JP4653426B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
スタック型セルの図示した構成は、2つのコンタクトホールが離れた位置に形成されるプレーナ型よりも、セルの占有面積を小さくすることに有利である。このため、セルの微細化の観点から、スタック型セルを製品に採用することが望ましい。ただし、スタック型セルは、リーク電流がプレーナ型セルよりも大きい構造であり、望ましいサイズにまで微細化すると消費電力が実用に適さない値になる。
本発明の半導体装置は、基板と、前記基板上に形成され、第1コンタクトホールを有する第1絶縁層と、前記第1コンタクトホールに形成されたプラグと、前記プラグ上に形成された強誘電体キャパシタと、前記強誘電体キャパシタ上に形成された第2絶縁層と、前記強誘電体キャパシタ上であって、前記第2絶縁層に形成された第2コンタクトホールと、を含み、平面視において、前記強誘電体キャパシタは、2分割された第1領域及び第2領域を有し、平面視において、前記第1コンタクトホールは、前記第1領域に形成され、平面視において、前記第2コンタクトホールは、前記第2領域に形成され、平面視において、前記第1コンタクトホールの一辺は、前記第1領域と前記第2領域との境界に接しており、平面視において、前記第2コンタクトホールの一辺は、前記第1領域と前記第2領域との前記境界に接しており、平面視において、前記第1コンタクトホールの前記一辺は、前記第2コンタクトホールの前記一辺と接している。
本実施形態では、キャパシタ部102が平面視において略長方形を有し、コンタクトホール103aが略長方形を短辺に沿って2分割した一方の領域101aに形成される。また、コンタクトホール103bが、コンタクトホール103aが形成されている領域の他方の領域101bに形成されている。
図4は、以上述べた本実施形態の効果について説明するための図であって、横軸にリーク電流の値を記し、縦軸に各値のリーク電流を持つ素子の割合をパーセンテージで表した分布Zを記している。リーク電流は電極に電圧3Vを印加したときの値である。図4のデータを得た強誘電体メモリは、図1に示したように、辺aが辺bよりも長いセル形状の半導体装置で得られたデータである。なお、本実施形態では、辺aの長さを2μm、辺bの長さを1μmとした。
図4によれば、本実施形態のメモリの50%でリーク電流が2μA/cm2(図中I2で示す。)以下の範囲にあることが分かる。また、同一のロットで作成されたメモリの50%でリーク電流が約7μA/cm2(図中I1で示す。)以下の範囲にあることが分かる。
103a、103b コンタクトホール、104a 上面、104b 底面、
105 配線、107 上部電極、109 強誘電体層、111 下部電極、
113 Wプラグ、115 バリア膜、117 不純物層、118、119 SiO2層
120 トランジスタ。
Claims (5)
- 基板と、
前記基板上に形成され、第1コンタクトホールを有する第1絶縁層と、
前記第1コンタクトホールに形成されたプラグと、
前記プラグ上に形成された強誘電体キャパシタと、
前記強誘電体キャパシタ上に形成された第2絶縁層と、
前記強誘電体キャパシタ上であって、前記第2絶縁層に形成された第2コンタクトホールと、を含み、
前記プラグはタングステンを含み、
前記強誘電体キャパシタは、イリジウム/酸化イリジウム/白金複合膜による下部電極と、強誘電体層と、白金/酸化イリジウム/イリジウム複合膜による上部電極と、を含み、
前記第2コンタクトホールの上にスパッタリングでアルミニウム膜が形成され、前記アルミニウム膜はパターニングされ配線となり、
平面視において、
前記強誘電体キャパシタを2分割したときの一方の領域を第1領域とし、他方の領域を第2領域としたとき、
前記第1コンタクトホールは前記第1領域に配置され、前記第2コンタクトホールは前記第2領域に配置され、前記第1コンタクトホールの一辺と前記第2コンタクトホールの一辺は接する、半導体装置。 - 請求項1において、
前記第1絶縁層及び前記第2絶縁層は、SiO2である、半導体装置。 - 請求項1において、
前記強誘電体層は、チタン酸ジルコン酸鉛又はチタン酸ジルコン酸ニオブ酸鉛を含む、半導体装置。 - 請求項3において、
前記プラグと前記下部電極との間に形成されたTiAlNを有する、半導体装置。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記強誘電体キャパシタと前記第2絶縁層との間に形成されたバリア層を有する、半導体装置。
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