KR102021804B1 - 압력 센서 모듈 - Google Patents

Abstract

기준 압력실에 대기압을 확실하게 도입할 수 있는 압력 센서 모듈을 제공한다. 압력 센서 모듈(1) 상벽부(11)에, 상벽부(11)를 제 1 벽부인 저벽 부재(15)로부터 멀어지는 방향으로 관통하는 관통 구멍(27a, 29a)과 홈부(27b, 29b)로 구성되는 대기압 도입 통로(27, 29)를 형성한다. 관통 구멍(27a, 29a)은 일단을 상벽부(11)의 제 2 상벽 부분(11b)의 외벽면에 개구시키고, 타단을 상벽부(11)의 제 1 상벽 부분(11a)의 내벽면에 개구시켜서 기준 압력실(S2)과 연통시킨다. 홈부(27b, 29b)는 제 2 상벽 부분(11b)의 외벽면을 따라 연장되고, 그 외벽면 및 제 2 상벽 부분(11b)의 측면에 개구되고 또한 관통 구멍(27a, 29a)의 단부와 연통시킨다.

Description

압력 센서 모듈{PRESSURE SENSOR MODULE}

본 발명은 압력 센서 모듈에 관한 것이다.

측정 대상의 압력을 검출하는 압력 센서 모듈로서, 기준 압력으로서의 대기압과 측정 대상 압력의 압력차를 검출하는 차압형의 압력 센서 모듈이 알려져 있다. 일본 특허 공개 2000-81356호 공보(특허문헌 1)의 도 5에는 측정 대상의 압력이 도입되는 측정 압력 도입로와, 대기압이 도입되는 대기압 도입로를 압력 센서 모듈의 하우징으로부터 동일 방향으로 연장되도록 설치한 종래의 압력 센서 모듈이 개시되어 있다.

특허문헌 1의 도 5의 종래의 압력 센서 모듈에서는 측정 압력 도입로 및 대기압 도입로가 관통하는 하우징의 벽부에는 측정 압력 도입로와 연결되는 연장 유로를 구비한 1개의 튜브를 끼우는 통체가 일체로 설치되어 있다. 대기압 도입로는 하우징의 벽부의 외벽면에 개구되어 있다.

일본 특허 공개 2000-81356호 공보(도 5)

특허문헌 1의 압력 센서 모듈에서는 대기압 도입로의 개구 단부에 물방울, 먼지 등이 부착되면 부착된 물방울이나 먼지에 의해 대기압의 도입이 방해되어서 측정 대상의 압력을 정확하게 측정할 수 없어지는 문제가 발생한다.

또한, 이 구조에서 전체를 콤팩트화하기 위해서는 측정 압력 도입로와 대기압 도입로 사이의 거리를 짧게 하게 된다. 그러나, 측정 압력 도입로에 대하여 설치된 통체에 튜브 또는 오링(O-ring)을 장착했을 경우에 튜브 또는 오링이 필요 이상으로 압입되어 튜브 또는 오링의 단부가 넓어져서, 인접하는 대기압 도입로의 단부를 막아버리면 측정 정밀도를 나쁘게 하는 문제가 발생한다.

본 발명의 목적은 기준 압력실에 대기압을 확실하게 도입할 수 있는 압력 센서 모듈을 제공하는 것에 있다.

본 발명은 대기압이 도입되는 기준 압력실과 측정 대상 압력이 도입되는 측정 대상 압력 도입실을 구비한 케이스와, 기준 압력실과 측정 대상 압력 도입실 사이에 위치하도록 케이스 내에 배치되어서 대기압과 측정 대상 압력의 압력차를 검출하는 감압부를 구비한 압력 센서 모듈을 개량의 대상으로 한다. 케이스는 실장용 회로 기판과 대향하는 제 1 벽부와, 제 1 벽부와 대향하는 제 2 벽부와, 제 1 벽부와 제 2 벽부 사이에 위치하는 둘레벽부를 구비하고 있다. 제 2 벽부에는 측정 대상 압력 도입실에 측정 대상 압력을 도입하는 측정 대상 압력 도입 통로와 기준 압력실에 대기압을 도입하는 1 이상의 대기압 도입 통로가 형성되어 있다. 케이스는 1 이상의 대기압 도입 통로 이외의 부분으로부터 기준 압력실에 대기가 들어갈 일이 없는 기밀 구조를 갖고 있다. 특히, 본 발명에서는 대기압 도입 통로를 제 1 벽부로부터 멀어지는 방향으로 제 2 벽부를 관통하는 관통 구멍과, 제 2 벽부의 외벽면을 따라 연장되어서 외벽면에 개구되고, 또한 관통 구멍의 단부와 연통하는 1 이상의 홈부로 구성한다. 이렇게 구성하면 대기압 도입 통로의 관통 구멍의 외벽면측의 단부에 물방울이나 먼지가 부착되어도 부착된 물방울은 제 2 벽부의 외벽면에 형성된 홈부를 따라 이동할 수 있고, 또한 먼지가 부착되었을 경우에도 이 홈부를 통해서 대기를 대기압 도입로에 안내하는 것이 가능해진다. 그 때문에, 대기압 도입 통로의 관통 구멍의 외벽면측의 단부에 물방울이나 먼지가 부착되어도 부착된 물방울이나 먼지에 의해 대기압 도입 통로가 막혀서 기준 압력실에 대기를 도입할 수 없게 되어서 압력 센서의 검출 정밀도가 나빠지는 문제가 발생할 가능성이 낮아진다.

구체적인 압력 센서 모듈에서는 제 2 벽부에는 측정 대상 압력 도입 통로를 연장하는 연장 통로를 내부에 구비하는 통체가 일체로 설치되어 있다. 이 통체의 외측에는 측정 대상 안내용 튜브 또는 오링이 감합된다. 이러한 압력 센서 모듈에서는 측정 대상 안내용 튜브 또는 오링을 통체에 감합시킬 때에, 측정 대상 안내용 튜브 또는 오링이 필요 이상으로 제 2 벽부를 향해서 압입되어서 측정 대상 안내용 튜브 또는 오링의 단부가 통체로부터 보아서 외측으로 넓어지고, 제 2 벽부에 형성된 관통 구멍의 단부 및 홈부가 측정 대상 안내용 튜브 또는 오링에 의해 덮여 버리는 경우가 있다. 그래서, 통체에 감합된 측정 대상 안내용 튜브 또는 오링이 제 2 벽부측으로 이동하는 것을 저지하는 스토퍼부를 통체 및 제 2 벽부 중 적어도 한쪽에 일체로 설치하는 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 스토퍼부에 의해 측정 대상 안내용 튜브 또는 오링이 제 2 벽부측을 향해서 이동하는 것이 제한되므로 측정 대상 안내용 튜브의 단부 또는 오링이 스토퍼부를 초월할 일이 없다. 그 때문에, 대기압을 도입하는 관통 구멍의 단부 및 홈부가 측정 대상 안내용 튜브 또는 오링에 의해 덮여서 막히는 것을 방지할 수 있고, 측정 대상 압력 도입실에 측정 대상 압력을 확실하게 도입하는 것이 가능해진다.

압력 센서 모듈의 구성에 따라서는 측정 대상 안내용 튜브 또는 오링이 스토퍼부를 초월해서 제 2 벽부측을 향해서 이동해 버리는 경우가 있다. 그 때문에, 1 이상의 대기압 도입 통로의 관통 구멍의 단부 및 1 이상의 홈부는 통체로부터 보아서 스토퍼부보다 외측에 위치하고 있는 것이 바람직하다. 이렇게 구성하면, 측정 대상 안내용 튜브 또는 오링이 스토퍼부를 초월해서 제 2 벽부측을 향해서 이동해도 관통 구멍의 단부 및 홈부가 측정 대상 안내용 튜브 또는 오링에 의해 덮여서 막힐 일이 없으므로 측정 대상 압력 도입실에 측정 대상 압력을 보다 확실하게 도입하는 것이 가능해진다.

홈부는 둘레벽부에 개구되어 있는 것이 바람직하다. 홈부가 둘레벽부에 개구되어 있으면 제 2 벽부의 외벽면이 측정 대상 안내용 튜브 또는 오링에 의해 전체적으로로 막혀도 대기압을 확실하게 도입하는 것이 가능해진다.

본 발명은 상술한 압력 센서 모듈이 실장용 회로 기판 상에 실장되고, 실장용 회로 기판이 절연 수지 재료에 의해 몰딩된 집적 회로로서 파악할 수도 있다.

도 1의 (A) 내지 (D)는 각각 본 발명의 실시형태의 압력 센서 모듈의 평면도, 정면도, 저면도 및 우측면도이다.
도 2는 실장용 회로 기판에 실장되어 실장용 회로 기판과 함께 방수용 수지에 의해 일부가 덮인 압력 센서 모듈을 도 1(A)의 II-II선으로 절단한 단면도이다.
도 3은 오링을 통해서 피측정 기기의 측정 대상 송출부에 통체를 감합한 도 2의 압력 센서 모듈을 도 1(A)의 III-III선으로 절단한 단면도이다.
도 4(A)는 본 발명의 다른 실시형태의 압력 센서 모듈(101)의 평면도이고, (B)는 도 4(A)의 V-V선 단면도이다.
도 5는 압력 도입관을 부착한 압력 센서 모듈의 일부 절개 측면도이다.

이하, 도면을 참조해서 본 발명의 실시형태의 일례에 대하여 상세하게 설명한다. 도 1(A) 내지 도 1(D)는 각각 본 발명의 실시형태의 압력 센서 모듈(1)의 평면도, 정면도, 저면도 및 우측면도이다. 도 2는 실장용 회로 기판(SB)에 실장되어 실장용 회로 기판과 함께 방수용 수지에 의해 일부가 덮인 본 실시형태의 압력 센서 모듈(1)의 단면도이다[압력 센서 모듈(1)은 도 1(A)의 II-II선 단면도로서 나타내고 있다]. 본 실시형태의 압력 센서 모듈(1)은 방수 성능을 향상시키기 위해서 실장용 회로 기판(SB)(도 2)에 실장된 후에, 실장용 회로 기판(SB)(도 2)과 함께 방수용 절연 수지(IR)(도 2)로 일부가 피복되어도 압력의 측정이 가능한 구조를 갖고 있다. 압력 센서 모듈(1)은 센서 케이스(3)와, 센서 케이스(3)의 내부에 설치된 감압부로서의 반도체 압력 센서 소자(5)와, 통체(7)와, 8개의 단자(9)와, 이들 단자(9) 중 몇개에 접속되는 도시하지 않은 신호 처리용 IC칩을 구비하고 있다. 또한, 도 1에 있어서는 단자(9)를 도중에 절단한 상태로 나타내고 있다. 센서 케이스(3)는 저면측에 개구부를 갖는 케이스 본체(10)를 구비하고 있다. 케이스 본체(10)는 통체(7)가 일체로 설치된 상벽부(11)와, 일단이 상벽부(11)의 외주부와 일체로 설치되어서 상벽부(11)로부터 멀어지는 방향으로 연장되는 둘레벽부(13)와, 둘레벽부(13)의 타단에 의해 둘러싸인 개구부에 액밀하게 감합된 저벽 부재(15)로 구성되어 있다. 본 실시형태에서는 상벽부(11)가 제 2 벽부를 구성하고 있고, 저벽 부재(15)가 제 1 벽부를 구성하고 있다. 또한, 도 1(C)에 있어서는 내부 구조를 나타내기 위해서 센서 케이스(3)의 저벽 부재(15)를 제외한 상태로 나타내고 있다.

상벽부(11)는 윤곽이 대략 사각형 형상인 제 1 상벽 부분(11a)과, 제 1 상벽 부분(11a) 상에 일체로 설치되어서 제 1 상벽 부분(11a)보다 윤곽 형상이 작은 윤곽이 대략 사각형 형상인 제 2 상벽 부분(11b)과, 제 2 상벽 부분(11b) 상에 일체로 설치된 윤곽이 원형 형상인 제 3 상벽 부분(11c)으로 구성되어 있다. 상술의 통체(7)는 제 3 상벽 부분(11c) 상에 일체로 설치되어 있다. 제 3 상벽 부분(11c) 내에는 통체(7)의 내부를 통과하는 연장 통로(7a)와 연통되고 연장 통로(7a)보다 소경의 연락 통로(17a)와, 연락 통로(17a)와 연통되고 연락 통로(17a)보다 대경의 원주 형상 공간(17b)이 형성되어 있다. 그리고, 제 2 상벽 부분(11b) 및 제 1 상벽 부분(11a)에는 원주 형상 공간(17b)과 연통되고 횡단면 형상의 윤곽이 사각형상을 이루는 각주 형상 공간(17c)이 형성되어 있고, 제 1 상벽 부분(11a)에는 각주 형상 공간(17c)과 연통되고 저벽 부재(15)와 거의 전면적으로 대향하는 두께가 얇고 평평한 공간(17d)이 형성되어 있다. 각주 형상 공간(17c)의 일부를 둘러싸는 제 3 상벽 부분(11c)의 내벽면(17e) 상에는 반도체 압력 센서 소자(5)를 지지하기 위한 지지대(6)가 접합되어 있다. 이 지지대(6)는 반도체 기판을 가공해서 형성되어 있다. 지지대(6)에는 원주 형상 공간(17b)과 연통되는 관통 구멍(6A)이 형성되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는 연락 통로(17a) 및 원주 형상 공간(17b)에 의해 측정 대상 압력 도입실(S1)이 구성되고, 각주 형상 공간(17c) 및 평평한 공간(17d)에 의해 기준 압력실(S2)이 구성되어 있다.

반도체 압력 센서 소자(5)는 Si 반도체 기판을 베이스로 해서 형성되어 있고, 다이어프램부(5a)와 다이어프램 지지부(5b)를 구비하고 있다. 다이어프램부(5a)에는 도시하지 않은 저항 소자로 이루어지는 저항 브리지 회로와 저항 소자로 이루어지는 저항 회로가 표면에 형성되어 있다. 이 저항 브리지 회로 등이 형성되어 있는 표면은 방수용 절연 수지(IR)로 덮여 있다. 또한, 저항 회로의 상세한 구성은 본 발명의 요지와는 관계없으므로 설명을 생략한다. 다이어프램 지지부(5b)가 지지대(6)에 기밀하게 접합되어 있다. 따라서, 본 실시형태에서는 측정 대상의 유체가 확산 저항이 형성되어 있는 면과 접촉할 일은 없다.

둘레벽부(13)는 대향하는 2개의 주벽 부분(13a 및 13b)과, 이들 주벽 부분(13a 및 13b)의 대향하는 단부를 접속하는 2개의 주벽 부분(13c 및 13d)을 갖고 있다. 4개의 주벽 부분(13a 내지 13d)은 둘레벽부의 윤곽이 거의 사각형을 이루도록 구성되어 있다. 둘레벽부(13)에는 상벽부(11)가 위치하는 측과 반대측의 단부 내에 제 1 내지 제 3 환상 단차부(19∼23)가 형성되어 있다. 제 1 환상 단차부(19)에는 둘레벽부(13)의 개구부(13e)를 막도록 저벽 부재(15)가 액밀하게 감합되어 있다. 저벽 부재(15)는 압력 센서 모듈(1)을 실장용 회로 기판(SB)(도 2)에 실장하면, 실장용 회로 기판과 대향한다. 제 2 환상 단차부(21)로부터는 후술하는 대기압 도입 통로의 단부가 개구되어 있다. 제 3 환상 단차부(23)에는 8개의 단자(9) 중 한쪽 단부(9a)가 노출되어 있다.

8개의 단자(9)는 둘레벽부(13)에 인서트 성형에 의해 고정되어 있다. 8개의 단자(9) 중 한쪽 단부(9a)는 센서 케이스(3)의 제 3 환상 단차부(23) 내에 노출되어 있고, 일부는 도시하지 않은 본딩 와이어에 의해 반도체 압력 센서 소자(5)의 전극부와 전기적으로 접속되어 있다. 본 실시형태에서는 8개의 단자(9)가 대향하는 2개의 주벽 부분(13a 및 13b)으로부터 돌출되어 있다.

상벽부(11)에는 2개의 대기압 도입 통로(27, 29)가 더 형성되어 있다. 대기압 도입 통로(27, 29)는 상벽부(11)를 제 1 벽부인 저벽 부재(15)로부터 멀어지는 방향으로 관통하는 관통 구멍(27a, 29a)과 홈부(27b, 29b)로 구성되어 있다. 관통 구멍(27a, 29a)의 일단은 상벽부(11)의 제 2 상벽 부분(11b)의 외벽면에 개구되어 있고, 관통 구멍(27a, 29a)의 타단은 상벽부(11)의 제 1 상벽 부분(11a)의 내벽면에 개구되어 기준 압력실(S2)과 연통되어 있다. 홈부(27b, 29b)는 제 2 상벽 부분(11b)의 외벽면을 따라 연장되고, 그 외벽면 및 제 2 상벽 부분(11b)의 측면에 개구되고 또한 관통 구멍(27a, 29a)의 단부와 연통되어 있다. 본 실시형태에 의하면, 상벽부(11)의 제 2 상벽 부분(11b)의 외벽면에 개구되는 관통 구멍(27a, 29a)의 단부에 물방울이 부착되어도 홈부(27b, 29b)를 따라 물방울이 이동할 수 있기 때문에 물방울에 의해 대기압 도입 통로가 완전히 막힐 가능성이 낮아진다. 또한, 관통 구멍(27a, 29a)의 단부에 먼지가 부착되어도 홈부(27b, 29b)를 따라 관통 구멍(27a, 29a)에 대기가 안내되기 때문에 대기압 도입 통로가 완전히 막힐 가능성이 낮아진다. 또한, 대기압 도입 통로(27, 29) 이외로부터 센서 케이스(3)의 내부에 대기압이 도입될 일이 없도록 센서 케이스는 기밀 구조를 갖고 있다.

이상의 구성에 의해, 통체(7)의 통로(7a) 및 상벽부(11)의 제 3 상벽 부분(11c)을 관통하는 연락 통로(17a) 및 원주 형상 공간(17b)을 통해서 반도체 압력 센서 소자(5)의 다이어프램부(5a)의 이면측에 측정 대상 압력이 도입된다. 그리고, 대기압 도입 통로(27, 29)를 통해서 반도체 압력 센서 소자(5)의 다이어프램부(5a)의 표면측에 대기압이 도입되고, 다이어프램부(5a)는 측정 대상 압력의 압력량과 대기압의 압력차에 따라서 휜다. 그 결과, 압력차에 따른 신호가 반도체 압력 센서 소자(5)로부터 출력된다.

도 3은 본 실시형태의 압력 센서 모듈(1)의 통체(7)를 오링(33)을 통해서 피측정 기기의 측정 대상 송출부(31)에 감합된 상태를 나타내기 위해서, 도 1 및 도 2에 나타내는 압력 센서 모듈(1)을 도 1(A)의 III-III선을 따라 단면으로 해서 나타낸 단면도이다. 또한, 도 3에서는 이해를 쉽게 하기 위해서 통체(7)에 부착된 측정 대상 송출부(31) 및 오링(33)을 단면으로 해서 나타내고, 단자(9)의 도시를 생략하고 있다. 본 실시형태에서는 통체(7)가 돌출되는 상벽부(11)의 제 3 상벽 부분(11c)의 외면이 스토퍼부를 구성하고 있다. 그 때문에, 오링(33)은 상벽부(11)의 제 3 상벽 부분(11c)에 접촉한 상태로 피측정 기기의 측정 대상 송출부(31)의 내벽부와의 사이에 협지된다.

도 4(A)는 본 발명의 다른 실시형태의 압력 센서 모듈(101)의 평면도이고, 도 4(B)는 도 4(A)의 B-B선 단면도이다. 도 5는 압력 도입관(131)을 부착한 압력 센서 모듈(101)의 일부 절개 측면도이다. 도 5에 있어서는 이해를 쉽게 하기 위해서 압력 도입관(131)을 단면으로 나타내고 있다. 또한, 도 4 및 도 5에 있어서는 도 1 내지 도 3에 나타낸 실시형태와 마찬가지의 부재에는 도 1 내지 도 3에 붙인 부호에 100의 수를 더한 수의 부호를 붙여서 상세한 설명을 생략한다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에서는 통체(107)에 부착되는 압력 도입관(131)은 탄성 재료에 의해 형성되어 있기 때문에, 압력 도입관(131)과 통체(107)의 기밀성이 확보된다. 본 실시형태에서는 상벽부(111)는 윤곽이 대략 사각형 형상인 제 1 상벽 부분(111a)과, 제 1 상벽 부분(111a) 상에 일체로 설치되고 제 1 상벽 부분(111a)의 거의 절반의 영역에 형성되어 통체(107)의 하측에 위치하는 제 2 상벽 부분(111b)과, 제 2 상벽 부분(111b) 상에 일체로 설치되고 통체(107)의 기부의 거의 절반의 영역을 따라 연장되는 제 3 상벽 부분(111c)으로 구성되어 있다. 본 실시형태에서는 제 1 상벽 부분(111a) 내지 제 3 상벽 부분(111c)의 전부를 관통하도록 대기압 도입 통로(127 및 129)의 일부를 구성하는 관통 구멍(127a 및 129a)이 형성되어 있고, 홈부(127b 및 129b)는 제 3 상벽 부분(111c)에 형성되어 있다.

그리고, 제 2 상벽 부분(111b) 및 제 3 상벽 부분(111c) 상에는 통체(107)를 따라 연장되는 4개의 각주형상의 스토퍼부(107b)가 일체로 형성되어 있다. 그 때문에, 압력 도입관(131)을 통체(107)에 부착할 때에 압력 도입관(131)의 선단이 제 3 상벽 부분(111c) 상까지 도달하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 본 실시형태와 같이 대기압 도입 통로(127 및 129)를 통체(107)에 가까운 위치에 형성했을 경우에 있어서, 압력 도입관(131)을 통체(107)에 부착할 때에 잘못하여 필요 이상으로 큰 힘으로 압력 도입관(131)을 압입하여 압력 도입관(131)의 선단이 스토퍼부(107b)를 초월해서 제 3 상벽 부분(111c)까지 도달해서 압력 도입관(131)이 대기압 도입 통로(127, 129)의 관통 구멍(127a, 129a)의 개구 단부를 덮는 경우가 있어도, 홈부(127b, 129b)가 존재하기 때문에 홈부(127b, 129b)를 통해서 대기를 기준 압력실 내에 도입할 수 있다.

상기 실시형태에서는 대기압과 측정 대상 압력의 압력차를 검출하는 감압부로서 반도체 압력 센서 소자를 사용하고 있지만, 반도체 압력 센서 소자 이외의 압력 센서 소자를 감압부로서 사용해도 좋다.

(산업상의 이용 가능성)

본 발명에 의하면, 대기압 도입 통로를 제 1 벽부로부터 멀어지는 방향으로 제 2 벽부를 관통하는 관통 구멍과, 제 2 벽부의 외벽면을 따라 연장되어서 외벽면에 개구되고 또한 관통 구멍의 단부와 연통되는 1 이상의 홈부로 구성했으므로, 대기압 도입 통로의 관통 구멍의 외벽면측의 단부에 물방울이 부착되어도 부착된 물방울이 제 2 벽부의 외벽면에 형성된 홈부를 따라 이동할 수 있다. 그 때문에, 대기압 도입 통로의 관통 구멍의 외벽면측에 붙은 물방울이나 먼지가 대기압 도입 통로의 일부를 막아도 기준 압력실에 대기압을 확실하게 도입할 수 있다.

1 : 압력 센서 모듈 3 : 센서 케이스
5 : 반도체 압력 센서 소자 5a : 다이어프램부
5b : 다이어프램 지지부 6 : 지지대
6A : 관통 구멍 7 : 통체
7a : 연장 통로 7b : 스토퍼부
9 : 단자 9a : 단부
10 : 케이스 본체 11 : 상벽부
11a : 제 1 상벽 부분 11b : 제 2 상벽 부분
11c : 제 3 상벽 부분 13 : 둘레벽부
13a∼13d : 주벽 부분 13e : 개구부
15 : 저벽 부재 17a : 연락 통로
17b : 원주 형상 공간 17c : 각주 형상 공간
17d : 평평한 공간 17e : 내벽면
19 : 제 1 환상 단차부 21 : 제 2 환상 단차부
23 : 제 3 환상 단차부 25 : 본딩 와이어
27 : 대기압 도입 통로 29 : 대기압 도입 통로
31 : 측정 대상 송출부 33 : 오링
S1 : 측정 대상 압력 도입실 S2 : 기준 압력실

Claims (6)

1. 대기압이 도입되는 기준 압력실과 측정 대상 압력이 도입되는 측정 대상 압력 도입실을 구비한 케이스와, 상기 기준 압력실과 상기 측정 대상 압력 도입실 사이에 위치하도록 상기 케이스 내에 배치되어서 상기 대기압과 상기 측정 대상 압력의 압력차를 검출하는 감압부를 구비한 압력 센서 모듈로서,
   상기 케이스는 실장용 회로 기판과 대향하는 제 1 벽부와, 그 제 1 벽부와 대향하는 제 2 벽부와, 상기 제 1 벽부와 상기 제 2 벽부 사이에 위치하는 둘레벽부를 구비하고,
   상기 케이스의 상기 제 2 벽부에는 상기 측정 대상 압력 도입실에 상기 측정 대상 압력을 도입하는 측정 대상 압력 도입 통로와 상기 기준 압력실에 상기 대기압을 도입하는 1 이상의 대기압 도입 통로가 형성되어 있고,
   상기 케이스는 상기 1 이상의 대기압 도입 통로 이외의 부분으로부터 상기 기준 압력실에 대기가 들어갈 일이 없는 기밀 구조를 갖고 있고,
   상기 대기압 도입 통로는 상기 제 2 벽부를 상기 제 1 벽부로부터 멀어지는 방향으로 관통하는 관통 구멍과, 상기 제 2 벽부의 외벽면을 따라 연장되어 상기 외벽면에 개구되고 또한 상기 관통 구멍의 단부와 연통되는 1 이상의 홈부를 구비하고 있고,
   상기 제 2 벽부에는 내부에 상기 측정 대상 압력 도입 통로를 연장하는 연장 통로를 구비하고 또한 측정 대상 안내용 튜브 또는 오링이 외측에 감합되는 통체가 일체로 설치되어 있고,
   상기 통체 및 상기 제 2 벽부 중 적어도 한쪽에는 상기 통체에 감합된 상기 측정 대상 안내용 튜브 또는 오링이 상기 제 2 벽부측으로 이동하는 것을 저지하는 스토퍼부가 일체로 설치되어 있고,
   상기 1 이상의 대기압 도입 통로의 상기 관통 구멍의 단부 및 상기 1 이상의 홈부는 상기 통체로부터 보아서 상기 스토퍼부보다 외측에 위치하고 있고,
   상기 홈부는 상기 둘레벽부에 개구되어 상기 기준 압력실에 대기압을 도입하는 것을 특징으로 하는 압력 센서 모듈.
2. 제 1 항에 기재된 압력 센서 모듈은 상기 실장용 회로 기판 상에 실장되고, 상기 실장용 회로 기판은 절연 수지 재료에 의해 몰딩되어 있는 것을 특징으로 하는 집적 회로.
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