JP4856079B2 - 光電変換装置及びその製造方法並びに光発電装置 - Google Patents
光電変換装置及びその製造方法並びに光発電装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4856079B2 JP4856079B2 JP2007533374A JP2007533374A JP4856079B2 JP 4856079 B2 JP4856079 B2 JP 4856079B2 JP 2007533374 A JP2007533374 A JP 2007533374A JP 2007533374 A JP2007533374 A JP 2007533374A JP 4856079 B2 JP4856079 B2 JP 4856079B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- porous
- dye
- photoelectric conversion
- semiconductor layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims description 263
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 57
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 1014
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 375
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 229
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims description 153
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 131
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 130
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 118
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 96
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 84
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 78
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 73
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims description 66
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 claims description 64
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 claims description 33
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 31
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 31
- 238000010248 power generation Methods 0.000 claims description 28
- 239000012466 permeate Substances 0.000 claims description 18
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 14
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 11
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 8
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 188
- 239000010408 film Substances 0.000 description 113
- 229940112824 paste Drugs 0.000 description 58
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 57
- 229940021013 electrolyte solution Drugs 0.000 description 54
- 239000000463 material Substances 0.000 description 49
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 44
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 37
- YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N acetylacetone Chemical compound CC(=O)CC(C)=O YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 36
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 35
- -1 etc. Inorganic materials 0.000 description 30
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 30
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 28
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 27
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 27
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 26
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 25
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 23
- 230000003204 osmotic effect Effects 0.000 description 23
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 23
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 21
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 20
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 19
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 19
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 19
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 19
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 19
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 19
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 18
- 239000000499 gel Substances 0.000 description 18
- 230000012010 growth Effects 0.000 description 18
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 18
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 18
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 17
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 17
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 16
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 15
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 15
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 15
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 14
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 14
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 13
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 13
- HSZCZNFXUDYRKD-UHFFFAOYSA-M lithium iodide Chemical compound [Li+].[I-] HSZCZNFXUDYRKD-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 13
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 13
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 description 13
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 13
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 12
- 239000011245 gel electrolyte Substances 0.000 description 12
- 239000011244 liquid electrolyte Substances 0.000 description 12
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 12
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 11
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 11
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 11
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- DKGAVHZHDRPRBM-UHFFFAOYSA-N Tert-Butanol Chemical compound CC(C)(C)O DKGAVHZHDRPRBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 10
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 10
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 10
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 10
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 9
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 9
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 8
- 230000006870 function Effects 0.000 description 8
- 238000001027 hydrothermal synthesis Methods 0.000 description 8
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 8
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 8
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 8
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 8
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical compound [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 7
- 238000007611 bar coating method Methods 0.000 description 7
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 7
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 7
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 7
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 7
- XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N hydrogen iodide Chemical compound I XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000011630 iodine Substances 0.000 description 7
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 7
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N nickel(II) oxide Inorganic materials [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 7
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N Ethylene carbonate Chemical compound O=C1OCCO1 KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 6
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000009471 action Effects 0.000 description 6
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 6
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 6
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 6
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 6
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 6
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 6
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 6
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 6
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 6
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 6
- 238000006479 redox reaction Methods 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 5
- 150000003242 quaternary ammonium salts Chemical class 0.000 description 5
- 150000004756 silanes Chemical class 0.000 description 5
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 5
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- IKQCDTXBZKMPBB-UHFFFAOYSA-M 1-ethyl-3-methylimidazol-3-ium;iodide Chemical compound [I-].CCN1C=C[N+](C)=C1 IKQCDTXBZKMPBB-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- SFPQDYSOPQHZAQ-UHFFFAOYSA-N 2-methoxypropanenitrile Chemical compound COC(C)C#N SFPQDYSOPQHZAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910015902 Bi 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 4
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 4
- 229940022504 aluminum oxide paste Drugs 0.000 description 4
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N chlorotrimethylsilane Chemical compound C[Si](C)(C)Cl IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N cobalt(II) oxide Inorganic materials [Co]=O IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PDZKZMQQDCHTNF-UHFFFAOYSA-M copper(1+);thiocyanate Chemical compound [Cu+].[S-]C#N PDZKZMQQDCHTNF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 4
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 4
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 4
- 229920006244 ethylene-ethyl acrylate Polymers 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 4
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 description 4
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 4
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 4
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 4
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 4
- 238000005118 spray pyrolysis Methods 0.000 description 4
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 4
- GKXDJYKZFZVASJ-UHFFFAOYSA-M tetrapropylazanium;iodide Chemical compound [I-].CCC[N+](CCC)(CCC)CCC GKXDJYKZFZVASJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910005540 GaP Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910015621 MoO Inorganic materials 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 3
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 3
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 3
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002585 base Substances 0.000 description 3
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000451 chemical ionisation Methods 0.000 description 3
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 3
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 3
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 3
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 3
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N iodine Chemical compound II PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 3
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 3
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910017464 nitrogen compound Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000002830 nitrogen compounds Chemical class 0.000 description 3
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 3
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 3
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 3
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 3
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical compound [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000005372 silanol group Chemical group 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 3
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 3
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 3
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 3
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 3
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YHUKQLJMHYAHOI-UHFFFAOYSA-M 1,1-dimethylimidazol-1-ium;iodide Chemical compound [I-].C[N+]1(C)C=CN=C1 YHUKQLJMHYAHOI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- KBKLITIIEQQJIX-UHFFFAOYSA-N 1,2-dimethyl-3-propyl-2h-imidazole;hydroiodide Chemical compound [I-].CCCN1C=C[NH+](C)C1C KBKLITIIEQQJIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CIISBYKBBMFLEZ-UHFFFAOYSA-N 1,2-oxazolidine Chemical class C1CNOC1 CIISBYKBBMFLEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CZSRXHJVZUBEGW-UHFFFAOYSA-N 1,2-thiazolidine Chemical class C1CNSC1 CZSRXHJVZUBEGW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CZIUVCSYOGFUPH-UHFFFAOYSA-M 1-hexyl-3-methylimidazol-3-ium;iodide Chemical compound [I-].CCCCCC[N+]=1C=CN(C)C=1 CZIUVCSYOGFUPH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- YLRKYRFDNMXWIM-UHFFFAOYSA-M 1-methyl-3-(3-methylbutyl)imidazol-1-ium;iodide Chemical compound [I-].CC(C)CCN1C=C[N+](C)=C1 YLRKYRFDNMXWIM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- LOYMWUBUAVNERS-UHFFFAOYSA-M 1-methyl-3-pentylimidazol-1-ium;iodide Chemical compound [I-].CCCCCN1C=C[N+](C)=C1 LOYMWUBUAVNERS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- NEAQRZUHTPSBBM-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-3,3-dimethyl-7-nitro-4h-isoquinolin-1-one Chemical compound C1=C([N+]([O-])=O)C=C2C(=O)N(O)C(C)(C)CC2=C1 NEAQRZUHTPSBBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M Bromide Chemical compound [Br-] CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 2
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical class C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RWRDLPDLKQPQOW-UHFFFAOYSA-N Pyrrolidine Chemical class C1CCNC1 RWRDLPDLKQPQOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 2
- NFANAKCGSNKQLR-UHFFFAOYSA-N [I-].C(C)(C)[NH+]1C=NC=C1 Chemical compound [I-].C(C)(C)[NH+]1C=NC=C1 NFANAKCGSNKQLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 229920003180 amino resin Polymers 0.000 description 2
- 230000000844 anti-bacterial effect Effects 0.000 description 2
- 230000000843 anti-fungal effect Effects 0.000 description 2
- 229940121375 antifungal agent Drugs 0.000 description 2
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 2
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 2
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 2
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- WOWHHFRSBJGXCM-UHFFFAOYSA-M cetyltrimethylammonium chloride Chemical compound [Cl-].CCCCCCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)C WOWHHFRSBJGXCM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- DCFKHNIGBAHNSS-UHFFFAOYSA-N chloro(triethyl)silane Chemical compound CC[Si](Cl)(CC)CC DCFKHNIGBAHNSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SNTPMMKFYFRGHD-UHFFFAOYSA-N chloro-dimethyl-(trifluoromethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(Cl)C(F)(F)F SNTPMMKFYFRGHD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KQIADDMXRMTWHZ-UHFFFAOYSA-N chloro-tri(propan-2-yl)silane Chemical compound CC(C)[Si](Cl)(C(C)C)C(C)C KQIADDMXRMTWHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000005042 ethylene-ethyl acrylate Substances 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 2
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 2
- 150000004693 imidazolium salts Chemical class 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 2
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 2
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 2
- 230000010399 physical interaction Effects 0.000 description 2
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 2
- 229920002401 polyacrylamide Polymers 0.000 description 2
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 2
- 229920002239 polyacrylonitrile Polymers 0.000 description 2
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 2
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 2
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 2
- 150000004032 porphyrins Chemical class 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N propylene carbonate Chemical compound CC1COC(=O)O1 RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DMFMZFFIQRMJQZ-UHFFFAOYSA-N pyrrolidin-1-ium;iodide Chemical compound [I-].C1CC[NH2+]C1 DMFMZFFIQRMJQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- PYWVYCXTNDRMGF-UHFFFAOYSA-N rhodamine B Chemical compound [Cl-].C=12C=CC(=[N+](CC)CC)C=C2OC2=CC(N(CC)CC)=CC=C2C=1C1=CC=CC=C1C(O)=O PYWVYCXTNDRMGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940043267 rhodamine b Drugs 0.000 description 2
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 230000001235 sensitizing effect Effects 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 2
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 125000000472 sulfonyl group Chemical group *S(*)(=O)=O 0.000 description 2
- PCCVSPMFGIFTHU-UHFFFAOYSA-N tetracyanoquinodimethane Chemical class N#CC(C#N)=C1C=CC(=C(C#N)C#N)C=C1 PCCVSPMFGIFTHU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N tetramethyl orthosilicate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)OC LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000005051 trimethylchlorosilane Substances 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 239000011882 ultra-fine particle Substances 0.000 description 2
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 2
- 239000001018 xanthene dye Substances 0.000 description 2
- YBNMDCCMCLUHBL-UHFFFAOYSA-N (2,5-dioxopyrrolidin-1-yl) 4-pyren-1-ylbutanoate Chemical compound C=1C=C(C2=C34)C=CC3=CC=CC4=CC=C2C=1CCCC(=O)ON1C(=O)CCC1=O YBNMDCCMCLUHBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N (3-aminopropyl)triethoxysilane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCN WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DJQSZCMOJNOVPS-UHFFFAOYSA-N 1h-imidazol-3-ium-3-sulfonate Chemical class OS(=O)(=O)N1C=CN=C1 DJQSZCMOJNOVPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WGGNJZRNHUJNEM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexamethyl-1,3,5,2,4,6-triazatrisilinane Chemical compound C[Si]1(C)N[Si](C)(C)N[Si](C)(C)N1 WGGNJZRNHUJNEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropane-1-thiol Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCS UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VCOONNWIINSFBA-UHFFFAOYSA-N 4-methoxy-n-(4-methoxyphenyl)aniline Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1NC1=CC=C(OC)C=C1 VCOONNWIINSFBA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SNFCXVRWFNAHQX-UHFFFAOYSA-N 9,9'-spirobi[fluorene] Chemical compound C12=CC=CC=C2C2=CC=CC=C2C21C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C21 SNFCXVRWFNAHQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101100099988 Arabidopsis thaliana TPD1 gene Proteins 0.000 description 1
- 244000025254 Cannabis sativa Species 0.000 description 1
- 229910004613 CdTe Inorganic materials 0.000 description 1
- LZZYPRNAOMGNLH-UHFFFAOYSA-M Cetrimonium bromide Chemical compound [Br-].CCCCCCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)C LZZYPRNAOMGNLH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021193 La 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOOMLFKONHCLCJ-UHFFFAOYSA-N N-(trimethylsilyl)diethylamine Chemical compound CCN(CC)[Si](C)(C)C JOOMLFKONHCLCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YKFRUJSEPGHZFJ-UHFFFAOYSA-N N-trimethylsilylimidazole Chemical compound C[Si](C)(C)N1C=CN=C1 YKFRUJSEPGHZFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101100352918 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) PTC1 gene Proteins 0.000 description 1
- 101100161168 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) TPD3 gene Proteins 0.000 description 1
- 229910008051 Si-OH Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- 229910006358 Si—OH Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002367 SrTiO Inorganic materials 0.000 description 1
- VBIIFPGSPJYLRR-UHFFFAOYSA-M Stearyltrimethylammonium chloride Chemical compound [Cl-].CCCCCCCCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)C VBIIFPGSPJYLRR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Chemical compound NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N ZrO Inorganic materials [Zr]=O GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLVKXZZJSTWDJY-UHFFFAOYSA-N [SiH4].[Si] Chemical class [SiH4].[Si] XLVKXZZJSTWDJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004423 acyloxy group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 1
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003282 alkyl amino group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001343 alkyl silanes Chemical class 0.000 description 1
- 125000005227 alkyl sulfonate group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005211 alkyl trimethyl ammonium group Chemical group 0.000 description 1
- WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N alpha-terpineol Chemical compound CC1=CCC(C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004103 aminoalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- ABHNFDUSOVXXOA-UHFFFAOYSA-N benzyl-chloro-dimethylsilane Chemical compound C[Si](C)(Cl)CC1=CC=CC=C1 ABHNFDUSOVXXOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 1
- KRUQDZRWZXUUAD-UHFFFAOYSA-N bis(trimethylsilyl) sulfate Chemical compound C[Si](C)(C)OS(=O)(=O)O[Si](C)(C)C KRUQDZRWZXUUAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SIOVKLKJSOKLIF-UHFFFAOYSA-N bis(trimethylsilyl)acetamide Chemical compound C[Si](C)(C)OC(C)=N[Si](C)(C)C SIOVKLKJSOKLIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IYYIVELXUANFED-UHFFFAOYSA-N bromo(trimethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)Br IYYIVELXUANFED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N cadmium(2+);selenium(2-) Chemical compound [Se-2].[Cd+2] UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 1
- 229940115457 cetyldimethylethylammonium bromide Drugs 0.000 description 1
- QABCGOSYZHCPGN-UHFFFAOYSA-N chloro(dimethyl)silicon Chemical compound C[Si](C)Cl QABCGOSYZHCPGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QZBPTXFIIBCLHE-UHFFFAOYSA-N chloro-(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)-bis(trifluoromethyl)silane Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)[Si](Cl)(C(F)(F)F)C(F)(F)F QZBPTXFIIBCLHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LISRFEZYVXWSQI-UHFFFAOYSA-N chloro-dimethyl-(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(Cl)C(F)(F)C(F)(F)F LISRFEZYVXWSQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QZRWJJLUUOMZIT-UHFFFAOYSA-N chloro-dimethyl-pentylsilane Chemical compound CCCCC[Si](C)(C)Cl QZRWJJLUUOMZIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWYZNESIGBQHJK-UHFFFAOYSA-N chloro-dimethyl-phenylsilane Chemical compound C[Si](C)(Cl)C1=CC=CC=C1 KWYZNESIGBQHJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCXVDEMHEKQQCI-UHFFFAOYSA-N chloro-dimethyl-propan-2-ylsilane Chemical compound CC(C)[Si](C)(C)Cl YCXVDEMHEKQQCI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AVDUEHWPPXIAEB-UHFFFAOYSA-N chloro-ethyl-dimethylsilane Chemical compound CC[Si](C)(C)Cl AVDUEHWPPXIAEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OJZNZOXALZKPEA-UHFFFAOYSA-N chloro-methyl-diphenylsilane Chemical group C=1C=CC=CC=1[Si](Cl)(C)C1=CC=CC=C1 OJZNZOXALZKPEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N delta-terpineol Natural products CC(C)(O)C1CCC(=C)CC1 SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 125000004663 dialkyl amino group Chemical group 0.000 description 1
- YYLGKUPAFFKGRQ-UHFFFAOYSA-N dimethyldiethoxysilane Chemical compound CCO[Si](C)(C)OCC YYLGKUPAFFKGRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- PDYPRPVKBUOHDH-UHFFFAOYSA-N ditert-butyl(dichloro)silane Chemical compound CC(C)(C)[Si](Cl)(Cl)C(C)(C)C PDYPRPVKBUOHDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DDXLVDQZPFLQMZ-UHFFFAOYSA-M dodecyl(trimethyl)azanium;chloride Chemical compound [Cl-].CCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)C DDXLVDQZPFLQMZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000001652 electrophoretic deposition Methods 0.000 description 1
- 230000009881 electrostatic interaction Effects 0.000 description 1
- 125000001301 ethoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- WSPPHMXAIHWZAH-UHFFFAOYSA-M ethyl-dimethyl-octadecylazanium;bromide Chemical compound [Br-].CCCCCCCCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)CC WSPPHMXAIHWZAH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- VUFOSBDICLTFMS-UHFFFAOYSA-M ethyl-hexadecyl-dimethylazanium;bromide Chemical compound [Br-].CCCCCCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)CC VUFOSBDICLTFMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 125000003709 fluoroalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 125000002883 imidazolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001841 imino group Chemical group [H]N=* 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 1
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 description 1
- 239000001023 inorganic pigment Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- NIZHERJWXFHGGU-UHFFFAOYSA-N isocyanato(trimethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)N=C=O NIZHERJWXFHGGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 125000005358 mercaptoalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000434 metal complex dye Substances 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000005055 methyl trichlorosilane Substances 0.000 description 1
- JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N methyltrichlorosilane Chemical compound C[Si](Cl)(Cl)Cl JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- DCZNSJVFOQPSRV-UHFFFAOYSA-N n,n-diphenyl-4-[4-(n-phenylanilino)phenyl]aniline Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 DCZNSJVFOQPSRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000012860 organic pigment Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 150000001282 organosilanes Chemical class 0.000 description 1
- 150000003961 organosilicon compounds Chemical group 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000005373 porous glass Substances 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 125000002572 propoxy group Chemical group [*]OC([H])([H])C(C([H])([H])[H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 230000027756 respiratory electron transport chain Effects 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 1
- 125000003808 silyl group Chemical group [H][Si]([H])([H])[*] 0.000 description 1
- 238000006884 silylation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004513 sizing Methods 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 125000004079 stearyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000000547 substituted alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229940116411 terpineol Drugs 0.000 description 1
- VUENSYJCBOSTCS-UHFFFAOYSA-N tert-butyl-imidazol-1-yl-dimethylsilane Chemical compound CC(C)(C)[Si](C)(C)N1C=CN=C1 VUENSYJCBOSTCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BCNZYOJHNLTNEZ-UHFFFAOYSA-N tert-butyldimethylsilyl chloride Chemical compound CC(C)(C)[Si](C)(C)Cl BCNZYOJHNLTNEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- GQIUQDDJKHLHTB-UHFFFAOYSA-N trichloro(ethenyl)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)C=C GQIUQDDJKHLHTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOYFEXPFPVDYIS-UHFFFAOYSA-N trichloro(ethyl)silane Chemical compound CC[Si](Cl)(Cl)Cl ZOYFEXPFPVDYIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PQDJYEQOELDLCP-UHFFFAOYSA-N trimethylsilane Chemical class C[SiH](C)C PQDJYEQOELDLCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000026 trimethylsilyl group Chemical group [H]C([H])([H])[Si]([*])(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- DGIJAZGPLFOQJE-UHFFFAOYSA-N trimethylsilyl n-trimethylsilylcarbamate Chemical compound C[Si](C)(C)NC(=O)O[Si](C)(C)C DGIJAZGPLFOQJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FTVLMFQEYACZNP-UHFFFAOYSA-N trimethylsilyl trifluoromethanesulfonate Chemical compound C[Si](C)(C)OS(=O)(=O)C(F)(F)F FTVLMFQEYACZNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTJPIRDYMVYFNP-UHFFFAOYSA-M trimethylsilylmethanesulfonate Chemical compound C[Si](C)(C)CS([O-])(=O)=O NTJPIRDYMVYFNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 239000005050 vinyl trichlorosilane Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G9/00—Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
- H01G9/20—Light-sensitive devices
- H01G9/2027—Light-sensitive devices comprising an oxide semiconductor electrode
- H01G9/2031—Light-sensitive devices comprising an oxide semiconductor electrode comprising titanium oxide, e.g. TiO2
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G9/00—Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
- H01G9/20—Light-sensitive devices
- H01G9/2068—Panels or arrays of photoelectrochemical cells, e.g. photovoltaic modules based on photoelectrochemical cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/542—Dye sensitized solar cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Hybrid Cells (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Description
本発明の光電変換装置、その製造方法及び光発電装置についての第1の実施形態を、図1〜図3に基き以下に詳細に説明する。なお、各図において、同一部材には同一符号を付している。
導電性基板2としては、非透光性でもよく、チタン,ステンレススチール,アルミニウム,銀,銅,ニッケル等,カーボン等からなる薄いシートからなるもの、絶縁基板等の表面に金属の微粒子や微細線を含浸させた樹脂層や導電性樹脂層等を形成したもの、または絶縁基板等の表面に電解質4による腐食防止のためにチタン層、ステンレススチール層、導電性の金属酸化物層等を被覆したものがよい。
対極層3としては、触媒機能を有する白金,カーボン等の極薄膜がよい。他に、金(Au),パラジウム(Pd),アルミニウム(Al)等の極薄膜を電析したものが挙げられる。また、これらの材料の微粒子等から成る多孔質膜、例えばカーボン微粒子の多孔質膜等を用いれば、対極層3の表面積が増え、気孔部に電解質4を含有させることができ、変換効率を高めることができる。
多孔質スペーサ層(多孔質絶縁層)5としては、アルミナ微粒子等を焼結させた多孔質体からなる薄膜がよい。図1に示すように、対極層3上にこの多孔質スペーサ層5を形成する。
多孔質の半導体層7としては、二酸化チタン等からなる多孔質のn型酸化物半導体層等であるのがよい。図1に示すように、多孔質スペーサ層5上に多孔質の半導体層7を形成する。
透光性導電層8としては、低温成長のスパッタリング法や低温スプレー熱分解法で作製したスズドープ酸化インジウム膜(ITO膜)や不純物ドープの酸化インジウム膜(In2O3膜)等がよい。他に、溶液成長法で作製した不純物ドープの酸化亜鉛膜(ZnO膜)等がよく、これらを積層して用いてもよい。また、熱CVD法で形成したフッ素ドープの二酸化スズ膜(SnO2:F膜)等を用いてもよい。
集電極9は、銀,アルミニウム,ニッケル,銅,錫,カーボン等の導電粒子と、有機マトリックスであるエポキシ樹脂等と、硬化剤等とから成る導電性ペーストを、塗布焼成して成る。この導電性ペーストとしては、AgペーストやAlペーストが特によく、また、低温ペースト、高温ペーストのいずれも利用できる。
図1において、透光性封止層10は、電解質4が外部に漏れるのを防ぐ、機械的強度を補強する、積層体を保護するとともに外部環境と直接接して光電変換機能が劣化するのを防ぐために設ける。
増感色素である色素6としては、例えば、ルテニウム−トリス,ルテニウム−ビス,オスミウム−トリス,オスミウム−ビス型の遷移金属錯体、多核錯体、またはルテニウム−シス−ジアクア−ビピリジル錯体、またはフタロシアニンやポルフィリン、多環芳香族化合物、ローダミンB等のキサンテン系色素であることが好ましい。
電解質4としては、電解質溶液、ゲル電解質、固体電解質等のイオン伝導性の電解質、有機正孔輸送剤等が挙げられる。
本発明の光電変換装置に係る第2の実施形態についての模式的な断面図を図4に示す。
図4の光電変換装置21は、導電性基板2上に対極層3、多孔質スペーサ層5、電解質4を含有し色素6を吸着した多孔質の半導体層7及び透光性導電層8が順次積層されて成る積層体41と、この積層体41の側面及び上面を覆う、色素6が浸透可能な多孔質の透光性被覆層19と、この透光性被覆層19の表面を覆って封止する透光性封止層10とが形成されている構成である。図中の矢印は光の入射方向を示す。
上記構成において、透光性被覆層19としては、例えば、二酸化硅素(SiO2)が主成分である多孔質のSOG(Spin On Grass)膜を好適に用いることができる。多孔質のSOG膜は、有機シラン,水,アルコール,酸またはアルカリ,界面活性剤を含む有機シラン液を用い、この有機シラン液を膜状に形成した後に加熱処理することにより得られる。
RnSiX(4-n) ・・・・(1)
(ただし、nは1〜3の整数であり、Rは非加水分解性の有機基であり、Xは加水分解性基、水素原子またはハロゲン原子である。)
R3SiYSiR3 ・・・(2)
(ただし、Rは非加水分解性の有機基であり、Yは加水分解性基である。)
上式(1)及び(2)中、Rで示される非加水分解性の有機基としては、メチル基,エチル基,プロピル基等のアルキル基及びビニル基等のアルケニル基、フェニル基等のアリール基、ベンジル基等のアラルキル基ならびにフルオロアルキル基,グリシジルオキシアルキル基,アクリロイルオキシアルキル基,メタクリロイルオキシアルキル基,アミノアルキル基及びメルカプトアルキル基等の置換アルキル基等を挙げることができる。
次に、透光性封止層10としては、有機硅素化合物を用いるとよい。具体的には、トリメチルシリルイソシアネート,ジメチルシリルジイソシアネート,メチルシリルトリイソシアネート,ビニルシリルトリイソシアネート,フェニルトリイソシアネート等のいずれかを用い、それを適当な溶媒で希釈してから透光性被覆層19上に塗布し、減圧下で300℃程度までの低温で加熱して不要分を蒸発させればよい。このようにすれば、透光性被覆層19の表面の空孔を薄い膜状の有機化合物で確実に塞ぐことができる。また、その際の処理温度は低温であるから、色素6や電解質液の劣化を抑制することができる。
導電性基板2として、単独の薄い金属シートでよく、チタン,ステンレススチール,アルミニウム,銀,銅などからなるものがよい。また、カーボンや金属の微粒子や微細線を含浸した樹脂シートなどがよい。また、チタン,ステンレススチール,アルミニウム,銀,銅などからなる金属薄膜、ITO等の透明導電膜、SnO2:F(FドープSnO2)層、ZnO:Al(AlドープZnO)層、Ti層/ITO層/Ti層などの多層構造の導電膜が形成された絶縁シートなどがよい。絶縁シートとしては、PET(ポリエチレンテレフタレート),PEN(ポリエチレンナフタレート),ポリイミド,ポリカーボネートなどの樹脂シートやソーダガラス,硼珪酸ガラス,セラミックなどの無機質シート、有機無機ハイブリッドシートがよい。
対極層3として、白金あるいはカーボンなどの極薄膜を導電性基板2上に形成するとよく、正孔の移動性がよく具合がよい。他に、金(Au),パラジウム(Pd),アルミニウム(Al)等の極薄膜を電析したものが挙げられる。また、これらの材料の微粒子などから成る多孔質膜、例えばカーボン微粒子の多孔質膜などがよく、対極層3の表面積が増え気孔部に電解質4を含有させることができて変換効率を高めることができる。
多孔質スペーサ層5としては、アルミナ微粒子などを焼結させた多孔質体からなる薄膜がよい。図4に示すように、対極層3上にこの多孔質スペーサ層5を形成する。
電解質4は、ゲル電解質などの正孔輸送体(p型半導体,液体電解質,固体電解質,電解塩など)が特によい。ゲル電解質などからなる電解質4は、多孔質のものを埋めるように形成されるものであり、電解質液(液状電解質)が最もよいキャリア移動を示すが、液漏れなどの問題があるので、よりゲル化の進んだものや固体化が好まれる。
多孔質の半導体層7として、多孔質の二酸化チタンなどの電子輸送体(n型金属酸化物半導体)が特によい。
色素6としては、入射光に対する光電流効率(IPCE:Incident Photon to Current Efficiency)が、金属酸化物半導体の吸収限界波長(約380nm)より長波長側へ伸びている特性を有する色素6であれば有効である。また、光電流効率が、実質的に真性である非晶質シリコン系半導体より長波長側へ伸びている特性を有する色素6であれば有効である。
透光性導電層8として、熱CVD法やスプレー熱分解法で形成したフッ素ドープの二酸化スズ膜(SnO2:F膜)が、低コストでシート抵抗も小さく最もよい。他に、スパッタリング法で形成したスズドープ酸化インジウム膜(ITO膜)、溶液成長法で形成した不純物ドープの酸化亜鉛膜(ZnO膜)などを用いてもよく、これらを積層して用いてもよい。これらの膜の形成の際に、入射光の波長オーダーの表面凹凸を形成すると、光閉じ込め効果があってなおよい。他に、不純物ドープの酸化インジウム膜(In2O3膜)などが使用可能である。また、ディップコート法、ゾルゲル法、真空蒸着法、イオンプレーティング法等で形成できる。
本発明の光電変換装置に係る第3の実施形態についての模式的な断面図を図5に示す。
図5の光電変換装置31は、導電性基板2上に、対極層3、電解質4の溶液が浸透するとともに浸透した溶液が表面張力等により保持される浸透層25、色素6を吸着(担持)するとともに電解質4を含有した多孔質の半導体層7及び透光性導電層8が順次積層された積層体が形成されている。
導電性基板2は、第1の実施形態と同様の導電性基板2を用いることができる。
対極層3としては、浸透層25側より、触媒層と導電層(これらの層は図示していない)の順で積層する構成がよい。
浸透層25としては、例えば、酸化アルミニウム等の微粒子等を焼結させた、電解質4の溶液が毛細管現象により浸透可能であるとともに前記溶液が例えば表面張力等によって保持される多孔質体からなる薄膜であるのがよい。図5に示すように、対極層3上に浸透層5を形成する。なお、電解質4の溶液が例えば表面張力等によって浸透層25に保持されている状態は、一旦浸透層25に浸透し吸収された電解質4の溶液が外部に漏れないようになっている状態であり、目視による観察によって容易に判別できる。
多孔質の半導体層7としては、二酸化チタン等からなるとともに内部に微細な空孔(空孔径が好ましくは10〜40nm程度のものであり、22nmのときに変換効率がピークを示す)を多数有する多孔質のn型酸化物半導体層等であるのがよい。多孔質の半導体層7の空孔径が10nm未満の場合、色素6の浸透及び吸着が阻害され、十分な色素6の吸着量が得られず、また、電解質4の拡散が妨げられるために拡散抵抗が増大することから、変換効率が低下する。40nmを超えると、多孔質の半導体層7の比表面積が減少するため、色素6の吸着量を確保するためには厚みを厚くしなければならなくなり、厚みを厚くしすぎると光が透過しにくくなる。このため、色素6が光を吸収できず、また、多孔質の半導体層7に注入された電荷の移動距離が長くなるため電荷の再結合によるロスがおおきくなり、さらに、電解質4の拡散距離も増大するため拡散抵抗が増大することから、やはり変換効率が低下することとなる。
透光性導電層8としては、弗素や金属をドープした金属酸化物の透光性導電層8が利用できる。この中で熱CVD法により形成したフッ素ドープの二酸化スズ膜(SnO2:F膜)等がよい。また、低温成長のスパッタリング法や低温スプレー熱分解法で作製したスズドープ酸化インジウム膜(ITO膜)や不純物ドープの酸化インジウム膜(In2O3膜)等がよい。他に、溶液成長法で作製した不純物ドープの酸化亜鉛膜(ZnO膜)等がよい。また、これらの透光性導電層8を種々の組合せで積層して用いてもよい。
集電極9の材料としては、銀,アルミニウム,ニッケル,銅,錫,カーボン等の導電粒子と、有機マトリックスであるエポキシ樹脂等と、硬化剤等とから成る導電性ペーストを、塗布焼成して成る。この導電性ペーストとしては、AgペーストやAlペーストが特によく、また、低温ペースト、高温ペーストのいずれも利用できる。金属の蒸着膜などから形成した集電極9も、膜のパターン化により利用できる。
図5において、透光性封止層10は、電解質4の溶液が外部に漏れるのを防ぎ、機械的強度を補強し、積層体を保護するとともに外部環境と直接接して光電変換機能が劣化するのを防ぐために設ける。
増感色素である色素6としては、例えば、ルテニウム−トリス,ルテニウム−ビス,オスミウム−トリス,オスミウム−ビス型の遷移金属錯体、多核錯体、またはルテニウム−シス−ジアクア−ビピリジル錯体、またはフタロシアニンやポルフィリン、多環芳香族化合物、ローダミンB等のキサンテン系色素であることが好ましい。
電解質4としては、第4級アンモニウム塩やLi塩等を用いる。電解質4溶液の組成としては、例えば炭酸エチレン,アセトニトリルまたはメトキシプロピオニトリル等に、ヨウ化テトラプロピルアンモニウム,ヨウ化リチウム,ヨウ素等を混合し調製したものを用いることができる。
本発明の光電変換装置31は、その用途は太陽電池に限定されるものではなく、光電変換機能を有するものであれば適用でき、各種受光素子や光センサ等にも適用可能である。
評価の結果、AM1.5、100mW/cm2で光電変換効率2.8%を示した。
絶縁基板として、市販のソーダガラス基板(縦3cm×横2cm)を用いた。この絶縁基板上にスパッタリング装置を用いて、Tiターゲットを用いて、Ti層をシート抵抗で0.5Ω/□(スクエア)となるよう、厚み約1μmで堆積させ、金属層を形成し、導電性基板2を作製した。
絶縁基板として、市販のソーダガラス基板(縦3cm×横2cm)を用いた。この絶縁基板上にスパッタリング装置を用いて、Tiターゲットを用いて、Ti層をシート抵抗で0.5Ω/□(スクエア)となるよう、厚み約1μmで堆積させ、金属層を形成し、導電性基板2を作製した。
Claims (20)
- 導電性基板上に、対極層、多孔質スペーサ層、多孔質の半導体層及び透光性導電層を順次積層して積層体を形成し、次に前記導電性基板及び前記対極層を貫通する複数個の貫通孔を設け、次に前記貫通孔を通して色素を注入するとともに前記半導体層に前記色素を吸着させ、次に前記積層体の内側に電解質を注入し、次に前記貫通孔を塞ぐ光電変換装置の製造方法。
- 導電性基板上に、対極層、多孔質スペーサ層及び多孔質の半導体層を順次積層し積層体を形成し、次に前記積層体を色素溶液に浸漬して前記半導体層に色素を吸着させ、次に前記半導体層上に透光性導電層を積層し、次に前記積層体の少なくとも側面より前記多孔質スペーサ層及び前記半導体層に電解質を浸透させる光電変換装置の製造方法。
- 導電性基板上に、対極層、多孔質スペーサ層、多孔質の半導体層及び透光性導電層を順次積層して積層体を形成し、次に前記積層体を色素溶液に浸漬して前記積層体の側面より前記半導体層に色素を吸着させ、次に前記積層体の少なくとも側面より前記多孔質スペーサ層及び前記半導体層に電解質を浸透させる光電変換装置の製造方法。
- 導電性基板上に対極層、多孔質スペーサ層、多孔質の半導体層及び透光性導電層を順次積層して積層体を形成し、次に前記積層体の側面及び上面を覆って多孔質の透光性被覆層を形成し、次に前記透光性被覆層を通して外部から色素を前記半導体層に浸透させ、次に前記透光性被覆層を通して外部から電解質液を前記透光性被覆層の内側に注入し、しかる後前記透光性被覆層の表面を透光性封止層で覆う光電変換装置の製造方法。
- 前記透光性被覆層を通して外部から色素を前記半導体層に浸透させる際に、前記積層体及び前記透光性被覆層が形成された前記導電性基板を前記色素を含む溶液に浸漬する請求項4記載の光電変換装置の製造方法。
- 前記色素を含む溶液を攪拌する請求項5記載の光電変換装置の製造方法。
- 導電性基板と、前記導電性基板上に形成された対極層と、前記対極層上に形成された、電解質を含有した多孔質スペーサ層と、前記多孔質スペーサ層上に形成された、色素を吸着するとともに前記電解質を含有した多孔質の半導体層と、前記半導体層上に形成された、透光性導電層とから成る積層体を備えた光電変換装置であって、
前記積層体の側面及び上面を覆うように、前記色素が浸透可能な多孔質の透光性被覆層と、前記透光性被覆層の表面を覆って封止する透光性封止層とが形成されている光電変換装置。 - 前記透光性被覆層は、表面張力によって表面から電解質液が外部に漏出しない大きさの空孔を有している請求項7記載の光電変換装置。
- 前記透光性被覆層は、その厚みが前記透光性封止層よりも厚い請求項7記載の光電変換装置。
- 前記半導体層は、酸化物半導体微粒子の焼結体から成るとともに、前記酸化物半導体微粒子の平均粒径が前記導電性基板側から厚み方向に漸次小さくなっている請求項7記載の光電変換装置。
- 前記多孔質スペーサ層は、絶縁体またはp型半導体の微粒子から成る多孔質体である請求項7記載の光電変換装置。
- 前記多孔質スペーサ層と前記半導体層との界面が凹凸を成している請求項7記載の光電変換装置。
- 前記対極層は、前記電解質を含有した多孔質体から成る請求項7記載の光電変換装置。
- 導電性基板と、前記導電性基板上に形成された対極層と、前記対極層上に形成された、電解質を含有した多孔質スペーサ層と、前記多孔質スペーサ層上に形成された、色素を吸着するとともに前記電解質を含有した多孔質の半導体層と、前記半導体層上に形成された、透光性導電層とから成る積層体を備えた光電変換装置であって、
前記多孔質スペーサ層は、電解質の溶液が浸透するとともに浸透した前記溶液が保持される浸透層であり、
前記浸透層は、表面または破断面の表面の算術平均粗さが前記半導体層の表面または破断面の表面の算術平均粗さよりも大きい光電変換装置。 - 前記浸透層は、表面または破断面の表面の算術平均粗さが0.1〜0.5μmである請求項14記載の光電変換装置。
- 前記浸透層は、絶縁体粒子及び酸化物半導体粒子の少なくとも一方を焼成した焼成体から成る請求項14記載の光電変換装置。
- 前記浸透層は、酸化アルミニウム粒子及び酸化チタン粒子の少なくとも一方を焼成した焼成体から成る請求項14記載の光電変換装置。
- 前記積層体の上面及び側面を覆って前記電解質を封止する透光性封止層が形成されている請求項14記載の光電変換装置。
- 導電性基板上に、対極層、電解質の溶液が浸透するとともに浸透した前記溶液が保持される浸透層、多孔質の半導体層及び透光性導電層を順次積層して積層体を形成し、次に前記積層体を色素溶液に浸漬して前記浸透層を通して前記半導体層に色素を吸着させ、次に前記浸透層を通して前記半導体層に前記電解質の溶液を浸透させる光電変換装置の製造方法。
- 請求項7または14に記載の光電変換装置を発電手段として用い、前記発電手段の発電電力を負荷へ供給するように成した光発電装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007533374A JP4856079B2 (ja) | 2005-09-02 | 2006-09-04 | 光電変換装置及びその製造方法並びに光発電装置 |
Applications Claiming Priority (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005254762 | 2005-09-02 | ||
JP2005254762 | 2005-09-02 | ||
JP2005256170 | 2005-09-05 | ||
JP2005256170 | 2005-09-05 | ||
JP2006105429 | 2006-04-06 | ||
JP2006105429 | 2006-04-06 | ||
PCT/JP2006/317468 WO2007026927A1 (ja) | 2005-09-02 | 2006-09-04 | 光電変換装置及びその製造方法並びに光発電装置 |
JP2007533374A JP4856079B2 (ja) | 2005-09-02 | 2006-09-04 | 光電変換装置及びその製造方法並びに光発電装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2007026927A1 JPWO2007026927A1 (ja) | 2009-03-12 |
JP4856079B2 true JP4856079B2 (ja) | 2012-01-18 |
Family
ID=37809007
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007533374A Expired - Fee Related JP4856079B2 (ja) | 2005-09-02 | 2006-09-04 | 光電変換装置及びその製造方法並びに光発電装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090133741A1 (ja) |
JP (1) | JP4856079B2 (ja) |
DE (1) | DE112006002294T5 (ja) |
WO (1) | WO2007026927A1 (ja) |
Families Citing this family (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1936644A3 (en) * | 2006-12-22 | 2011-01-05 | Sony Deutschland Gmbh | A photovoltaic cell |
JP2008257893A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Dainippon Printing Co Ltd | 色素増感型太陽電池用基板の製造方法、色素増感型太陽電池の製造方法、および、これらによって製造された色素増感型太陽電池用基板および色素増感型太陽電池。 |
JP2008257895A (ja) * | 2007-03-31 | 2008-10-23 | Shinshu Univ | 色素増感太陽電池の製造方法、および色素増感太陽電池 |
MX2010003227A (es) * | 2007-09-25 | 2010-04-07 | First Solar Inc | Dispositivos fotovoltaicos que incluyen una capa interfacial. |
JP5273709B2 (ja) * | 2008-07-02 | 2013-08-28 | シャープ株式会社 | 色素増感太陽電池、その製造方法および色素増感太陽電池モジュール |
JP2010020938A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-01-28 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | 色素増感太陽電池 |
KR101414450B1 (ko) * | 2008-08-08 | 2014-07-04 | 주식회사 동진쎄미켐 | 염료감응 태양전지의 제조방법 |
DE102009000027A1 (de) * | 2009-01-05 | 2010-07-08 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung von feinen Strukturen in Dickschichten mittels Diffusion |
JP5422225B2 (ja) * | 2009-02-24 | 2014-02-19 | 株式会社フジクラ | 光電変換素子 |
DE102009034056A1 (de) * | 2009-03-03 | 2010-09-16 | Karlsruher Institut Für Technologie (Kit) | Dünnschichtsolarzellen |
JP2010211971A (ja) * | 2009-03-09 | 2010-09-24 | Citizen Holdings Co Ltd | 色素増感太陽電池およびそれを備えた腕時計 |
KR100997738B1 (ko) * | 2009-03-23 | 2010-12-01 | 이광석 | 태양전지 모듈의 제조방법 및 그에 따라 제조된 태양전지 모듈 |
ES2467924T3 (es) * | 2009-04-15 | 2014-06-13 | Sharp Kabushiki Kaisha | Célula solar sensibilizada por colorante y módulo de células solares sensibilizadas por colorante |
WO2011052564A1 (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-05 | 住友化学株式会社 | 有機光電変換素子及び有機光電変換モジュール |
JP4868058B2 (ja) * | 2009-11-16 | 2012-02-01 | 大日本印刷株式会社 | 色素増感型太陽電池 |
US20110186119A1 (en) * | 2009-12-24 | 2011-08-04 | Atwater Harry A | Light-trapping plasmonic back reflector design for solar cells |
GB201004106D0 (en) * | 2010-03-11 | 2010-04-28 | Isis Innovation | Device |
US20110277807A1 (en) * | 2010-05-14 | 2011-11-17 | Nam-Choul Yang | Photoelectric conversion module |
US20130255761A1 (en) * | 2010-06-17 | 2013-10-03 | Polymers Crc Ltd. | Electrode and dye-sensitized solar cell |
KR101733055B1 (ko) * | 2010-09-06 | 2017-05-24 | 엘지전자 주식회사 | 태양 전지 모듈 |
WO2012036118A1 (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | 株式会社 村田製作所 | フォトダイオード、及び紫外線センサ |
US20130206215A1 (en) * | 2010-10-15 | 2013-08-15 | Sharp Corporation | Quantum dot sensitized solar cell |
US9087991B2 (en) * | 2011-02-01 | 2015-07-21 | Basf Se | Photovoltaic element |
CN102254701B (zh) * | 2011-05-17 | 2012-07-04 | 武汉理工大学 | 一种提高二氧化钛基染料敏化太阳能电池性能的阳极处理方法 |
KR101237311B1 (ko) | 2011-06-02 | 2013-02-28 | 서울대학교산학협력단 | 투명 고분자막을 이용한 가요성 염료감응형 태양전지 및 그 제조 방법 |
JP2013020757A (ja) * | 2011-07-08 | 2013-01-31 | Sony Corp | 光電変換素子およびその製造方法ならびに電子機器ならびに光電変換素子用対極ならびに建築物 |
KR101410814B1 (ko) * | 2012-02-13 | 2014-07-02 | 한국전기연구원 | 섬유를 이용한 염료 감응형 유연 태양전지 |
JP2013196948A (ja) * | 2012-03-21 | 2013-09-30 | Osaka Gas Co Ltd | 正極セパレータ一体型電極及び光電変換素子 |
EP2858102B1 (en) * | 2012-05-31 | 2020-04-22 | Kabushiki Kaisha Nihon Micronics | Semiconductor probe for testing quantum cell, test device, and test method |
US9865908B2 (en) * | 2012-06-06 | 2018-01-09 | Kabushiki Kaisha Nihon Micronics | Electrode structure of solid type secondary battery |
JP5707599B2 (ja) * | 2012-09-18 | 2015-04-30 | 学校法人東京理科大学 | 色素増感太陽電池 |
US9318636B2 (en) * | 2012-12-11 | 2016-04-19 | International Business Machines Corporation | Secondary optic for concentrating photovoltaic device |
CN103280333B (zh) * | 2013-04-22 | 2016-04-13 | 常州大学 | 一种p型染料敏化电池的制备方法 |
KR101406969B1 (ko) * | 2013-05-10 | 2014-06-20 | 한국과학기술연구원 | 고체 전해질 염료감응형 태양전지의 제조 방법 및 이에 이용되는 전해질 충진 장치 |
DE102013216848A1 (de) * | 2013-08-23 | 2015-02-26 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Langzeitstabile, aus Lösungen abscheidbare photovoltaische Elemente und in-situ-Verfahren zu deren Herstellung |
US9177797B2 (en) * | 2013-12-04 | 2015-11-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Lithography using high selectivity spacers for pitch reduction |
WO2015118849A1 (ja) * | 2014-02-04 | 2015-08-13 | 三井化学株式会社 | リチウムイオン二次電池用負極、リチウムイオン二次電池、リチウムイオン二次電池用負極用合材ペーストおよびリチウムイオン二次電池用負極の製造方法 |
JP6773944B2 (ja) * | 2016-01-06 | 2020-10-21 | inQs株式会社 | 光発電素子 |
EP4060699A1 (en) * | 2021-03-18 | 2022-09-21 | Exeger Operations AB | A solar cell and a method for manufacturing the solar cell |
CN113629187B (zh) * | 2021-08-04 | 2024-01-02 | 北京航空航天大学 | 一种光电神经突触忆阻器 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001093591A (ja) * | 1999-09-28 | 2001-04-06 | Toshiba Corp | 光電変換素子 |
JP2003217688A (ja) * | 2002-01-18 | 2003-07-31 | Sharp Corp | 色素増感型光電変換素子 |
JP2004055536A (ja) * | 2002-05-29 | 2004-02-19 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 色素増感型太陽電池 |
JP2004111276A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 色素増感型太陽電池 |
JP2004111277A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 色素増感型太陽電池 |
JP2004127849A (ja) * | 2002-10-07 | 2004-04-22 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 炭素電極及びこれを備えた色素増感型太陽電池 |
JP2004152613A (ja) * | 2002-10-30 | 2004-05-27 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 色素増感型太陽電池 |
JP2004165513A (ja) * | 2002-11-14 | 2004-06-10 | Matsushita Electric Works Ltd | 有機光電変換素子及び有機光電変換素子用封止部材 |
JP2004247158A (ja) * | 2003-02-13 | 2004-09-02 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 色素増感型太陽電池 |
JP2005154606A (ja) * | 2003-11-26 | 2005-06-16 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 金属錯体色素、光電極及び色素増感型太陽電池 |
JP2005197169A (ja) * | 2004-01-09 | 2005-07-21 | Tomoegawa Paper Co Ltd | 光電変換素子 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11339866A (ja) | 1998-05-28 | 1999-12-10 | Sharp Corp | 光電変換素子及び色素増感型太陽電池 |
JP2000294306A (ja) | 1999-04-06 | 2000-10-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光電変換素子および光電気化学電池 |
JP2000357544A (ja) | 1999-04-16 | 2000-12-26 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 色素増感型太陽電池 |
JP2000348783A (ja) | 1999-06-01 | 2000-12-15 | Nikon Corp | 色素増感型太陽電池の製造方法 |
-
2006
- 2006-09-04 WO PCT/JP2006/317468 patent/WO2007026927A1/ja active Application Filing
- 2006-09-04 JP JP2007533374A patent/JP4856079B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-09-04 DE DE112006002294T patent/DE112006002294T5/de not_active Withdrawn
- 2006-09-04 US US12/065,486 patent/US20090133741A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001093591A (ja) * | 1999-09-28 | 2001-04-06 | Toshiba Corp | 光電変換素子 |
JP2003217688A (ja) * | 2002-01-18 | 2003-07-31 | Sharp Corp | 色素増感型光電変換素子 |
JP2004055536A (ja) * | 2002-05-29 | 2004-02-19 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 色素増感型太陽電池 |
JP2004111276A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 色素増感型太陽電池 |
JP2004111277A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 色素増感型太陽電池 |
JP2004127849A (ja) * | 2002-10-07 | 2004-04-22 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 炭素電極及びこれを備えた色素増感型太陽電池 |
JP2004152613A (ja) * | 2002-10-30 | 2004-05-27 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 色素増感型太陽電池 |
JP2004165513A (ja) * | 2002-11-14 | 2004-06-10 | Matsushita Electric Works Ltd | 有機光電変換素子及び有機光電変換素子用封止部材 |
JP2004247158A (ja) * | 2003-02-13 | 2004-09-02 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 色素増感型太陽電池 |
JP2005154606A (ja) * | 2003-11-26 | 2005-06-16 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 金属錯体色素、光電極及び色素増感型太陽電池 |
JP2005197169A (ja) * | 2004-01-09 | 2005-07-21 | Tomoegawa Paper Co Ltd | 光電変換素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112006002294T5 (de) | 2008-10-30 |
JPWO2007026927A1 (ja) | 2009-03-12 |
US20090133741A1 (en) | 2009-05-28 |
WO2007026927A1 (ja) | 2007-03-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4856079B2 (ja) | 光電変換装置及びその製造方法並びに光発電装置 | |
JP4856089B2 (ja) | 光電変換装置及びその製造方法並びに光発電装置 | |
JP2007280761A (ja) | 光電変換装置及びその製造方法並びに光発電装置 | |
US8933328B2 (en) | Dye-sensitized solar cell module and method of producing the same | |
WO2010044445A1 (ja) | 色素増感太陽電池および色素増感太陽電池モジュール | |
TW200908355A (en) | Dye-sensitised solar cell module and manufacturing method thereof | |
WO2004032274A1 (ja) | 電極基板、光電変換素子、導電性ガラス基板およびその製造方法、並びに色素増感太陽電池 | |
WO2008072568A1 (ja) | 光電変換素子 | |
JP2007134328A (ja) | 太陽電池及びその製造方法 | |
WO2007015342A1 (ja) | 電極基板および光電変換素子 | |
EP2214250A1 (en) | Electrode substrate for photoelectric conversion device, method for manufacturing electrode substrate for photoelectric conversion device, and photoelectric conversion device | |
JP4515061B2 (ja) | 色素増感太陽電池の製造方法 | |
JPWO2009069551A1 (ja) | 光電変換素子用電極基板 | |
JP5078367B2 (ja) | 光電変換装置及びその製造方法並びに光発電装置 | |
JP2007018909A (ja) | 光電変換装置の製造方法 | |
JP2000285974A (ja) | 光増感型太陽光発電素子 | |
JP4925605B2 (ja) | 光電変換装置およびそれを用いた光発電装置 | |
JP2008176993A (ja) | 光電変換装置及びその製造方法並びに光発電装置 | |
JP2005285472A (ja) | 光電変換装置 | |
JP2008257893A (ja) | 色素増感型太陽電池用基板の製造方法、色素増感型太陽電池の製造方法、および、これらによって製造された色素増感型太陽電池用基板および色素増感型太陽電池。 | |
JP4601285B2 (ja) | 色素増感型太陽電池用電極基板及びその製造方法並びに色素増感型太陽電池 | |
JP4836473B2 (ja) | 光電変換装置およびその製造方法ならびに光発電装置 | |
JP2008010237A (ja) | 光電変換装置及びその製造方法並びに光発電装置 | |
JP4601284B2 (ja) | 色素増感型太陽電池用電極基板及びその製造方法並びに色素増感型太陽電池 | |
JP5127261B2 (ja) | 光電変換モジュールの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110726 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110912 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111004 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111027 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141104 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |