JP4942998B2 - 半導体装置及び半導体装置の作製方法 - Google Patents

半導体装置及び半導体装置の作製方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4942998B2
JP4942998B2 JP2005370476A JP2005370476A JP4942998B2 JP 4942998 B2 JP4942998 B2 JP 4942998B2 JP 2005370476 A JP2005370476 A JP 2005370476A JP 2005370476 A JP2005370476 A JP 2005370476A JP 4942998 B2 JP4942998 B2 JP 4942998B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
power supply
film
layer
wiring
circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2005370476A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2006203187A (ja
JP2006203187A5 (enExample
Inventor
清 加藤
芳隆 守屋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Original Assignee
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd filed Critical Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Priority to JP2005370476A priority Critical patent/JP4942998B2/ja
Publication of JP2006203187A publication Critical patent/JP2006203187A/ja
Publication of JP2006203187A5 publication Critical patent/JP2006203187A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4942998B2 publication Critical patent/JP4942998B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)
JP2005370476A 2004-12-24 2005-12-22 半導体装置及び半導体装置の作製方法 Expired - Fee Related JP4942998B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005370476A JP4942998B2 (ja) 2004-12-24 2005-12-22 半導体装置及び半導体装置の作製方法

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004374913 2004-12-24
JP2004374913 2004-12-24
JP2005370476A JP4942998B2 (ja) 2004-12-24 2005-12-22 半導体装置及び半導体装置の作製方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2006203187A JP2006203187A (ja) 2006-08-03
JP2006203187A5 JP2006203187A5 (enExample) 2008-11-20
JP4942998B2 true JP4942998B2 (ja) 2012-05-30

Family

ID=36960854

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005370476A Expired - Fee Related JP4942998B2 (ja) 2004-12-24 2005-12-22 半導体装置及び半導体装置の作製方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4942998B2 (enExample)

Families Citing this family (87)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7519328B2 (en) 2006-01-19 2009-04-14 Murata Manufacturing Co., Ltd. Wireless IC device and component for wireless IC device
EP3168932B1 (en) 2006-04-14 2021-06-02 Murata Manufacturing Co., Ltd. Antenna
US9064198B2 (en) 2006-04-26 2015-06-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. Electromagnetic-coupling-module-attached article
JP4281850B2 (ja) 2006-06-30 2009-06-17 株式会社村田製作所 光ディスク
JP4775442B2 (ja) 2006-09-26 2011-09-21 株式会社村田製作所 電磁結合モジュール付き物品
EP1909384A3 (en) * 2006-10-06 2015-11-25 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Rectifier circuit with variable capacitor, semiconductor device using the circuit, and driving method therefor
WO2008050689A1 (en) 2006-10-27 2008-05-02 Murata Manufacturing Co., Ltd. Article with electromagnetically coupled module
JP5361176B2 (ja) 2006-12-13 2013-12-04 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置
WO2008090943A1 (ja) 2007-01-26 2008-07-31 Murata Manufacturing Co., Ltd. 電磁結合モジュール付き容器
WO2008096576A1 (ja) 2007-02-06 2008-08-14 Murata Manufacturing Co., Ltd. 電磁結合モジュール付き包装材
ATE555453T1 (de) 2007-04-06 2012-05-15 Murata Manufacturing Co Funk-ic-vorrichtung
JP4697332B2 (ja) 2007-04-09 2011-06-08 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
US8235299B2 (en) 2007-07-04 2012-08-07 Murata Manufacturing Co., Ltd. Wireless IC device and component for wireless IC device
JP4930586B2 (ja) 2007-04-26 2012-05-16 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
WO2008136220A1 (ja) 2007-04-27 2008-11-13 Murata Manufacturing Co., Ltd. 無線ｉｃデバイス
JP4433097B2 (ja) 2007-04-27 2010-03-17 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
WO2008142957A1 (ja) 2007-05-10 2008-11-27 Murata Manufacturing Co., Ltd. 無線ｉｃデバイス
JP4666102B2 (ja) 2007-05-11 2011-04-06 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
WO2009001814A1 (ja) 2007-06-27 2008-12-31 Murata Manufacturing Co., Ltd. 無線ｉｃデバイス
CN101542831B (zh) 2007-07-09 2014-06-25 株式会社村田制作所 无线ic器件
CN101578616A (zh) 2007-07-17 2009-11-11 株式会社村田制作所 无线ic器件及电子设备
US20090021352A1 (en) 2007-07-18 2009-01-22 Murata Manufacturing Co., Ltd. Radio frequency ic device and electronic apparatus
EP2169594B1 (en) 2007-07-18 2018-03-07 Murata Manufacturing Co., Ltd. Wireless ic device and method for manufacturing the same
CN101682113B (zh) 2007-07-18 2013-02-13 株式会社村田制作所 无线ic器件
KR101047189B1 (ko) 2007-12-20 2011-07-06 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 무선 ｉｃ 디바이스
WO2009081683A1 (ja) 2007-12-26 2009-07-02 Murata Manufacturing Co., Ltd. アンテナ装置および無線ｉｃデバイス
WO2009110382A1 (ja) 2008-03-03 2009-09-11 株式会社村田製作所 複合アンテナ
JP5267463B2 (ja) 2008-03-03 2013-08-21 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス及び無線通信システム
WO2009119548A1 (ja) 2008-03-26 2009-10-01 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
CN101953025A (zh) 2008-04-14 2011-01-19 株式会社村田制作所 无线ic器件、电子设备以及无线ic器件的谐振频率调整方法
JP4609604B2 (ja) 2008-05-21 2011-01-12 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
WO2009142068A1 (ja) 2008-05-22 2009-11-26 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス及びその製造方法
WO2009145007A1 (ja) 2008-05-26 2009-12-03 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイスシステム及び無線ｉｃデバイスの真贋判定方法
CN102047500B (zh) 2008-05-28 2014-05-28 株式会社村田制作所 无线ic器件用部件及无线ic器件
JP4557186B2 (ja) 2008-06-25 2010-10-06 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイスとその製造方法
JP4671001B2 (ja) 2008-07-04 2011-04-13 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
CN102124605A (zh) 2008-08-19 2011-07-13 株式会社村田制作所 无线ic器件及其制造方法
JP5429182B2 (ja) 2008-10-24 2014-02-26 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
JP4525869B2 (ja) 2008-10-29 2010-08-18 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
JP4605318B2 (ja) 2008-11-17 2011-01-05 株式会社村田製作所 アンテナ及び無線ｉｃデバイス
CN102273012B (zh) 2009-01-09 2013-11-20 株式会社村田制作所 无线ic器件及无线ic模块
JP5041077B2 (ja) 2009-01-16 2012-10-03 株式会社村田製作所 高周波デバイス及び無線ｉｃデバイス
EP2385580B1 (en) 2009-01-30 2014-04-09 Murata Manufacturing Co., Ltd. Antenna and wireless ic device
JP5510450B2 (ja) 2009-04-14 2014-06-04 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
EP2568534A3 (en) 2009-04-21 2014-05-14 Murata Manufacturing Co., Ltd. Antenna devie and method of setting resonant frequency of antenna device
WO2010140429A1 (ja) 2009-06-03 2010-12-09 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス及びその製造方法
JP5516580B2 (ja) 2009-06-19 2014-06-11 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス及び給電回路と放射板との結合方法
JP4788850B2 (ja) 2009-07-03 2011-10-05 株式会社村田製作所 アンテナモジュール
JP5182431B2 (ja) 2009-09-28 2013-04-17 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイスおよびそれを用いた環境状態検出方法
JP5201270B2 (ja) 2009-09-30 2013-06-05 株式会社村田製作所 回路基板及びその製造方法
JP5304580B2 (ja) 2009-10-02 2013-10-02 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
WO2011045970A1 (ja) 2009-10-16 2011-04-21 株式会社村田製作所 アンテナ及び無線ｉｃデバイス
CN102598413A (zh) 2009-10-27 2012-07-18 株式会社村田制作所 收发装置及无线标签读取装置
JP5327334B2 (ja) 2009-11-04 2013-10-30 株式会社村田製作所 通信端末及び情報処理システム
EP2498207B1 (en) 2009-11-04 2014-12-31 Murata Manufacturing Co., Ltd. Wireless ic tag, reader/writer, and information processing system
GB2487315B (en) 2009-11-04 2014-09-24 Murata Manufacturing Co Communication terminal and information processing system
GB2487491B (en) 2009-11-20 2014-09-03 Murata Manufacturing Co Antenna device and mobile communication terminal
WO2011077877A1 (ja) 2009-12-24 2011-06-30 株式会社村田製作所 アンテナ及び携帯端末
WO2011108341A1 (ja) 2010-03-03 2011-09-09 株式会社村田製作所 無線通信デバイス及び無線通信端末
CN102792520B (zh) 2010-03-03 2017-08-25 株式会社村田制作所 无线通信模块以及无线通信设备
CN102576940B (zh) 2010-03-12 2016-05-04 株式会社村田制作所 无线通信器件及金属制物品
WO2011118379A1 (ja) 2010-03-24 2011-09-29 株式会社村田製作所 Ｒｆｉｄシステム
WO2011122163A1 (ja) 2010-03-31 2011-10-06 株式会社村田製作所 アンテナ装置及び無線通信デバイス
JP5170156B2 (ja) 2010-05-14 2013-03-27 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
JP5299351B2 (ja) 2010-05-14 2013-09-25 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
JP5376060B2 (ja) 2010-07-08 2013-12-25 株式会社村田製作所 アンテナ及びｒｆｉｄデバイス
GB2537773A (en) 2010-07-28 2016-10-26 Murata Manufacturing Co Antenna apparatus and communication terminal instrument
JP5423897B2 (ja) 2010-08-10 2014-02-19 株式会社村田製作所 プリント配線板及び無線通信システム
JP5234071B2 (ja) 2010-09-03 2013-07-10 株式会社村田製作所 Ｒｆｉｃモジュール
CN103038939B (zh) 2010-09-30 2015-11-25 株式会社村田制作所 无线ic器件
CN103053074B (zh) 2010-10-12 2015-10-21 株式会社村田制作所 天线装置及通信终端装置
CN102971909B (zh) 2010-10-21 2014-10-15 株式会社村田制作所 通信终端装置
CN105048058B (zh) 2011-01-05 2017-10-27 株式会社村田制作所 无线通信器件
CN103299325B (zh) 2011-01-14 2016-03-02 株式会社村田制作所 Rfid芯片封装以及rfid标签
CN104899639B (zh) 2011-02-28 2018-08-07 株式会社村田制作所 无线通信器件
WO2012121185A1 (ja) 2011-03-08 2012-09-13 株式会社村田製作所 アンテナ装置及び通信端末機器
CN103081221B (zh) 2011-04-05 2016-06-08 株式会社村田制作所 无线通信器件
JP5482964B2 (ja) 2011-04-13 2014-05-07 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス及び無線通信端末
WO2012157596A1 (ja) 2011-05-16 2012-11-22 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
EP3041087B1 (en) 2011-07-14 2022-09-07 Murata Manufacturing Co., Ltd. Wireless communication device
JP5333707B2 (ja) 2011-07-15 2013-11-06 株式会社村田製作所 無線通信デバイス
WO2013011865A1 (ja) 2011-07-19 2013-01-24 株式会社村田製作所 アンテナモジュール、アンテナ装置、ｒｆｉｄタグおよび通信端末装置
WO2013035821A1 (ja) 2011-09-09 2013-03-14 株式会社村田製作所 アンテナ装置および無線デバイス
WO2013080991A1 (ja) 2011-12-01 2013-06-06 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス及びその製造方法
WO2013115019A1 (ja) 2012-01-30 2013-08-08 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
WO2013125610A1 (ja) 2012-02-24 2013-08-29 株式会社村田製作所 アンテナ装置および無線通信装置
JP5304975B1 (ja) 2012-04-13 2013-10-02 株式会社村田製作所 Ｒｆｉｄタグの検査方法及び検査装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0793149B2 (ja) * 1989-06-09 1995-10-09 松下電器産業株式会社 固体二次電池とその製造法
JPH0653449A (ja) * 1992-07-31 1994-02-25 Nec Corp 半導体装置
JP2001284460A (ja) * 2000-04-03 2001-10-12 Seiko Epson Corp 半導体集積回路装置
JP3377787B1 (ja) * 2000-06-21 2003-02-17 日立マクセル株式会社 半導体チップ及びこれを用いた半導体装置
JP2003109819A (ja) * 2001-09-28 2003-04-11 Toshiba Corp インダクタを有する半導体装置
JP4566578B2 (ja) * 2003-02-24 2010-10-20 株式会社半導体エネルギー研究所 薄膜集積回路の作製方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006203187A (ja) 2006-08-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8716834B2 (en) Semiconductor device including antenna
JP2006203187A (ja) 半導体装置
US8136735B2 (en) ID label, ID card, and ID tag
US9728631B2 (en) Semiconductor device and method for manufacturing the same
JP5604567B2 (ja) 半導体装置
JP5523593B2 (ja) 半導体装置
US8698220B2 (en) Semiconductor device having concentration difference of impurity element in semiconductor films
JP5322408B2 (ja) 半導体装置及びその作製方法
CN101189625A (zh) 半导体器件及其制造方法以及天线的制造方法
JP2008252068A (ja) 半導体装置及びその作製方法
JP4827618B2 (ja) アンテナの作製方法、半導体装置の作製方法
JP4912586B2 (ja) 薄膜集積回路装置の作製方法
JP4689260B2 (ja) 半導体装置、ラベル又はタグ
JP5100012B2 (ja) 半導体装置及びその作製方法
JP5657069B2 (ja) 半導体装置
JP2008103706A (ja) 半導体装置
JP5089037B2 (ja) 半導体装置の作製方法
JP5027470B2 (ja) 記憶装置
JP4974621B2 (ja) 半導体装置及びその作製方法
JP4908936B2 (ja) 半導体装置の作製方法
JP5105918B2 (ja) 半導体装置の作製方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081006

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20081006

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111025

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20111027

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111205

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120105

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120207

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120228

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120229

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4942998

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150309

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150309

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees