JP5011818B2 - 半導体記憶装置及びその試験方法 - Google Patents
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Description
図10は、CRをセットする従来のシーケンスの例を示す図である。
例えば、32個のパッドDQ0〜DQ31のうち、パッドDQ0、DQ8、DQ5、DQ13を試験回路のテスタピンに割り当てる場合、他のデータパッドの試験データは、パッドDQ0、DQ8、DQ5、DQ13に入力される試験データをもとに、データパッド圧縮を行う際に入力されるコード(以下サブコードという。)に応じて決定される。例えば、パッドDQ0のデータを基に、アドレスの一部の情報であるサブコードa08、a09、a10を用いることで、図11のように、8つのパッドDQ0、DQ2、DQ4、DQ6、DQ16、DQ18、DQ20、DQ22を1つのパッドDQ0に圧縮することができる。サブコードは、テスタピンに割り当てるパッドDQ0、DQ5、DQ8、DQ13に入力される試験データを反転するか、そのまま用いるかを指定するコードであり、例えば、サブコードa08の値が1の場合には、パッドDQ2、DQ18のデータとして、パッドDQ0の値を反転した値が、半導体記憶装置の内部で用いられる。
図12は、データパッド圧縮回路の一部を示す図である。
なお、DRAMのテストに関し、周波数の低いテストクロックを供給する安価な試験回路を用いても、実際の動作周波数における動作テストを実行可能な半導体集積回路装置が、例えば、特許文献1に開示されている。
テストモードにエントリする際には、例えば、アウトプットイネーブル信号/OE、ライトイネーブル信号/WEをともにL(ロウ)レベルとし、1バイトごとに書き込みを制御するためのバイトマスク信号/B0、/B1、…、/BnをH(ハイ)レベルとして、イリーガルコマンドとなる試験開始信号を生成する。このとき、仕様によっては全ビットマスクのWR状態となる。データパッド圧縮を用いる場合、テストモードエントリ時に、データパッド圧縮のエントリコードと、CR−Key0のデータを指定するためのサブコードを含むアドレスを入力する。図13(A)では、図10と同様にシーケンス4まではCRセットのシーケンスを進行できるが、サブコードを可変しない場合、シーケンス5、6に入力すべきCR−Key1、2がCR−Key0と同一になってしまう場合があり、任意に変更設定することができない。
図1は、第1の実施の形態の半導体記憶装置の構成を示す図である。
第1の実施の形態の半導体記憶装置100aは、例えば、DRAMコア101を有した擬似SRAMであり、図示しないメモリセルアレイの行を選択するためのXコントローラ102、列を選択するYコントローラ103を有している。なお、Yコントローラ103は、リードアンプやライトアンプなどを有しているが図示を省略している。
コマンド生成部104aは、チップイネーブル信号/CE、ライトイネーブル信号/WE、クロック信号CLKなどの外部からの制御信号に応じて、書き込み命令WR、読み出し命令RD、試験開始命令などを生成する。
アドレス保持回路107は、アドレスコントローラ106の制御のもとアドレス入力端子A00〜A22から入力されたアドレスを保持し、Xコントローラ102、Yコントローラ103などに出力する。
データパッド圧縮テストモード制御回路108は、試験開始命令を受け、アドレス保持回路107からアドレスの一部で表されるエントリコードとサブコードを入力すると、圧縮開始信号とサブコードをデータパッド圧縮回路109に送出する。
CR−Key0は、特にデータパッド圧縮後のパッドDQ0で設定されるデータであり、CRセットまたはCRベリファイのいずれかの動作モードを指定する。データが“0”の場合は、CRベリファイ、“1”の場合は、CRセットを示す。
CR制御回路113は、アドレス保持回路107から出力される仕様で決められたレジスタアクセス用の特定のアドレスに対して、書き込み命令WR、読み出し命令RDを後述の所定の順序で検出した場合、CRアクセスモードへのエントリ要求コマンドであると判別し、CR112−1〜112−3へのCR−Key0〜2の時分割での書き込みや、CRベリファイの際のCR112−1〜112−3からのCR−Key0〜2の出力を制御する。CRアクセスモードにエントリした際には、メモリコアコントローラ105によるDRAMコア101へのアクセスを停止させ、バスコントローラ114に対してデータバス111上のデータをCR112−1〜112−3に書き込むように制御させる。CRアクセスモードではない場合、バスコントローラ114は、データバス111とYコントローラ103を接続する。
図3は、第1の実施の形態の半導体記憶装置の試験時の動作を示す図である。
前述した第1の実施の形態の半導体記憶装置100aでは、例えば、クロック信号を停止するなどして、テストモードエントリの際に書き込みや読み出し動作が発生しない試験開始信号を生成した。ところで、クロック信号などの制御信号の変更は試験工程全般に影響するため、上記のような半導体記憶装置100a以外のチップも同時に試験するような場合には、試験回路のプログラムを変更するなど試験工程数の増加につながる場合がある。以下に示す第2の実施の形態の半導体記憶装置では、従来と同様の試験開始信号を用いてデータパッド圧縮と、CRセットの両立を実現するものである。
図1で示した第1の実施の形態の半導体記憶装置100aと同一の構成要素については、同一符号とし説明を省略する。
まず、CR112−1のCR−Key0を更新する際には、コマンド生成部104bは、テストモードエントリの際に試験開始命令を生成して送出する。このとき、データパッド圧縮テストモード制御回路108は、データパッド圧縮のエントリコードと、1つめのCR112−1に設定するCR−Key0を指定するためのサブコードが示されるアドレスをアドレス保持回路107から入力し、圧縮開始信号及びサブコードをデータパッド圧縮回路109に送出する。これにより、データパッド圧縮回路109は、サブコードに応じたデータパッドの圧縮を行い、更新用のCR−Key0を生成する。
図6は、第3の実施の形態の半導体記憶装置の構成を示す図である。
図1で示した第1の実施の形態の半導体記憶装置100aと同一の構成要素については、同一符号とし説明を省略する。
図7は、第3の実施の形態の半導体記憶装置の試験時の動作を示す図である。
図8は、第4の実施の形態の半導体記憶装置の構成を示す図である。
図1で示した第1の実施の形態の半導体記憶装置100aと同一の構成要素については、同一符号とし説明を省略する。
第4の実施の形態の半導体記憶装置100dでは、シーケンス1〜6からなるCRセットシーケンスを開始する前に、テストモードにエントリすると、CR−Key設定部123は、更新用のCR−Key0〜2を入力して記憶する。そして、シーケンス1〜6のCRセットシーケンスにおいて、CR−Key0の更新(シーケンス4)の際には、CR−Key設定部123は更新用のCR−Key0を読み出し、データバス111を介してCR112−1に書き込む。同様に、CR−Key1の更新(シーケンス5)の際には、CR−Key設定部123は更新用のCR−Key1を読み出して、CR112−2に書き込む。そして更に、CR−Key2の更新(シーケンス6)の際には、CR−Key設定部123は更新用のCR−Key2を読み出して、CR112−3に書き込む。以上のような処理を行うことで、全てのCR−Key0〜2を更新することができる。
前記半導体記憶装置の動作モード情報を保持する複数のレジスタと、
レジスタアクセス用のアドレスに対する書き込み命令または読み出し命令を所定の順序で検出すると、前記レジスタごとに時分割で前記動作モード情報を更新させるレジスタ制御回路と、
外部からの制御信号に応じて、前記書き込み命令、前記読み出し命令または、書き込み及び読み出し動作が発生しない試験開始命令を生成するとともに、前記レジスタが更新されるたびに、前記試験開始命令を再生成するコマンド生成部と、
前記試験開始命令が送出される際に入力されるアドレスの一部で表されるコードに応じて、一部のデータパッドに入力される試験データを反転またはそのまま出力して複数の他のデータパッドのデータとすることで、前記レジスタに書き込む前記動作モード情報を変更するデータパッド圧縮回路と、
を有することを特徴とする半導体記憶装置。
(付記3) 前記動作モード情報は、前記半導体記憶装置のパーシャルサイズ、バースト長またはリードレイテンシであることを特徴とする付記1記載の半導体記憶装置。
前記半導体記憶装置の動作モード情報を保持する複数のレジスタと、
外部からの制御信号に応じて、試験開始命令を生成するコマンド生成部と、
前記試験開始命令が送出される際に入力されるアドレスの一部で表されるコードに応じて、一部のデータパッドに入力される試験データを反転またはそのまま出力して複数の他のデータパッドのデータとすることで、前記レジスタに書き込む前記動作モード情報を生成するデータパッド圧縮回路と、
前記動作モード情報の更新の際に、未更新の前記レジスタの前記動作モード情報の更新のみを許可し、未更新でない前記レジスタの前記動作モード情報の更新をスキップさせるマスク信号を生成するマスク制御回路と、
レジスタアクセス用のアドレスに対する書き込み命令または読み出し命令を所定の順序で検出すると、前記マスク信号により指定された前記レジスタの前記動作モード情報の更新をスキップし、許可された前記レジスタに対して、前記コードによって生成された前記動作モード情報を書き込む更新処理を行うレジスタ制御回路と、を有し、
前記コマンド生成部は前記更新処理の終了後、未更新の前記レジスタの前記動作モード情報がある場合には、再度前記試験開始命令を生成し、前記データパッド圧縮回路は他のコードを入力して前記動作モード情報を変更し、前記レジスタ制御回路は変更された前記動作モード情報を用いて前記更新処理を行うことを特徴とする半導体記憶装置。
(付記6) 動作モードを外部から設定可能な半導体記憶装置において、
前記半導体記憶装置の動作モード情報を保持する複数のレジスタと、
動作モード情報変更用のコードを、前記レジスタの個数分入力して記憶するコード設定部と、
レジスタアクセス用のアドレスに対する書き込み命令または読み出し命令を所定の順序で検出すると、前記レジスタごとに時分割で前記動作モード情報の更新処理を行うレジスタ制御回路と、
前記レジスタの更新時に、対応する前記コードを入力し、前記コードに応じて一部のデータパッドに入力される試験データを反転またはそのまま出力して複数の他のデータパッドのデータとすることで、前記レジスタに設定する前記動作モード情報を生成するデータパッド圧縮回路と、
を有することを特徴とする半導体記憶装置。
(付記8) 動作モードを外部から設定可能な半導体記憶装置において、
前記半導体記憶装置の動作モード情報を保持する複数のレジスタと、
更新用の前記動作モード情報を、予め前記レジスタの個数分入力して記憶する動作モード情報設定部と、
レジスタアクセス用のアドレスに対する書き込み命令または読み出し命令を所定の順序で検出すると、前記レジスタごとに時分割で前記動作モード情報を更新するための更新処理を開始し、対応する更新用の前記動作モード情報を読み出し、前記レジスタに書き込むレジスタ制御回路と、
を有することを特徴とする半導体記憶装置。
(付記10) 動作モードを外部から設定可能な半導体記憶装置の試験方法において、
前記半導体記憶装置の外部からの制御信号に応じて、書き込み及び読み出し動作が発生しない試験開始命令を生成し、
前記試験開始命令が送出される際に入力されるアドレスの一部で表されるコードに応じて、一部のデータパッドに入力される試験データを反転またはそのまま出力して複数の他のデータパッドのデータとすることで動作モード情報を生成し、
レジスタアクセス用のアドレスに対する書き込み命令または読み出し命令を所定の順序で検出すると、複数のレジスタに対し前記レジスタごとに時分割で、前記コードによって生成された前記動作モード情報を書き込み、
前記レジスタの前記動作モード情報が更新されるたびに、前記試験開始命令を再生成するとともに、他のコードを入力して次に更新する前記レジスタの前記動作モード情報を生成することを特徴とする半導体記憶装置の試験方法。
(付記12) 前記動作モード情報は、前記半導体記憶装置のパーシャルサイズ、バースト長またはリードレイテンシであることを特徴とする付記10記載の半導体記憶装置の試験方法。
前記半導体記憶装置の外部からの制御信号に応じて試験開始命令を生成し、
前記試験開始命令が送出される際に入力されるアドレスの一部で表されるコードに応じて、一部のデータパッドに入力される試験データを反転またはそのまま出力して複数の他のデータパッドのデータとすることで動作モード情報を生成し、
複数のレジスタに保持される前記動作モード情報の更新処理の際に、未更新の前記レジスタの前記動作モード情報の更新のみを許可し、未更新でない前記レジスタの前記動作モード情報の更新をスキップさせるマスク信号を生成し、
レジスタアクセス用のアドレスに対する書き込み命令または読み出し命令を所定の順序で検出すると、前記マスク信号により指定された前記レジスタの前記動作モード情報の更新をスキップし、許可された前記レジスタに対して、前記コードによって生成された前記動作モード情報を書き込む更新処理を行い、
前記更新処理の終了後、未更新の前記レジスタの前記動作モード情報がある場合には、再度前記試験開始命令を生成するとともに、他のコードを入力して前記動作モード情報を変更し、変更された前記動作モード情報を用いて前記更新処理を行うことを特徴とする半導体記憶装置の試験方法。
動作モード情報変更用のコードを、動作モード情報を保持する複数のレジスタの個数分入力して記憶し、
レジスタアクセス用のアドレスに対する書き込み命令または読み出し命令を所定の順序で検出すると、複数の前記レジスタに対し前記レジスタごとに時分割で、前記動作モード情報を更新するための更新処理を開始し、
前記レジスタの更新時に、対応する前記コードを読み出し、前記コードに応じて、一部のデータパッドに入力される試験データを反転またはそのまま出力して複数の他のデータパッドのデータとすることで前記動作モード情報を生成し、
生成した前記動作モード情報を前記レジスタに書き込むことを特徴とする半導体記憶装置の試験方法。
更新用の動作モード情報を、予め動作モード情報を保持する複数のレジスタの個数分入力して記憶し、
レジスタアクセス用のアドレスに対する書き込み命令または読み出し命令を所定の順序で検出すると、複数の前記レジスタに対し前記レジスタごとに時分割で、前記動作モード情報を更新するための更新処理を開始し、
前記レジスタの更新時に、対応する前記更新用の動作モード情報を読み出し、前記レジスタに書き込むことを特徴とする半導体記憶装置の試験方法。
101 DRAMコア
102 Xコントローラ
103 Yコントローラ
104a コマンド生成部
105 メモリコアコントローラ
106 アドレスコントローラ
107 アドレス保持回路
108 データパッド圧縮テストモード制御回路
109 データパッド圧縮回路
110 I/Oバッファ
111 データバス
112−1、112−2、112−3 CR(Configuration Resister)
113 CR制御回路
114 バスコントローラ
Claims (10)
- 動作モードを外部から設定可能な半導体記憶装置において、
前記半導体記憶装置の動作モード情報を保持する複数のレジスタと、
レジスタアクセス用のアドレスに対する書き込み命令または読み出し命令を所定の順序で検出すると、前記レジスタごとに時分割で前記動作モード情報を更新させるレジスタ制御回路と、
外部からの制御信号に応じて、前記書き込み命令、前記読み出し命令または、書き込み及び読み出し動作が発生しない試験開始命令を生成するとともに、前記レジスタが更新されるたびに、前記試験開始命令を再生成するコマンド生成部と、
前記試験開始命令が送出される際に入力されるアドレスの一部で表されるコードに応じて、一部のデータパッドに入力される試験データを反転またはそのまま出力して複数の他のデータパッドのデータとすることで、前記レジスタに書き込む前記動作モード情報を変更するデータパッド圧縮回路と、
を有することを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記試験開始命令を生成する際、前記コマンド生成部に入力されるクロック信号は停止されていることを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。
- 前記動作モード情報は、前記半導体記憶装置のパーシャルサイズ、バースト長またはリードレイテンシであることを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。
- 動作モードを外部から設定可能な半導体記憶装置において、
前記半導体記憶装置の動作モード情報を保持する複数のレジスタと、
外部からの制御信号に応じて、試験開始命令を生成するコマンド生成部と、
前記試験開始命令が送出される際に入力されるアドレスの一部で表されるコードに応じて、一部のデータパッドに入力される試験データを反転またはそのまま出力して複数の他のデータパッドのデータとすることで、前記レジスタに書き込む前記動作モード情報を生成するデータパッド圧縮回路と、
前記動作モード情報の更新の際に、未更新の前記レジスタの前記動作モード情報の更新のみを許可し、未更新でない前記レジスタの前記動作モード情報の更新をスキップさせるマスク信号を生成するマスク制御回路と、
レジスタアクセス用のアドレスに対する書き込み命令または読み出し命令を所定の順序で検出すると、前記マスク信号により指定された前記レジスタの前記動作モード情報の更新をスキップし、許可された前記レジスタに対して、前記コードによって生成された前記動作モード情報を書き込む更新処理を行うレジスタ制御回路と、を有し、
前記コマンド生成部は前記更新処理の終了後、未更新の前記レジスタの前記動作モード情報がある場合には、再度前記試験開始命令を生成し、前記データパッド圧縮回路は他のコードを入力して前記動作モード情報を変更し、前記レジスタ制御回路は変更された前記動作モード情報を用いて前記更新処理を行うことを特徴とする半導体記憶装置。 - 動作モードを外部から設定可能な半導体記憶装置において、
前記半導体記憶装置の動作モード情報を保持する複数のレジスタと、
動作モード情報変更用のコードを、前記レジスタの個数分入力して記憶するコード設定部と、
レジスタアクセス用のアドレスに対する書き込み命令または読み出し命令を所定の順序で検出すると、前記レジスタごとに時分割で前記動作モード情報の更新処理を行うレジスタ制御回路と、
前記レジスタの更新時に、対応する前記コードを入力し、前記コードに応じて一部のデータパッドに入力される試験データを反転またはそのまま出力して複数の他のデータパッドのデータとすることで、前記レジスタに設定する前記動作モード情報を生成するデータパッド圧縮回路と、
を有することを特徴とする半導体記憶装置。 - 動作モードを外部から設定可能な半導体記憶装置において、
前記半導体記憶装置の動作モード情報を保持する複数のレジスタと、
更新用の前記動作モード情報を、予め前記レジスタの個数分入力して記憶する動作モード情報設定部と、
レジスタアクセス用のアドレスに対する書き込み命令または読み出し命令を所定の順序で検出すると、前記レジスタごとに時分割で前記動作モード情報を更新するための更新処理を開始し、対応する更新用の前記動作モード情報を読み出し、データバスを介して前記レジスタに書き込むレジスタ制御回路と、
前記動作モード情報が前記データバスに読み出されている間、外部からのデータの前記データバスへの伝達を遮断するスイッチ回路と、
を有することを特徴とする半導体記憶装置。 - 動作モードを外部から設定可能な半導体記憶装置の試験方法において、
前記半導体記憶装置の外部からの制御信号に応じて、書き込み及び読み出し動作が発生しない試験開始命令を生成し、
前記試験開始命令が送出される際に入力されるアドレスの一部で表されるコードに応じて、一部のデータパッドに入力される試験データを反転またはそのまま出力して複数の他のデータパッドのデータとすることで動作モード情報を生成し、
レジスタアクセス用のアドレスに対する書き込み命令または読み出し命令を所定の順序で検出すると、複数のレジスタに対し前記レジスタごとに時分割で、前記コードによって生成された前記動作モード情報を書き込み、
前記レジスタの前記動作モード情報が更新されるたびに、前記試験開始命令を再生成するとともに、他のコードを入力して次に更新する前記レジスタの前記動作モード情報を生成することを特徴とする半導体記憶装置の試験方法。 - 動作モードを外部から設定可能な半導体記憶装置の試験方法において、
前記半導体記憶装置の外部からの制御信号に応じて試験開始命令を生成し、
前記試験開始命令が送出される際に入力されるアドレスの一部で表されるコードに応じて、一部のデータパッドに入力される試験データを反転またはそのまま出力して複数の他のデータパッドのデータとすることで動作モード情報を生成し、
複数のレジスタに保持される前記動作モード情報の更新処理の際に、未更新の前記レジスタの前記動作モード情報の更新のみを許可し、未更新でない前記レジスタの前記動作モード情報の更新をスキップさせるマスク信号を生成し、
レジスタアクセス用のアドレスに対する書き込み命令または読み出し命令を所定の順序で検出すると、前記マスク信号により指定された前記レジスタの前記動作モード情報の更新をスキップし、許可された前記レジスタに対して、前記コードによって生成された前記動作モード情報を書き込む更新処理を行い、
前記更新処理の終了後、未更新の前記レジスタの前記動作モード情報がある場合には、再度前記試験開始命令を生成するとともに、他のコードを入力して前記動作モード情報を変更し、変更された前記動作モード情報を用いて前記更新処理を行うことを特徴とする半導体記憶装置の試験方法。 - 動作モードを外部から設定可能な半導体記憶装置の試験方法において、
動作モード情報変更用のコードを、動作モード情報を保持する複数のレジスタの個数分入力して記憶し、
レジスタアクセス用のアドレスに対する書き込み命令または読み出し命令を所定の順序で検出すると、複数の前記レジスタに対し前記レジスタごとに時分割で、前記動作モード情報を更新するための更新処理を開始し、
前記レジスタの更新時に、対応する前記コードを読み出し、前記コードに応じて、一部のデータパッドに入力される試験データを反転またはそのまま出力して複数の他のデータパッドのデータとすることで前記動作モード情報を生成し、
生成した前記動作モード情報を前記レジスタに書き込むことを特徴とする半導体記憶装置の試験方法。 - 動作モードを外部から設定可能な半導体記憶装置の試験方法において、
更新用の動作モード情報を、予め動作モード情報を保持する複数のレジスタの個数分入力して記憶し、
レジスタアクセス用のアドレスに対する書き込み命令または読み出し命令を所定の順序で検出すると、複数の前記レジスタに対し前記レジスタごとに時分割で、前記動作モード情報を更新するための更新処理を開始し、
前記レジスタの更新時に、対応する前記更新用の動作モード情報を読み出し、データバスを介して前記レジスタに書き込み、
前記動作モード情報が前記データバスに読み出されている間、外部からのデータの前記データバスへの伝達を遮断することを特徴とする半導体記憶装置の試験方法。
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