JP4985625B2 - 炭化珪素単結晶の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、この発明を実施するための実施の形態1における炭化珪素単結晶の製造方法の一工程の主要部を示す断面図である。図1において、グラファイト製の支持部材10に設けられた台座11にカーボン接着剤20によって炭化珪素の種結晶50が貼り付けられている。貼り付けられた種結晶50の一つの面には炭化膜層51が設けられている。ここで、グラファイト製の支持部材10は炭化珪素製の種結晶50への熱歪みによる応力を緩和するため、炭化珪素製の種結晶50と熱膨張係数が近い材料で構成されている。
図2は、図1に示した単結晶の製造方法の一工程の主要部を上部から透視した平面図である。図2に示すように、支持部材10および台座11、種結晶50は上から見たとき同心円の円形の形状をしている。
はじめに、成長面が(000−1)カーボン面である4H型の炭化珪素の種結晶50を、アルゴン等の不活性ガス雰囲気もしくは真空中で1700〜2400℃の高温アニールを行なうことにより、種結晶50の表層に厚さ30μm程度の炭化膜層を形成する。
次に、片面のみ処理できる酸素プラズマ処理や研磨処理などによって成長面の(000−1)カーボン面側の炭化膜層を除去し、図3に示すように、炭化珪素の成長面である種結晶50の(000−1)カーボン面55と反対側の面である(0001)シリコン面56の表層にのみ、厚さ30μm程度の炭化膜層51を残す。
このようにして種結晶50を貼り付けた支持部材10を、図4に示すように、原料70を入れた坩堝60に載せ、坩堝60ごと図示しない誘導コイルなどの加熱手段により1800〜2400℃の高温に加熱して、種結晶50から炭化珪素単結晶52を成長させる。
図5は、この発明を実施するための実施の形態2における炭化珪素単結晶の製造方法の一工程の主要部を示す断面図である。図5において、グラファイト製の支持部材10に設けられた台座11にカーボン接着剤20によって応力緩衝剤30が貼り付けられている。応力緩衝剤30にはカーボン接着剤20によって応力緩衝剤31が貼り付けられている。応力緩衝剤31にはカーボン接着剤20によって種結晶50が貼り付けられている。貼り付けられている種結晶50の面には炭化膜層51が設けられている。図5に示した本実施の形態における単結晶の製造方法の一工程の主要部を上部から透視すると、実施の形態1の図2と同様に円形となる。
次に、図7に示すように、応力緩衝剤31と接着された種結晶50の応力緩衝剤31側の面にカーボン接着剤20により応力緩衝剤30と接着させる。つづいて、種結晶50に接着された応力緩衝剤30の面を、図5に示すように、カーボン接着剤20により、支持部材10の台座11と接着させる。
その後、実施の形態1と同様、図8に示すように、原料70を入れた坩堝60に載せ、坩堝60ごと1800〜2400℃の高温に加熱して、種結晶50から炭化珪素単結晶52を成長させる。
Claims (4)
- 炭化珪素種結晶の(0001)シリコン面の表層に炭化膜層を形成する炭化膜層形成工程と、
前記炭化珪素種結晶の表層に前記炭化膜層を形成した面を支持部材に対向させて、前記炭化珪素種結晶の熱膨張係数と近い熱膨張係数を有するグラファイト製の前記支持部材の台座に前記炭化珪素種結晶をカーボン接着剤により接着する接着工程と
を備えたことを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。 - 炭化膜形成工程は、炭化珪素種結晶を真空中または不活性ガス中で加熱する工程を有することを特徴とする請求項1に記載の単結晶の製造方法。
- 炭化膜形成工程は、厚さ50μm以下の炭化膜層を形成することを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
- 炭化膜形成工程は、炭化膜層を化学気相成長法により形成することを特徴とする請求項1に記載の単結晶の製造方法。
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