JP4902608B2 - チオール化合物 - Google Patents
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Description
1.メルカプト基に対してα位および/またはβ位の炭素原子に置換基を有するメルカプト基含有基を有するチオール化合物及び光重合開始剤を含むことを特徴とする光重合開始剤組成物。
2.メルカプト基に対するα位および/またはβ位の炭素原子の置換基の少なくとも一つが、アルキル基である前項1に記載の光重合開始剤組成物。
3.アルキル基が、炭素数1〜10の直鎖または分岐のアルキル基である前項2に記載の光重合開始剤組成物。
4.チオール化合物が、2個以上のメルカプト基含有基を有する化合物である前項1乃至3のいずれかに記載の光重合開始剤組成物。
5.チオール化合物が、一般式(1)
で示されるメルカプト基含有基を有する化合物である前項1乃至4のいずれかに記載の光重合開始剤組成物。
6.メルカプト基含有基を有するチオール化合物が、一般式(2)
で示されるメルカプト基含有カルボン酸と多官能アルコールとのエステル化合物である前項5に記載の光重合開始剤組成物。
7.多官能アルコールが、アルキレングリコール(但し、アルキレン基の炭素数は2〜10で枝分かれしていてもよい。)、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトールおよびジペンタエリスリトールから選ばれる化合物の1種または2種以上である前項6に記載の光重合開始剤組成物。
8.アルキレングリコールが、エチレングリコール、1,2−プロピレングリコールまたは1,2−ブタンジオールである前項7に記載の光重合開始剤組成物。
9.チオール化合物が、一般式(A)
10.チオール化合物が、一般式(B)
11.nが0である前項5乃至10のいずれかに記載の光重合開始剤組成物。
12.mが0または1である前項5乃至11のいずれかに記載の光重合開始剤組成物。
13.メルカプト基含有基を有するチオール化合物が、エチレングリコールビス(3−メルカプトブチレート)、1,2−プロピレングリコール(3−メルカプトブチレート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)、エチレングリコールビス(2−メルカプトイソブチレート)、1,2−プロピレングリコールビス(2−メルカプトイソブチレート)、トリメチロールプロパントリス(2−メルカプトイソブチレート)から選ばれる1種または2種以上の化合物である前項6に記載の光重合開始剤組成物。
14.光重合開始剤が、α−ヒドロキシアセトフェノン類、α−アミノアセトフェノン類、及びビイミダゾール類から選ばれる少なくとも1種の光重合開始剤である前項1乃至13のいずれかに記載の光重合開始剤組成物。
15.さらに、増感剤を含有する前項1乃至14のいずれかに記載の光重合開始剤組成物。
16.増感剤が、ベンゾフェノン類およびアンスラキノン類から選ばれる前項15に記載の光重合開始剤組成物。
17.前項1乃至16のいずれかに記載の光重合開始剤組成物を含む感光性組成物。
18.高分子重合体および/またはエチレン性不飽和結合を有する化合物を含有する前項17に記載の感光性組成物。
19.高分子重合体が溶剤またはアルカリ水溶液に可溶な重合体である前項18に記載の感光性組成物。
20.顔料を含有する前項18または19に記載の感光性組成物。
21.一般式(2)
で示されるメルカプト基含有カルボン酸と多官能アルコールとのエステル化物であるチオール化合物。
22.多官能アルコールが、アルキレングリコール(但し、アルキレン基の炭素数は2〜10で枝分かれしていてもよい。)、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトールおよびジペンタエリスリトールから選ばれる化合物である前項21に記載のチオール化合物。
23.アルキレングリコールが、エチレングリコール、1,2−プロピレングリコールまたは1,2−ブタンジオールである前項22に記載のチオール化合物。
24.一般式(A)
25.一般式(B)
26.nが0である前項21乃至25のいずれかに記載のチオール化合物。
27.mが0または1である前項21乃至26のいずれかに記載のチオール化合物。
28.分子量が200〜1000である前項21乃至27のいずれかに記載のチオール化合物。
29.エチレングリコールビス(3−メルカプトブチレート)、1,2−プロピレングリコール(3−メルカプトブチレート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)、エチレングリコールビス(2−メルカプトイソブチレート)、1,2−プロピレングリコールビス(2−メルカプトイソブチレート)またはトリメチロールプロパントリス(2−メルカプトイソブチレート)である前項21に記載のチオール化合物。
本発明の感光性組成物は、光製版用レジスト、ソルダーレジスト、エッチングレジスト、カラーフィルターレジスト、ホログラム、光造形、UVインク等の用途分野に好適に用いられ、特に精細なパターンを形成する現像型レジスト用として好適である。
(1)メルカプト基含有基を有するチオール化合物
本発明のチオール化合物は、特定のメルカプト基含有基を有するチオール化合物であって、前記メルカプト基含有基が、メルカプト基に対してα位および/またはβ位の炭素原子が置換基を有する構造であることを特徴とする。前記置換基の少なくとも一つはアルキル基であることが好ましい。
mは0または1〜2の整数、好ましくは0または1であり、nは0または1、好ましくは0である。
このように、多官能であることにより単官能化合物と比較して、光重合に関し、より高感度とすることが可能である。
炭化水素ジチオールとしては、2,5−ヘキサンジチオール、2,9−デカンジチオール、1,4−ビス(1−メルカプトエチル)ベンゼン等を例示することができる。
本発明のチオール化合物の製造方法は特に限定されるものではないが、メルカプト基含有カルボン酸とアルコール類とのエステルについては、上述した一般式(2)で表されるメルカプト基含有カルボン酸とアルコール類とを常法に従って反応させてエステルを形成させることにより、得ることができる。エステル反応の条件については特に制限はなく、従来公知の反応条件の中から適宜選択することができる。
より好ましいチオール化合物としては、以下に示すチオール化合物(A)および(B)を挙げることができる。
このチオール化合物は、上記一般式(A)で表されるチオール化合物であって、L(前記一般式(1)で表されるメルカプト基含有基)におけるR1およびR2のいずれか一方が水素原子で、n=0であるものである。主鎖の炭素数が2個のジオールとしては、例えばエチレングリコール、1,2−プロピレングリコール、1,2−ブタンジオールが挙げられる。かかるチオール化合物(A1)の好ましい具体例としては、エチレングリコールビス(3−メルカプトブチレート)、1,2−プロピレングリコールビス(3−メルカプトブチレート)、1,2−ブタンジオールビス(3−メルカプトブチレート)が挙げられる。
このチオール化合物は、上記一般式(A)で表されるチオール化合物であって、L(前記一般式(1)で表されるメルカプト基含有基)におけるR1およびR2がともにアルキル基で、n=0であるものである。かかるチオール化合物(A2)の好ましい具体例としては、エチレングリコールビス(2−メルカプトイソブチレート)、1,2−プロピレングリコールビス(2−メルカプトイソブチレート)が挙げられる。
このチオール化合物は、上記一般式(B)で表されるチオール化合物であって、L(前記一般式(1)で表されるメルカプト基含有基)におけるR1およびR2のいずれか一方が水素原子で、n=0であるものである。かかるチオール化合物(B3)の好ましい具体例としては、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)が挙げられる。
このチオール化合物は、上記一般式(B)で表されるチオール化合物であって、L(前記一般式(1)で表されるメルカプト基含有基)におけるR1およびR2がともにアルキル基で、n=0であるものである。かかるチオール化合物(B4)の好ましい具体例としては、トリメチロールプロパントリス(2−メルカプトイソブチレート)が挙げられる。
(1)光重合開始剤組成物
本発明の光重合開始剤組成物は、上述のチオール化合物及び光重合開始剤を含む。
チオール化合物は単独もしくは2種以上組み合わせて用いることができる。
光重合開始剤は一般的な光重合開始剤を用いることができるが、好ましくはα−ヒドロキシアセトフェノン類、α−アミノアセトフェノン類、ビイミダゾール類が挙げられる。
光重合開始剤組成物中のチオール化合物の含有量は10〜90質量%、光重合開始剤は90〜10質量%が好ましい。
増感剤としては、シアニン、キサンテン、オキサジン、チアジン、ジアリールメタン、トリアリールメタン、ピリリウムなどのカチオン色素類、メロシアニン、クマリン、インジゴ、芳香族アミン、フタロシアニン、アゾ、キノン、チオキサンテン系増感色素などの中性色素、ベンゾフェノン類、アセトフェノン類、ベンゾイン類、チオキサントン類、アンスラキノン類、イミダゾール類、ビイミダゾール類、クマリン類、ケトクマリン類、トリフェニルピリリウム類、トリアジン類、安息香酸類等の化合物が例示される。また、アシルフォスフィンオキサイド、メチルフェニルグリオキシレート、α−アシルオキシムエステル、ベンジル、カンファーキノン等の化合物も用いることができる。
増感剤は、これらの化合物をそれぞれ単独もしくは2種以上を組み合わせて用いることができるが、用いる光源の発光パターンを勘案して決めるべきである。
本発明の感光性組成物は、エチレン性不飽和結合を有する化合物及び/または透明高分子重合体と、上記光重合開始剤組成物とを含み、必要に応じて顔料、溶媒などの各種添加物を配合することができる。
通常、ラジカル重合による光硬化は、空気との界面では空気中の酸素による重合阻害のために、完全硬化は困難となる。そこで、一般的には表面に酸素がふれないようにカバーフィルム等の空気遮断層を設けたり、アルゴンガスや窒素などの不活性ガス雰囲気下で光硬化を行う。しかし本発明の感光性組成物は酸素の有無にかかわらず十分な硬化性を示し、酸素遮断膜を用いないことが望ましい用途たとえばカラーフィルタ形成用感光性組成物として好ましく用いることができる。
エチレン性不飽和結合を有する化合物と高分子重合体を併用する場合、高分子重合体の配合量は、エチレン性不飽和結合を有する化合物100質量部に対し一般には1〜300質量部、好ましくは50〜200質量部である。
光開始剤組成物の配合量は、エチレン性不飽和結合を有する化合物100質量部に対し一般には2〜400質量部、好ましくは20〜200質量部である。
本発明の感光性組成物は、上記各成分を3本ロールミル、2本ロールミル、サンドミル、アトライター、ボールミル、ニーダー、ペイントシェイカー等の各種分散手段を用いて混合することにより製造することができる。また、モノマーや光重合開始剤は顔料分散後に配合してもよい。
エチレングリコール(和光純薬工業(株)製)3.72g(60mmol)、3−メルカプトブタン酸(淀化学(株)製)15.86g(132mmol)、p−トルエンスルホン酸・1水和物(純正化学(株)製)0.92g(4.8mmol)、トルエン(純正化学(株)製)60gを200ml容ナスフラスコに仕込み、Dean−Stark装置及び冷却管を装着した。内容物を撹拌しながらオイルバス温度140℃で加熱した。反応開始2時間後にp−トルエンスルホン酸・1水和物を0.92g(4.8mmol)を添加し、さらに反応開始4時間後にもp−トルエンスルホン酸・1水和物0.46g(2.4mmol)を加えた。さらに1時間反応を行った後、放冷し、10%炭酸水素ナトリウム水溶液200mlで、反応液を中和した。さらに反応液をイオン交換水にて3回洗浄した後、無水硫酸マグネシウム(純正化学(株)製)にて脱水・乾燥を行った。次にトルエンを留去し、残分をシリカゲルによるカラムクロマトグラフィーにかけ、EGMBの精製を行った。シリカゲルはワコーゲルC−200(和光純薬工業(株)製)を用い、溶出溶媒としてn−ヘキサン/酢酸エチル=6/1(容積比)を用いた。精製して得られたEGMBは無色透明液体であり、収量は7.57g、収率は45%であった。EGMBの組成式はC10H18O4S2、分子量は266.38である。
1,2−プロピレングリコール(和光純薬工業(株)製)3.04g(40mmol)、3−メルカプトブタン酸10.57g(88mmol)、p−トルエンスルホン酸・1水和物0.61g(3.2mmol)、トルエン40gを100ml容ナスフラスコに仕込み、Dean−Stark装置及び冷却管を装着した。内容物を撹拌しながらオイルバス温度140℃で加熱した。反応開始2時間後にp−トルエンスルホン酸・1水和物を0.61g(3.2mmol)を添加し、さらに反応開始4時間後にもp−トルエンスルホン酸・1水和物0.30g(1.6mmol)を加えた。さらに1時間反応を行った後、放冷し、10%炭酸水素ナトリウム水溶液100mlで、反応液を中和した。さらに反応液をイオン交換水にて3回洗浄した後、無水硫酸マグネシウムにて脱水・乾燥を行った。次にトルエンを留去し、残分をシリカゲルによるカラムクロマトグラフィーにかけ、PGMBの精製を行った。シリカゲルはワコーゲルC−200を用い、溶出溶媒としてn−ヘキサン/酢酸エチル=6/1(容積比)を用いた。精製して得られたPGMBは無色透明の液体であり、収量は2.80g、収率は25%であった。PGMBの組成式はC11H20O4S2、分子量は280.41である。
トリメチロールプロパン(東京化成(株)製)2.68g(20mmol)、3−メルカプトブタン酸7.57g(63mmol)、p−トルエンスルホン酸・1水和物0.23g(1.2mmol)、トルエン20gを100ml容ナスフラスコに仕込み、Dean−Stark装置及び冷却管を装着した。内容物を撹拌しながらオイルバス温度145℃で加熱した。反応開始3時間後に放冷し、5%炭酸水素ナトリウム水溶液50mlで、反応液を中和した。さらに反応液をイオン交換水にて2回洗浄した後、無水硫酸マグネシウムにて脱水・乾燥を行った。次にトルエンを留去し、残分をシリカゲルによるカラムクロマトグラフィーにかけ、TPMBの精製を行った。シリカゲルはワコーゲルC−200を用い、溶出溶媒としてn−ヘキサン/酢酸エチル=5/1(容積比)を用いた。精製して得られたTPMBは無色透明の液体であり、収量は5.63g、収率は64%であった。TPMBの組成式はC18H32O6S3、分子量は440.64である。
エチレングリコール3.72g(60mmol)、2−メルカプトイソブタン酸(淀化学(株)製)15.86g(132mmol)、p−トルエンスルホン酸・1水和物0.92g(4.8mmol)、トルエン60gを200ml容ナスフラスコに仕込み、Dean−Stark装置及び冷却管を装着した。内容物を撹拌しながらオイルバス温度140℃で加熱した。反応開始2時間後にp−トルエンスルホン酸・1水和物を0.92g(4.8mmol)を添加し、さらに反応開始5時間後にもp−トルエンスルホン酸・1水和物0.46g(2.4mmol)を加えた。さらに2時間反応を行った後放冷し、10%炭酸水素ナトリウム水溶液200mlで、反応液を中和した。さらに反応液をイオン交換水にて3回洗浄した後、無水硫酸マグネシウムにて脱水・乾燥を行った。次にトルエンを留去し、残分をシリカゲルによるカラムクロマトグラフィーにかけ、EGMIBの精製を行った。シリカゲルはワコーゲルC−200を用い、溶出溶媒としてn−ヘキサン/酢酸エチル=6/1(容積比)を用いた。精製して得られたEGMIBは白色の結晶であり、収量は6.08g、収率は38%であった。EGMIBの組成式はC10H18O4S2、分子量は266.38である。
1,2−プロピレングリコール4.57g(60mmol)、2−メルカプトイソブタン酸15.86g(132mmol)、p−トルエンスルホン酸・1水和物1.20g(6.3mmol)、塩化メチレン100g(純正化学(株)製)を200ml容ナスフラスコに仕込み、モレキュラーシーブス4A(ユニオン昭和(株)製)をつめたソックスレー抽出器、及び冷却管を装着した。内容物を撹拌しながらオイルバス温度70℃で加熱した。30時間反応を行った後、10%炭酸水素ナトリウム水溶液200mlで、反応液を中和した。さらに反応液をイオン交換水にて3回洗浄した後、無水硫酸マグネシウムにて脱水・乾燥を行った。次に塩化メチレンを留去し、残分をシリカゲルによるカラムクロマトグラフィーにかけ、PGMIBの精製を行った。シリカゲルはワコーゲルC−200を用い、溶出溶媒としてn−ヘキサン/酢酸エチル=6/1(容積比)を用いた。精製して得られたPGMIBは無色透明の液体であり、収量は4.00g、収率は24%であった。PGMIBの組成式はC11H20O4S2、分子量は280.41である。
トリメチロールプロパン(東京化成(株)製)2.68g(20mmol)、2−メルカプトイソブタン酸7.57g(63mmol)、p−トルエンスルホン酸・1水和物0.23g(1.2mmol)、トルエン20gを100ml容ナスフラスコに仕込み、Dean−Stark装置及び冷却管を装着した。内容物を撹拌しながら145℃に加熱した。反応開始3時間後に放冷し、5%炭酸水素ナトリウム水溶液50mlで、反応液を中和した。さらに反応液をイオン交換水にて2回洗浄した後、無水硫酸マグネシウムにて脱水・乾燥を行った。次にトルエンを留去し、残分をシリカゲルによるカラムクロマトグラフィーにかけ、TPMIBの精製を行った。シリカゲルはワコーゲルC−200を用い、溶出溶媒としてn−ヘキサン/酢酸エチル=5/1(容積比)を用いた。精製して得られたTPMIBは白色結晶であり、収量は4.50g、収率は51%であった。TPMIBの組成式はC18H32O6S3、分子量は440.64である。
(1)EGMB
・1H−NMR
EGMBの1H−NMRチャートを図1に示した。1H−NMRはBruker社製AMX400を使用し、重クロロホルム中にて測定を行った。
EGMBの13C−NMRチャートを図2に示した。13C−NMRは、Bruker社製AMX400を使用し、重クロロホルム中にて測定を行い、さらに各ケミカルシフトのピークについて帰属を行った。
31.2ppm:2及び2’のメチン基の炭素原子;
45.6ppm:3及び3’のメチレン基の炭素原子;
62.2ppm:5及び6のメチレン基の炭素原子;
170.7ppm:4及び4’のカルボニル基の炭素原子。
EGMBの質量分析は日本電子(株)製JMS−SX102Aを用いて測定を行った。MH+に相当するピークはm/z=267の位置に検出され、EGMBの分子量である266.38と一致した。
・1H−NMR
PGMBの1H−NMRは日本電子(株)製JNM−AL400を使用し、重クロロホルム中にて測定を行った。結果は図3に示した。
PGMBの13C−NMRは日本電子(株)製JNM−AL400を使用し、重クロロホルム中にて測定を行い、さらに各ケミカルシフトのピークについて帰属を行った。結果は図4に示した。
24.7ppm:1及び1’のメチル基の炭素原子;
31.1ppm:2及び2’のメチン基の炭素原子;
45.4、45.7ppm:3及び3’のメチレン基の炭素原子;
65.8ppm:6のメチレン基の炭素原子;
68.2ppm:5のメチン基の炭素原子;
170.0、170.3ppm:4及び4’のカルボニル基の炭素原子。
PGMBの質量分析は、EGMBと同じ装置を用いて測定した。MH+に相当するピークはm/z=281の位置に検出され、PGMBの分子量である280.41と一致した。
・1H−NMR
TPMBの1H−NMRはEGMBと同じ装置を用い、重クロロホルム中で測定した。結果は図5に示した。
TPMBの13C−NMRはEGMBと同じ装置を用い、重クロロホルム中で測定した。さらに各ケミカルシフトのピークについて帰属を行った。結果は図6に示した。
23.1ppm:2のメチレン基の炭素原子;
25.0ppm:10、10’、10”のメチル基の炭素原子;
31.2ppm:9、9’、9”のメチン基の炭素原子;
40.8ppm:3の4級炭素原子;
45.7ppm:8、8’、8”のメチレン基の炭素原子;
63.9ppm:4、5、6のメチレン基の炭素原子;
170.7ppm:7、7’、7”のカルボニル基の炭素原子。
TPMBの質量分析は、EGMBと同じ装置を用いて測定した。MH+に相当するピークはm/z=441の位置に検出され、TPMBの分子量である440.64と一致した。
・1H−NMR
EGMIBの1H−NMRはEGMBと同じ装置を用い、重クロロホルム中で測定した。結果は図7に示した。
EGMIBの13C−NMRはEGMBと同じ装置を用い、重クロロホルム中で測定した。さらに各ケミカルシフトのピークについて帰属を行った。結果は図8に示した。
44.8ppm:2、2’の4級炭素原子;
62.9ppm:5、6のメチレン基の炭素原子;
174.6ppm:3、3’のカルボニル基の炭素原子。
EGMIBの質量分析は、EGMBと同じ装置を用いて測定した。MH+に相当するピークはm/z=267の位置に検出され、EGMIBの分子量である266.38と一致した。
・融点
融点はBUCHI社製融点測定機 型式510を用いて測定を行った。融点は38℃であった。
・1H−NMR
PGMIBの1H−NMRはEGMBと同じ装置を用い、重クロロホルム中で測定した。結果は図9に示した。
PGMIBの13C−NMRはEGMBと同じ装置を用い、重クロロホルム中で測定した。さらに各ケミカルシフトのピークについて帰属を行った。結果は図10に示した。
29.0ppm:1、1’、4、4’のメチル基の炭素原子;
44.8ppm:2、2’の4級炭素原子;
66.7ppm:6のメチレン基の炭素原子;
69.2ppm:5のメチン基の炭素原子;
174.1、174.5ppm:3、3’のカルボニル基の炭素原子。
PGMIBの質量分析は、EGMBと同じ装置を用いて測定した。MH+に相当するピークはm/z=281の位置に検出され、PGMIBの分子量である280.41と一致した。
・1H−NMR
TPMIBの1H−NMRはEGMBと同じ装置を用い、重クロロホルム中で測定した。結果は図11に示した。
TPMIBの13C−NMRはEGMBと同じ装置を用い、重クロロホルム中で測定した。さらに各ケミカルシフトのピークについて帰属を行った。結果は図12に示した。
23.4ppm:2のメチレン基の炭素原子;
29.0ppm:9、9’、9”、10、10’、10”のメチル基の炭素原子;
42.0ppm:3の4級炭素原子;
44.9ppm:8、8’、8”の4級炭素原子;
64.4ppm:4、5、6のメチレン基の炭素原子;
174.7ppm:7、7’、7”のカルボニル基の炭素原子。
TPMIBの質量分析は、EGMBと同じ装置を用いて測定した。MH+に相当するピークはm/z=441の位置に検出され、TPMIBの分子量である440.64と一致した。
融点はBUCHI社製融点測定機 型式510を用いて測定を行った。融点は60℃であった。
1リットル容の4つ口フラスコに、シクロヘキサノン(和光純薬工業(株)製)350部、スチレン(東京化成(株)製)26部、2−ヒドロキシエチルアクリレート23部(共栄社化学(株)製)、メタクリル酸(共栄社化学(株)製)35部、メタクリル酸メチル(共栄社化学(株)製)21部、メタクリル酸n−ブチル(共栄社化学(株)製)70部を仕込み、90℃に加熱し、あらかじめシクロヘキサノン290部、スチレン26部、2−ヒドロキシエチルアクリレート23部、メタクリル酸35部、メタクリル酸メチル21部、メタクリル酸ブチル70部とアゾビスイソブチロニトリル(和光純薬工業(株)製)1.75部を混合溶解したものを3時間で滴下し、90℃にて3時間さらに反応させた。さらに、アゾビスイソブチロニトリル0.75部をシクロヘキサノン10部に溶解させたものを添加し、さらに1時間反応を続け、樹脂溶液を合成した。この樹脂溶液の一部をサンプリングして180℃、20分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分が30%となるようにシクロヘキサノンを添加した。
本実施例において調製した感光性(着色)組成物を便宜上レジストと呼ぶ。なお、本実施例では顔料を分散したアルカリ現像型レジストについて、以下の工程でレジストパターン形成を行った。
第一工程;透明基板上に本発明の感光性組成物により感光性着色樹脂層を形成させる工程。
第二工程;前記感光性着色樹脂層に、所定のパターンを有するパターンマスクを介しパターン露光を行う工程。
第三工程;前記パターン露光後、感光性着色樹脂層に現像処理を行い、所定のパターンに従い前記透明基板上に残留した硬化後の感光性樹脂層を画素層とする工程。
第四工程;現像工程後、画素層を形成した透明基板にベイキング(ポストベイク)を行う工程。
樹脂溶液50部、リオノールブルーE(東洋インキ製造社製)5.7部、および分散剤(ビックケミー社製、BYK−161)0.3部を混合し、ペイントコンディショナー(浅田鉄工(株)製)にて24時間分散して青色分散体を作製した。
この青色レジスト100部に対して、表1に示す増感剤、光重合開始剤、チオール化合物を容器中で充分に混合し、1.0μmのフィルタにてろ過し、不揮発成分約30%の青色レジストを調製した。
感度測定(後述)はレジストを調製した日と室温(22〜24℃)で4週間保存後に測定した。
上記青色レジスト(開始剤抜き)100部に対し、表1に示す増感剤、光重合開始剤を容器中で充分に混合し、1.0ミクロンのフィルタにてろ過し、不揮発成分約30%の比較例青色レジストを調製した。
上記青色レジスト(開始剤抜き)100部に対し、表1に示す増感剤、光重合開始剤、チオール化合物を容器中で充分に混合し、1.0ミクロンのフィルタにてろ過し、不揮発成分約30%の比較例青色レジストを調製した。なお、チオール化合物としては、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)(TPMP)(淀化学社製,商品名:TMTP)を使用した。
得られたレジストの分光感度を測定するために、100mm×100mmのガラス基板上にスピンコーターで乾燥膜厚が約10ミクロンになるように実施例、比較例の各レジストを塗布し、70℃、20分熱風オーブンで乾燥し、照射分光器(日本分光社製JASCO CT−25CP型)にセットし自動的に露光時間を変えて露光を行った。光源としては、超高圧水銀ランプを用いた。露光後の基板を0.5%の炭酸ナトリウム水溶液に約40秒浸し現像した後、流水で洗浄し220℃で30分加熱して分光写真を得た。表2にi線(365nm)、h線(405nm)、およびg線(436nm)での現像残りの段数を示す。本実験装置での段数と露光量の関係は表2の通りである。即ち、段数が大きいほど感度が高いことを示す。
Claims (6)
- 一般式(2)
mが0のとき、R1およびR2は各々独立して炭素数1〜10のアルキル基を表わし、
mが1のとき、R1およびR2のいずれか一方は炭素数1〜10のアルキル基を表わし、他方は水素原子を表わし、
nは0である。)
で示されるメルカプト基含有カルボン酸とアルキレングリコール(但し、アルキレン基の炭素数は2〜10で枝分かれしていてもよい。)、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトールおよびジペンタエリスリトールから選ばれるアルコールとのエステル化物であるチオール化合物。 - アルキレングリコールが、エチレングリコール、1,2−プロピレングリコールまたは1,2−ブタンジオールである請求項1に記載のチオール化合物。
- 一般式(B)
- 分子量が200〜1000である請求項1乃至3のいずれかに記載のチオール化合物。
- エチレングリコールビス(3−メルカプトブチレート)、プロピレングリコールビス(3−メルカプトブチレート)、ジエチレングリコールビス(3−メルカプトブチレート)、ブタンジオールビス(3−メルカプトブチレート)、オクタンジオールビス(3−メルカプトブチレート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトブチレート)、エチレングリコールビス(2−メルカプトイソブチレート)、プロピレングリコールビス(2−メルカプトイソブチレート)、ジエチレングリコールビス(2−メルカプトイソブチレート)、ブタンジオールビス(2−メルカプトイソブチレート)、オクタンジオールビス(2−メルカプトイソブチレート)、トリメチロールプロパントリス(2−メルカプトイソブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(2−メルカプトイソブチレート)、またはジペンタエリスリトールヘキサキス(2−メルカプトイソブチレート)である請求項1に記載のチオール化合物。
- エチレングリコールビス(3−メルカプトブチレート)、1,2−プロピレングリコール(3−メルカプトブチレート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)、エチレングリコールビス(2−メルカプトイソブチレート)、1,2−プロピレングリコールビス(2−メルカプトイソブチレート)またはトリメチロールプロパントリス(2−メルカプトイソブチレート)である請求項5に記載のチオール化合物。
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