JP4848494B2 - 金型の製造方法及び金型 - Google Patents
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しかしながら、切削法により金属製金型を作製する場合には、エンドミルの加工寸法に限界があり、微細部分の加工ができない。
導電性基板上に感光性レジスト層を形成するステップと、
フォトリソグラフィー法を用いて所望のパターンを感光性レジストで形成するステップと、
導電性基板に電解めっきを施すステップを備え、電解めっきにより形成された電鋳皮膜を金型とする金型の製造方法において、
前記の感光性レジストで所望のパターンを形成する際に所望のパターン部以外の領域に電極用のパターンを形成し、
前記電解めっきにより前記所望のパターン上には微細成型に供する部分を形成し、
同時に前記電極用のパターン上には微細成型に供しない部分を形成することを特徴とする金型の製造方法、
及び前記製造方法により得られた金型である。
2.感光性レジスト
3.露光マスク
4.透光板
5.遮光膜
6.めっき母材
7.金型
2a.硬化した感光性レジスト部
2a’.硬化した感光性レジスト部に対応する部分
3a.開口部
A.所望のパターン部(流路に対応する部分)
A’.所望のパターンに対応する部分(流路に対応する部分)
B.電極パターン部
B’.電極パターン部に対応する部分
Claims (2)
- 微細成型用の金型の製造方法であって、
導電性基板上に感光性レジスト層を形成するステップと、
フォトリソグラフィー法を用いて所望のパターンを感光性レジストで形成するステップと、
前記導電性基板に電解めっきを施すステップを備え、
電解めっきにより形成された電鋳皮膜を金型とする金型の製造方法において、
前記の感光性レジストで所望のパターンを形成する際に所望のパターン部以外の領域に電極用のパターンを形成し、
前記電解めっきにより、前記所望のパターン上には微細成型に供する部分を形成し、同時に前記電極用のパターン上には微細成型に供しない部分を形成することを特徴とする金型の製造方法。 - 請求項1記載の製造方法により得られた金型。
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