JP2006289659A - 金型の製造方法及び金型 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】めっき法による金型の製造方法に於いて、導電性基板に感光性レジスト層を形成し、フォトリソグラフィー法により感光性レジストで所望のパターンと該所望のパターンとは独立に電極用パターンを設けることにより、レジストパターンへ電鋳皮膜の被覆までに要する時間が短縮され、精密な金型をより簡略な工程で効率良く提供できる。
【選択図】図1
Description
しかしながら、切削法により金属製金型を作製する場合には、エンドミルの加工寸法に限界があり、微細部分の加工ができない。
前記の感光性レジストで所望のパターンを形成する際に所望のパターン部以外の領域に電極用パターンを形成することを特徴とする金型の製造方法、
及び感光性レジスト層が不導体である前記記載の金型の製造方法、
及び前記記載の製造方法により得られた金型、
及び前記記載の金型を用いて成型してなる成型品である。
2.感光性レジスト
3.露光マスク
4.透光板
5.遮光膜
6.めっき母材
7.金型
2a.硬化した感光性レジスト部
2a’.硬化した感光性レジスト部に対応する部分
3a.開口部
A.所望のパターン部(流路に対応する部分)
A’.所望のパターンに対応する部分(流路に対応する部分)
B.電極パターン部
B’.電極パターン部に対応する部分
Claims (4)
- 導電性基板上に感光性レジスト層を形成するステップと、
フォトリソグラフィー法を用いて所望のパターンを感光性レジストで形成するステップと、
所望のパターンが形成された導電性基板に電解めっきを施すステップとを備えた金型の製造方法において、前記の感光性レジストで所望のパターンを形成する際に所望のパターン部以外の領域に電極用のパターンを形成することを特徴とする金型の製造方法。 - 感光性レジスト層が不導体である請求項1記載の金型の製造方法。
- 請求項1から2のいずれかに記載の製造方法により得られた金型。
- 請求項3記載の金型を用いて成型してなる成型品。
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