JPWO2013122141A1 - 圧力センサモジュール - Google Patents
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Abstract
Description
3 センサケース
5 半導体圧力センサ素子
5a ダイアフラム部
5b ダイアフラム支持部
6 支持台
6A 貫通孔
7 筒体
7a 延長通路
7b ストッパ部
9 端子
9a 端部
10 ケース本体
11 上壁部
11a 第1の上壁部分
11b 第2の上壁部分
11c 第3の上壁部分
13 周壁部
13a〜13d 周壁部分
13e 開口部
15 底壁部材
17a 連絡通路
17b 円柱状空間
17c 角柱状空間
17d 平らな空間
17e 内壁面
19 第1の環状段部
21 第2の環状段部
23 第3の環状段部
25 ボンディングワイヤ
27 大気圧導入通路
29 大気圧導入通路
31 測定対象送出部
33 オーリング
S1 測定対象圧力導入室
S2 基準圧力室
Claims (6)
- 大気圧が導入される基準圧力室と測定対象圧力が導入される測定対象圧力導入室とを備えたケースと、前記基準圧力室と前記測定対象圧力導入室との間に位置するように前記ケース内に配置されて前記大気圧と前記測定対象圧力との圧力差を検出する感圧部とを備えた圧力センサモジュールであって、
前記ケースは、実装用回路基板と対向する第1の壁部と、該第1の壁部と対向する第2の壁部と、前記第1の壁部と前記第2の壁部との間に位置する周壁部とを備え、
前記ケースの前記第2の壁部には、前記測定対象圧力導入室に前記測定対象圧力を導入する測定対象圧力導入通路と前記基準圧力室に前記大気圧を導入する1以上の大気圧導入通路とが形成されており、
前記ケースは、前記1以上の大気圧導入通路以外の部分から前記基準圧力室に大気が入ることがない気密構造を有しており、
前記大気圧導入通路は、前記第2の壁部を前記第1の壁部から離れる方向に貫通する貫通孔と、前記第2の壁部の外壁面に沿って延び、前記外壁面に開口し且つ前記貫通孔の端部と連通する1以上の溝部とを備えており、
前記第2の壁部には、内部に前記測定対象圧力導入通路を延長する延長通路を備え且つ測定対象案内用チューブまたはオーリングが外側に嵌合される筒体が一体に設けられており、
前記筒体及び前記第2の壁部の少なくとも一方には、前記筒体に嵌合された前記測定対象案内用チューブまたはオーリングが前記第2の壁部側に移動することを阻止するストッパ部が一体に設けられており、
前記1以上の大気圧導入通路の前記貫通孔の端部及び前記1以上の溝部は、前記筒体から見て前記ストッパ部よりも外側に位置しており、
前記溝部は、前記周壁部に開口していることを特徴とする圧力センサモジュール。 - 大気圧が導入される基準圧力室と測定対象圧力が導入される測定対象圧力導入室とを備えたケースと、前記基準圧力室と前記測定対象圧力導入室との間に位置するように前記ケース内に配置されて前記大気圧と前記測定対象圧力との圧力差を検出する感圧部とを備えた圧力センサモジュールであって、
前記ケースは、実装用回路基板と対向する第1の壁部と、該第1の壁部と対向する第2の壁部と、前記第1の壁部と前記第2の壁部との間に位置する周壁部とを備え、
前記ケースの前記第2の壁部には、前記測定対象圧力導入室に前記測定対象圧力を導入する測定対象圧力導入通路と前記基準圧力室に前記大気圧を導入する1以上の大気圧導入通路とが形成されており、
前記ケースは、前記1以上の大気圧導入通路以外の部分から前記基準圧力室に大気が入ることがない気密構造を有しており、
前記大気圧導入通路は、前記第2の壁部を前記第1の壁部から離れる方向に貫通する貫通孔と、前記第2の壁部の外壁面に沿って延び、前記外壁面に開口し且つ前記貫通孔の端部と連通する1以上の溝部とを備えていることを特徴とする圧力センサモジュール。 - 前記第2の壁部には、内部に前記測定対象圧力導入通路を延長する延長通路を備え且つ測定対象案内用チューブまたはオーリングが外側に嵌合される筒体が一体に設けられており、
前記筒体及び前記第2の壁部の少なくとも一方には、前記筒体に嵌合された前記測定対象案内用チューブまたはオーリングが前記第2の壁部側に移動することを阻止するストッパ部が一体に設けられていることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサモジュール。 - 前記1以上の大気圧導入通路の前記貫通孔の端部及び前記1以上の溝部は、前記筒体から見て前記ストッパ部よりも外側に位置している請求項3に記載の圧力センサモジュール。
- 前記溝部は、前記周壁部に開口している請求項2乃至4のいずれか1項に記載の圧力センサモジュール。
- 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の圧力センサモジュールが、前記実装用回路基板上に実装され、前記実装用回路基板が絶縁樹脂材料によりモールドされていることを特徴とする集積回路。
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