JP2005298919A

JP2005298919A - 洗浄方法

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Publication number: JP2005298919A
Application number: JP2004118115A
Authority: JP
Inventors: Yuichi Sawada; 祐一澤田
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2004-04-13
Filing date: 2004-04-13
Publication date: 2005-10-27

Abstract

【課題】健康および環境に悪影響を及ぼす可能性がある有機性溶剤を用いなくとも優れた洗浄力を有し、かつ洗浄後には腐食防止効果も有する、新規な洗浄方法を提供すること。
【解決手段】直流電源の正極または負極のいずれか一方に接続された導電性を有する被洗浄物を、前記直流電源の他方の極に接続された電極材とともに水溶液中に浸漬し、当該被洗浄物および電極材へ通電する。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えば金属性の電子部品等に代表される、導電性を有する物の洗浄方法に関する。

例えば、現在の様々な電子部品の多くは、金属（合金を含む）等に代表される導電性を有する物質を材料とし、これを切削加工や鍛造加工することによって製造されている。そして、導電性を有する材料（特に金属）を切削加工や鍛造加工する場合には、加工時の潤滑性を得るために切削油や鍛造油（機械加工油）が使用される場合が多い。また、前記の切削加工によって製造された電子部品は、その後に、樹脂コーティング（樹脂による成膜）、めっき、さらには塗装、等の様々な処理がなされる場合が多いが、この様な処理をするにあたっては、その前に、前記切削加工等をした際に電子部品表面に付着した切削油等を洗浄・除去する必要がある。

現在は、電子部品表面に付着した切削油等を洗浄・除去する方法としては、「有機性溶剤を用いて電子部品を洗浄する方法」が最も一般的に用いられている。

しかしながら、有機性溶剤は揮発性が高く、作業員が吸引した場合には健康を害する虞があることが知られている。また、可燃性も高いため危険薬物と指定されており、従ってその管理や使用後の廃液処理にも充分な配慮が必要であり、取り扱いが煩わしい。

このような様々な問題を有する「有機性溶剤を用いて電子部品を洗浄する方法」に代えて、超音波を用いて洗浄する方法や、オゾン水を用いて洗浄する方法等、多くの洗浄方法が開発・試験されているが、何れの方法も洗浄力において、有機性溶剤を用いる方法に劣っており、また洗浄時間も余計に必要であることから、本格的な実用には至っていない。

また、有機性溶剤を用いて洗浄する方法をはじめ、従来のいかなる方法においては、切削油等の洗浄・除去をした後、そのまま放置すると、電子部品が腐食してしまう（錆びてしまう）ため、樹脂コーティング（樹脂による成膜）やめっき等の処理をするまでに時間がある場合には、電子部品に防錆剤を塗布するなどの腐食防止処理を実施しなければならず、煩わしい。

本発明はこの様な事情に鑑みなされたものであり、健康および環境に悪影響を及ぼす可能性がある有機性溶剤を用いなくとも優れた洗浄力を有し、かつ洗浄後には腐食防止効果も有する、新規な洗浄方法を提供することを主たる課題とする。

上記課題を解決するための、本願第１の発明としての洗浄方法は、直流電源の正極または負極のいずれか一方に接続された導電性を有する被洗浄物を、前記直流電源の他方の極に接続された電極材とともに水溶液中に浸漬し、当該被洗浄物および電極材へ通電することを特徴とする。

前記第１の発明においては、前記被洗浄物に対し、前記電極材を複数設けることが好ましい。

また、前記第１の発明においては、水溶液中に浸漬せしめられる被洗浄物と電極材との間に隔膜を設けることが好ましい。

さらに、前記第１の発明においては、前記被洗浄物が浸漬せしめられる水溶液が、重曹、塩化ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸ナトリウムを含有してもよい。

また、前記第１の発明においては、前記電極材が浸漬せしめられる水溶液がアルカリ性の水溶液であってもよい。

また、前記第１の発明においては、前記被洗浄物が浸漬せしめられる水溶液、および前記電極材が浸漬せしめられる水溶液を循環させるとともに、循環経路中に電解質が充填された電解質充填槽を設けることで、当該水溶液のｐＨを一定に保つことが好ましい。

さらに、前記第１の発明においては、前記被洗浄物に通電することによって、当該被洗浄物表面から発生する気体および当該被洗浄物表面から除去される汚れを、当該被洗浄物が浸漬せしめられる水溶液から適宜除去しながら通電してもよい。

また、前記第１の発明においては、前記被洗浄物が金属製の電子部品であってもよい。

本願第１の発明によれば、導電性を有する被洗浄物に対して水溶液中で直接に直流電源を流すことにより（分かりやすく説明すると、被洗浄物自体を、水溶液を電気分解する場合の一方の電極としてしまうことにより、）、被洗浄物の表面に付着した切削油や、その他の汚れを当該表面から離脱せしめて洗浄することができる。本発明の方法は、有害な有機性溶媒を用いることもなく、簡便かつ安全に、しかも短時間に優れた洗浄力を発揮することができる。

なお、このように被洗浄物に対し水溶液中で通電することで（つまり、水溶液の電気分解の電極として用いることで）、被洗浄物表面に付着した油汚れ等を除去できるのか、その原理については明確ではないが、通電されることにより、被洗浄物表面において何らかの化学反応（酸化還元反応やラジカル反応、さらには触媒反応）が起き、これによって油汚れ等が分解・除去されているものと考えることができる。

さらに、本発明の方法によって洗浄された被洗浄物は、洗浄後何らの後処理をしなくても相当の期間にわたって腐食する（錆びる）ことがない。つまり、本発明の洗浄方法によれば、洗浄後の被洗浄物に耐腐食性を付与することもできる。

なお、このように耐腐食性を付与することができる理由についても明確に説明することはできないが、被洗浄物に通電することで、その表面が不動態化されているのではないかと考えることができる。

また、本発明において、前記被洗浄物に対し、前記電極材を複数設けることにより、前述した本発明の効果をさらに向上することができるとともに、洗浄に要する時間を短縮することができる。

また、本発明において、前記水溶液中に浸漬せしめられる被洗浄物と電極材との間に隔膜を設けることにより、被洗浄物を浸漬せしめるための水溶液と、電極材を浸漬せしめるための水溶液とを、当該隔膜によって分離することができるので、２つの水溶液のｐＨ等を適宜変更することができ、これにより、効率よく洗浄を行うことができる。また、例えば電極材を直流電源の陽極に接続して通電した場合には、この電極材の表面から酸素ガスが発生すると考えられるが、隔膜を設けることにより、電極材の表面で発生した酸素ガスが被洗浄物に接触して、当該被洗浄物が酸化してしまうことを防止することもできる。

さらに、本発明において、前記被洗浄物が浸漬せしめられる水溶液を、重曹、塩化ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸ナトリウムを含有する水溶液としたり、また、前記電極材が浸漬せしめられる水溶液をアルカリ性の水溶液としたり、さらには、前記電極材が浸漬せしめられる水溶液を循環させるとともに、循環経路中に電解質が充填された電解質充填槽を設けることで、当該水溶液のｐＨを一定に保つようにしたりすることでも洗浄効率を向上することができる。

また、本発明において、前記被洗浄物に通電することによって、当該被洗浄物表面から発生する気体および当該被洗浄物表面から除去される汚れを、当該被洗浄物が浸漬せしめられる水溶液から適宜除去しながら通電することにより、水溶液が被洗浄物に付着していた汚れによって汚染されることを防止することができるとともに、一旦洗浄された汚れが被洗浄物に再付着することを防止することができる。

また、本発明において、前記被洗浄物を金属製の電子部品とすることにより、本発明の方法を有効に活用することができる。

以下に、本発明の洗浄方法について、図面を用いながら具体的に説明する。

図１は、本発明の洗浄方法を実施するための装置図である。

本発明の洗浄方法は、直流電源１０の正極または負極のいずれか一方（図１では負極）に接続された導電性を有する被洗浄物Ｘを、前記直流電源１０の他方の極（図１では正極）に接続された電極材１１とともに水溶液１２中に浸漬し、当該被洗浄物Ｘおよび電極材１１へ通電することにより行われる。

図１に示すように、例えば、被洗浄物Ｘを負極に、電極材１１を正極にそれぞれ接続し、それぞれに通電することにより、被洗浄物Ｘの表面では、水溶液中の水素イオン（Ｈ^＋）が水素ガス（Ｈ_２）となって発生することとなり、この反応と同時に何らかの化学反応が生じるか、若しくは、当該水素ガスによって、被洗浄物Ｘの表面に付着していた汚れが分解・除去される。

本発明の洗浄方法を適用することができる被洗浄物Ｘとしては、導電性を有するものであれば特に限定されることはなく、いかなるものであってもよい。上記の説明からも明らかなように、本発明の方法は、被洗浄物Ｘを、いわば電気分解の電極として利用することによって洗浄することに最大の特徴を有しており、従って、導電性を有することは必須の要件となる。被洗浄物Ｘの具体例としては、金属（合金を含む）を加工することによって製造される金属部品や、金属板などを挙げることができ、なかでも、電子部品が特に好ましい。

一方、本発明の方法に用いる電極材１１は、前記電気分解をするとの考えによれば、前記被洗浄物Ｘの対極となるものであり、当然に導電性を有する必要があるが、その材質や大きさについては、特に限定されることはない。具体的には、銅、銀、白金、チタンなど、従来から電気分解の電極として用いられている材料であればよい。中でも、チタンの表面に貴金属（例えば金や白金）めっきを施した材料は、溶液中で通電しても電極材が溶解することがないため特に好ましい。

本発明の方法は、上述してきた被洗浄物Ｘ、およびこれの対極となる電極材１１に対し、直流電源１０を用いて通電することに特徴を有しているが、この際の電圧値、電流値については特に限定することはなく、被洗浄物に付着した汚れの程度などによって適宜変更すればよい。従って、任意に電圧値と電流値を設定できるように、直流電源１０は、可変電圧・可変電流式の直流電源を用いることが好ましい。

具体的には、例えば、被洗浄物Ｘ表面での電流密度が３．０〜５．０Ａ／ｄｍ^２となるように電圧を印加することが好ましい。

ここで、本発明の方法においては、図１に示すように、被洗浄物Ｘ一つに対し、これの対極となる電極材１１を複数（図１では二つ）設けるようにしてもよく、さらにこの場合、二つの電極材１１、１１の間に被洗浄物Ｘを配置するようにする（図１参照）ことが好ましい。このように電極材１１を複数用い、さらに、図１に示すように配置することにより、被洗浄物Ｘと電極材１１間の電荷の授受をスムーズにすることができ、その結果、洗浄効率を向上することができるからである。

また、本発明の方法においては、図１に示すように、被洗浄物Ｘと電極材１１との間に隔膜１３を設けてもよい。被洗浄物Ｘを浸漬せしめるための水溶液１２ａと、電極材１１を浸漬せしめるための水溶液１２ｂとを、当該隔膜１３によって分離することができ、当該２つの水溶液１２ａ、１２ｂのｐＨ等を適宜変更することで、さらに洗浄効率を向上することができるからである。なお、このように隔膜１３を用いる場合には、隔膜１３と電極材１１との間隔をできるだけ小さくすることが望ましい。これにより電気抵抗を軽減することができ、洗浄に用いる消費電力を低減することができるからである。

本発明の方法において用いられる隔膜１３としては、特に限定されることはなく、従来から電気分解などに用いられている隔膜を適宜選択して用いることが可能であり、カチオン性膜、アニオン性膜、中性膜の種類を問わず用いることができる。

ここで、本発明の方法において使用される水溶液１２について説明する。本発明の方法における水溶液１２は、被洗浄物Ｘと電極材１１とが浸漬せしめられ、これらにより電気分解をされる役割を果たす溶液（つまり、被電解物質）である。従って、本発明の方法にあっては、水溶液について特に限定することはなく、通常の水、その他電解質を含有する水溶液などを任意に選択して用いることができる。しかしながら、カルシウムやマグネシウムなどを含有する水を用いると、陰極（図１では被洗浄物Ｘ）の表面にこれらが析出してしまい、洗浄すべき被洗浄物Ｘを汚染してしまうため、このような物質が含有されていない水（例えば、純水や軟水）を用いることが好ましい。

さらに、図１に示すように、被洗浄物Ｘと電極材１１との間に隔膜１３を設けた場合には、被洗浄物Ｘを浸漬する水溶液１２ａと電極材１１を浸漬する水溶液１２ｂとをそれぞれ異なる水溶液とすることができ、この場合には、被洗浄物Ｘを浸漬する水溶液１２ａとしては、重曹、塩化ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸ナトリウム含有する水溶液（溶媒は純水か軟水）を用いることが好ましく、これらの水溶液は飽和水が好ましい。一方、電極材１１を浸漬する水溶液１２ｂとしては、アルカリ性の水溶液であることが好ましく、具体的には、ｐＨが８．０〜１２．０程度の水溶液が好ましい。なお、このようなｐＨとするために、炭酸カリウム、炭酸ナトリウム、塩化カリウム、重曹などを適宜溶解した溶液を用いることが好ましい。

本発明の方法においては、図１に示すように、前記被洗浄物Ｘを浸漬する水溶液１２ａ、および電極材１１を浸漬する水溶液１２ｂ、それぞれをポンプＰ等により循環させるとともに、循環経路１４中に電解質（炭酸カリウム、炭酸ナトリウム、塩化カリウム、重曹など）を充填した電解質充填槽１５を設けるようにしてもよい。例えば、本発明の洗浄方法を長時間にわたって行った場合には、水溶液１２ａ、１２ｂは、水素ガスや塩素ガスの生成等により徐々にｐＨが酸性側シフトしてしまい、効率よく被洗浄物Ｘの洗浄ができなくなることがあるが、このように電解質充填槽１５内を設け、水溶液１２ａ、１２ｂを循環せしめることにより、当該水溶液のｐＨを常に一定に保つことができる。

さらに、本発明の方法においては、前記被洗浄物Ｘに通電することによって、当該被洗浄物Ｘ表面から発生する気体および当該被洗浄物Ｘ表面から除去される汚れを、当該被洗浄物が浸漬せしめられる水溶液１２ａから適宜除去しながら通電することが好ましい。これにより水溶液１２ａが汚染することを防止することができる。

具体的には、例えば、図１に示すように、浸漬せしめられた被洗浄物Ｘの上方に吸引装置１６を設け、被洗浄物Ｘの表面から浮上してくる気体（主に水素ガス）および汚れを吸引するようにしてもよい（正確には気体および汚れを含む水溶液１２ａを吸引する）。なお当該吸引装置１６については、特に限定されることはなく、従来公知の装置を用いればよい。

また、この吸引装置１６は、図１に示すように、気液分離装置１７に接続されおり、さらに当該気液分離器１７の下流側には油水分離器１８を設けてもよい。このように、まず気液分離器１７を設けることにより、吸引装置１６により吸引された水溶液１２ａから、気体（水素ガスなど）を分離、放出することができる。また、さらに油水分離器１８を設けることにより、気体を分離、放出した後の水溶液１２ａから、被洗浄物表面から洗浄除去された油分（汚れ）を分離することができる。このように気液分離器１７と油水分離器１８とを併用することにより、吸引装置によって吸引した水溶液１２ａを再利用することも可能である。なお、気液分離器１７および油水分離器１８については、従来公知のそれを用いればよい。

図２は、本発明の洗浄方法を実施するための別の装置図である。

図１に示した装置による本発明の洗浄方法は、いわゆるバッチ式（被洗浄物Ｘを個別に洗浄していく方式）であったが、本発明の方法はこれに限定されることはなく、図２に示すように連続式とすることも可能である。

つまり、被洗浄物Ｘが、単体部品ではなく、例えば長尺帯形状を呈する場合には、図２に示すように複数の回転ローラＲを用いて、長尺帯形状の被洗浄物Ｘを連続的に水溶液１２中に浸漬せしめることで連続的に洗浄処理を行うことができる。

この場合、図示するように、被洗浄物Ｘの対極となる電極材１１は、水溶液１２内の奥側（図示する）と手前側（図示しない）に対向するように（つまり可動式レールの移動方向と平行するように）配置すればよく、また、隔膜１３についても、それぞれの電極材１１と被洗浄物Ｘとの間に配置すればよい。また、直流電源についても、図示するように被洗浄物Ｘと電極材１１にそれぞれ接続すればよい。

また、図２に示すよな連続式の洗浄方法とする場合には、被洗浄物Ｘを洗浄後、濯ぎをする工程（リンスする工程）、さらに乾燥する工程を設けることが好ましい。この場合において、濯ぎに用いる溶液としては、純水やアルカリ電解水を用いることでき、さらにこれらのスチーム（蒸気）を被洗浄物に吹き付ける濯ぎ工程としてもよい（図２のスチーム噴霧装置２０参照）。また、乾燥する工程にあっては、乾燥した空気を被洗浄物に吹き付けることにより、被洗浄物表面に付着した水分を飛散せしめてもよい（図２のエアブロー装置２１参照）。このような工程を設けることにより、被洗浄物Ｘの洗浄後の腐食をより効果的に防止することができる。

図３は、本発明の洗浄方法を実施するためのさらに別の装置図である。

図２に示した装置による本発明の洗浄方法は、長尺帯形状を呈する被洗浄物Ｘを連続式で洗浄するものであったが、これに限定されることはなく、図３に示すように、被洗浄物Ｘが単体部品である場合であっても、連続式とすることができる。

つまり、通電可能なフック３０が複数設けられた可動式レール３１を準備し、前記フック３０に被洗浄物Ｘを把持せしめ、レール３１上を移動せしめることにより、連続して水溶液１２中に浸漬せしめ、線上処理を行うことができる。この場合のフック３０や可動式レール３１については、従来公知の装置を適宜改良等して用いればよく、本発明は特に限定しない。また、この場合にあっても、洗浄後、温水等により濯ぎ（リンスし）、さらに乾燥する工程を設けることが好ましい。また、この場合における電極材１１は、水溶液１２内の奥側（図示する）と手前側（図示しない）に対向するように（つまり可動式レールの移動方向と平行するように）配置すればよい。

図４は、本発明の洗浄方法を実施するためのさらに別の装置図（上面図）である。

図４に示すように、装置全体を円筒形とし、その内部に電極材１１、１１を二重に設け、この電極材１１の間に、被洗浄物を配置する、つまり、円筒形の装置の中心から、半径方向に向かって、電極材１１→隔膜１３→被洗浄物Ｘ→隔膜１３→電極材１１の順に配置するようにしてもよい（なお、図４においては、直流電源１０は省略する）。

なお、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。上記実施の形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。

（実施例１）
鋼材を鍛造加工して製造された自動車部品を被洗浄物として採用し、本発明の洗浄方法を実施した。詳細については以下に示す通りである。なお、この被洗浄物としての自動車部品を鍛造加工する際には、市販されている鍛造油を用いたため、当該被洗浄物の表面には、当該鍛造油が付着していた。
装置：上記で説明した図１に示すバッチ式装置を用いた。（以下、理解を容易にするため、図１に示す符号を括弧内に記す。）
電極材（１１）：チタン表面に白金めっきを施したものを用いた。
水溶液（１２）：被洗浄物（Ｘ）を浸漬する水溶液（１２ａ）を飽和重曹水溶液とし、電極材（１１）を浸漬する水溶液（１２ｂ）を飽和炭酸ナトリウム水溶液とした。
洗浄：直流電源の陰極に被洗浄物（Ｘ）を接続し、一方直流電源の陽極に電極材（１１）を接続して、５Ｖの電圧を３分間印可して通電した。この時の電流値は１Ａであった。
乾燥：洗浄後の被洗浄物（Ｘ）を水溶液（１２ａ）から取り出し、自然乾燥させた。

（比較例１）
前記実施例１と同様の被洗浄物（Ｘ）を用意し、市販の洗剤（トール油脂肪酸洗剤・非イオン系界面活性剤）を用いてブラッシング洗浄し、その後自然乾燥した。

（比較例２）
前記実施例１と同様の被洗浄物（Ｘ）を用意し、水道水のみを用いてブラッシング洗浄し、その後自然乾燥した。

（実施例１と比較例１、２との比較結果）
本発明の実施例１の洗浄方法によって洗浄された被洗浄物（Ｘ）からは、完全に切削油が除去されていた。また、自然乾燥後、室温（湿度５０〜７５％）にて１４日間放置したが、錆びは発生しなかった。

一方、比較例１の洗浄方法によって洗浄された被洗浄物においては、切削油は除去されていたが、自然乾燥後、室温（湿度５０〜７５％）にて約３時間放置したところで、錆が発生した。

また、比較例２の洗浄方法によって洗浄された被洗浄物においては、切削油を完全に除去することができなかった。

以上の結果からも、本発明の洗浄方法は、従来の洗浄方法に比べて優れた洗浄効果を発揮するとともに、洗浄後の被洗浄物に耐腐食性をも付与することができることが明らかとなった。

（実施例２）
鋼材を切削プレス加工して製造された電子部品（フープ基材）を被洗浄物として採用し、本発明の洗浄方法を実施した。詳細については以下に示す通りである。なお、この被洗浄物としての電子部品を切削プレス加工する際には、切削油として炭素を含有する鉱物切削油（油性プレス油）を用いたため、当該被洗浄物の表面には、当該切削油が付着していた。
装置：上記で説明した図１に示すバッチ式装置を用いた。（以下、理解を容易にするため、図１に示す符号を括弧内に記す。）
電極材（１１）：チタン表面に白金めっきを施したものを用いた。
水溶液（１２）：被洗浄物（Ｘ）を浸漬する水溶液（１２ａ）を飽和重曹水溶液とし、電極材（１１）を浸漬する水溶液（１２ｂ）を飽和炭酸カリウム水溶液とした。
洗浄：直流電源の陰極に被洗浄物（Ｘ）を接続し、一方直流電源の陽極に電極材（１１）を接続して、１５Ｖの電圧を３０分間印可して通電した。この時の電流値は１Ａであった。
濯ぎ・乾燥：洗浄後の被洗浄物（Ｘ）を水溶液（１２ａ）から取り出し、純水のスチームを吹き付けることで濯ぎ、その後自然乾燥した。

（比較例３）
前記実施例１と同様の被洗浄物（Ｘ）を用意し、市販の有機性溶剤（ソルベント）を規定の濃度に希釈した溶液中に、当該被洗浄物（Ｘ）を２０秒間浸漬せしめ、その後、自然乾燥した。

（実施例２と比較例３の比較結果）
本発明の実施例２の洗浄方法と比較例３の洗浄方法との洗浄力を比較するために、洗浄後の被洗浄物表面に残存する鉱物切削油の量を比較した。

比較方法としては、それぞれの方法で洗浄した後の被洗浄物を、評価装置（ホリバ：ＥＭＩＡ）内に投入し、約７００℃に加熱することで、被洗浄物表面に残存する鉱物切削油をガス化し、このガス中に含まれる炭素量を測定し、これを比較した。

比較結果を以下の表１に示す。

上記表１からも明らかなように、本発明の方法は、従来の有機性溶剤を用いた洗浄と同等（それ以上）の洗浄力を有していることが分かり、従って、本発明の方法を用いることにより、人体、環境に悪影響を及ぼす可能性がある有機性溶剤を用いる必要がないことが分かる。

本発明の洗浄方法を実施するための装置図である。本発明の洗浄方法を実施するための別の装置図である。本発明の洗浄方法を実施するためのさらに別の装置図である。本発明の洗浄方法を実施するためのさらに別の装置図（上面図）である。

符号の説明

１０…直流電源
１１…電極材
１２…水溶液
１２ａ…被洗浄物が浸漬せしめられる水溶液
１２ｂ…電極材が浸漬せしめられる水溶液
１３…隔膜
Ｘ…被洗浄物

Claims

直流電源の正極または負極のいずれか一方に接続された導電性を有する被洗浄物を、前記直流電源の他方の極に接続された電極材とともに水溶液中に浸漬し、当該被洗浄物および電極材へ通電することを特徴とする洗浄方法。
前記被洗浄物に対し、前記電極材を複数設けることを特徴とする請求項１に記載の洗浄方法。
前記水溶液中に浸漬せしめられる被洗浄物と電極材との間に隔膜を設けることを特徴とする請求項１または２に記載の洗浄方法。
前記被洗浄物が浸漬せしめられる水溶液が、重曹、塩化ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸ナトリウムを含有することを特徴とする請求項３に記載の洗浄方法。
前記電極材が浸漬せしめられる水溶液がアルカリ性の水溶液であることを特徴とする請求項３または４に記載の洗浄方法。
前記被洗浄物が浸漬せしめられる水溶液、および電極材が浸漬せしめられる水溶液を循環させるとともに、循環経路中に電解質が充填された電解質充填槽を設けることで、当該水溶液のｐＨを一定に保つことを特徴とする請求項５に記載の洗浄方法。
前記被洗浄物に通電することによって、当該被洗浄物表面から発生する気体および当該被洗浄物表面から除去される汚れを、当該被洗浄物が浸漬せしめられる水溶液から適宜除去しながら通電することを特徴とする請求項１から６の何れか一の請求項に記載の洗浄方法。
前記被洗浄物が金属製の電子部品であることを特徴とする請求項１から７の何れか一の請求項に記載の洗浄方法。