JP4564775B2 - 液体及び気体用圧力検出装置 - Google Patents
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Description
PPS樹脂と組み合わせたものである。
8b側にかけて緩やかな弧を描きながら広げた例である。この場合も、図2同様に段差が無くなり、侵入した水の排水性を高める効果が期待できる。
Claims (6)
- 一部が外部との電気的接続用コネクタ端子となっているリード材と、
圧力を検出するための圧力検出室が設けられた外装ケースと、
前記圧力検出室に開口する開口部が形成され、前記開口部内の圧力を電気信号として出力する半導体センサが固定された検出部ケースとを備え、
前記圧力検出室の開口径が、前記半導体センサの圧力検出面側でφ5mm以上であり、圧力を取り込む取り込み口側に向かうに連れて開口径が緩やかに広がり、
前記外装ケースと取り付け相手側の間に気密確保材を介し、かつ、前記取り込み口を天地方向の地側に向けて、取り付けられた液体及び気体の両方の圧力検出が可能な液体及び気体用圧力検出装置において、
前記開口径が緩やかに広がる部分に、対称を不成立とさせる切り欠けが設けられたことを特徴とする液体及び気体用圧力検出装置。 - 請求項1において、
前記圧力検出室の側壁が、圧力を検出する面側から圧力を取り込む取り込み口側にかけ
てテーパー状に広がって行く形状としたことを特徴とする液体及び気体用圧力検出装置。 - 請求項1において、
前記圧力検出室の側壁が、圧力を検出する面側から圧力取り込み口側にかけて段差なく、滑らかな曲線状に広がって行く形状としたことを特徴とする液体及び気体用圧力検出装
置。 - 請求項1〜3のいずれかにおいて、
前記圧力検出室の側壁に撥水性の被覆を施したことを特徴とする液体及び気体用圧力検
出装置。 - 請求項1〜4のいずれかにおいて、
前記半導体センサと外部との電気的接続用コネクタ端子となっているリード材間の接続
に金線を用いたことを特徴とする液体及び気体用圧力検出装置。 - 請求項1〜5のいずれかにおいて、
前記外装ケースの材質にPPS樹脂を使用したことを特徴とする液体及び気体用圧力検
出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004129150A JP4564775B2 (ja) | 2004-04-26 | 2004-04-26 | 液体及び気体用圧力検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004129150A JP4564775B2 (ja) | 2004-04-26 | 2004-04-26 | 液体及び気体用圧力検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005308666A JP2005308666A (ja) | 2005-11-04 |
JP4564775B2 true JP4564775B2 (ja) | 2010-10-20 |
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ID=35437599
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004129150A Expired - Fee Related JP4564775B2 (ja) | 2004-04-26 | 2004-04-26 | 液体及び気体用圧力検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4564775B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2013122141A1 (ja) * | 2012-02-16 | 2015-05-18 | 北陸電気工業株式会社 | 圧力センサモジュール |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009119349A1 (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-01 | アルプス電気株式会社 | 圧力センサパッケージ |
JP4849644B2 (ja) * | 2008-05-12 | 2012-01-11 | 株式会社テージーケー | 逆流防止装置 |
DE102008040155A1 (de) * | 2008-07-03 | 2010-01-07 | Robert Bosch Gmbh | Sensorgehäusedeckel und Verfahren zur Herstellung eines solchen Sensorgehäusedeckels |
CN106959186A (zh) * | 2017-02-23 | 2017-07-18 | 西北大学 | 一种压入式孔压传感器 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH033212U (ja) * | 1989-05-29 | 1991-01-14 | ||
JPH04307342A (ja) * | 1991-04-03 | 1992-10-29 | Kyowa Electron Instr Co Ltd | ダイアフラム型ひずみゲージ式変換器 |
JPH07333091A (ja) * | 1994-06-14 | 1995-12-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧力センサ |
JPH08233676A (ja) * | 1995-01-12 | 1996-09-13 | Endress & Hauser Gmbh & Co | 圧力又は差圧を測定するための装置 |
JPH08278218A (ja) * | 1995-04-03 | 1996-10-22 | Motorola Inc | 媒体に影響されないマイクロセンサ構造および製造方法ならびに使用方法 |
JPH09297043A (ja) * | 1996-05-01 | 1997-11-18 | Hitachi Ltd | 複合センサ |
JP2000346737A (ja) * | 1999-06-02 | 2000-12-15 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2001264203A (ja) * | 2000-03-16 | 2001-09-26 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2001330530A (ja) * | 2000-05-19 | 2001-11-30 | Denso Corp | 圧力センサの製造方法 |
JP2001343298A (ja) * | 2000-06-05 | 2001-12-14 | Denso Corp | 半導体圧力センサ装置 |
JP2002286566A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-03 | Hitachi Ltd | 半導体圧力センサ及びその調整方法 |
JP2002310829A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-23 | Hitachi Ltd | 半導体圧力センサ |
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2004
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Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH033212U (ja) * | 1989-05-29 | 1991-01-14 | ||
JPH04307342A (ja) * | 1991-04-03 | 1992-10-29 | Kyowa Electron Instr Co Ltd | ダイアフラム型ひずみゲージ式変換器 |
JPH07333091A (ja) * | 1994-06-14 | 1995-12-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧力センサ |
JPH08233676A (ja) * | 1995-01-12 | 1996-09-13 | Endress & Hauser Gmbh & Co | 圧力又は差圧を測定するための装置 |
JPH08278218A (ja) * | 1995-04-03 | 1996-10-22 | Motorola Inc | 媒体に影響されないマイクロセンサ構造および製造方法ならびに使用方法 |
JPH09297043A (ja) * | 1996-05-01 | 1997-11-18 | Hitachi Ltd | 複合センサ |
JP2000346737A (ja) * | 1999-06-02 | 2000-12-15 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2001264203A (ja) * | 2000-03-16 | 2001-09-26 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2001330530A (ja) * | 2000-05-19 | 2001-11-30 | Denso Corp | 圧力センサの製造方法 |
JP2001343298A (ja) * | 2000-06-05 | 2001-12-14 | Denso Corp | 半導体圧力センサ装置 |
JP2002286566A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-03 | Hitachi Ltd | 半導体圧力センサ及びその調整方法 |
JP2002310829A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-23 | Hitachi Ltd | 半導体圧力センサ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2013122141A1 (ja) * | 2012-02-16 | 2015-05-18 | 北陸電気工業株式会社 | 圧力センサモジュール |
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Publication number | Publication date |
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JP2005308666A (ja) | 2005-11-04 |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A711 | Notification of change in applicant |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |