JP4799908B2 - 表面処理方法 - Google Patents
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Description
近年真空装置が大型化し、大型化した真空処理装置を構成する部材全体を一度に処理することが困難になってきたため、本出願人は、特願2004−219001において部分電解処理を提案した。
この部分電解処理であっても、処理のために使用した薬液を除去するために純水等による洗浄が必要である。部分電解処理の過程で表面にスマットと呼ばれる金属性の付着物(ステンレス鋼の場合は、Cr,Ni,Fe等の酸化物および塩が不均一に付着している)は、高圧ジェットを用いた純水洗浄をしても除去することは難しく、真空雰囲気下において、前記金属性付着物が空間に放出されたり、その後の成膜時に荷電粒子に叩かれて空間に放出されたりして、真空装置を汚染する可能性があるという問題があった。これらの金属性付着物を除去するためには、部分電解処理後に、取り扱う際の危険性の高い硝酸を使用し洗浄しなければならないという問題があった。
装置の表面処理方法として、上述の部分電解処理の他、従来から行われている電解研磨、化学研磨などがあるが、これらの方法いずれも、処理後には、金属表面に上述のスマットが付着する。スマットをそのまま付着させておくことは、部分電解処理のときと同様に空間中に放出され真空装置を汚染する可能性があるという問題があった。また、これらの金属性付着物を除去するためには、部分電解処理後に、取り扱う際の危険性の高い硝酸を使用し洗浄しなければならないという問題があった。
即ち、本発明の表面処理方法は、請求項1に記載の通り、真空処理装置を構成するステンレス鋼から構成される金属製部品を被処理物とする表面処理方法であって、被処理物を電源の陽極側に接続するとともに、陰極側に被処理物の表面に電解液を接触させるための処理媒体を接続し、電極間に電解液を介して直流電流を流すことにより被処理物の表面を処理媒体を介して電解研磨した後に、0.5重量%以上3重量%未満の希アルカリ液に、濃度が0.5重量%以上10重量%未満となるようにカルボン酸又はカルボン酸塩を添加して得られたアルカリ系キレート液を洗浄布に含ませてワイピングすることにより前記被処理物の表面を洗浄することを特徴とする。
また、請求項2に記載の表面処理方法は、請求項1に記載の表面処理方法において、前記アルカリ系キレート液の温度を、10〜80℃とすることを特徴とする。
前記真空処理装置を構成する金属製部品は、真空処理環境下におかれる部品であれば特に制限するものではない。一例を挙げると、金属製容器等が挙げられる。尚、前記金属としては、ステンレス鋼を使用する。
前記処理媒体としては、前記電極間に電流を流すことができれば、材料や形状は限定されるものではないが、例えば、不織布を使用することができる。
前記電解研磨又は部分電解処理に使用される電解液としては、無機酸、有機酸、無機酸塩及び有機酸塩のうちの少なくともいずれかを含むもので、具体的には、リン酸、硫酸、クエン酸アンモニウム、塩化アンモニウム、リン酸2水素アンモニウム、硫酸アンモニウム、硝酸ナトリウム、クエン酸等を挙げることができる。
また、部分電解処理に使用できる処理媒体としては、前記電極間に直流電流を流すことができれば、材料や形状は限定されるものではないが、例えば、不織布を使用することができる。
電解研磨又は部分電解処理における電解電流密度は、被処理物により異なるが、例えば、ステンレス鋼であれば、0.1〜0.5A/cm2である。
a)1重量%の水酸化ナトリウム溶液に、濃度が3重量%となるようにクエン酸ナトリウムを添加した溶液
b)1重量%の水酸化ナトリウム溶液に、濃度が3重量%となるようにリンゴ酸を添加した溶液
各キレート液を40〜50℃に加温し、洗浄布に含ませて被処理物の全面のワイピングを行った。ワイピング終了後、50℃に加温した純水により高圧ジェット洗浄を行い、電解研磨に使用した薬液及びアルカリ系キレート溶液の除去を行った。そして、仕上げとして気化させた液体窒素により乾燥した。
スマット除去の効果を確認するために、イオンクロマト分析を行った。詳細には、洗浄前後の被処理物を対象として、純水を染み込ませた洗浄布により全面をワイピングした後に、前記洗浄布に染み込んだ純水100mlを抽出し、単位面積当たりの各イオン量を算出した。
この結果を、aについては表1に、bについては表2に示す。
a)40℃に加温した1重量%の水酸化ナトリウム溶液に、濃度が3重量%となるようにクエン酸ナトリウムを添加した溶液
b)40℃に加温した1重量%の水酸化ナトリウム溶液に、濃度が3重量%となるようにリンゴ酸を添加した溶液
a、bのキレート液について、洗浄布に含ませて被処理物の全面のワイピングを行った。ワイピング終了後、スマット除去の効果を確認するために、使用した各洗浄布を100mlの純水に浸漬し、各キレート液への金属成分の溶出量を純水に抽出した。そして、分析対象となる金属をステンレス合金の成分であるFe,Cr,Niとして、原子吸光分析により測定した。
尚、検出されたステンレス鋼成分がスマット部分からであり、ステンレス鋼自体からではないことを示すために、30重量%の硝酸溶液によるスマット除去、水洗後、aにより処理し、このaによる処理において使用した洗浄布から抽出したサンプルを作成し、これをcとした。
この結果を、表3に示す。
この結果から、a,bでは、被処理物自体に損傷を与えることなく、スマットが除去されることがわかった。
図1は、単位面積当たりのガス放出速度の変化を示す図であり、図中1は、キレート液による処理を行った試料のガス放出速度であり、図中2は、処理を行わなかった試料のガス放出速度である。
図1より、キレート液による処理を行った試料は、処理をしなかった試料に比べ、特に250℃以上の温度でのガス放出速度が少なくなった。この温度領域で放出されるガスの源がキレート液による処理によって除去された。
a)1%の水酸化ナトリウム溶液に、濃度が3%となるようにクエン酸ナトリウムを添加した溶液
上記キレート液を40℃〜50℃に加温し、清浄布に含ませて被処理物の全面のワイピングを行なった。ワイピング終了後、50℃に加温した純水を使用した高圧ジェット洗浄を行ない、電解研磨に使用した薬液及び、アルカリ系キレート溶液の除去を行なった。仕上げとして気化させた液体窒素により乾燥した。
スマット除去の効果を確認するために、イオンクロマト分析を行った。詳細には、洗浄前後の被処理物を対象として、純水を染み込ませた清浄布にて全面をワイピングした後に、前記清浄布に染み込んだ純水100ml抽出し、単位面積当たりの各イオンの量を算出した。結果を表に示す。
2 キレート液による処理をしなかった試料の単位面積当たりのガス放出速度
Claims (2)
- 真空処理装置を構成するステンレス鋼から構成される金属製部品を被処理物とする表面処理方法であって、被処理物を電源の陽極側に接続するとともに、陰極側に被処理物の表面に電解液を接触させるための処理媒体を接続し、電極間に電解液を介して直流電流を流すことにより被処理物の表面を処理媒体を介して電解研磨した後に、0.5重量%以上3重量%未満の希アルカリ液に、濃度が0.5重量%以上10重量%未満となるようにカルボン酸又はカルボン酸塩を添加して得られたアルカリ系キレート液を洗浄布に含ませてワイピングすることにより前記被処理物の表面を洗浄することを特徴とする表面処理方法。
- 前記アルカリ系キレート液の温度を、10〜80℃とすることを特徴とする請求項1に記載の表面処理方法。
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