JP4809087B2 - エレクトロルミネッセンス装置、電子機器、およびエレクトロルミネッセンス装置の製造方法 - Google Patents
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Description
上記課題を解決するために、本発明では、基板上に、有機平坦化膜と、前記有機平坦化膜上に設けられた反射層と、前記反射層を覆うように設けられた保護層と、前記保護層上に設けられた複数の第1の電極と、前記複数の第1の電極の形成位置に対応した複数の開口部を有する隔壁と、少なくとも前記開口部に設けられた発光層と、前記発光層上に設けられた第2の電極と、前記第2の電極を覆うように設けられた封止膜と、を備え、前記隔壁の最外周よりも内側の領域では、前記保護層は、前記有機平坦化膜の上面が露出しないように前記有機平坦化膜および前記反射層を覆っており、前記隔壁の最外周より外側の領域では、前記有機平坦化膜の上面は、前記保護層から露出しており、前記封止膜は、前記有機平坦化膜の上面の前記隔壁および前記保護層から露出している部分全体を覆い、かつ前記有機平坦化膜の上面の前記隔壁および前記保護層から露出している部分と接していることを特徴とする。
上記課題を解決するために、本発明では、基板上に、有機平坦化膜と、前記有機平坦化膜上に設けられた反射層と、前記反射層を覆うように設けられた保護層と、前記保護層上に設けられた複数の第1の電極と、前記第1の電極上に設けられた発光層と、前記発光層上に設けられた第2の電極と、を備え、前記第1の電極と前記第2の電極との間に設けられた発光層を有する発光素子を備えた複数の画素が設けられた発光領域と、前記発光領域より外側に設けられた非発光領域と、を有し、前記有機平坦化膜は、前記発光領域および前記非発光領域に形成され、前記発光領域では、前記保護層は、前記有機平坦化膜の上面が露出しないように前記有機平坦化膜および前記反射層を覆っており、前記非発光領域では、前記有機平坦化膜の上面が前記隔壁および前記保護層から露出していることを特徴とする。
上記課題を解決するために、本発明では、基板上に、有機平坦化膜と、前記有機平坦化膜上に設けられた反射層と、前記反射層を覆うように設けられた保護層と、前記保護層上に設けられた複数の第1の電極と、前記複数の第1の電極の形成位置に対応した複数の開口部を有する隔壁と、少なくとも前記開口部に設けられた発光層と、前記発光層上に設けられた第2の電極と、を備え、前記隔壁の最外周よりも内側の領域では、前記保護層は、前記有機平坦化膜の上面が露出しないように前記有機平坦化膜および前記反射層を覆っており、前記隔壁の最外周より外側の領域では、前記有機平坦化膜の上面が前記保護層から露出していることを特徴とする。
上記課題を解決するために、本発明では、スイッチング素子、該スイッチング素子により形成される凹凸を平坦化する有機平坦化膜、該平坦化層の上層に配置された反射層、該反射層の表面側を覆う保護層、該保護層の上層で前記スイッチング素子に電気的に接続する透光性の第1の電極層、該第1の電極層の上層に配置された有機発光機能層、該有機発光機能層の上層に配置された第2の電極層を備えた複数の画素が配置された発光領域と、該発光領域より外周側に位置する非発光領域とを基板上に有するEL装置において、前記有機平坦化膜は、前記発光領域から前記非発光領域内まで一体に形成され、前記非発光領域では、前記有機平坦化膜の上面が前記保護層から露出していることを特徴とする。
本発明に係るEL装置の製造方法では、前記有機平坦化膜を形成する有機平坦化膜形成工程と、前記反射層を形成する反射層形成工程と、前記保護層を形成する保護層形成工程と、前記第1の電極層を形成する第1の電極層形成工程と、前記発光層を形成する発光層形成工程と、を有し、前記第1の電極層形成工程の後、前記発光層形成工程の前に、前記有機平坦化膜が含有する水分を当該有機平坦化膜から脱離させる脱水工程を行うことを特徴とする。
本発明に係るEL装置の製造方法では、前記有機平坦化膜を形成する有機平坦化膜形成工程と、前記反射層を形成する反射層形成工程と、前記保護層を形成する保護層形成工程と、前記第1の電極層を形成する第1の電極層形成工程と、前記有機発光機能層を形成する有機発光機能層形成工程とを有し、前記第1の電極層形成工程の後、前記有機発光機能層形成工程の前に、前記有機平坦化膜が含有する水分を当該有機平坦化膜から脱離させる脱水工程を行うことを特徴とする。
本発明において、前記第2の電極は、前記隔壁の上面および側面を覆うように形成されており、前記第2電極を覆う封止層は、前記有機平坦化膜の露出している部分全体を覆うように形成されていることを特徴とする。
本発明において、前記非発光領域では、例えば、前記有機平坦化膜の下層側に、前記画素に対する駆動回路が形成されている。
(有機EL表示装置の全体構成)
図1および図2は、本発明を適用した有機EL装置の平面図、およびこの有機EL装置の電気的構成を示すブロック図である。
あり、各画素15を赤色(R)、緑色(G)、青色(B)に対応している。
図3(a)、(b)は、本発明の実施の形態1に係るEL装置の要部の断面図、およびこのEL装置に構成された画素3つ分の平面図である。図4(a)、(b)は、図3(a)の一部を拡大した断面図、および隔壁までを形成した状態の断面図である。なお、図3(a)は、図1に丸Xで囲った部分の断面に相当し、その一部は、図3(b)のA−A′断面を表わしている。また、図4(a)では、図3(a)に示す駆動回路の薄膜トランジシスタの数を減らして表わしてある。
赤色(R)>緑色(G)>青色(B)
になっている。このため、第1の電極11は、それ自身が光共振器の一部を構成し、各画素15から所定の色光を出射可能にしている。但し、第1の電極11の厚さを画素15が対応する色毎に相違させるには、第1の電極11を形成する際、成膜工程およびエッチング工程を複数回、行うことになるので、エッチングの際、反射層16を保護するという観
点からすれば、保護層14の形成は必須である。
本形態では、非発光領域120でも、下地保護膜21上には、図2を参照して説明した駆動回路51、54などを構成する駆動回路用薄膜トランジスタ50が形成されており、かかる駆動回路用薄膜トランジスタ50は、薄膜トランジスタ7と同様な構造を有している。このため、非発光領域120でも、基板20上には、ゲート絶縁膜22、層間絶縁膜23、パッシベーション膜24が形成されている。
図5(a)、(b)は、本発明の実施の形態1に係るEL装置での水分放出領域を示す説明図である。
坦化膜25が含有している水分は、矢印H10で示すように、有機平坦膜25内を発光領域110から非発光領域120に向けて拡散した後、矢印H11で示すように、上面から放出される。さらにまた、発光領域120に形成されている有機平坦化膜25が含有している水分は、矢印H12で示すように、隔壁5との接触部分を介して隔壁5に拡散した後、矢印H13で示すように放出される。それ故、本形態によれば、有機平坦化膜25が含有している水分は、図5(a)、(b)に右上がりの斜線を付した広い領域から放出されるので、有機平坦化膜25から水分を確実に除去できる。
図6(a)〜(e)は、本形態のEL装置の製造方法を示す工程断面図である。本形態では、まず、図6(a)に示すように薄膜トランジシタ7、50を形成する。その際、薄膜トランジシタ7、50の能動層を構成する半導体膜については、プラズマCVD法によりアモルファスシリコン膜を形成した後、レーザアニールまたは固相成長法などにより結晶化させたポリシリコン膜を用いる。
る脱水工程(ベーク工程)を行う。その結果、図4(b)を参照して説明したように、隔壁5および有機平坦膜25が含有していた水分を放出することができる。なお、以上の工程は、一貫して水分のない雰囲気中で行う。
図7(a)、(b)、(c)は、本発明の実施の形態2に係るEL装置の要部の断面図、その一部を拡大した断面図、および隔壁までを形成した状態の断面図であり、各々が図3(a)、図4(a)、(b)に対応する。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態1と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付して図示することにして、それらの詳細な説明を省略する。
トランジスタ7と同様な構造を有している。このため、非発光領域120でも、基板20上には、ゲート絶縁膜22、層間絶縁膜23、パッシベーション膜24が形成されている。
図8(a)、(b)、(c)は、本発明の実施の形態3に係るEL装置の要部の断面図、その一部を拡大した断面図、および隔壁までを形成した状態の断面図であり、各々が図3(a)、図4(a)、(b)に対応する。図9(a)、(b)は、本発明の実施の形態3に係るEL装置での水分放出領域を示す説明図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態1と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付して図示することにして、それらの詳細な説明を省略する。
が形成され、かつ、有機平坦化膜25の外周縁は、基板20の外周縁よりわずかに内側に位置している。このため、非発光領域120では、有機平坦化膜25の上面および側面が封止膜19で覆われている。
上記形態では、隔壁5を形成した場合を例に説明したが、隔壁5が形成されていない場合にも適用可能である。この場合、有機平坦化膜25を形成する有機平坦化膜形成工程を行った後、反射層16を形成する反射層形成工程と、保護層14を形成する保護層形成工程と、第1の電極層11を形成する第1の電極層形成工程と、有機発光機能層13を形成する有機発光機能層形成工程とを順に行うとともに、第1の電極層形成工程の後、有機発光機能層形成工程の前に脱水工程を行えばよい。また、第1の電極層11を形成する第1の電極層形成工程を行う前に隔壁5を形成する場合にも、第1の電極層形成工程の後、有機発光機能層形成工程の前に脱水工程を行えばよい。
また、本発明を適用したEL装置100については、携帯電話機、パーソナルコンピュータやPDAなど、様々な電子機器において表示装置として用いることができる。また、本発明を適用したEL装置100は、デジタル複写機やプリンタなどの画像形成装置における露光用ヘッドとして用いることもできる。
Claims (10)
- 基板上に、有機平坦化膜と、
前記有機平坦化膜上に設けられた反射層と、
前記反射層を覆うように設けられた保護層と、
前記保護層上に設けられた複数の第1の電極と、
前記複数の第1の電極の形成位置に対応した複数の開口部を有する隔壁と、
前記第1の電極上に設けられた発光層と、
前記発光層上に設けられた第2の電極と、
前記第2の電極を覆うように設けられた封止膜と、を備え、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に設けられた発光層を有する発光素子を備えた複数の画素が設けられた発光領域と、前記発光領域より外側に設けられた非発光領域と、を有し、
前記有機平坦化膜は、前記発光領域および前記非発光領域に形成され、
前記発光領域において、前記保護層は、前記有機平坦化膜の上面が露出しないように前記有機平坦化膜および前記反射層を覆っており、
前記非発光領域において、前記有機平坦化膜の上面は、前記隔壁および前記保護層から露出しており、
前記封止膜は、前記有機平坦化膜の上面の前記隔壁および前記保護層から露出している部分全体を覆い、かつ前記有機平坦化膜の上面の前記隔壁および前記保護層から露出している部分と接していることを特徴とするエレクトロルミネッセンス装置。 - 基板上に、有機平坦化膜と、
前記有機平坦化膜上に設けられた反射層と、
前記反射層を覆うように設けられた保護層と、
前記保護層上に設けられた複数の第1の電極と、
前記複数の第1の電極の形成位置に対応した複数の開口部を有する隔壁と、
少なくとも前記開口部に設けられた発光層と、
前記発光層上に設けられた第2の電極と、
前記第2の電極を覆うように設けられた封止膜と、を備え、
前記隔壁の最外周よりも内側の領域では、前記保護層は、前記有機平坦化膜の上面が露出しないように前記有機平坦化膜および前記反射層を覆っており、
前記隔壁の最外周より外側の領域では、前記有機平坦化膜の上面は、前記保護層から露出しており、
前記封止膜は、前記有機平坦化膜の上面の前記隔壁および前記保護層から露出している部分全体を覆い、かつ前記有機平坦化膜の上面の前記隔壁および前記保護層から露出している部分と接していることを特徴とするエレクトロルミネッセンス装置。 - 前記有機平坦化膜の上層側には、前記画素の境界領域に沿って隔壁が樹脂層により形成されていることを特徴とする請求項1に記載のエレクトロルミネッセンス装置。
- 前記隔壁を構成する樹脂層は、前記発光領域から前記非発光領域まで形成されて前記有機平坦化膜に積層していることを特徴とする請求項3に記載のエレクトロルミネッセンス装置。
- 前記隔壁と前記有機平坦化膜とは同一の樹脂材料からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のエレクトロルミネッセンス装置。
- 前記第1の電極と前記第2の電極との間に設けられた発光層を有する発光素子を備えた複数の画素は、各々所定の色に対応しており、
前記第1の電極は、対応する色毎に厚さが相違していることを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項に記載のエレクトロルミネッセンス装置。 - 前記第1の電極と前記第2の電極との間に設けられた発光層を有する発光素子を備えた複数の画素が設けられた発光領域と、前記発光領域より外側に設けられた非発光領域と、を有し、
前記発光領域では、前記有機平坦化膜の下層側に、前記第1の電極と電気的に接続されたトランジスタが設けられ、
前記非発光領域では、前記有機平坦化膜の下層側に、前記画素に対する駆動回路が設けられていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のエレクトロルミネッセンス装置。 - 前記第2の電極は、前記隔壁の上面および側面を覆うように形成されていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のエレクトロルミネッセンス装置。
- 請求項1乃至8の何れか一項に記載のエレクトロルミネッセンス装置を具備することを特徴とする電子機器。
- 請求項1乃至8の何れか一項に記載のエレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、
前記有機平坦化膜を形成する有機平坦化膜形成工程と、
前記反射層を形成する反射層形成工程と、
前記保護層を形成する保護層形成工程と、
前記複数の第1の電極層を形成する第1の電極層形成工程と、
前記隔壁を形成する隔壁形成工程と、
前記発光層を形成する発光層形成工程と、を有し、
前記隔壁形成工程の後、前記発光層形成工程の前に、前記有機平坦化膜および前記隔壁が含有する水分を当該有機平坦化膜および前記隔壁から脱離させる脱水工程を行うことを特徴とするエレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
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