JP4955384B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
半導体基板上に形成されたサブコレクタ層、
該サブコレクタ層上に順次形成されたコレクタ層、ベース層及びエミッタ層を有するバイポーラトランジスタ、及び
前記バイポーラトランジスタで発生した熱を、前記バイポーラトランジスタの電極に接続される配線を介して前記半導体基板に放散する放熱手段を有する半導体装置であって、
前記放熱手段は、前記サブコレクタ層上に形成され、前記バイポーラトランジスタと離間されたダイオードであり、該ダイオードの少なくとも一端が前記配線に接続されていることを特徴とする。
半導体基板上に形成されたサブコレクタ層、
該サブコレクタ層上に順次形成されたコレクタ層、ベース層及びエミッタ層を有するバイポーラトランジスタ、及び
前記バイポーラトランジスタで発生した熱を、前記バイポーラトランジスタの電極に接続される配線を介して前記半導体基板に放散する放熱手段
を有する半導体装置であって、
前記放熱手段は、前記サブコレクタ層上に形成された金属層と該金属層上に延在する配線との間に絶縁層を挟んで形成されるMIM容量であることを特徴とする。
半導体基板上に
複数の単位トランジスタと、
前記単位トランジスタで発生した熱を前記半導体基板へ放散する複数の放熱手段と
を有する半導体装置であって、
前記複数の単位トランジスタの比較的中央部に位置する前記放熱手段の領域面積が、前記複数の単位トランジスタの比較的端部に位置する前記放熱手段の領域面積よりも大きいことを特徴とする。
従って、本発明によれば、チップ面積の大型化を抑制しつつ、充分に高い放熱性能を有した半導体装置が実現される。
また、放熱手段の領域面積を、トランジスタ列の中央部ほど大きくすることにより、熱干渉の影響により特に高温になる中央部の単位トランジスタへのセル間熱干渉を低減できるため、複数の単位トランジスタ間における接合温度の均一化および電流密度の均一化を図ることができる。
図1は、本発明による半導体装置の第1の実施の形態を示す断面図である。また、図2は、本発明による半導体装置の第1の実施の形態を示す平面図である。図1は、図2のI−I線に沿った断面を示している。
不純物濃度:3×1018/cm3
膜厚:500nm
コレクタ層21:GaAs(n型)
不純物濃度:3×1016/cm3
膜厚:700nm
コレクタ電極22:AuGe/Ni/Au
膜厚:50/50/300nm
ベース層23:GaAs(p型)
不純物濃度:4×1019/cm3
膜厚:80nm
エミッタ層24:AlGaAs(n型)
不純物濃度:5×1017/cm3
膜厚:150nm
ベース電極25:Ti/Pt/Au
膜厚:50/50/100nm
キャップ層26:InGaAs(n型)
不純物濃度:2×1019/cm3
膜厚:100nm
エミッタ電極27:WSi
膜厚:200nm
絶縁膜44:シリコン酸化膜(SiO2)
膜厚:1000nm
尚、サブコレクタ層12は、コレクタ電極とオーミック接合する為不純物濃度を高くした層である。
図4は、本発明による半導体装置の第2の実施の形態を示す断面図である。半導体装置1aおいて半導体装置1と相違するのは、ダイオード50の構成である。半導体装置1aのその他の構成は、半導体装置1と同様である。ダイオード50は、サブコレクタ層12上に順に積層されたn型層52及びショットキー電極54により構成されるショットキー接合ダイオードであり、放熱手段及び保護ダイオードの機能を兼ね備えるものである。n型層52は、図1のn型層32と同様に、HBT20のコレクタ層21と同一の組成を有している。ショットキー電極54は、共通エミッタ配線42を介してエミッタ電極27に接続されている。
図5は、本発明による半導体装置の第3の実施の形態を示す断面図である。また、図6は、本発明による半導体装置の第3の実施の形態を示す平面図である。半導体装置2において、半導体基板10上には、複数のHBT20と複数の放熱手段60とが1次元的に交互に配置されている。HBT20の構成は、図1に示すものと同様である。
1.サブコレクタ層12にイオン注入して絶縁領域を設ける。
2.サブコレクタ層12を除去する。
必要がある。
図8は、本発明による半導体装置の第4の実施の形態を示す平面図である。半導体装置2aにおいては、半導体装置2と同様に、複数のHBT20と複数の放熱手段60とが1次元的に交互に配置されているとともに、半導体基板10上の放熱手段60が設けられた領域で、比較的中央部に位置する金属膜62aは、比較的端部に位置する金属膜62b、62cに比して、サブコレクタ層12との接触面積が大きくなっている(幅は同一であるが長さが異なっている)。本実施の形態においては、HBT20の配列方向に直交する方向の長さを変えることにより各金属膜62の面積を変えている点で、半導体装置2と相違している。
図9は、本発明による半導体装置の第5の実施の形態を示す平面図である。半導体装置2bにおいては、半導体装置2と同様に、複数の単位トランジスタとなるHBT20と複数の放熱手段60とが1次元的に交互に配置されているとともに、半導体基板10上の放熱手段60が設けられた領域において、比較的中央部に位置する金属膜62は、比較的端部に位置する金属膜62に比して、サブコレクタ層12との接触面積が大きくなっている。本実施の形態においては、各金属膜62の面積を、幅(HBT20の配列方向)及び長さ(前記配列方向と直交する方向)を共に変えることにより変えている点で、何れか一方だけを変えている半導体装置2及び半導体装置2aと相違している。尚、本実施の形態においても前述の実施の形態と同様に変形が行えることは言うまでもない。
図17(a)は、本実施の形態のレイアウトを示す平面図で、本実施の形態では、説明を簡略化するために、FETとしてMESFETを用いて説明する。図17(b)は、図17(a)のI−Iの断面を断面図である。
1a 半導体装置
2 半導体装置
2a 半導体装置
2b 半導体装置
10 半導体基板
12 サブコレクタ層
20 HBT
21 コレクタ層
22 コレクタ電極
23 ベース層
24 エミッタ層
25 ベース電極
26 キャップ層
27 エミッタ電極
30 ダイオード
32 n型層
34 p型層
36 アノード電極
42 配線
44 絶縁膜
50 ダイオード
52 n型層
54 ショットキー電極
60 放熱手段
62 金属膜
62a 金属膜
62b 金属膜
62c 金属膜
74 パッド電極
80 バイアホール
82 パッド電極
90 ゲート電極
91 ドレイン電極
92 ソース電極
93 絶縁膜
94 配線
95 活性層
96 半導体基板
Claims (31)
- 半導体基板上に形成されたサブコレクタ層、
該サブコレクタ層上に順次形成されたコレクタ層、ベース層及びエミッタ層を有するバイポーラトランジスタ、及び
前記バイポーラトランジスタで発生した熱を、前記バイポーラトランジスタの電極に接続される配線を介して前記半導体基板に放散する放熱手段を有する半導体装置であって、
前記放熱手段は、前記サブコレクタ層上に形成され、前記バイポーラトランジスタと離間されたダイオードであり、該ダイオードの少なくとも一端が前記配線に接続されており、
1つ又は複数の前記バイポーラトランジスタを単位バイポーラトランジスタとし、前記ダイオードが隣接する単位バイポーラトランジスタ間に配されており、
前記複数の単位バイポーラトランジスタが一定の配列を持って前記半導体基板上に形成されており、前記配列の比較的中央部に位置する前記放熱手段の領域面積が、前記配列の比較的端部に位置する前記放熱手段の領域面積よりも大きいことを特徴とする半導体装置。 - 前記配線は、複数の前記バイポーラトランジスタにおいて、それぞれ同一機能を有する電極間を接続していることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記バイポーラトランジスタの同一機能を有する電極がエミッタ電極である請求項2に記載の半導体装置。
- 前記ダイオードは、pn接合ダイオードである請求項1に記載の半導体装置。
- 前記pn接合ダイオードは、前記バイポーラトランジスタを構成するコレクタ層及びベース層と同材料で構成されるn型導電層とp型導電層とを有する請求項4に記載の半導体装置。
- 前記ダイオードは、ショットキーダイオードである請求項1に記載の半導体装置。
- 前記ショットキーダイオードが、前記バイポーラトランジスタのコレクタ層と同材料で構成される導電層と、該導電層上に形成され、該導電層とショットキー障壁を形成する金属層とから形成されていることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。
- 前記ショットキーダイオードは前記延在する配線に接続された金属電極を有し、該金属電極は、前記ダイオードの導電層と接する側の金属層が、前記導電層とショットキー障壁を形成することを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。
- 前記導電層と前記延在する配線とが直接接触し、前記配線の少なくとも前記導電層と接する側の金属層が、前記導電層とショットキー障壁を形成することを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。
- 前記複数の単位バイポーラトランジスタが一定の配列を持って前記半導体基板上に形成されており、その配列端の少なくとも一方に前記ダイオードが形成されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記複数の単位バイポーラトランジスタが一定方向に配置され、前記放熱手段の領域上の前記配線が、前記一定方向に直交する方向に延在していることを特徴とする請求項1〜10のいずれかにに記載の半導体装置。
- 前記配線は、前記一定方向に直交する方向に延在した端部においてパッド電極に接続されていることを特徴とする請求項11に記載の半導体装置。
- 前記放熱手段は、前記配列方向に平行な方向の長さを変えることにより領域面積を変えている請求項1〜12のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記放熱手段は、前記配列方向に直交する方向の長さを変えることにより領域面積を変えている請求項1〜12のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記放熱手段は、前記配列方向に平行な方向の長さと直交する方向の長さの両方を変えることにより領域面積を変えている請求項1〜12のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記複数のバイポーラトランジスタが一定の配列を持って前記半導体基板上に形成され、前記配線が、前記配列と直交する方向の少なくとも一方に延在しており、前記放熱手段は、前記延在した配線下に形成されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記配線が、前記バイポーラトランジスタおよび前記放熱手段を覆う絶縁膜上に形成され、前記絶縁膜に設けた開口部を介して前記バイポーラトランジスタの電極および前記放熱手段と接続されていることを特徴とする請求項1〜16のいずれかに記載の半導体装置。
- 半導体基板上に形成されたサブコレクタ層、
該サブコレクタ層上に順次形成されたコレクタ層、ベース層及びエミッタ層を有するバイポーラトランジスタ、及び
前記バイポーラトランジスタで発生した熱を、前記バイポーラトランジスタの電極に接続される配線を介して前記半導体基板に放散する放熱手段
を有する半導体装置であって、
前記放熱手段は、前記サブコレクタ層上に形成された、前記バイポーラトランジスタのコレクタ電極とは異なる金属層と、該金属層上に延在する配線との間に絶縁層を挟んで形成されるMIM容量であることを特徴とする半導体装置。 - 前記配線は、複数の前記バイポーラトランジスタにおいて、それぞれ同一機能を有する電極間を接続していることを特徴とする請求項18に記載の半導体装置。
- 前記バイポーラトランジスタの同一機能を有する電極がエミッタ電極である請求項19に記載の半導体装置。
- 前記絶縁膜の比誘電率が、3.0以下であることを特徴とする請求項18〜19のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記絶縁膜が、多孔質膜であることを特徴とする請求項21に記載の半導体装置。
- 1つ又は複数の前記バイポーラトランジスタを単位バイポーラトランジスタとし、前記放熱手段が隣接する単位バイポーラ間に配されていることを特徴とする請求項18〜22のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記複数のバイポーラトランジスタが一定の配列を持って前記半導体基板上に形成されており、その配列端の少なくとも一方に前記放熱手段が形成されていることを特徴とする請求項23に記載の半導体装置。
- 前記複数のバイポーラトランジスタが一定の配列を持って前記半導体基板上に形成されており、前記配列の比較的中央部に位置する前記放熱手段の領域面積が、前記複数の単位バイポーラトランジスタの比較的端部に位置する領域面積よりも大きいことを特徴とする請求項23〜24のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記複数の単位バイポーラトランジスタが一定方向に配置され、前記放熱手段の領域上の前記配線が、前記一定方向に直交する方向に延在していることを特徴とする請求項25に記載の半導体装置。
- 前記配線は、前記一定方向に直交する方向に延在した端部においてパッド電極に接続されていることを特徴とする請求項26に記載の半導体装置。
- 前記放熱手段は、前記配列方向に平行な方向の長さを変えることにより領域面積を変えている請求項25〜27のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記放熱手段は、前記配列方向に直交する方向の長さを変えることにより領域面積を変えている請求項25〜27のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記放熱手段は、前記配列方向に平行な方向の長さと直交する方向の長さの両方を変えることにより領域面積を変えている請求項25〜27のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記複数のバイポーラトランジスタが一定の配列を持って前記半導体基板上に形成されており、前記配線が、前記配列と直交する方向の少なくとも一方に延在しており、前記放熱手段は、前記延在した配線下に形成されていることを特徴とする請求項18〜22のいずれかに記載の半導体装置。
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