりエキシマレーザ照射することにより、シリコン上へ移植する技術が示されている。
また、特許文献2で得られる回路基板においては、成膜を安定して持続させるための技術開発が必要であり、また、微粒子汚染問題の対処が付加的に必要になる。さらに微粒子のアンカーリングによる基板の損傷に関しても課題が残っており、また、この回路基板を得る手法では、焼成した微粒子を用いるために、形成される誘電体膜はランダム配向膜となり、最高レベルの誘電体性能を実現することは難しい。
また、特許文献3の方法で得られる誘電体の比誘電率も50程度であり、高い誘電率の膜を作製することは実現されていない。また、特許文献1の手法と同様に寸法制御と表面凹凸の発生に関して課題が残っている。さらに、この手法による転写方法は、誘電体ペーストを用いる方法であり、薄膜技術を用いる方法による作製されたものより1桁以下小さな比誘電率のものしか実現することができない。
また、非特許文献1の方法では、焼成時に1200℃程度の高温プロセスが必要であり、また特殊なレーザ装置や技術が必要であることから、より簡素な技術開発が必要とされる。
第1の手段は、非耐熱性基板上に形成された第1の電極上に、耐熱性基板上の絶縁膜上に第2の電極及び誘電体の順に形成された構造体の前記誘電体を圧着後、前記絶縁膜と前記第2の電極間を剥離して形成されたことを特徴とする誘電体構造体である。
第2の手段は、耐熱性基板上に形成された絶縁膜上に、第2の電極用金属及び誘電体膜の順に形成する工程と、前記第2の電極用金属及び誘電体膜をパターニングして前記絶縁膜上に第2の電極及び誘電体を形成する工程と、非耐熱性基板上に形成された第1の電極用金属をパターニングして第1の電極を形成する工程と、前記非耐熱性基板上に形成された第1の電極上に前記耐熱性基板上に形成された誘電体を圧着する工程と、前記耐熱性基板上に形成された前記酸化膜と前記第2の電極間を剥離して、非耐熱性基板上に第1の電極、誘電体、及び第2の電極の順に形成された誘電体構造体を取得する工程とからなることを特徴とする誘電体構造体の製造方法である。
第3の手段は、耐熱性基体上に該耐熱性基体を超える領域に形成された絶縁膜上の第1の電極上に、誘電体及び第2の電極の順に形成された構造体の前記誘電体を圧着して形成されたことを特徴とする誘電体構造体である。
第4の手段は、耐熱性基板上に形成された絶縁膜上に第1の電極用金属を形成し、該第1の電極用金属をパターニングすることによって第1の電極を形成する工程と、事前に第2の電極上に形成された誘電体を取得する工程と、前記耐熱性基板上に形成された第1の電極上に前記第2の電極上に形成された誘電体を圧着する工程と、前記耐熱性基板の所定の領域及び前記第1の電極に相応する前記耐熱性基板上の酸化膜を除いて、前記耐熱性基板及び前記耐熱性基板上下の酸化膜をエッチングにより除去することによって、耐熱性基体上に該耐熱性基体を超える領域に絶縁膜、第1の電極、誘電体、及び第2の電極の順に形成された誘電体構造体を取得する工程とからなることを特徴とする誘電体構造体の製造方法である。
さらに、本発明は、今後の受動素子内蔵型回路基板に必要とされる高い容量密度のキャパシタを含む多層回路基板及び誘電体を用いるMEMSデバイスに特に有効である。
図1は、本実施形態の発明に係る誘電体構造体の構成を示す図である。
同図において、1はポリイミド樹脂等からなる非耐熱性基板、2は銀ペーストからなる下部電極(第1の電極)、3は配向性PZT膜からなる誘電体、4は白金からなる上部電極(第2の電極)、5は貫通穴に充填された金属ペーストあるいは半田である。
なお、誘電体1としては、鉛含有誘電体または非鉛含有誘電体が使用される。さらに、鉛含有誘電体または非鉛含有誘電体は、多結晶体または単結晶体であって、単独もしくは複数の化合物から成る母材材料が単独で使用されているもの、または前記母材材料に微量添加物を1種もしくは2種以上加えたものである。
図2は、上記誘電体構造体の製造工程を示す図である。
同図において、6は膜厚が400μmからなる(100)面のシリコン基板からなる耐熱性基板、7は酸化シリコンからなる絶縁膜、8は白金からなる上部電極用金属、9は配向性PZT膜からなる誘電体膜である。なお、その他の構成は図1に示した同符号の構成に対応する。
図4は、本実施形態の発明に係る誘電体構造体(カンチレバー)の構成を示す図である。
同図において、10はシリコンからなる耐熱性基体、11は酸化シリコンからなる絶縁膜、12は白金からなる下部電極(第1の電極)、13は配向性PZT膜からなる誘電体、14は白金からなる上部電極(第2の電極)である。
なお、誘電体13としては、鉛含有誘電体または非鉛含有誘電体が使用され、鉛含有誘電体または非鉛含有誘電体は、多結晶体または単結晶体であって、単独もしくは複数の化合物から成る母材材料が単独で使用されているもの、または前記母材材料に微量添加物を1種もしくは2種以上加えたものである。なお、上記鉛含有誘電体、上記非鉛含有誘電体、及び上記微量添加物には、第1の実施形態において具体的に開示したものと同様のものが用いられる。
図5は上記誘電体構造体(カンチレバー)の製造工程を示す図である。
同図において、15は膜厚が400μmからなる(100)面のシリコンからなる耐熱性基板、16,17は酸化シリコンからなる絶縁膜である。なお、その他の構成は図4に示した同符号の構成に対応する。
2 下部電極(第1の電極)
3 誘電体
4 上部電極(第2の電極)
5 貫通穴に充填された金属ペーストあるいは半田
6 耐熱性基板
7 絶縁膜
8 上部電極用金属
9 誘電体膜
10 耐熱性基体
11 絶縁膜
12 下部電極(第1の電極)
13 誘電体
14 上部電極(第2の電極)
15 耐熱性基板
16 絶縁膜
17 絶縁膜
Claims (4)
- 非耐熱性基板上に形成された第1の電極上に、耐熱性基板上の絶縁膜上に第2の電極及び誘電体の順に形成された構造体の前記誘電体を圧着後、前記絶縁膜と前記第2の電極間を剥離して形成されたことを特徴とする誘電体構造体。
- 耐熱性基板上に形成された絶縁膜上に、第2の電極用金属及び誘電体膜の順に形成する工程と、前記第2の電極用金属及び誘電体膜をパターニングして前記絶縁膜上に第2の電極及び誘電体を形成する工程と、非耐熱性基板上に形成された第1の電極用金属をパターニングして第1の電極を形成する工程と、前記非耐熱性基板上に形成された第1の電極上に前記耐熱性基板上に形成された誘電体を圧着する工程と、前記耐熱性基板上に形成された前記酸化膜と前記第2の電極間を剥離して、非耐熱性基板上に第1の電極、誘電体、及び第2の電極の順に形成された誘電体構造体を取得する工程とからなることを特徴とする誘電体構造体の製造方法。
- 耐熱性基体上に該耐熱性基体を超える領域に形成された絶縁膜上の第1の電極上に、誘電体及び第2の電極の順に形成された構造体の前記誘電体を圧着して形成されたことを特徴とする誘電体構造体。
- 耐熱性基板上に形成された絶縁膜上に第1の電極用金属を形成し、該第1の電極用金属をパターニングすることによって第1の電極を形成する工程と、事前に第2の電極上に形成された誘電体を取得する工程と、前記耐熱性基板上に形成された第1の電極上に前記第2の電極上に形成された誘電体を圧着する工程と、前記耐熱性基板の所定の領域及び前記第1の電極に相応する前記耐熱性基板上の酸化膜を除いて、前記耐熱性基板及び前記耐熱性基板上下の酸化膜をエッチングにより除去することによって、耐熱性基体上に該耐熱性基体を超える領域に絶縁膜、第1の電極、誘電体、及び第2の電極の順に形成された誘電体構造体を取得する工程とからなることを特徴とする誘電体構造体の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006169506A JP5024812B2 (ja) | 2006-06-20 | 2006-06-20 | 誘電体構造及びその製造方法 |
PCT/JP2007/056219 WO2007148459A1 (ja) | 2006-06-20 | 2007-03-26 | 誘電体構造及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006169506A JP5024812B2 (ja) | 2006-06-20 | 2006-06-20 | 誘電体構造及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008004572A JP2008004572A (ja) | 2008-01-10 |
JP5024812B2 true JP5024812B2 (ja) | 2012-09-12 |
Family
ID=38833203
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006169506A Expired - Fee Related JP5024812B2 (ja) | 2006-06-20 | 2006-06-20 | 誘電体構造及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5024812B2 (ja) |
WO (1) | WO2007148459A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5152842B2 (ja) * | 2007-12-17 | 2013-02-27 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 誘電体構造体の製造方法、圧着転写方法、及び保持構造 |
JP5499397B2 (ja) * | 2009-04-13 | 2014-05-21 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 誘電体構造体の製造方法 |
JP6087046B2 (ja) | 2011-03-01 | 2017-03-01 | 太陽誘電株式会社 | 薄膜素子の転写方法及び回路基板の製造方法 |
US9773969B2 (en) | 2015-05-28 | 2017-09-26 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Electrostrictive element manufacturing method |
CN110976186B (zh) * | 2019-12-13 | 2022-08-05 | 新昌中国计量大学企业创新研究院有限公司 | 一种电极涂覆装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1154809A (ja) * | 1997-07-30 | 1999-02-26 | Osaka Prefecture | 圧電装置用積層体、圧電装置用積層体の製造方法、および圧電装置の製造方法 |
JP2003309301A (ja) * | 2002-04-18 | 2003-10-31 | Canon Inc | デバイス製造方法 |
JP2005295250A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Toshiba Corp | 薄膜圧電共振器及びその製造方法 |
-
2006
- 2006-06-20 JP JP2006169506A patent/JP5024812B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-03-26 WO PCT/JP2007/056219 patent/WO2007148459A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2007148459A1 (ja) | 2007-12-27 |
JP2008004572A (ja) | 2008-01-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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