JP4942998B2 - 半導体装置及び半導体装置の作製方法 - Google Patents

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Families Citing this family (87)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7519328B2 (en) 2006-01-19 2009-04-14 Murata Manufacturing Co., Ltd. Wireless IC device and component for wireless IC device
EP3168932B1 (en) 2006-04-14 2021-06-02 Murata Manufacturing Co., Ltd. Antenna
US9064198B2 (en) 2006-04-26 2015-06-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. Electromagnetic-coupling-module-attached article
CN101467209B (zh) 2006-06-30 2012-03-21 株式会社村田制作所 光盘
DE112007002024B4 (de) 2006-09-26 2010-06-10 Murata Mfg. Co., Ltd., Nagaokakyo-shi Induktiv gekoppeltes Modul und Element mit induktiv gekoppeltem Modul
EP1909384A3 (en) * 2006-10-06 2015-11-25 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Rectifier circuit with variable capacitor, semiconductor device using the circuit, and driving method therefor
EP2056488B1 (en) 2006-10-27 2014-09-03 Murata Manufacturing Co. Ltd. Article with electromagnetically coupled module
JP5361176B2 (ja) * 2006-12-13 2013-12-04 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置
JP4835696B2 (ja) 2007-01-26 2011-12-14 株式会社村田製作所 電磁結合モジュール付き容器
WO2008096576A1 (ja) 2007-02-06 2008-08-14 Murata Manufacturing Co., Ltd. 電磁結合モジュール付き包装材
JP5024372B2 (ja) 2007-04-06 2012-09-12 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
JP4697332B2 (ja) 2007-04-09 2011-06-08 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
US8235299B2 (en) 2007-07-04 2012-08-07 Murata Manufacturing Co., Ltd. Wireless IC device and component for wireless IC device
ATE540377T1 (de) 2007-04-26 2012-01-15 Murata Manufacturing Co Drahtlose ic-vorrichtung
EP2141769A4 (en) 2007-04-27 2010-08-11 Murata Manufacturing Co WIRELESS IC DEVICE
JP4433097B2 (ja) 2007-04-27 2010-03-17 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
CN101568934A (zh) 2007-05-10 2009-10-28 株式会社村田制作所 无线ic器件
JP4666102B2 (ja) 2007-05-11 2011-04-06 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
WO2009001814A1 (ja) 2007-06-27 2008-12-31 Murata Manufacturing Co., Ltd. 無線ｉｃデバイス
KR101023582B1 (ko) 2007-07-09 2011-03-21 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 무선 ｉｃ 디바이스
JP4873079B2 (ja) 2007-07-17 2012-02-08 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス及び電子機器
EP2568419B1 (en) 2007-07-18 2015-02-25 Murata Manufacturing Co., Ltd. Apparatus comprising an RFID device
WO2009011375A1 (ja) 2007-07-18 2009-01-22 Murata Manufacturing Co., Ltd. 無線ｉｃデバイスおよびその製造方法
US20090021352A1 (en) 2007-07-18 2009-01-22 Murata Manufacturing Co., Ltd. Radio frequency ic device and electronic apparatus
EP2096709B1 (en) 2007-12-20 2012-04-25 Murata Manufacturing Co., Ltd. Radio ic device
WO2009081683A1 (ja) 2007-12-26 2009-07-02 Murata Manufacturing Co., Ltd. アンテナ装置および無線ｉｃデバイス
EP2251934B1 (en) 2008-03-03 2018-05-02 Murata Manufacturing Co. Ltd. Wireless ic device and wireless communication system
JP4518211B2 (ja) 2008-03-03 2010-08-04 株式会社村田製作所 複合アンテナ
WO2009119548A1 (ja) 2008-03-26 2009-10-01 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
WO2009128437A1 (ja) 2008-04-14 2009-10-22 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス、電子機器及び無線ｉｃデバイスの共振周波数の調整方法
EP2840648B1 (en) 2008-05-21 2016-03-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. Wireless IC device
WO2009142068A1 (ja) 2008-05-22 2009-11-26 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス及びその製造方法
JP5218558B2 (ja) 2008-05-26 2013-06-26 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイスシステム及び無線ｉｃデバイスの真贋判定方法
KR101148534B1 (ko) 2008-05-28 2012-05-21 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 무선 ｉｃ 디바이스용 부품 및 무선 ｉｃ 디바이스
JP4557186B2 (ja) 2008-06-25 2010-10-06 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイスとその製造方法
CN102084543B (zh) 2008-07-04 2014-01-29 株式会社村田制作所 无线ic器件
EP2320519B1 (en) 2008-08-19 2017-04-12 Murata Manufacturing Co., Ltd. Wireless ic device and method for manufacturing same
JP5429182B2 (ja) 2008-10-24 2014-02-26 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
CN102197537B (zh) 2008-10-29 2014-06-18 株式会社村田制作所 无线ic器件
JP4605318B2 (ja) 2008-11-17 2011-01-05 株式会社村田製作所 アンテナ及び無線ｉｃデバイス
WO2010079830A1 (ja) 2009-01-09 2010-07-15 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス、無線ｉｃモジュール、および無線ｉｃモジュールの製造方法
CN103594455A (zh) 2009-01-16 2014-02-19 株式会社村田制作所 无线ic器件
EP2385580B1 (en) 2009-01-30 2014-04-09 Murata Manufacturing Co., Ltd. Antenna and wireless ic device
WO2010119854A1 (ja) 2009-04-14 2010-10-21 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス用部品及び無線ｉｃデバイス
JP4687832B2 (ja) 2009-04-21 2011-05-25 株式会社村田製作所 アンテナ装置
CN102449846B (zh) 2009-06-03 2015-02-04 株式会社村田制作所 无线ic器件及其制造方法
JP5516580B2 (ja) 2009-06-19 2014-06-11 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス及び給電回路と放射板との結合方法
CN102474009B (zh) 2009-07-03 2015-01-07 株式会社村田制作所 天线及天线模块
WO2011037234A1 (ja) 2009-09-28 2011-03-31 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイスおよびそれを用いた環境状態検出方法
WO2011040393A1 (ja) 2009-09-30 2011-04-07 株式会社村田製作所 回路基板及びその製造方法
JP5304580B2 (ja) 2009-10-02 2013-10-02 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
WO2011045970A1 (ja) 2009-10-16 2011-04-21 株式会社村田製作所 アンテナ及び無線ｉｃデバイス
JP5418600B2 (ja) 2009-10-27 2014-02-19 株式会社村田製作所 送受信装置及び無線タグ読み取り装置
WO2011055701A1 (ja) 2009-11-04 2011-05-12 株式会社村田製作所 通信端末及び情報処理システム
CN102473244B (zh) 2009-11-04 2014-10-08 株式会社村田制作所 无线ic标签、读写器及信息处理系统
CN102549838B (zh) 2009-11-04 2015-02-04 株式会社村田制作所 通信终端及信息处理系统
GB2487491B (en) 2009-11-20 2014-09-03 Murata Manufacturing Co Antenna device and mobile communication terminal
GB2488450B (en) 2009-12-24 2014-08-20 Murata Manufacturing Co Antenna and mobile terminal
JP5652470B2 (ja) 2010-03-03 2015-01-14 株式会社村田製作所 無線通信モジュール及び無線通信デバイス
CN102782937B (zh) 2010-03-03 2016-02-17 株式会社村田制作所 无线通信器件及无线通信终端
JP5477459B2 (ja) 2010-03-12 2014-04-23 株式会社村田製作所 無線通信デバイス及び金属製物品
WO2011118379A1 (ja) 2010-03-24 2011-09-29 株式会社村田製作所 Ｒｆｉｄシステム
JP5630499B2 (ja) 2010-03-31 2014-11-26 株式会社村田製作所 アンテナ装置及び無線通信デバイス
JP5170156B2 (ja) 2010-05-14 2013-03-27 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
JP5299351B2 (ja) 2010-05-14 2013-09-25 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
JP5376060B2 (ja) 2010-07-08 2013-12-25 株式会社村田製作所 アンテナ及びｒｆｉｄデバイス
CN102859790B (zh) 2010-07-28 2015-04-01 株式会社村田制作所 天线装置及通信终端设备
WO2012020748A1 (ja) 2010-08-10 2012-02-16 株式会社村田製作所 プリント配線板及び無線通信システム
JP5234071B2 (ja) 2010-09-03 2013-07-10 株式会社村田製作所 Ｒｆｉｃモジュール
JP5630506B2 (ja) 2010-09-30 2014-11-26 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
CN103053074B (zh) 2010-10-12 2015-10-21 株式会社村田制作所 天线装置及通信终端装置
JP5527422B2 (ja) 2010-10-21 2014-06-18 株式会社村田製作所 通信端末装置
WO2012093541A1 (ja) 2011-01-05 2012-07-12 株式会社村田製作所 無線通信デバイス
WO2012096365A1 (ja) 2011-01-14 2012-07-19 株式会社村田製作所 Ｒｆｉｄチップパッケージ及びｒｆｉｄタグ
CN103119786B (zh) 2011-02-28 2015-07-22 株式会社村田制作所 无线通信器件
WO2012121185A1 (ja) 2011-03-08 2012-09-13 株式会社村田製作所 アンテナ装置及び通信端末機器
CN103081221B (zh) 2011-04-05 2016-06-08 株式会社村田制作所 无线通信器件
JP5482964B2 (ja) 2011-04-13 2014-05-07 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス及び無線通信端末
WO2012157596A1 (ja) 2011-05-16 2012-11-22 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス
CN103370834B (zh) 2011-07-14 2016-04-13 株式会社村田制作所 无线通信器件
JP5333707B2 (ja) 2011-07-15 2013-11-06 株式会社村田製作所 無線通信デバイス
WO2013011865A1 (ja) 2011-07-19 2013-01-24 株式会社村田製作所 アンテナモジュール、アンテナ装置、ｒｆｉｄタグおよび通信端末装置
CN203553354U (zh) 2011-09-09 2014-04-16 株式会社村田制作所 天线装置及无线器件
WO2013080991A1 (ja) 2011-12-01 2013-06-06 株式会社村田製作所 無線ｉｃデバイス及びその製造方法
KR20130105938A (ko) 2012-01-30 2013-09-26 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 무선 ic 디바이스
WO2013125610A1 (ja) 2012-02-24 2013-08-29 株式会社村田製作所 アンテナ装置および無線通信装置
WO2013153697A1 (ja) 2012-04-13 2013-10-17 株式会社村田製作所 Ｒｆｉｄタグの検査方法及び検査装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0793149B2 (ja) * 1989-06-09 1995-10-09 松下電器産業株式会社 固体二次電池とその製造法
JPH0653449A (ja) * 1992-07-31 1994-02-25 Nec Corp 半導体装置
JP2001284460A (ja) * 2000-04-03 2001-10-12 Seiko Epson Corp 半導体集積回路装置
JP3377787B1 (ja) * 2000-06-21 2003-02-17 日立マクセル株式会社 半導体チップ及びこれを用いた半導体装置
JP2003109819A (ja) * 2001-09-28 2003-04-11 Toshiba Corp インダクタを有する半導体装置
JP4566578B2 (ja) * 2003-02-24 2010-10-20 株式会社半導体エネルギー研究所 薄膜集積回路の作製方法

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