JP4731244B2 - ウエーハの分割方法 - Google Patents
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このような問題を解消するために、先ダイシング法によって個々のチップに分割されたウエーハの裏面にプラズマエッチングを施すことによって、ウエーハの裏面に生成された研削歪を除去し、チップの抗折強度を向上させる技術が提案されている。(例えば、特許文献1参照。)
ウエーハの表面側から該第1のストリートに沿ってレーザー光線を照射し、該第1のストリートに沿ってウエーハの表面からチップの仕上がり厚さに相当する深さの第1のレーザー加工溝を形成する第1のレーザー加工溝形成工程と、
ウエーハの表面側から該第2のストリートに沿ってレーザー光線を照射し、該第2のストリートに沿ってウエーハの表面からチップの仕上がり厚さに相当する深さの第2のレーザー加工溝を形成する第2のレーザー加工溝形成工程と、
該第1のレーザー加工溝形成工程と該第2のレーザー加工溝形成工程を実施した後に、ウエーハの裏面を研削して該第1のレーザー加工溝と該第2のレーザー加工溝は表出させないが該第1のレーザー加工溝と該第2のレーザー加工溝との交差点に形成され該第1のレーザー加工溝および該第2のレーザー加工溝の深さより深い窪みをウエーハの裏面に表出させる研削工程と、
該研削工程を実施した後に、ウエーハの裏面側からプラズマエッチングを施し、該第1のレーザー加工溝と該第2のレーザー加工溝をウエーハの裏面に表出せしめてウエーハを個々のチップに分割するとともに、該窪みを形成している壁面をエッチングすることにより個々のチップの角部を曲面に形成するエッチング工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの分割方法が提供される。
先ず図2に示すレーザー加工装置3のチャックテーブル31上に半導体ウエーハ2を載置し、チャックテーブル31上に半導体ウエーハ2を吸着保持する。このとき、半導体ウエーハ2はデバイス23が形成されている表面2aを上側にして保持される。
レーザー光線の光源 :YVO4レーザーまたはYAGレーザー
波長 :355nm
繰り返し周波数 :10〜30kHz
パルスエネルギー :0.16〜0.2mj
集光スポット径 :φ9.2μm
加工送り速度 :300mm/秒
先ずゲート作動手段63を作動してゲート62を図7において下方に移動せしめ、ハウジング61の右側側壁614に設けられた開口614aを開ける。次に、図示しない搬出入手段によって保護部材4が貼着された半導体ウエーハ2を開口614aからハウジング61によって形成される密閉空間61aに搬送し、下部電極65を構成する被加工物保持部651の吸着保持部材653上に保護部材4側を載置する。このとき、昇降駆動手段72を作動して上部電極66を上昇せしめておく。そして、吸引手段69を作動して上述したように室651bに負圧を作用することにより、吸着保持部材653上に載置された半導体ウエーハ2に貼着された保護部材4は吸引保持される(図8参照)。
電源68の出力 :2000W
密閉空間61a内の圧力 :80Pa
プラズマ発生用ガス :六フッ化イオウ(SF6)を76ml/分、ヘリウム(He)を15
ml/分、酸素(O2)を27ml/分
または
:六フッ化イオウ(SF6)を76ml/分、三フッ化メチル(CHF3)
を15ml/分、酸素(O2)を27ml/分
または
:六フッ化イオウ(SF6)を76ml/分、窒素(N2)を15ml/
分、酸素(O2)を27ml/分
エッチング処理時間 :3分
20:半導体チップ
21:第1のストリート
22:第2のストリート
23:デバイス
24:第1のレーザー加工溝
25:第2のレーザー加工溝
26:窪み
3:レーザー加工装置
31:レーザー加工装置のチャックテーブル
32:レーザー光線照射手段
322:集光器
4:保護部材
5:研削装置
51:研削装置のチャックテーブル
52:研削砥石
6:プラズマエッチング装置
65:下部電極
66:上部電極
Claims (1)
- 表面に所定方向に形成された複数の第1のストリートと該第1のストリートと直交する方向に形成された複数の第2のストリートによって複数の領域が区画され、該複数の領域にデバイスが形成されたウエーハを、該第1のストリートおよび該第2のストリートに沿って個々のチップに分割するウエーハの分割方法であって、
ウエーハの表面側から該第1のストリートに沿ってレーザー光線を照射し、該第1のストリートに沿ってウエーハの表面からチップの仕上がり厚さに相当する深さの第1のレーザー加工溝を形成する第1のレーザー加工溝形成工程と、
ウエーハの表面側から該第2のストリートに沿ってレーザー光線を照射し、該第2のストリートに沿ってウエーハの表面からチップの仕上がり厚さに相当する深さの第2のレーザー加工溝を形成する第2のレーザー加工溝形成工程と、
該第1のレーザー加工溝形成工程と該第2のレーザー加工溝形成工程を実施した後に、ウエーハの裏面を研削して該第1のレーザー加工溝と該第2のレーザー加工溝は表出させないが該第1のレーザー加工溝と該第2のレーザー加工溝との交差点に形成され該第1のレーザー加工溝および該第2のレーザー加工溝の深さより深い窪みをウエーハの裏面に表出させる研削工程と、
該研削工程を実施した後に、ウエーハの裏面側からプラズマエッチングを施し、該第1のレーザー加工溝と該第2のレーザー加工溝をウエーハの裏面に表出せしめてウエーハを個々のチップに分割するとともに、該窪みを形成している壁面をエッチングすることにより個々のチップの角部を曲面に形成するエッチング工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの分割方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005233652A JP4731244B2 (ja) | 2005-08-11 | 2005-08-11 | ウエーハの分割方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005233652A JP4731244B2 (ja) | 2005-08-11 | 2005-08-11 | ウエーハの分割方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007049041A JP2007049041A (ja) | 2007-02-22 |
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ID=37851602
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005233652A Active JP4731244B2 (ja) | 2005-08-11 | 2005-08-11 | ウエーハの分割方法 |
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JP (1) | JP4731244B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008244132A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
JP5840828B2 (ja) * | 2010-04-12 | 2016-01-06 | 株式会社ディスコ | 光デバイスウエーハの加工方法 |
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JP2005012177A (ja) * | 2003-05-29 | 2005-01-13 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 貫通構造を有する薄膜化回路基板の製造方法と保護用粘着テープ |
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Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4198966B2 (ja) * | 2002-10-17 | 2008-12-17 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法 |
JP4542789B2 (ja) * | 2003-01-10 | 2010-09-15 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造装置及びその製造方法 |
-
2005
- 2005-08-11 JP JP2005233652A patent/JP4731244B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2002319554A (ja) * | 2001-02-14 | 2002-10-31 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ分割方法およびウェーハ分割装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007049041A (ja) | 2007-02-22 |
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