JP4649789B2 - バリア性積層体 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は食品、医薬品、精密電子部品等の包装に用いられるバリア性積層体に関わり、特に透明性とガスバリア性に優れたバリア性積層体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、食品や非食品及び医薬品等の包装に用いられる包装フィルム等の包装材料は、内容物の変質を抑制しそれらの機能、性質および品質を保持するために、それを透過する酸素、水蒸気、その他内容物を変質させる気体による影響を阻止する必要があり、これらの様々な気体(ガス)を遮断するガスバリア性を備えることが求められている。そのため従来から、温度・湿度などによる影響が少ないアルミニウム等の金属からなる金属箔をガスバリア層として用いた包装材料が一般的に用いられてきた。
【0003】
ところが、アルミニウム等の金属からなる金属箔を用いた包装材料は、ガスバリア性に優れるが、包装材料を透視して内容物を確認することができない、使用後の廃棄の際は不燃物として処理しなければならない、検査の際金属探知器が使用できないなどの欠点を有しており、さらに近年の環境意識の高まりにより消費者の脱アルミ箔の動きが活発なため使用しづらいと言う状況にある。
【0004】
そこで、これらの欠点を克服すべく、例えば米国特許第3442686号明細書、特公昭63−28017号公報等に記載されているような酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム等の無機酸化物からなる蒸着膜を、真空蒸着法やスパッタリング法等の形成手段により高分子フィルム上に形成した蒸着フィルムが開発されている。これらの蒸着フィルムは透明性および酸素、水蒸気等のガス遮断性を有していることが知られ、金属箔等では得ることのできない透明性、ガスバリア性の両者を有するバリア性積層体として好適とされている。
【0005】
上記のような、バリア性積層体の中でも酸化アルミニウム蒸着フィルムは、透明性、バリア性に優れるものとして、既に実用化されている。しかしながら、実用化されたレベルの蒸着フィルムはプラスチックフィルムとしては高いバリア性を有しているが、アルミニウム箔代替としてはまだまだバリア性が不十分であり、さらなるハイバリアフィルムの開発が期待されている。
ハイバリア化の手段としては単純に金属酸化物の膜厚を厚くする等の方法が考えられるが、堅くてもろい酸化金属薄膜を厚くするとクラックや、ピンホール等が発生してしまうため、バリア性の向上にはつながらず、あるバリアレベルで頭打ちとなってしまう。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記のようなバリア性積層体に関する問題点を解決すべくなされたものであり、単層の酸化金属薄膜を有するバリア性積層体では得られない優れたガスバリア性を有するバリア性積層体を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は以上の目的を達成すべくなされたものであり、請求項1に記載の発明は、透明プラスチックからなる基材上に、膜厚が5〜20nmの酸化アルミニウム薄膜からなる第1の酸化金属薄膜と、膜厚が5〜15nmのプラズマ活性化CVD(Chemical Vapor Deposition)法により形成されたシリコン化合物薄膜と、膜厚が5〜20nmの酸化アルミニウム薄膜からなる第2の酸化金属薄膜とが順次積層されていることを特徴とするバリア性積層体である。
【0009】
さらにまた、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のバリア性積層体において、PECVD法により形成されたシリコン化合物薄膜が、酸化珪素層、炭化珪素層あるいは、窒化珪素層のいずれかからなることを特徴とする。
【0010】
さらにまた、請求項3に記載の発明は、第1の酸化金属薄膜、PECVD法により形成されたシリコン化合物薄膜、さらには第2の酸化金属薄膜が、同一真空チャンバー内で積層されたものであることを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明をその一実施形態を示す図1を用いて詳細に説明する。図1はバリア性積層体の概略断面説明図である。
【0012】
図1に示すバリア性積層体20は、透明プラスチック材料からなる基材1上に第1の酸化金属薄膜2、PECVD法により形成したシリコン化合物薄膜3、さらに第2の酸化金属薄膜4が順次積層してある。
【0013】
上述した基材1は透明プラスチック材料からなるものであり、後述する蒸着薄膜の透明性を活かすために透明なフィルムが好ましく、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステルフィルム、ポリエチレンやポリプロピレンなどのポリオレフィンフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリアミドフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリアクリルニトリルフィルム、ポリイミドフィルム等が用いられる。これらは延伸、未延伸のどちらでも良く、また機械的強度や寸法安定性を有するものが良く、フィルム状に加工して用いる。特に二軸方向に任意に延伸されたポリエチレンテレフタレートが好ましく用いられる。またこの基材1に対しては、周知の種々の添加剤や安定剤、例えば帯電防止剤、紫外線防止剤、可塑剤、滑剤などにより所望の処理をしても良く、さらにはこの上に形成する薄膜との密着性を良くするために、前処理としてコロナ処理、低温プラズマ処理、イオンボンバード処理等を施しておいても良く、また薬品処理、溶剤処理等を施しても良い。
【0014】
この基材1の厚さは特に制限を受けるものではないが、包装材料としての適性を考慮すると、実用的には3〜200μmの範囲で、用途によって6〜30μmとすることが好ましい。
また、量産性を考慮すれば、連続的に各薄膜を形成できるように長尺フィルムとすることが望ましい。
【0015】
このような基材1上に、あるいは後述するシリコン化合物薄膜3を介して設けてあるのが第1の酸化金属薄膜2と第2の酸化金属薄膜4である。
この第1の酸化金属薄膜2および第2の酸化金属薄膜4は、酸化アルミニウム、酸化珪素、酸化錫、酸化マグネシウム、あるいはそれらの混合物などの金属酸化物の蒸着膜からなり、透明性を有しかつ酸素、水蒸気等に対するガスバリア性を有するものであれば良い。その中では、特に酸化アルミニウムが好ましい。ただし本発明の第1の酸化金属薄膜2および第2の酸化金属薄膜4は、上述した金属酸化物に限定されず、上記条件に適合する材料であれば用いることができる。
【0016】
金属酸化物からなる第1の酸化金属薄膜2と第2の酸化金属薄膜4の厚さは、用いられる金属酸化物の種類・構成により最適条件が異なるが、一般的には5〜100nmの範囲内が望ましく、その値は適宜選択される。ただし膜厚が5nm未満であると均一な膜が得られないことや膜厚が十分ではないことがあり、ガスバリア材としての機能を十分に果たすことができない場合がある。また膜厚が100nmを越える場合は薄膜にフレキシビリティを保持させることができず、成膜後に折り曲げ、引っ張りなどの外的要因により、薄膜に亀裂を生じる恐れがある。酸化アルミニウムを用いる場合、好ましくは、5〜20nmの範囲内である。
【0017】
金属酸化物からなる第1の酸化金属薄膜2を透明プラスチック材料からなる基材1上やシリコン化合物薄膜3上に形成する方法としては種々在るが、通常、真空蒸着法により形成する方法が採用できる。真空蒸着法による真空蒸着装置の加熱手段としては電子線加熱方式や抵抗加熱方式、誘導加熱方式が好ましく、薄膜と基材の密着性および薄膜の緻密性を向上させるために、プラズマアシスト法やイオンビームアシスト法を用いることも可能である。また、酸化金属薄膜の透明性を上げるために蒸着の際、酸素ガスなどを吹き込んだりする反応蒸着を行っても一向に構わない。
【0018】
次ぎに、PECVD法により形成するシリコン化合物薄膜3について説明する。このシリコン化合物薄膜3は図示の如く、第1の酸化金属薄膜2と第2の酸化金属薄膜4の間に設ける薄膜で、例えばSiO、SiO2などのシリコン酸化膜(SiOX)、Si3N4などシリコン窒化膜(SiNY)や、SiCなどの炭化シリコン膜(SiCZ)等であり、Si0XCZやSi0XNY等の薄膜であっても構わない。
形成に当たっては、直流(CD)プラズマ、低周波プラズマ、高周波(RF)プラズマ、パルス波プラズマ、3極構造プラズマ、マイクロ波プラズマ、ダウンストリームプラズマ、カラムナープラズマ、プラズマアシステッドエピタキシー等の低温プラズマ発生装置が用いられる。プラズマの安定性の点から高周波(RF)プラズマ方式がより好ましい。
【0019】
原料ガスとしてはヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)、テトラメチルシラン(TMS)、ヘキサメチルジシラン、テトラメトキシシラン(TMOS)、テトラエトキシシラン(TEOS)等の有機シランモノマー単独または混合物をを気化させたものを用いたり、O2、N2、Ar、He、H2、NO2、NH3等のガスの混合ガスを用いることができる。これらの原料ガスを前記方式にてプラズマ化させ、第1の酸化金属薄膜2の上にさらに堆積させ、シリコン化合物薄膜3とする。
【0020】
PECVD法により形成されるシリコン化合物薄膜3の膜厚は、0.5〜100nmの範囲で良く、好ましくは5〜15nmの範囲である。シリコン化合物薄膜3を膜形成ポイントのみと見なすならば、0.5nm程度の単分子層の様な膜でも良いが、シリコン化合物薄膜自身に、さらに優れたバリア性を付与するためには5〜15nm程度の膜厚が必要である。また100nmを越えると膜のフレキシビリティーが損なわれ、クラック、ピンホールが発生しやすくなりバリア性が低下する恐れがある。
【0021】
次ぎに本発明に係るバリア性積層体の製造方法を図2に示す装置を使用した例で説明する。
図2には本発明のバリア性積層体を製造するための装置の一例を示している。
この装置は真空蒸着兼PECVD成膜装置5であり、物理蒸着による酸化金属薄膜を形成する真空蒸着室9とPECVD法によりシリコン化合物の薄膜を形成するPECVD蒸着室8を持ち、巻き出し部6と巻き取り部7が反転可能になっていることを特徴とする。2つの蒸着室9と8はそれぞれ別々に成膜圧力等をコントロールすることができるようにもなっている。
このような特徴を有する真空蒸着兼PECVD成膜装置5において、まず透明プラスチック基材である、例えば厚さ12μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(以下PETフィルムと略す)を巻き出し部6に装填する。このPETフィルムは真空蒸着室9に導かれ、冷却ロール11に抱かれながら物理蒸着法にて第1の酸化金属薄膜が積層された後、さらにPECVD蒸着室8に導かれ、温調可能な金属ロール10に抱かれながらPECVD法によりシリコン化合物薄膜がさらに成膜され、巻き取り部7において巻き取られる。
ここで、13は蒸着源表面を加熱する熱源である電子銃、14は蒸着源を入れるためのるつぼ、15は電子銃13からの電子ビームを必要に応じて遮蔽するためのシャッター、16は酸素導入パイプ、10は金属製の温調ロール、12は電極をそれぞれ示している。
【0022】
この装置は前記工程に引き続き、巻き取り部7と巻き出し部6を反転し、真空蒸着室9にて前記工程で成膜されたシリコン化合物薄膜の上に第2の酸化金属薄膜を成膜して、所期のバリア性積層体が製造できるようになっている。
【0023】
【実施例】
以下、本発明の具体的な実施例を、図2に示す真空蒸着兼PECVD成膜装置5を用いた例で詳細に説明する。
《実施例1》
まず、真空蒸着兼PECVD成膜装置5の全体を1.9×10-3Paとした後、PECVD蒸着室8にHMDSO/O2=1/20の混合ガスを供給し、6.6×10Paとした。同時に高圧電源(図示せず)より周波数13.56MHzの高周波(RF)を5Kwのパワーにて電極12に印可し、プラズマを発生させた。
続いて、真空蒸着室9内のるつぼ14に入れてある金属アルミニウムに電子銃13から電子ビームを照射し、金属アルミニウムを蒸発させ、そこに酸素導入パイプ16より酸素ガスを導入した。その後、この真空蒸着室9に巻き出し部6に装填されていた厚さ12μmのPETフィルムを送り出し、その上に厚さ20nmの酸化アルミニウムからなる第1の酸化金属薄膜を形成した。さらに、第1の酸化金属薄膜を形成したPETフィルムをPECVD蒸着室8に通し、アノードとなる金属製の温調ロール10上にて厚さ5nmのSiOXからなるシリコン化合物薄膜を積層し、巻き取り部7へさらに搬送し、巻き取りロールに巻き取った。
その後、PECVD蒸着室8の混合ガスを排出し、さらに高周波電源を切り、巻き取り部7を反転し、巻き取り部7に巻き取られていた第1の酸化金属薄膜とシリコン化合物薄膜を積層した透明プラスチック基材をもう一度、真空蒸着室9に通すことにより、さらに酸化アルミニウムからなる第2の金属酸化物薄膜を20nmの厚さで積層し実施例1に係るバリア性積層体を得た。
【0024】
《実施例2》
PECVD蒸着室8にHMDS/02の混合ガスの替わりにTMS/He=1/20の混合ガスを供給してSiC膜を成膜した以外は実施例1と同様の条件にて実施例2に係るバリア性積層体を得た。
【0025】
《比較例1》
図2に示す真空蒸着兼PECVD成膜装置5において、PECVD成膜室8を用いずに真空蒸着室9にて酸化アルミニウムからなる薄膜を厚さ12μmのPETフィルム上に20nmの厚さで積層し比較例1に係るバリア性積層体を得た。
【0026】
《比較例2》
真空蒸着兼PECVD成膜装置5において、PECVD蒸着室8を用いずに真空蒸着室9にて酸化アルミニウムからなる薄膜を厚さ12μmのPETフィルム上に50nmの厚さで積層し比較例2に係るバリア性積層体を得た。
【0027】
《比較例3》
真空蒸着兼PECVD成膜装置5において、真空蒸着室9を用いずにPECVD蒸着室8にてSi0Xからなる薄膜を厚さ12μmのPETフィルム上に5nmの厚さで積層し比較例3に係るバリア性積層体を得た。
【0028】
《比較例4》
厚さ12μmのPETフィルム上を巻き取り部7側から搬送し、まず真空蒸着室9において酸化アルミニウムからなる厚さ20nmの薄膜を成膜し、巻き出し部6で巻き取った。その後、巻き出し部6と巻き取り部7を反転させ、前記工程で酸化アルミニウムの薄膜を成膜したPETフィルムを真空蒸着室9とPECVD蒸着室8に順次搬送し、真空蒸着室9においては厚さ20nmの酸化アルミニウム薄膜を、PECVD蒸着室8においてはPECVD法による厚さ5nmのSiOX薄膜を積層し、比較例4に係るバリア成積層体を得た。
【0029】
以上のようにして作製した実施例、比較例合計5例のバリア性積層体の酸素バリア性および、水蒸気バリア性について、以下に示す測定方法にて評価を行った。
酸素バリア性:モコン法(MOCON OXTRAN 10/50)30℃−70%Rh
水蒸気バリア性:モコン法(MOCON PERMATRAN−W 3/31)40℃−90%Rh
結果を表1に示す。
【0030】
【表1】
【0031】
表1からも分かるように、膜厚が20nmと50nmの酸化アルミニウムからなる薄膜を有する比較例1と比較例2に係るバリア性積層体のバリア性を比較した場合、膜厚が倍以上になったとしてもバリア性はさほど変わらない。また比較例3のPECVD法による厚さ5nm程度の酸化珪素薄膜を有するバリア性積層体では有効なバリア性は得られない。
一方、酸化アルミニウムからなる酸化金属薄膜の間にPECVD法による酸化珪素膜または炭化珪素膜からなるシリコン化合物薄膜を積層した実施例1、2に係るバリア性積層体は、比較例1、2、3では得られないような高いバリア性が得られている。これは酸化アルミニウムからなる酸化金属薄膜の間に、PECVD法によりシリコン化合物薄膜を設けることにより、堅くてもろい酸化金属薄膜のクラックや、ピンホール等の発生を抑制できるためであり、これにより酸化金属薄膜単層では達成出来ないようなハイバリア性を得ることが出来る。
さらにPECVD法によるシリコン化合物の薄膜は膜質が緻密で架橋が進んでいること、ドライ加工であるために粉塵等の異物の混入が少なく、それ自体でも良好なガス遮断性があると同時に、その薄膜上に物理蒸着法にて金属酸化物の薄膜を形成する際に膜形成ポイントが非常に多くなること、残留溶剤、脱ガスがなく蒸発粒子の付着に妨害を与えない等から、さらにその上に形成される金属酸化物薄膜の膜質も向上すると考えられる。
また、比較例4に係るバリア性積層体は最後にPECVD法による酸化珪素薄膜を積層したが、実施例でみられるようなバリア性は得られない。
【0032】
以上に説明したように、本発明は、単独の酸化金属薄膜のみを有するバリア性積層体では得られないような、優れたバリア性が付与され、しかも金属箔や金属薄膜を有するバリア性積層体等では得ることのできない透明性やガスバリア性の両者を有することが可能となり、その実用上の効果が期待されるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係るバリア性積層体の断面構成説明図である。
【図2】本発明のバリア性積層体を製造するための装置の一例を示す説明図である。
【符号の説明】
1・・基材
2・・第1の酸化金属薄膜
3・・PECVD法にて形成したシリコン化合物薄膜
4・・第2の酸化金属薄膜
5・・真空蒸着兼PECVD成膜装置
6・・巻き出し部
7・・巻き取り部
8・・PECVD蒸着室
9・・真空蒸着室
10・・金属製の温調ロール
11・・金属製の冷却ロール
12・・電極
13・・電子銃
14・・るつぼ
14・・シャッター
16・・酸素導入パイプ
Claims (3)
- 透明プラスチックからなる基材上に、膜厚が5〜20nmの酸化アルミニウム薄膜からなる第1の酸化金属薄膜と、膜厚が5〜15nmのプラズマ活性化CVD(Chemical Vapor Deposition)法により形成されたシリコン化合物薄膜と、膜厚が5〜20nmの酸化アルミニウム薄膜からなる第2の酸化金属薄膜とが順次積層されていることを特徴とするバリア性積層体。
- 前記プラズマ活性化CVD法により形成されたシリコン化合物薄膜が、酸化珪素、炭化珪素あるいは、窒化珪素のいずれかからなることを特徴とする請求項1に記載のバリア性積層体。
- 前記第1の酸化金属薄膜、プラズマ活性化CVD法により形成されたシリコン化合物薄膜、さらには第2の酸化金属薄膜が、同一真空チャンバー内で積層されたものであることを特徴とする請求項1または2に記載のバリア性積層体。
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JPH0848369A (ja) * | 1994-08-01 | 1996-02-20 | Toppan Printing Co Ltd | 透明ガスバリア材 |
JPH11105189A (ja) * | 1997-10-07 | 1999-04-20 | Dainippon Printing Co Ltd | 透明バリア性ナイロンフィルム、それを使用した積層体および包装用容器 |
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JPH02194944A (ja) * | 1989-01-24 | 1990-08-01 | Toppan Printing Co Ltd | レトルト耐性を有する透明バリアー複合フィルム |
JPH0848369A (ja) * | 1994-08-01 | 1996-02-20 | Toppan Printing Co Ltd | 透明ガスバリア材 |
JPH11105189A (ja) * | 1997-10-07 | 1999-04-20 | Dainippon Printing Co Ltd | 透明バリア性ナイロンフィルム、それを使用した積層体および包装用容器 |
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