JP4909859B2 - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Description
また、特許文献1に開示されているように、テンプレートと探索画像のx−投影、y−投影それぞれの類似度を統合してマッチング位置を高速に求めるといった、テンプレート・マッチングの高速化に関する試みがある。さらに、特許文献2に開示されているように、探索画像におけるテンプレートとの類似度を局所的な類似度の分散を考慮してノイズの多い画像でも高精度に見積もるというテンプレート・マッチングの高精度化に関する試みもなされている。
さらなる本発明の特徴は、以下本発明を実施するための最良の形態および添付図面によって明らかになるものである。
図5は、本発明の一実施形態に係る検査装置の概略構成を示すブロック図である。図5において、カメラや電子顕微鏡などで撮影された画像、或いはそれを一旦保存しておいた画像がテンプレート選択画像としてテンプレート登録部51に入力される。テンプレート切出し部511は、テンプレート登録部51に入力されたテンプレート選択画像からテンプレートを切り出す。なお、テンプレートは、探索画像に対してテンプレート・マッチングを行うまでテンプレート登録部51に記憶されている。
図7は、テンプレート選択画像、及び探索画像として入力される走査式電子顕微鏡画像を表している。走査式電子顕微鏡画像は非常にノイズが多く、そのままではパターンがノイズに埋もれてしまってパターンの判読が難しい。そのため何度か同じ画像を取り直して、それらを積算する。パターンの情報は取り直しても変化しないが、ノイズは取り直すたびにランダムに変化するため、積算することによってノイズが減少してパターンがはっきり現れるようになる。
N : 正規化相関値(類似度)
R : 類似度分布間類似度(図17では(d)と(d’)の類似度)
A : 重なり部分の面積比:(1.0−位置ずれ量)
ここで、Nの重要度 = 候補中最大のN(N’と表記) ‥‥ (1)
を導入する。Nの重要度はノイズやパターンの歪みが大きい程低下する量となる。
Rの重要度 = 候補中最大のR(R’と表記) ‥‥ (2)
Rの重要度 = 候補中最大の(R×重なり部分の面積比A):(RA’と表記)
‥‥ (3)
Rの重要度 = 候補中最大の(R×A)を取るR:(R0と表記) ‥‥ (4)
等が考えられる。Rの重要度はパターンの不形成や視野が異なると低下する。
を導入する。Rの信頼度は候補毎に異なり、Rの信頼度が低いほどRの大小が最終的な総合指標値に及ぼす影響は小さくすべきである。ここで、Rの大小の影響を小さくするということは、Rの値を小さくするということではなく、Rの値をRの標準値に近づけるということである。
Rの標準値 = 候補中最大の(R×A)を取るR(R0と表記 ) ‥‥ (6)
Rの標準値 = R0×α ‥‥ (7)
などが考えられる。αは例えば0.9などの1.0より小さい実数である。
今までは類似度分布情報として正規化相関マップを用いた場合について説明してきた。正規化相関は以下のように計算される。
(1)位置ずれ量を、正規化相関マップ間の類似度算出領域の面積比(正規化相関マップの面積に対する面積比)を1.0から引いた量とする場合、位置ずれ量は0.0から1.0までの値に正規化される。このように、0.0から1.0までの値に正規化された位置ずれ量(1.0−A)を用いて、上述のRを含まない総合指標値を、次のように定義することもできる。
N+kA
52、62・・・画像探索部
511、611・・・テンプレート切出し部
521、621・・・探索画像類似度算出部
522、622・・・相対位置比較部
523、623・・・マッチング位置決定部
624・・・類似度分布間類似度算出部
Claims (10)
- 探索画像を取得し、その探索画像に対してテンプレート・マッチングを施す検査装置であって、
テンプレート選択画像とテンプレートとの類似度の分布を示す第1の分布情報を記憶する記憶部と、
探索画像とテンプレートとの類似度の分布を示す第2の分布情報を計算する類似度分布計算部と、
前記第1の分布情報と前記第2の分布情報との間の類似度を示す類似度分布間類似度を算出する類似度分布間類似度算出部と、
前記第1の分布情報と前記第2の分布情報との間の位置ずれ量を計算する位置ずれ量計算部と、
前記第2の分布情報のマッチング候補位置について、前記類似度と前記類似度分布間類似度に基づく合成指標値を算出すると共に、前記位置ずれ量が小さいほど当該算出の際の類似度分布間類似度の割合が大きくなるような演算を行う指標値算出部と、
前記合成指標値に基づいてマッチング位置を決定するマッチング位置決定部と、
を備えることを特徴とする検査装置。 - 前記位置ずれ量計算部は、正規化相関マップの面積に対する正規化相関マップ間類似度算出領域の面積の割合を1.0から引いた値を前記位置ずれ量とすることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記位置ずれ量計算部は、x方向の位置ずれ量とy方向の位置ずれ量の和を前記位置ずれ量とすることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記位置ずれ量計算部は、x方向の位置ずれ量とy方向の位置ずれ量のうち大きい方を前記位置ずれ量とすることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記位置ずれ量の前記合成指標値を算出する際の前記類似度分布間類似度の寄与率を設定するためのユーザインタフェースを備えることを特徴とする請求項2に記載の検査装置。
- 検査装置において、探索画像を取得し、その探索画像に対してテンプレート・マッチングを施す検査方法であって、
類似度分布計算部が、探索画像とテンプレートとの類似度の分布を示す第2の分布情報を計算する工程と、
類似度分布間類似度算出部が、テンプレート選択画像とテンプレートとの類似度の分布を示す第1の分布情報を記憶する記憶部から前記第1の分布情報を読み出し、当該第1の分布情報と前記第2の分布情報との間の類似度を示す類似度分布間類似度を算出する工程と、
位置ずれ量計算部が、前記第1の分布情報と前記第2の分布情報との間の位置ずれ量を計算する工程と、
指標値算出部が、前記第2の分布情報のマッチング候補位置について、前記類似度と前記類似度分布間類似度に基づく合成指標値を算出すると共に、前記位置ずれ量が小さいほど当該算出の際の類似度分布間類似度の割合が大きくなるような演算を行う工程と、
マッチング位置決定部が、前記合成指標値に基づいてマッチング位置を決定する工程と、
を備えることを特徴とする検査方法。 - 前記位置ずれ量計算部は、正規化相関マップの面積に対する正規化相関マップ間類似度算出領域の面積の割合を1.0から引いた値を前記位置ずれ量とすることを特徴とする請求項6に記載の検査方法。
- 前記位置ずれ量計算部は、x方向の位置ずれ量とy方向の位置ずれ量の和を前記位置ずれ量とすることを特徴とする請求項6に記載の検査方法。
- 前記位置ずれ量計算部は、x方向の位置ずれ量とy方向の位置ずれ量のうち大きい方を前記位置ずれ量とすることを特徴とする請求項6に記載の検査方法。
- ユーザインタフェースを介して、前記位置ずれ量の前記合成指標値を算出する際の前記類似度分布間類似度の寄与率を設定する工程を備えることを特徴とする請求項7に記載の検査方法。
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