JP4785481B2 - 電鋳型とその製造方法及び電鋳部品の製造方法 - Google Patents
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2 マスクパターン
3 逆テーパー部
5 電極
6 フォトレジスト
6a フォトレジスパターン
7 電鋳物
9 マスクパターン
10 露光光
21 電鋳槽
22 電鋳液
23 電極
100 電鋳部品
101、102、103、104 電鋳型
Claims (13)
- 導電性基板と、
前記導電性基板上に形成された突起と、
前記導電性基板上に形成され、前記突起の少なくとも側面の一部を覆うフォトレジストのパターンとからなる電鋳型であって、
前記突起の前記基板表面に水平な断面が、前記基板表面から離れるにしたがって大きくなる逆テーパー部分を有している電鋳型。 - 前記フォトレジストのパターンの厚さが、前記突起の高さよりも大きい請求項1に記載の電鋳型。
- 前記突起が、前記フォトレジストのパターンによって完全に覆われた請求項1または2に記載の電鋳型。
- 前記突起が、前記導電性基板と同一の材質で形成されている請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の電鋳型。
- 前記導電性基板が、前記突起が形成された基板の表面に、導電性の膜を形成したものである請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の電鋳型。
- 前記突起が前記導電性基板上に複数形成されている請求項1から4のいずれか一項に記載の電鋳型。
- 基板に前記基板表面に水平な断面が、前記基板表面から離れるにしたがって大きくなる逆テーパー部分を有する突起を形成する工程と、
前記基板の前記突起が形成された面にフォトレジストを塗布する工程と、
前記フォトレジストの上部にマスクパターンを配置して露光する工程と、
前記フォトレジストのパターンを形成する現像工程とからなる電鋳型の製造方法。 - 前記基板の材質がシリコンであり、前記突起を形成する工程がドライエッチングである請求項7に記載の電鋳型の製造方法。
- 前記フォトレジストのパターンの厚さが、前記突起の高さよりも大きい請求項7または8に記載の電鋳型の製造方法。
- 請求項1から6のいずれか一項に記載の電鋳型、あるいは、前記基板として導電性を具備する導電性基板を用いた請求項7から9のいずれか一項に記載の電鋳型の製造方法によって作製された電鋳型を電鋳液に浸す工程と、
前記導電性基板に電圧を印可する工程と、
前記導電性基板の前記フォトレジストのパターンで覆われていない部分に金属を析出させる工程と、
前記金属および前記フォトレジストを削る工程とからなる電鋳部品の製造方法。 - 前記突起が、レール状に形成され、前記削る工程は、前記金属及び前記フォトレジストをレールの滑り方向に対して略垂直な方向に研削、または、研磨を行うことで実現されることを特徴とする請求項10に記載の電鋳部品の製造方法。
- 前記電鋳型として、前記突起が形成された基板の表面に導電性の膜を形成してなる導電性基板を用いた場合に、
前記フォトレジストのパターンを除去するフォトレジストパターン除去工程と、
前記導電性の膜を除去する導電性膜除去工程と、
前記レール状に形成された前記突起の滑り方向に前記電鋳物をスライドさせて前記電鋳物を取り出す取り出し工程と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項11に記載の電鋳部品の製造方法。 - 導電性基板と、
前記導電性基板上に形成された突起と、
前記導電性基板上に形成され、前記突起の少なくとも側面の一部を覆うフォトレジストのパターンとからなる電鋳型であって、
前記突起は、当該突起の前記基板表面に水平な断面が、前記基板表面から離れるにしたがって大きくなる逆テーパー部分を有し、上面投影形状がテーパー形状からなることを特徴とする電鋳型。
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