JP4648936B2 - ガスバリアフィルムの製造方法、及びガスバリアフィルムの製造装置 - Google Patents
ガスバリアフィルムの製造方法、及びガスバリアフィルムの製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4648936B2 JP4648936B2 JP2007272235A JP2007272235A JP4648936B2 JP 4648936 B2 JP4648936 B2 JP 4648936B2 JP 2007272235 A JP2007272235 A JP 2007272235A JP 2007272235 A JP2007272235 A JP 2007272235A JP 4648936 B2 JP4648936 B2 JP 4648936B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas barrier
- plastic film
- film
- barrier film
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Description
本願発明にかかる、基材となるプラスチックフィルムに対し酸素や水蒸気などのガスを透過させないガスバリア性を有するフィルムであるガスバリアフィルムをプラズマ化学気相成長法(プラズマCVD法)により製造するための製造方法(以下、単に「製造方法」とも言う。)と、かかる製造方法を実施するための製造装置につき、第1の実施の形態として図面を参照しつつ説明する。
2 アノード(接地電極)
3 巻出し
4 巻取り
5 マスフローコントローラ
6 キャリアガスボンベ
7 液体マスフローコントローラ
8 モノマー原料
9 排気ポンプ
10 ガス管
11 電源
12 真空反応室
13 プラス電極
14 バイアス電極
Claims (5)
- プラズマ化学気相成長(プラズマCVD)装置により、基材となるプラスチックフィルムにガスバリア膜を形成するガスバリアフィルムの製造方法であって、
前記プラズマCVD装置は、少なくとも、プラズマCVDを実行する反応室と、前記反応室内部を真空状態とするための真空手段と、前記反応室内部にキャリアガスを用いつつ原料ガスを導入するためのガス供給手段と、前記反応室の中に高周波の電界をかけるための電界発生手段と、前記反応室内で前記プラスチックフィルムを搬送するフィルム搬送手段と、を備え、
前記電界発生手段は、前記プラスチックフィルムを挟んで配置された給電電極と接地電極、およびプラス電極を有し、前記給電電極は、前記プラスチックフィルムの表面に対してほぼ一定間隔で配置され、前記接地電極は、前記プラスチックフィルムの表面との間隔および前記給電電極との間隔が、前記プラスチックフィルムの搬送方向に沿って次第に近接するように配置され、前記プラス電極が前記プラスチックフィルム搬送方向に直交する向きで前記接地電極のいずれか一方の端に配置されてなり、
前記プラズマCVD装置を用い、前記電界発生手段の給電電極と接地電極との間に電界を印加して、前記プラスチックフィルムにガスバリア膜を形成すること、
を特徴とする、ガスバリアフィルムの製造方法。 - 請求項1に記載のガスバリアフィルムの製造方法であって、
プラスチックフィルムに形成するガスバリア膜の密度は、前記プラスチックフィルムの表面側で最も小さく、膜の厚み方向に順次増大したものとすること、
を特徴とする、ガスバリアフィルムの製造方法。 - プラズマ化学気相成長(プラズマCVD)法により、基材となるプラスチックフィルムにガスバリア膜を形成するガスバリアフィルムの製造装置であって、
少なくとも、プラズマCVDを実行する反応室と、前記反応室内部を真空状態とするための真空手段と、前記反応室内部にキャリアガスを用いつつ原料ガスを導入するためのガス供給手段と、前記反応室の中に高周波の電界をかけるための電界発生手段と、前記反応室内で前記プラスチックフィルムを搬送するフィルム搬送手段と、を備え、
前記電界発生手段は、前記プラスチックフィルムを挟んで配置された給電電極と接地電極、およびプラス電極を有し、前記給電電極は、前記プラスチックフィルムの表面に対してほぼ一定間隔で配置され、前記接地電極は、前記プラスチックフィルムの表面との間隔および前記給電電極との間隔が、前記プラスチックフィルムの搬送方向に沿って次第に近接するように配置され、前記プラス電極は、前記プラスチックフィルム搬送方向に直交する向きで前記接地電極のいずれか一方の端に配置されてなること、
を特徴とする、ガスバリアフィルムの製造装置。 - 請求項3に記載のガスバリアフィルムの製造装置であって、
給電電極は、平板状であること、
を特徴とする、ガスバリアフィルムの製造装置。 - 請求項3に記載のガスバリアフィルムの製造装置であって、
給電電極は、円筒状であること、
を特徴とする、ガスバリアフィルムの製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007272235A JP4648936B2 (ja) | 2007-10-19 | 2007-10-19 | ガスバリアフィルムの製造方法、及びガスバリアフィルムの製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007272235A JP4648936B2 (ja) | 2007-10-19 | 2007-10-19 | ガスバリアフィルムの製造方法、及びガスバリアフィルムの製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009097062A JP2009097062A (ja) | 2009-05-07 |
JP4648936B2 true JP4648936B2 (ja) | 2011-03-09 |
Family
ID=40700341
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007272235A Expired - Fee Related JP4648936B2 (ja) | 2007-10-19 | 2007-10-19 | ガスバリアフィルムの製造方法、及びガスバリアフィルムの製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4648936B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012077315A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Fujifilm Corp | 機能性フィルムおよび機能性フィルムの製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1792726A4 (en) * | 2004-09-21 | 2008-12-31 | Konica Minolta Holdings Inc | TRANSPARENT GASPERRFILM |
-
2007
- 2007-10-19 JP JP2007272235A patent/JP4648936B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009097062A (ja) | 2009-05-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5601153B2 (ja) | 積層フィルムの製造方法 | |
JP4268195B2 (ja) | プラズマcvd装置 | |
JP2008235165A (ja) | 透明導電膜を有するロール状樹脂フィルムの製造方法 | |
JP5730235B2 (ja) | ガスバリアフィルムおよびガスバリアフィルムの製造方法 | |
JP2010247369A (ja) | ガスバリア積層体の製造方法およびガスバリア積層体 | |
JP2009270145A (ja) | 成膜装置 | |
JP6332283B2 (ja) | ガスバリア性フィルム | |
US20150147471A1 (en) | Method for producing transparent gas barrier film and apparatus for producing transparent gas barrier film | |
JP2011046060A (ja) | ガスバリアフィルムおよびガスバリアフィルムの製造方法 | |
JP5504720B2 (ja) | 成膜装置 | |
JP5212356B2 (ja) | 透明導電膜を有するロール状樹脂フィルムの製造方法及びこれを用いる有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP5907701B2 (ja) | フィルム部材の製造方法 | |
KR20150116765A (ko) | 투명 가스 배리어 필름의 제조 방법, 투명 가스 배리어 필름의 제조 장치 및 유기 일렉트로루미네센스 디바이스 | |
JP5144393B2 (ja) | プラズマcvd成膜方法およびプラズマcvd装置 | |
JP2014189890A (ja) | 成膜装置及び成膜方法 | |
TW201934780A (zh) | 沉積設備、塗佈軟質基材的方法、及具有塗層的軟質基材 | |
JP4648936B2 (ja) | ガスバリアフィルムの製造方法、及びガスバリアフィルムの製造装置 | |
JP4648935B2 (ja) | ガスバリアフィルムの製造方法、及びガスバリアフィルムの製造装置 | |
JP2022132500A (ja) | 成膜装置及び成膜方法 | |
WO2017104357A1 (ja) | プラズマcvd成膜装置用電極、電極の製造方法、プラズマcvd成膜装置および機能性フィルムの製造方法 | |
TW201919889A (zh) | 積層膜 | |
JP2013022820A (ja) | 透明ガスバリアフィルム、透明ガスバリアフィルムの製造方法、有機エレクトロルミネッセンス素子、太陽電池および薄膜電池 | |
WO2016076119A1 (ja) | 封止膜の形成方法および封止膜 | |
JP2004288543A (ja) | ガスバリア膜形成基板 | |
WO2015163358A1 (ja) | ガスバリアーフィルム及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091112 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100907 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101019 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101207 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101210 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131217 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4648936 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |