JP4932578B2 - 撮像装置の感度補正方法および撮像装置 - Google Patents

Description

本発明は、テレビジョンカメラ等の撮像装置に関し、特に電子増倍型撮像素子の感度補正に関するものである。

従来、撮像素子を恒温化するため、撮像素子の温度を温度検出器で検出し、検出した温度に基づき撮像素子を熱電冷却素子で冷却または加熱する例が特許文献１に開示されている。

また、特許文献２には撮像管等の光電変換面温度の過度の上昇及び低下を防ぐため、光電変換面付近に取り付けるペルチェ素子の温度制御回路が開示されている。
特開平６−２４５１２３号公報 特開平７−１７０４３７号公報

前述の従来技術には、撮像素子を恒温化するための手段は開示されているが、撮像素子の周囲温度が上昇または下降して、冷却装置の冷却または加熱の能力を超えた場合は、撮像素子を恒温化できずに撮像素子から出力される映像信号の感度が変動してしまうと言う課題がある。

本発明の目的は、電子増倍型撮像素子に取り付けてある冷却部が周囲温度の影響で冷却または加熱の能力を超えた場合でも電子増倍型撮像素子から出力される映像信号の感度を一定に保つことにある。

本発明の撮像装置の感度補正方法は、入射光を電子増倍型撮像素子で撮像し、映像信号を出力するテレビジョンカメラにおいて、電子増倍型撮像素子の温度を検出し、検出した温度に基づき電子増倍型撮像素子の電子増倍率を制御する。

また、本発明の撮像装置の感度補正装置は、レンズ部とレンズ部からの入射光を電子増倍型撮像素子で撮像し、映像信号を出力するテレビジョンカメラにおいて、電子増倍型撮像素子の温度検出手段と、電子増倍型撮像素子の電子増倍率制御手段と、温度検出手段で検出した温度に基づき電子増倍率制御手段を制御する制御手段とを具備した。

さらに本発明の撮像装置の感度補正方法は、入射光を電子増倍型撮像素子で撮像し、映像信号を出力する撮像装置において、電子増倍型撮像素子の温度を所定の温度に保ち、電子増倍型撮像素子の温度が所定の温度に保てなくなった場合は電子増倍型撮像素子の温度を検出し、検出した温度に基づき電子増倍型撮像素子の電子増倍率を制御することを特徴とする。

またさらに本発明の撮像装置の感度補正装置は、入射光を電子増倍型撮像素子で撮像し、映像信号を出力する撮像装置において、電子増倍型撮像素子の温度を所定の温度に保つ手段と、電子増倍型撮像素子の温度検出手段と、電子増倍型撮像素子の電子増倍率制御手段と、電子増倍型撮像素子の温度を所定の温度に保つ手段で温度を所定の温度に保てなくなった場合は温度検出手段で検出した温度に基づき電子増倍率制御手段を制御する制御手段とを具備したことを特徴とする。

そしてさらに本発明の撮像装置の感度補正装置は、更に電子増倍型撮像素子から出力される映像信号を増幅する増幅手段を備え、増幅手段で感度の微調整を施すことを特徴とする。

本発明によれば、電子増倍型撮像素子に取り付けてある冷却部が周囲温度の影響で冷却または加熱の能力を超えた場合でも電子増倍型撮像素子から出力される映像信号の感度を一定に保つことができる。

以下、本発明による撮像装置の一実施例について図１を用いて説明する。

図１は本発明の一実施例の構成を示すブロック図である。なお、図１は本発明の撮像装置の説明に必要な部分のみを記載している。

図１において、１は撮像装置、２は入射光を結像するレンズ部、３はレンズ部２から入射した光を電気信号に変換するＥＭ−ＣＣＤ（Electron Multiplying - Charge Coupled Device、電子増倍型固体撮像素子）、４はＥＭ−ＣＣＤ３から出力された信号から雑音を除去するＣＤＳ（Correlated Double Sampling）部、５はＣＤＳ部４から出力された信号の利得を調整するアンプ部、６はアンプ部５から出力されたアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換部（Analog Digital Converter）、７は種々の画像処理を施す映像信号処理部、８は映像信号処理部７から出力された信号を所定方式の映像信号に変換して出力する映像信号出力部、９はＥＭ−ＣＣＤ３の駆動および電子増倍の利得制御を行うためのＣＣＤ駆動部、１０は撮像装置１内の各部を制御するＣＰＵ（Central Processing Unit）である。１１はＥＭ−ＣＣＤ３の冷却または加熱するための温度制御部、１２はＥＭ−ＣＣＤ３の温度を検出するための温度検出部、１３はＥＭ−ＣＣＤ３の温度特性データを予め記憶するメモリ部である。

映像信号出力部８から出力される所定方式の映像信号とは、例えば、ＮＴＳＣ（National Television System Committee）方式、ＰＡＬ（Phase Alternating by Line）方式またはＨＤＴＶ（High Definition TeleVision）方式等の動画像あるいは静止画像である。

次に、本発明の一実施例の動作を図１から図６及び図９を用いて説明する。

図１において、撮像装置１のＥＭ−ＣＣＤ３はレンズ部２で光電変換部に結像された入射光を光電変換してＣＤＳ部４に出力する。ＣＤＳ部４はＥＭ−ＣＣＤ３から出力された信号から雑音を除去してアンプ部５に出力する。アンプ部５はＣＤＳ４から出力された信号をＣＰＵ１１から出力される利得制御信号に従って増幅してＡ／Ｄ変換部６に出力する。Ａ／Ｄ変換部６はアンプ部５から出力されたアナログ信号を例えば１０ビットのデジタル信号に変換して映像信号処理部７に出力する。映像信号処理部７はガンマ補正や輪郭強調等の種々の画像処理を施して映像信号出力部８に出力する。映像信号出力部８は映像信号処理部８から出力された信号を所定方式の映像信号に変換して出力する。ＣＣＤ駆動部９はＣＰＵ１０から出力される制御信号に従ってＥＭ−ＣＣＤ３を駆動するための信号や電子増倍率を制御する制御信号を出力する。また、ＣＰＵ１０は温度検出部１２から得られたＥＭ−ＣＣＤ３の温度から温度制御部１１を制御してＥＭ−ＣＣＤ３を所定の温度に保つ。温度制御部１１は、電気エネルギを熱エネルギに変換する熱電素子であって、例えば供給する電流により温度制御可能なペルチェ素子である。ペルチェ素子は供給する電流を増やすと温度が片面は低下し、反対の面は上昇するものである。図１に示した本発明の一実施例としては、温度制御部１１にペルチェ素子を使用し、ペルチェ素子に供給する電流を増やすと温度が低下する面をＥＭ−ＣＣＤ３の撮像面と反対の面に取り付けて、ＥＭ−ＣＣＤ３の冷却用装置として利用する。したがって、図１に係わる以下の実施例の説明では、温度制御部１１を冷却部１１と称する。

図９は本発明の一実施例である撮像装置でＥＭ−ＣＣＤ３と冷却部１１の取付けを説明するための取付構造図である。ＥＭ−ＣＣＤ３の撮像面と反対の面に冷却部１１、放熱部１４の順番に取付ける。放熱部１４は放熱板やファン等である。このような取り付け方をすることにより、ＥＭ−ＣＣＤ３の撮像面を均一に冷却することができる。なお、ＥＭ−ＣＣＤ３の撮像面とはレンズ部２を介して入射光を撮像する面のことである。

図２は図１のＥＭ−ＣＣＤ３を冷却部１１で冷却した場合の周囲温度とＥＭ−ＣＣＤ３の温度の関係を説明するための図であり、横軸が周囲温度で縦軸がＥＭ−ＣＣＤ３の温度である。

冷却部１１は周囲温度が３５℃まではＥＭ−ＣＣＤ３を−２０℃に保てるが、周囲温度が３５℃を超えると周囲温度に比例してＥＭ−ＣＣＤ３の温度も上昇している。図２はＥＭ−ＣＣＤ３を−２０℃に保つ冷却部１１の冷却能力限界が、ＥＭ−ＣＣＤ３の内部発熱と周囲温度３５℃を加算した値であることを示したものである。

図３はＥＭ−ＣＣＤ３の電子増倍率が温度特性を持っていることを説明するための図である。図３は横軸がＥＭ−ＣＣＤ３の電子増倍率制御電圧で、縦軸がＥＭ−ＣＣＤ３の電子増倍率で、パラメータがＥＭ−ＣＣＤ３の温度である。図３から例えばＥＭ−ＣＣＤ３の電子増倍率を１０００倍に保つためにはＥＭ−ＣＣＤ３の温度に従ってＥＭ−ＣＣＤ３の電子増倍率制御電圧を上げる必要がある。ＥＭ−ＣＣＤ３の温度が−２０℃のとき、電子増倍率を１０００倍にするには電子増倍率制御電圧を８Ｖ（ボルト）にする。ＥＭ−ＣＣＤ３の温度が−１０℃のとき、電子増倍率を１０００倍にするには電子増倍率制御電圧を９Ｖにする。ＥＭ−ＣＣＤ３の温度が０℃のとき、電子増倍率を１０００倍にするには電子増倍率制御電圧を１０Ｖ（ボルト）にする。

図４は図３をＥＭ−ＣＣＤ３の温度とＥＭ−ＣＣＤ３の電子増倍率制御電圧の関係に書き直した図である。図４は横軸がＥＭ−ＣＣＤ３の温度で、縦軸がＥＭ−ＣＣＤ３の電子増倍率制御電圧で、パラメータがＥＭ−ＣＣＤ３の電子増倍率である。

図５は図４の特性を数値化したメモリテーブルであり、このメモリテーブルを予め図１のメモリ部１３に記憶しておく。

図６は本発明の一実施例である電子増倍型固体撮像素子の感度を一定に保つための動作を説明するためのフローチャートである。

次に図６を用いて本発明の一実施例である電子増倍型固体撮像素子の感度を一定に保つための動作について説明する。

図１のＣＰＵ１０は、図６の“開始”から制御を開始し、ステップＳ１で初期設定を行う。初期設定で例えば、ＥＭ−ＣＣＤ３の電子増倍率は１０００倍を設定し、ＥＭ−ＣＣＤ３の一定に保つ温度と許容値は−２０．０±０．５℃を設定し、冷却部１１の最大供給電流値は１０Ａ（アンペア）を設定し、冷却部１１の供給電流値は１Ａ（アンペア）を設定する。ステップＳ２で温度検出部１２からＥＭ−ＣＣＤ３の温度を検出する。ステップＳ３で検出したＥＭ−ＣＣＤ３の温度と初期設定で設定した−２０．０±０．５℃を比較し、検出したＥＭ−ＣＣＤ３の温度が−２０．０±０．５℃以内であればステップＳ４の処理に進み、検出したＥＭ−ＣＣＤ３の温度が−２０．０±０．５℃以外であればステップＳ５の処理に進む。ステップＳ４でＣＰＵ１０はステップＳ１で初期設定したＥＭ−ＣＣＤ３の電子増倍率を１０００倍にするため、メモリ部１３から電子増倍率制御電圧の８Ｖ（ボルト）のデータを読み出して、ＣＣＤ駆動部９に電子増倍率制御電圧８Ｖ（ボルト）をＥＭ−ＣＣＤ３に供給するように指示し、ＣＣＤ駆動部９はＥＭ−ＣＣＤ３に電子増倍率制御電圧８Ｖ（ボルト）を供給する。ステップ４の処理の次はステップＳ２の処理に戻る。ステップＳ５で冷却部１１への供給電流を測定し、ステップＳ６の処理に進む。ステップＳ６でＥＭ−ＣＣＤ３の温度と初期設定の−２０．０±０．５℃を比較し、ＥＭ−ＣＣＤ３の温度が初期設定の−２０．０±０．５℃より低い場合はステップＳ７の処理に進み、ＥＭ−ＣＣＤ３の温度が初期設定の−２０．０±０．５℃より高い場合はステップＳ８の処理に進む。ステップＳ７ではＥＭ−ＣＣＤ３の温度を高くするため冷却部１１に供給する電流を所定量減らす、所定量とは例えば０．１Ａ（アンペア）である。ステップＳ８では冷却部１１への供給電流と初期設定の最大供給電流値１０Ａ（アンペア）を比較し、冷却部１１への供給電流が１０Ａ（アンペア）未満であればステップＳ９の処理に進み、冷却部１１への供給電流が１０Ａ（アンペア）以上であればステップＳ１０の処理に進む。ステップＳ９ではＥＭ−ＣＣＤ３の温度を低くするため冷却部１１に供給する電流を所定量増やす、所定量とは例えば０．１Ａ（アンペア）である。ステップＳ９の処理の次はステップＳ２の処理に戻る。ステップＳ１０では検出したＥＭ−ＣＣＤ３の温度に対応した電子増倍率制御電圧をＥＭ−ＣＣＤ３に供給する。ステップＳ１０の処理で例えば、ＥＭ−ＣＣＤ３の検出温度が−１０℃の場合は、メモリ部１３に記憶してあるメモリテーブルから電子増倍率１０００倍に対応した電子増倍率制御電圧９Ｖ（ボルト）を読み出して、ＣＣＤ駆動部９に電子増倍率制御電圧９Ｖ（ボルト）をＥＭ−ＣＣＤ３に供給するように指示し、ＣＣＤ駆動部９はＥＭ−ＣＣＤ３に電子増倍率制御電圧９Ｖ（ボルト）を供給する。ステップＳ１０の処理の次はステップＳ２の処理に戻る。

このような処理を行うことにより、冷却部１１の冷却能力範囲以内は、ＥＭ−ＣＣＤ３の温度を所定温度（本発明の一実施例では−２０．０±０．５℃）に保つことができるため、ＥＭ−ＣＣＤ３から出力される映像信号の感度を一定に保つことができる。ＥＭ−ＣＣＤ３の温度が冷却部１１の冷却能力範囲を超えた場合は、ＥＭ−ＣＣＤ３の温度に従って電子増倍率制御電圧を変えるによりＥＭ−ＣＣＤ３から出力される映像信号の感度を一定に保つことができる。

本発明の一実施例では、ＥＭ−ＣＣＤ３の温度が冷却部１１の冷却能力範囲を超えた場合はＥＭ−ＣＣＤ３の温度に従って電子増倍率制御電圧のみを変えてＥＭ−ＣＣＤ３から出力される映像信号の感度を一定に保つが、他の一実施例として、ＥＭ−ＣＣＤ３の温度が冷却部１１の冷却能力範囲を超えた場合はＥＭ−ＣＣＤ３の温度に従って電子増倍率制御電圧とアンプ部５の増幅率の両方を制御して、撮像装置１から出力される映像信号の感度を一定に保っても良い。

本発明の他の一実施例を図７を用いて説明する。図7は本発明の他の一実施例である撮像装置から出力される映像信号の感度を一定に保つための動作を説明するためのフローチャートである。ステップＳ１〜ステップＳ１０までの動作は図６と同じである。ステップＳ１０の処理で例えば、ＥＭ−ＣＣＤ３の検出温度が−１０℃の場合は、メモリ部１３に記憶してあるメモリテーブルから電子増倍率１０００倍に対応した電子増倍率制御電圧９Ｖ（ボルト）を読み出して、ＣＣＤ駆動部９に電子増倍率制御電圧９Ｖ（ボルト）をＥＭ−ＣＣＤ３に供給するように指示し、ＣＣＤ駆動部９はＥＭ−ＣＣＤ３に電子増倍率制御電圧９Ｖ（ボルト）を供給する。ステップＳ１０の処理の次はステップＳ１１の処理に進む。ステップＳ１１は撮像装置１から出力される映像信号の感度を一定に保つための微調整を行うため、アンプ５の利得を制御する。ステップＳ１１の処理は電子増倍制御電圧の分解能が電子増倍率により変化し、特に電子増倍率が高くなるほど電子増倍制御電圧の分解能が低くなるため、アンプ５の利得制御で微調整を行う。ステップＳ１１の処理の次はステップＳ２の処理に戻る。

また、更に他の一実施例としては、図９に示す取付構造で冷却部１１にペルチェ素子を使用し、ペルチェ素子に供給する電流を増やすと温度が上昇する面をＥＭ−ＣＣＤ３の撮像面と反対の面に取り付ける。このような取り付け方をすることにより、ＥＭ−ＣＣＤ３の撮像面を均一に加熱することができる。

更にまた他の一実施例としては、ペルチェ素子に供給する電流の向きを変えると一方の面の温度が低下または上昇するペルチェ素子を冷却部１１に使用する。このペルチェ素子の一方の面をＥＭ−ＣＣＤ３の撮像面と反対の面に取り付け、ＥＭ−ＣＣＤ３の撮像面の温度を温度検出部１２で検出し、温度検出部１２で検出した温度に従ってペルチェ素子に供給する電流の向きと電流値を変えることによってＥＭ−ＣＣＤ３の撮像面を均一に冷却または加熱することができる。図８が本発明の更にまた他の一実施例である撮像装置から出力される映像信号の感度を一定に保つための動作を説明するためのフローチャートである。

図１のＣＰＵ１０は、図８の“開始”から制御を開始し、ステップＳ１で初期設定を行う。初期設定で例えば、ＥＭ−ＣＣＤ３の電子増倍率は１０００倍を設定し、ＥＭ−ＣＣＤ３の一定に保つ温度と許容値は−２０．０±０．５℃を設定し、冷却部１１の最大供給電流値は冷却時に１０Ａ（アンペア）と加熱時に１０Ａ（アンペア）を設定し、冷却部１１の供給電流値は１Ａ（アンペア）を設定する。ステップＳ２で温度検出部１２からＥＭ−ＣＣＤ３の温度を検出する。ステップＳ３で検出したＥＭ−ＣＣＤ３の温度と初期設定で設定した−２０．０±０．５℃を比較し、検出したＥＭ−ＣＣＤ３の温度が−２０．０±０．５℃以内であればステップＳ４の処理に進み、検出したＥＭ−ＣＣＤ３の温度が−２０．０±０．５℃以外であればステップＳ５の処理に進む。ステップＳ４でＣＰＵ１０はステップＳ１で初期設定したＥＭ−ＣＣＤ３の電子増倍率を１０００倍にするため、メモリ部１３から電子増倍率制御電圧の８Ｖ（ボルト）のデータを読み出して、ＣＣＤ駆動部９に電子増倍率制御電圧８Ｖ（ボルト）をＥＭ−ＣＣＤ３に供給するように指示し、ＣＣＤ駆動部９はＥＭ−ＣＣＤ３に電子増倍率制御電圧８Ｖ（ボルト）を供給する。ステップ４の処理の次はステップＳ１１の処理に進む。ステップＳ１１は撮像装置１から出力される映像信号の感度を一定に保つための微調整を行うため、アンプ５の利得を制御する。ステップＳ１１の処理は電子増倍制御電圧の分解能が電子増倍率により変化し、特に電子増倍率が高くなるほど電子増倍制御電圧の分解能が低くなるため、アンプ５の利得制御で微調整を行う。ステップＳ１１の処理の次はステップＳ２の処理に戻る。ステップＳ５で冷却部１１への供給電流を測定し、ステップＳ１２の処理に進む。ステップ１２で冷却部１１への供給電流極性が冷却方向かを判定し、冷却方向であればステップＳ６の処理に進み、加熱方向であればステップＳ１５の処理に進む。ステップＳ６でＥＭ−ＣＣＤ３の温度と初期設定の−２０．０±０．５℃を比較し、ＥＭ−ＣＣＤ３の温度が初期設定の−２０．０±０．５℃より低い場合はステップＳ１３の処理に進み、ＥＭ−ＣＣＤ３の温度が初期設定の−２０．０±０．５℃より高い場合はステップＳ８の処理に進む。ステップＳ８では冷却部１１への供給電流と初期設定の最大供給電流値１０Ａ（アンペア）を比較し、冷却部１１への供給電流が１０Ａ（アンペア）未満であればステップＳ９の処理に進み、冷却部１１への供給電流が１０Ａ（アンペア）以上であればステップＳ１０の処理に進む。ステップＳ９ではＥＭ−ＣＣＤ３の温度を低くまたは高くするため冷却部１１に供給する電流を所定量増やす、所定量とは例えば０．１Ａ（アンペア）である。ステップＳ９の処理の次はステップＳ１１の処理に進む。ステップＳ１０では検出したＥＭ−ＣＣＤ３の温度に対応した電子増倍率制御電圧をＥＭ−ＣＣＤ３に供給する。ステップＳ１０の処理で例えば、ＥＭ−ＣＣＤ３の検出温度が−１０℃の場合は、メモリ部１３に記憶してあるメモリテーブルから電子増倍率１０００倍に対応した電子増倍率制御電圧９Ｖ（ボルト）を読み出して、ＣＣＤ駆動部９に電子増倍率制御電圧９Ｖ（ボルト）をＥＭ−ＣＣＤ３に供給するように指示し、ＣＣＤ駆動部９はＥＭ−ＣＣＤ３に電子増倍率制御電圧９Ｖ（ボルト）を供給する。ステップＳ１０の処理で例えば、ＥＭ−ＣＣＤ３の検出温度が−１０℃の場合は、メモリ部１３に記憶してあるメモリテーブルから電子増倍率１０００倍に対応した電子増倍率制御電圧９Ｖ（ボルト）を読み出して、ＣＣＤ駆動部９に電子増倍率制御電圧９Ｖ（ボルト）をＥＭ−ＣＣＤ３に供給するように指示し、ＣＣＤ駆動部９はＥＭ−ＣＣＤ３に電子増倍率制御電圧９Ｖ（ボルト）を供給する。ステップＳ１０の処理の次はステップＳ１１の処理に進む。ステップＳ１３では冷却部１１への供給電流が所定値以下かを判定する、所定値とは例えば０．０９Ａ（アンペア）である。ステップＳ１１の判定で冷却部１１への供給電流が所定値以下の場合はステップＳ１４の処理に進み、冷却部１１への供給電流が所定値以下でない場合はステップＳ７の処理に進む。ステップＳ７ではＥＭ−ＣＣＤ３の温度を高くまたは低くするため冷却部１１に供給する電流を所定量減らす、所定量とは例えば０．１Ａ（アンペア）である。ステップＳ１４では冷却部１１への供給電流の極性を切替えてステップＳ９の処理に進む。ステップＳ１５でＥＭ−ＣＣＤ３の温度と初期設定の−２０．０±０．５℃を比較し、ＥＭ−ＣＣＤ３の温度が初期設定の−２０．０±０．５℃より低い場合はステップＳ１６の処理に進み、ＥＭ−ＣＣＤ３の温度が初期設定の−２０．０±０．５℃より高い場合はステップＳ１７の処理に進む。ステップＳ１６では冷却部１１への供給電流と初期設定の最大供給電流値１０Ａ（アンペア）を比較し、冷却部１１への供給電流が１０Ａ（アンペア）未満であればステップＳ９の処理に進み、冷却部１１への供給電流が１０Ａ（アンペア）以上であればステップＳ１０の処理に進む。ステップＳ１７では冷却部１１への供給電流が所定値以下かを判定する、所定値とは例えば０．０９Ａ（アンペア）である。ステップＳ１７の判定で冷却部１１への供給電流が所定値以下の場合はステップＳ１８の処理に進み、冷却部１１への供給電流が所定値以下でない場合はステップＳ７の処理に進む。ステップＳ１８では冷却部１１への供給電流の極性を切替えてステップＳ９の処理に進む。

上記で説明したように、本発明は、電子増倍型撮像素子に取り付けてある冷却部が周囲温度の影響で冷却または加熱の能力を超えた場合でも電子増倍型撮像素子から出力される映像信号の感度を一定に保つことができる。

以上本発明について詳細に説明したが、本発明は、ここに記載された撮像装置に限定されるものではなく、上記以外のデジタルスチルカメラやラインセンサカメラ等を含むテレビジョンカメラに広く適用することができることは言うまでもない。

本発明の一実施例である撮像装置の構成を示すブロック図。 電子増倍型固体撮像素子を冷却部で冷却した場合の周囲温度と電子増倍型固体撮像素子の温度の関係を説明するための図。 電子増倍型固体撮像素子の電子増倍率が温度特性を持っていることを説明するための図。 電子増倍型固体撮像素子の温度と電子増倍率制御電圧の関係を説明するための図。 図４を数値化したメモリテーブル。 本発明の一実施例である電子増倍型固体撮像素子の感度を一定に保つための動作を説明するためのフローチャート。 本発明の他の一実施例である撮像装置から出力される映像信号の感度を一定に保つための動作を説明するためのフローチャート。 本発明の更にまた他の一実施例である撮像装置から出力される映像信号の感度を一定に保つための動作を説明するためのフローチャート。 本発明の一実施例である撮像装置でＥＭ−ＣＣＤ３と冷却部１１の取付けを説明するための取付構造図。

符号の説明

１：撮像装置、２：レンズ部、３：ＥＭ−ＣＣＤ、４：ＣＤＳ部、５：アンプ部、６：Ａ／Ｄ変換部、７：映像信号処理部、８：映像信号出力部、９：ＣＣＤ駆動部、１０：ＣＰＵ、１１：冷却部、１２：温度検出部、１３：メモリ部、１４：放熱部。

Claims (4)

1. 入射光を電子増倍型撮像素子で撮像し、映像信号を出力する撮像装置において、
   前記電子増倍型撮像素子の温度を検出し、該検出した温度が所定の範囲内であった場合に前記電子増倍型撮像素子に印加する電子増倍電圧を電子増倍率が一定となるよう適宜制御し、前記検出した温度が所定の範囲を下回っていた場合に前記電子増倍型撮像素子の冷却を弱くし、前記検出した温度が所定の範囲を上回っていた場合に前記電子増倍型撮像素子の冷却を強くすることを特徴とする撮像装置の感度補正方法。
2. 入射光を撮像し、映像信号を出力する電子増倍型撮像素子と、
   前記電子増倍型撮像素子の温度検出手段と、前記電子増倍型撮像素子の冷却手段と、
   前記温度検出手段で検出した温度に基づき、前記電子増倍型撮像素子に印加される電子増倍電圧および前記冷却手段の冷却強度を制御する制御手段と、を備え、
   前記制御手段は、前記温度検出手段で検出した温度が所定の範囲内であった場合に前記電子増倍型撮像素子に印加する電子増倍電圧を電子増倍率が一定となるよう適宜制御し、前記温度検出手段で検出した温度が所定の範囲を下回っていた場合に前記冷却部の冷却強度を弱くし、前記温度検出手段で検出した温度が所定の範囲を上回っていた場合に前記冷却部の冷却強度を強くすることを特徴とする撮像装置。
3. 前記検出した温度が所定の範囲を上回っていた場合で冷却強度が最大であった場合には、前記電子増倍型撮像素子に印加する電子増倍電圧を上げることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置の感度補正方法。
4. 前記制御手段は、前記温度検出手段で検出した温度が所定の範囲を上回っていた場合で前記冷却部の冷却強度が最大であった場合には、前記電子増倍型撮像素子に印加する電子増倍電圧を上げることを特徴とする請求項２に記載の撮像装置。

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