JPH08240495A - 半導体圧力センサ - Google Patents
半導体圧力センサInfo
- Publication number
- JPH08240495A JPH08240495A JP4380795A JP4380795A JPH08240495A JP H08240495 A JPH08240495 A JP H08240495A JP 4380795 A JP4380795 A JP 4380795A JP 4380795 A JP4380795 A JP 4380795A JP H08240495 A JPH08240495 A JP H08240495A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- housing
- pressure
- atmosphere
- pressure sensor
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【構成】ハウジング３に外側大気導入孔１２と内側大気
導入孔１３を設け、水や塵の浸入防止のための外側大気
導入孔１２と内側大気導入孔１３を隔てる仕切り板１４
を設けた圧力センサ。 【効果】外側大気導入部の空間から水が浸入しても、水
が仕切り板よりも先に入ることのない大気圧基準の相対
圧型圧力センサを提供できる。
導入孔１３を設け、水や塵の浸入防止のための外側大気
導入孔１２と内側大気導入孔１３を隔てる仕切り板１４
を設けた圧力センサ。 【効果】外側大気導入部の空間から水が浸入しても、水
が仕切り板よりも先に入ることのない大気圧基準の相対
圧型圧力センサを提供できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体圧力センサに係
り、特に、塵，埃の浸入や、センサが被水した場合にセ
ンサ内部へ水が浸入するのを防止し、厚膜混成基板を腐
食させないための大気圧を基準とする自動車用圧力セン
サに関する。
り、特に、塵，埃の浸入や、センサが被水した場合にセ
ンサ内部へ水が浸入するのを防止し、厚膜混成基板を腐
食させないための大気圧を基準とする自動車用圧力セン
サに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の圧力センサの構造は、実開平1−1
65439 号公報に示されたようにセンサ内部が密閉された
構造となっている。
65439 号公報に示されたようにセンサ内部が密閉された
構造となっている。
【０００３】真空基準の絶対圧型圧力センサに対し、大
気圧基準の相対圧型圧力センサは、圧力検出部に測定圧
力と大気圧を導入する必要があるため、絶対圧型圧力セ
ンサと同じ構造では、大気をセンサ内部に導入できない
欠点があった。
気圧基準の相対圧型圧力センサは、圧力検出部に測定圧
力と大気圧を導入する必要があるため、絶対圧型圧力セ
ンサと同じ構造では、大気をセンサ内部に導入できない
欠点があった。
【０００４】また、カバーなどに大気導入孔を設けた場
合、大気導入孔に水がつき、温度差で水をセンサ内部に
吸い込み、内部を腐食するという欠点がある。
合、大気導入孔に水がつき、温度差で水をセンサ内部に
吸い込み、内部を腐食するという欠点がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、大
気導入孔が設けられておらず、相対圧型圧力センサには
適していなかった。センサの基準である大気をセンサ内
部に導入でき、かつ、大気導入部から水や塵がセンサ内
部に入り込まず、センサ内部の腐食を防止する構造の圧
力センサを供給することにある。
気導入孔が設けられておらず、相対圧型圧力センサには
適していなかった。センサの基準である大気をセンサ内
部に導入でき、かつ、大気導入部から水や塵がセンサ内
部に入り込まず、センサ内部の腐食を防止する構造の圧
力センサを供給することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、ハウジングに大気導入部を設けた。ハウジングに設
けた大気導入部は、ハウジングの外側大気導入孔と内側
大気導入孔からなり、外側大気導入孔と内側大気導入孔
の間に空間を設け、センサが急冷され、センサ内部の空
気が収縮し、外側大気導入孔に付着した水や塵は、前記
空間に浸入することがあっても、内側大気導入孔には届
かず、センサ内部（厚膜混成基板）には浸入せず、ま
た、センサが激しく被水した場合には、外側大気導入孔
と内側大気導入孔の間に仕切り板を設けることで、たと
え外側大気導入孔から水が浸入しても仕切り板で水を防
ぎ、内側大気導入孔に水が付着しない構造とした。
に、ハウジングに大気導入部を設けた。ハウジングに設
けた大気導入部は、ハウジングの外側大気導入孔と内側
大気導入孔からなり、外側大気導入孔と内側大気導入孔
の間に空間を設け、センサが急冷され、センサ内部の空
気が収縮し、外側大気導入孔に付着した水や塵は、前記
空間に浸入することがあっても、内側大気導入孔には届
かず、センサ内部（厚膜混成基板）には浸入せず、ま
た、センサが激しく被水した場合には、外側大気導入孔
と内側大気導入孔の間に仕切り板を設けることで、たと
え外側大気導入孔から水が浸入しても仕切り板で水を防
ぎ、内側大気導入孔に水が付着しない構造とした。
【０００７】
【作用】センサハウジングに大気導入部内を設け、大気
導入部は外側大気導入孔と内側大気導入孔と、これらの
間に空間を設け、かつ、この空間に外側大気導入孔と内
側大気導入孔を隔てる仕切り板を設けることで、センサ
内部に水や塵の浸入を防止できる。
導入部は外側大気導入孔と内側大気導入孔と、これらの
間に空間を設け、かつ、この空間に外側大気導入孔と内
側大気導入孔を隔てる仕切り板を設けることで、センサ
内部に水や塵の浸入を防止できる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１に示す圧力セン
サの断面図により説明する。
サの断面図により説明する。
【０００９】ゲージ１と厚膜混成基板２がハウジング３
に取り付けられ、カバー４をハウジング３に接着するこ
とで隔離される。
に取り付けられ、カバー４をハウジング３に接着するこ
とで隔離される。
【００１０】圧力センサが測定する圧力は、圧力導入管
５からガラス受け６，ゲージ１を支持するガラス台７に
設けた孔を通り、圧力検知部であるゲージ１に導かれゲ
ージ１を変形させる。
５からガラス受け６，ゲージ１を支持するガラス台７に
設けた孔を通り、圧力検知部であるゲージ１に導かれゲ
ージ１を変形させる。
【００１１】ゲージ１には、拡散抵抗でブリッジが形成
されており、変形によるブリッジのアンバランスで電気
信号を出力する。この電気信号は金線８からリードフレ
ーム９，ニッケル線１０を通り厚膜混成基板２に導か
れ、増幅され、ニッケル線１０を通り、センサ出力とし
ターミナル１１から出力される。
されており、変形によるブリッジのアンバランスで電気
信号を出力する。この電気信号は金線８からリードフレ
ーム９，ニッケル線１０を通り厚膜混成基板２に導か
れ、増幅され、ニッケル線１０を通り、センサ出力とし
ターミナル１１から出力される。
【００１２】また、圧力センサの基準となる大気圧は、
外側大気導入孔１２から、ハウジング３内側に設けた空
間、そして、ハウジング３の内側大気導入孔１３を通
り、センサ内部に導かれゲージ１に至る。
外側大気導入孔１２から、ハウジング３内側に設けた空
間、そして、ハウジング３の内側大気導入孔１３を通
り、センサ内部に導かれゲージ１に至る。
【００１３】尚、ゲージ１は、ガラス台７に陽極接合さ
れ、ガラス台７は、接着剤によりガラス受け６に接着さ
れ、更に、ガラス受け６は、ハウジング３に接着剤で接
着されており圧力導入孔から導かれる測定圧力と、セン
サ基準の大気圧はゲージ１によって隔てられているた
め、大気圧と測定圧力の差圧がゲージ１の変形となるた
め、大気圧基準の圧力を測定することができる。
れ、ガラス台７は、接着剤によりガラス受け６に接着さ
れ、更に、ガラス受け６は、ハウジング３に接着剤で接
着されており圧力導入孔から導かれる測定圧力と、セン
サ基準の大気圧はゲージ１によって隔てられているた
め、大気圧と測定圧力の差圧がゲージ１の変形となるた
め、大気圧基準の圧力を測定することができる。
【００１４】圧力センサが自動車に取り付けられた場
合、センサが被水することでセンサ全体が冷却され、セ
ンサ内部の空気が収縮し、センサ外部の大気をセンサ内
部に引き込む。この時、センサの大気導入孔に水が付着
していると、水をセンサ内部に引き込み、厚膜混成基板
２やニッケル線１０とターミナル１１の接合部を腐食さ
れる。これを防止するための構造を、図１を用い説明す
る。
合、センサが被水することでセンサ全体が冷却され、セ
ンサ内部の空気が収縮し、センサ外部の大気をセンサ内
部に引き込む。この時、センサの大気導入孔に水が付着
していると、水をセンサ内部に引き込み、厚膜混成基板
２やニッケル線１０とターミナル１１の接合部を腐食さ
れる。これを防止するための構造を、図１を用い説明す
る。
【００１５】ハウジング３の外側と内側に大気導入孔を
設け、その間に空間を設け、外側大気導入孔１２に水が
付着し、センサが冷され、内部の空気が収縮し、外部大
気を内部に引き込む際、付着した水を吸い込んでも、吸
い込まれた水は、外側大気導入孔１２と内側大気導入孔
１３の間の空間に溜り、センサ内の厚膜混成基板２や前
記接合部に届かない。また、空間に溜った水は、外側大
気導入孔１２よりセンサ外部に排出される。なお、外側
大気導入孔１２に埃が付着した場合も、水と同様に浸入
を防止できる。
設け、その間に空間を設け、外側大気導入孔１２に水が
付着し、センサが冷され、内部の空気が収縮し、外部大
気を内部に引き込む際、付着した水を吸い込んでも、吸
い込まれた水は、外側大気導入孔１２と内側大気導入孔
１３の間の空間に溜り、センサ内の厚膜混成基板２や前
記接合部に届かない。また、空間に溜った水は、外側大
気導入孔１２よりセンサ外部に排出される。なお、外側
大気導入孔１２に埃が付着した場合も、水と同様に浸入
を防止できる。
【００１６】ところが、センサが著しく激しい疲水を受
け、外側大気導入孔１２から内側大気導入孔１３へ水が
届き、内側大気導入孔１３に付着した場合、センサ内部
へ水を吸い込む。そこで、空間に仕切り板１４を設け、
センサが著しく激しい疲水を受けても、内側大気導入孔
１３には、水が付着しない構造とした。
け、外側大気導入孔１２から内側大気導入孔１３へ水が
届き、内側大気導入孔１３に付着した場合、センサ内部
へ水を吸い込む。そこで、空間に仕切り板１４を設け、
センサが著しく激しい疲水を受けても、内側大気導入孔
１３には、水が付着しない構造とした。
【００１７】また、図２は、センサに雪などが付着し、
凍結したり、水を含む塵，埃が付着乾燥し、外側大気導
入孔１２を塞ぎセンサを密閉した場合、大気を導入でき
なくなる。この時、ハウジング３のコネクタ１５内部に
設けた大気導入孔１６を通し、大気導入を図る構造であ
る。但し、自動車に取り付けられるセンサは、コネクタ
１５が、防水タイプであり、大気は相手側コネクタのリ
ード線を通し導入されるため、応答性が遅くなり、頻繁
に圧力を測定するシステムには適さないが、診断などの
用に時間を置いて数度の圧力測定を行い、それら圧力の
チェックの値を比較検討する様な場合には、大気導入孔
の塞ぎによる誤測定を防止することができる。
凍結したり、水を含む塵，埃が付着乾燥し、外側大気導
入孔１２を塞ぎセンサを密閉した場合、大気を導入でき
なくなる。この時、ハウジング３のコネクタ１５内部に
設けた大気導入孔１６を通し、大気導入を図る構造であ
る。但し、自動車に取り付けられるセンサは、コネクタ
１５が、防水タイプであり、大気は相手側コネクタのリ
ード線を通し導入されるため、応答性が遅くなり、頻繁
に圧力を測定するシステムには適さないが、診断などの
用に時間を置いて数度の圧力測定を行い、それら圧力の
チェックの値を比較検討する様な場合には、大気導入孔
の塞ぎによる誤測定を防止することができる。
【００１８】
【発明の効果】ハウジングに外側大気導入孔と内側大気
導入孔を設け、これら大気導入孔の間に空間を設け、か
つ、この空間に二つの大気導入孔を隔てる仕切り板を設
けることにより、水や埃がセンサ内部に浸入しない、自
動車用大気圧基準の相対圧型圧力センサを提供できる。
導入孔を設け、これら大気導入孔の間に空間を設け、か
つ、この空間に二つの大気導入孔を隔てる仕切り板を設
けることにより、水や埃がセンサ内部に浸入しない、自
動車用大気圧基準の相対圧型圧力センサを提供できる。
【図１】本発明の一実施例の圧力センサの断面図。
【図２】本発明の一実施例の圧力センサの断面図。
１…ゲージ、２…厚膜混成基板、３…ハウジング、４…
カバー、５…圧力導入管、６…ガラス受け、７…ガラス
台、８…金線、９…リードフレーム、１０…ニッケル
線、１１…ターミナル、１２…外側大気導入孔、１３…
内側大気導入孔、１４…仕切り板、１５…コネクタ、１
６…大気導入孔、１７…シールドケース、１８…キャッ
プ。
カバー、５…圧力導入管、６…ガラス受け、７…ガラス
台、８…金線、９…リードフレーム、１０…ニッケル
線、１１…ターミナル、１２…外側大気導入孔、１３…
内側大気導入孔、１４…仕切り板、１５…コネクタ、１
６…大気導入孔、１７…シールドケース、１８…キャッ
プ。
Claims (3)
- 【請求項１】大気圧を基準とした相対圧型圧力センサに
於いて、圧力を電気信号に変換する半導体歪ゲージと，
前記半導体ゲージの出力を増幅する厚膜混成基板を、樹
脂モールドハウジングに内臓する圧力センサの構造で、
前記ハウジングにセンサの基準圧となる大気圧を、前記
ゲージに大気を導入する大気導入部を前記ハウジングに
設けることを特徴とする半導体圧力センサ。 - 【請求項２】樹脂モールドのハウジングに、センサの基
準圧となる大気圧導入部を設けた相対圧型圧力センサに
於いて、前記ハウジングの外側と前記ハウジングの内側
部に大気導入孔を、また、前記大気導入孔の間に、空間
を設け、前記センサが急冷された場合、前記ハウジング
外側の前記大気導入孔の周辺、もしくは、入り口に付着
している水，塵などを前記センサの厚膜混成基板上に浸
入させないことを特徴とする半導体圧力センサ。 - 【請求項３】相対圧型圧力センサに於いて、ハウジング
に設けた大気導入部のハウジング外側の大気導入孔と内
側の大気導入孔の間に設けた空間に、仕切りを設け、セ
ンサが被水した場合、水滴が前記ハウジングの内側に設
けた前記大気導入孔に付着することを防止することを特
徴とする半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4380795A JPH08240495A (ja) | 1995-03-03 | 1995-03-03 | 半導体圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4380795A JPH08240495A (ja) | 1995-03-03 | 1995-03-03 | 半導体圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08240495A true JPH08240495A (ja) | 1996-09-17 |
Family
ID=12674025
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4380795A Pending JPH08240495A (ja) | 1995-03-03 | 1995-03-03 | 半導体圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08240495A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8869623B2 (en) | 2010-12-13 | 2014-10-28 | Panasonic Corporation | Pressure sensor mounting structure |
| KR20140127823A (ko) * | 2012-02-16 | 2014-11-04 | 호쿠리쿠 덴키 고교 가부시키가이샤 | 압력 센서 모듈 |
-
1995
- 1995-03-03 JP JP4380795A patent/JPH08240495A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8869623B2 (en) | 2010-12-13 | 2014-10-28 | Panasonic Corporation | Pressure sensor mounting structure |
| KR20140127823A (ko) * | 2012-02-16 | 2014-11-04 | 호쿠리쿠 덴키 고교 가부시키가이샤 | 압력 센서 모듈 |
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