JP2001264203A - 圧力センサ - Google Patents

圧力センサ

Info

Publication number
JP2001264203A
JP2001264203A JP2000079353A JP2000079353A JP2001264203A JP 2001264203 A JP2001264203 A JP 2001264203A JP 2000079353 A JP2000079353 A JP 2000079353A JP 2000079353 A JP2000079353 A JP 2000079353A JP 2001264203 A JP2001264203 A JP 2001264203A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
housing
seal
pressure sensor
inspection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000079353A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuhiro Yamashita
安洋 山下
Masahiro Makita
真宏 巻田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Priority to JP2000079353A priority Critical patent/JP2001264203A/ja
Priority to FR0103392A priority patent/FR2806475B1/fr
Priority to DE2001112530 priority patent/DE10112530B4/de
Publication of JP2001264203A publication Critical patent/JP2001264203A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0007Fluidic connecting means
    • G01L19/0038Fluidic connecting means being part of the housing
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0007Fluidic connecting means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧力検出用の検出部が配設されたハウジング
を、自動車の燃料噴射系の燃料パイプにネジ結合して取
り付けるにあたって、ハウジングにおける圧力導入口周
りの面を被検出部材に押圧してシールするようにした圧
力センサにおいて、信頼性が高く簡素なシール構造を得
る。 【解決手段】 ハウジング30の内部にて、圧力導入口
32を開口部とする中空穴としての圧力導入通路34
を、ハウジング30における燃料パイプ110とのシー
ル面33の押圧方向(ネジ結合の軸方向)に沿って延び
るように形成するとともに、シール面33を該押圧方向
と直交する平坦な面とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧力検出用の検出
部が配設されたハウジングを、被検出部材に取り付ける
際に、該ハウジングにおける圧力導入口周りの面を被検
出部材に押圧してシールするようにした圧力センサに関
し、特に、シール面と被検出部材とを直接接触させてシ
ールを行うものに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の圧力センサにおいて、共
に金属製であるハウジングと被検出部材(圧力媒体を包
含する容器や圧力媒体が流通する配管等)とのシール
は、メタルタッチシールにて行われていた。メタルタッ
チシールとは、金属同士を接触させ、ネジ結合等によっ
て軸力を与えることにより、接触面にシールに必要な面
圧以上の面圧を発生させ、シールを形成する技術であ
る。
【0003】圧力センサに採用されているメタルタッチ
シールには、一般に、図10に示すダイレクトシールタ
イプと、図11に示すガスケットタイプの2種類があ
る。図10及び図11に示す圧力センサは、自動車の燃
料噴射系(コモンレール等)における燃料パイプ110
を被検出部材とし、該パイプ110内の燃料圧を検出す
るものである。ここで、図10及び図11において、
(a)は全体構成を示す概略断面図、(b)は(a)中
のA部またはB部の拡大図である。
【0004】まず、図10において、ハウジングJ2の
外周面に形成されたネジ部J3が、燃料パイプ110に
挿入され、両者はネジ結合により固定されている。ハウ
ジングJ2の挿入端側内部には、センサチップ(検出
部)J4が収納されており、ハウジングJ2の挿入側端
面には、パイプ110内の圧力をチップJ4へ導入する
ための圧力導入口J5が形成されている。また、センサ
チップJ4からの信号を回路基板J6、コネクタピンJ
7へ伝達するためのリードピンJ8が、ハウジングJ2
のネジ部J3内の穴に設けられ、隙間をハーメチックシ
ールJ9により封入され固定されている。
【0005】また、図10(b)に示す様に、ハウジン
グJ2の挿入端側において、圧力導入口J5の周囲には
シール面J10が形成されている。そして、ネジ結合の
軸力により、このシール面J10が押圧されて、ネジ結
合の軸力方向(シール面の押圧方向)と直角に形成され
た面であるパイプ110の座面111に直接当接するこ
とによって、圧力導入口J5とパイプ110との間がシ
ールされ、圧力もれを防止するようになっている。
【0006】一方、図11に示す圧力センサは、燃料パ
イプ110に挿入され且つネジ部J11を介してネジ結
合されたハウジングJ12において、挿入端側の圧力導
入口J13から圧力導入穴J14を介して、挿入端とは
反対側端部に配設された検出部(ダイアフラムを有する
金属ステム)J15へ、圧力が導入されるようになって
いるものである。なお、図10と同一の部分には、同一
符号を付してある。
【0007】そして、図11(b)に示す様に、圧力導
入口J13の周囲に形成されたシール面J16は、ネジ
結合の軸力により押圧されて、リング状のガスケットJ
17を介してパイプ110の座面111に当接し、圧力
導入口J13とパイプ110との間がシールされ、圧力
もれを防止するようになっている。ここで、図に示す様
に、シール面J16にはテーパがついており(例えば、
テーパ角度θが3°程度)、ネジ結合の軸力方向と直角
に形成されたパイプ110の座面111に対し、平行で
はない。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上記ダイレクトシール
タイプ及びガスケットタイプについて、本発明者等が検
討を行ったところ、次のような問題が生じることがわか
った。まず、ダイレクトシールタイプでは、そのシール
部の面圧分布は、ハウジングJ2の中心部寄りの部分
(内側)が低く、ハウジングJ2の外周側の部分(外
側)が高い分布を示す(後述の図4参照)。このため、
シール部の内側では、シールに必要な面圧が確保しにく
い構造となっている。
【0009】一方、ガスケットタイプでは、シール面J
16にテーパがついているため、そのシール部の面圧分
布は、シール面の内側に面圧が集中する急峻な分布を示
し(後述の図5参照)、外側の部分では、必要なシール
面圧が得られない。この場合、シール面の内側に傷が付
くと、容易に圧力がリークしてしまう。また、図11
(b)に示す様に、ガスケットJ17を位置決めするた
めに、シール面J16よりも内側が凸形状となってお
り、ハウジングJ12の加工に手間がかかる等の問題も
ある。
【0010】そこで、本発明は上記問題に鑑み、圧力検
出用の検出部が配設されたハウジングを、被検出部材に
取り付けるにあたって、ハウジングにおける圧力導入口
周りの面を被検出部材に押圧してシールするようにした
圧力センサにおいて、信頼性が高く簡素なシール構造を
得ることを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明は、構成の簡素化
を図るため、別体のガスケットが不要なダイレクトシー
ルタイプについて鋭意検討を行った結果、得られたもの
である。即ち、請求項1に記載の発明においては、ハウ
ジング(30)の内部にて、圧力導入口(32)を開口
部とする中空穴(34)を、シール面(33)の押圧方
向に沿って延びるように形成するとともに、シール面
を、該押圧方向と直交する平坦な面としたことを特徴と
している。
【0012】本発明によれば、従来のハウジング内が中
実であるダイレクトシールタイプと比べて、シール面
(33)の形成された部分におけるハウジング(30)
の内部が中空形状となる。それにより、圧力センサを被
検出部材(110)にシールして取り付けた状態におい
て、中空穴(34)に圧力が印加され、この圧力は、シ
ール面が形成されている圧力導入口(32)をラッパ状
に広げようとする(図3参照)。
【0013】従って、シール面(33)の内側部分が、
より強く被検出部材(110)の座面(111)に押圧
されるため、従来の中実形状に比べて、シール部の内側
と外側との面圧差は小さく、シール部の内側にて必要面
圧が確保できる(図4参照)。
【0014】また、本発明者等の検討によれば、ダイレ
クトシールタイプにおいても、シール面に上記ガスケッ
トタイプと同様なテーパが付いていると、上記同様に、
シール面の内側に面圧が集中する急峻な分布を示し、外
側の部分では、必要なシール面圧が得られない(図5参
照)。
【0015】その点、本発明では、シール面(33)
を、シール面の押圧方向と直交する平坦な面としている
ため、該押圧方向と直角な被検出部材(110)の座面
(11)に当接したときに、シール部全体に渡って均一
な面圧分布が得られる。以上のことから、本発明によれ
ば、信頼性が高く簡素なシール構造を得ることができ
る。
【0016】ここで、ハウジング(30)の被検出部材
(110)への取り付けは、別体のフランジ部材等を用
いてハウジングを被検出部材に押圧固定するようにして
も良いが、請求項2の発明のように、ハウジング(3
0)の一端側の外周面にネジ部(31)を形成し、この
ネジ部を被検出部材(110)に挿入してネジ結合する
ようにすれば、より簡素な取り付け構成を実現すること
ができる。
【0017】また、請求項3の発明のように、中空穴
(34)を、圧力導入口(32)と検出部(10)とを
連通させるものとすれば、この中空穴が、圧力導入口
(32)からの圧力を検出部へ導くための圧力導入通路
として兼用されるようになるため、より構成の簡素化が
図れる。
【0018】さらに、一般に、圧力センサにおいては、
その製造工程において出荷前に、センサが所望の特性を
有しているかどうかを検査する。この検査工程では、ハ
ウジングの圧力導入口に検査用治具を取り付け、実機状
態を想定した圧力を導入する。このとき、検査用治具と
のシール面として、実機(被検出部材)とのシール面
(実機用シール面)を使用すると、その実機用シール面
が、傷付く可能性があり、好ましくない。
【0019】そのため、ハウジングにおいて、検査用シ
ール面を実機用シール面の近傍の別部位に形成し、検査
治具と検査用シール面とを接触させてシールするように
している。そのような例として、図12に、上記した従
来のガスケットタイプにおける検査治具120との結合
の様子を示す。この場合、検査用シール面J18とし
て、圧力導入口J13の内周面を利用している。
【0020】しかし、この場合、図12(b)((a)
中のC部拡大図)に示す様に、検査用シール面J18が
変形した場合に、その変形部J19が実機用シール面J
16まで影響し、実機用シール面J16のシール性を悪
化させる可能性がある。この様な問題は、上記請求項1
〜請求項3のダイレクトシールタイプにおいても、同様
に発生すると考えられる。
【0021】請求項4〜請求項7の発明は、更に、上記
検査用シール面の問題を解決するもので、その特徴とす
るところは、中空穴(34)の内面のうち、実機用シー
ル面即ち被検出部材とのシール面(33)に対してハウ
ジング(30)内に向かって段差(38)を有した位置
に、圧力センサの検査治具(120)とのシールを行う
ための検査用シール面(37)を形成したことにある。
【0022】それによれば、実機用シール面(33)と
検査用シール面(37)とが、上記段差を設けて離した
形とすることができるので、検査用シール面が変形して
も、実機用シール面に影響が及ばないようにすることが
できる。従って、検査工程でのシール、実機(被検出部
材)とのシールとも信頼性の高いシール構造を得ること
ができる。
【0023】ここで、請求項5の発明のように、検査用
シール面(37)を、被検出部材(110)に当接する
シール面(33)よりもハウジング(30)の内周側に
形成してものとすることができる。この場合特に、請求
項2の発明のように、ハウジングがその外周面にネジ部
(31)を有するものである場合、検査工程での締め付
け軸力が、実機組付時の締め付け軸力よりも小さくでき
るので、ネジ部への影響を少なくすることができる。
【0024】ここで、被検出部材(110)に当接する
シール面(33)と検査用シール面(37)との間の段
差(38)は、テーパ形状またはR形状とすることがで
きる(請求項6または請求項7の発明)。なお、上記各
手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体
的手段との対応関係を示す一例である。
【0025】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図に示す実施形態
について説明する。図1に本発明の実施形態に係る圧力
センサ100の全体概略断面構成を示し、図2に図1中
のD部拡大図を示す。圧力センサ100は、自動車の燃
料噴射系(例えばコモンレ−ル)における燃料パイプ
(被検出部材)110に取り付けられ、この燃料パイプ
110内の圧力媒体としての気体または気液混合気の圧
力を検出するものである。なお、このパイプ110は、
例えば、炭素鋼(S48C等)やクロム鋼等の金属より
なる。
【0026】10は中空円筒形状を成す金属ステムであ
り、ネジ部材20により、ハウジング30に固定され配
設されている。金属ステム10は、一端側に閉塞部とし
ての薄肉状のダイヤフラム11を有し、他端側に開口部
12を有する。また、金属ステム10の他端側(開口部
12側)には、一端側(ダイヤフラム11側)に比べて
外周径が大きい段付部13が形成されている。
【0027】金属ステム10のダイヤフラム11の外面
には、単結晶Si(シリコン)からなる図示しないセン
サチップが、低融点ガラス等により接合されている。こ
のセンサチップを備えた金属ステム10は、本発明でい
う検出部であり、開口部12から金属ステム10内部に
導入された圧力媒体の圧力によってダイヤフラム11が
変形したときに発生する歪みに基づいて、上記センサチ
ップから信号が出力されるようになっている。
【0028】金属ステム10の材料には、超高圧を受け
ることから高強度であること、及び、Siからなるセン
サチップをガラス等により接合するため低熱膨張係数で
あること、が求められ、具体的には、Fe、Ni、Co
またはFe、Niを主体とし、析出強化材料としてT
i、Nb、Alまたは、Ti、Nbが加えられた材料を
選定し、プレス、切削や冷間鍛造等により形成できる。
【0029】ハウジング30は、燃料パイプ110に形
成されたネジ穴に挿入され、直接ネジ結合により取り付
けられるもので、そのネジ穴挿入端側(金属ステムの配
設側と反対側)の外周面には、該取付用のネジ部31が
形成されている。また、ハウジング30のネジ穴挿入端
面には、開口部としての圧力導入口32が形成されてお
り、該ネジ穴挿入端面における圧力導入口32の周囲
は、環状のシール面33として構成されている。
【0030】このシール面33は、その押圧方向(図1
中、下方向)と直交する平坦な面、即ち、シール面33
の押圧方向と直角な燃料パイプ110の座面111と平
行な面である。そして、ハウジング30を燃料パイプ1
10にネジ結合し取り付けた状態において、シール面3
3はネジ結合の軸力によってネジ結合の軸方向へ押圧さ
れる。それにより、シール面33は、燃料パイプ110
の座面111に直接当接することにより、圧力導入口3
2と燃料パイプ110の座面111との間をシールして
いる。
【0031】また、ハウジング30の内部には、圧力導
入口32を開口部とする中空穴としての圧力導入通路3
4が、シール面33の押圧方向に沿って延びるように形
成されており、該通路34の終端は、金属ステム10の
開口部12と連通している。よって、この圧力導入通路
34は、ハウジング30が燃料パイプ110に取り付け
られた状態で燃料パイプ110内と連通し、金属ステム
10内へ圧力媒体を導入可能となっている。
【0032】ネジ部材(スクリュウ)20は、金属ステ
ム10の外周を覆う円筒形状を有し、その外周面に雄ネ
ジ部21が形成され、一方、ハウジング30における雄
ネジ部21と対応する部位には、雄ネジ部21に対応し
た形状の雌ネジ部35が形成されている。そして、これ
ら両ネジ部21、35のネジ結合により、金属ステム1
0において、ネジ部材20からの押圧力が段付部13に
印加されるため、金属ステム10はハウジング30に押
圧固定され、開口部12と圧力導入通路34との連通部
がシールされている。
【0033】ここで、ハウジング30は、耐食性と高強
度を合わせもつ炭素鋼(例えばS15C等)に耐食性を
上げるZnめっきを施したものや、耐食性を有するXM
7、SUS430、SUS304、SUS630等を採
用することができる。また、ネジ部材20は、炭素鋼等
を採用できる。そして、ハウジング30及びネジ部材2
0は、冷間鍛造や切削加工により形成できる。
【0034】40はセラミック基板であり、該基板40
には、上記センサチップの出力を増幅するアンプ(Am
p)ICチップ42及び特性調整ICチップ42が接着
剤にて固定され、これらICチップ42は、ワイヤボン
ディングにより形成されたアルミニウム(Al)の細線
44によって、セラミック基板40の導体(配線部)と
接続されている。また、コネクタターミナル50へ電気
的接続するためのピン46が銀ろうにてセラミック基板
40の上記導体と接合されている。
【0035】コネクタターミナル50は、ターミナル5
2が樹脂54にインサート成形により構成されたアッシ
ー(ASSY)である。ターミナル52とセラミック基
板40とはピン46にレーザ溶接により接合されてい
る。また、コネクタターミナル50は、接着剤等によ
り、コネクタケース60に固定保持され、ターミナル5
2は自動車のECU等へ配線部材を介して電気的に接続
可能となっている。
【0036】コネクタケース60は、コネクタターミナ
ル50の外形を成すもので、Oリング70を介してかし
められた(かしめ部36)ハウジング30と一体化して
パッケージを構成し、該パッケージ内部のセンサチッ
プ、各種IC、電気的接続部を湿気・機械的外力より保
護するものである。コネクタケース60の材質は、加水
分解性の高いPPS(ポリフェニレンサルファイド)等
を採用できる。
【0037】かかる構成を有する圧力センサ100の組
付方法について述べる。まず、ネジ部材20と金属ステ
ム10(上記センサチップを有する)とを組み付けた一
体品を、ハウジング30にネジ結合する。次に、ワイヤ
ボンディングされたチップ42及びピン46が搭載され
たセラミック基板40を、接着剤にてネジ部材20に接
着する。このとき、上記センサチップとセラミック基板
40の導体(配線部)とをワイヤボンディング等により
電気的に接続する。
【0038】次に、コネクタターミナル50とピン46
とをレーザ溶接(YAGレーザ溶接等)にて接合する。
次に、Oリング70を介して、コネクタケース60をハ
ウジング30に組み付け、ハウジング30の組付側の端
部をかしめることにより、コネクタケース60とハウジ
ング30とを固定する。こうして、図1に示す圧力セン
サ100が完成する。
【0039】かかる圧力センサ100は、ハウジング3
0のネジ部31を燃料パイプ110成されたネジ穴にネ
ジ結合して取り付けることによって、該燃料パイプ11
0に接続固定される。そして、燃料パイプ110内の燃
料圧(圧力媒体)が、圧力導入口32から圧力導入通路
34を通じて、金属ステム10の内部(中空部)へ導入
されたときに、その圧力によってダイヤフラム11が変
形し、この変形を上記センサチップにより電気信号に変
換し、この信号をセンサの処理回路部を構成するセラミ
ック基板40等にて処理し、圧力検出を行う。そして、
検出された圧力(燃料圧)に基づいて、上記ECU等に
より燃料噴射制御がなされるのである。
【0040】ところで、上記圧力センサ100において
は、ハウジング30の内部にて、圧力導入口32を開口
部とする圧力導入通路(中空穴)34を、シール面33
の押圧方向に沿って延びるように形成するとともに、シ
ール面33を、該押圧方向と直交する平坦な面としたこ
とを主たる特徴としている。
【0041】それにより、図3に示す様に、圧力センサ
100を燃料パイプ110にシールして取り付けた状態
において、中空穴34内に圧力が印加され、この圧力
は、図中の白抜き矢印に示す様に、シール面33が形成
されている圧力導入口32をラッパ状(図中の破線状
態)に広げようとする。従って、シール面33の内側部
分が、より強くパイプ110の座面111に押圧される
ため、従来の中実形状に比べて、シール部の内側と外側
との面圧差は小さく、シール部の内側にて必要面圧が確
保できる。
【0042】本センサ100におけるシール部の面圧分
布を図4に示す。これは、上記図3に示す寸法におい
て、圧力導入通路(中空穴)34の内径S1をφ3m
m、環状のシール面33の内径S2をφ6mm、外径S
3をφ8mm(従って、シール面33の幅S4は1m
m)とした場合に、実機での使用状態において、検出圧
力のレベルである約200MPaの圧力を圧力導入通路
34内へ導入したときの、シール面33の面圧分布(シ
ール幅S4方向の分布)をFEM解析により、求めたも
のである。
【0043】また、図4には、比較例として、従来のハ
ウジング内が中実であるダイレクトシールタイプの面圧
分布を同条件にて求めたものも、示してある。なお、図
3において、シール幅S4が0mmの部分は、最も内側
のシール部でありシール幅S4が1mmの部分は、最も
外側のシール部である。図4からわかるように、本実施
形態によれば、従来の中実形状に比べて、シール部の内
側と外側との面圧差は小さく、シール部の内側にて必要
面圧(約130MPa程度)が確保できている。一方、
比較例では、シール部の内側にて必要面圧を下回ってい
る。
【0044】また、本センサ100によれば、シール面
33を、シール面33の押圧方向(ネジ結合の軸方向)
と直交する平坦な面としているため、燃料パイプ110
に形成された該押圧方向と直角な座面111に直接当接
したときに、シール部全体に渡って均一な面圧分布が得
られる。この効果について具体的に図5を参照して示
す。
【0045】図5に示す様に、本センサ100におい
て、シール面33に図中のθに表されるテーパ角度を付
けたものを比較例として考える。つまり、押圧方向と直
交する平坦な面である本実施形態のシール面33(θ=
0°)から、テーパ角度θ(θ=2°、θ=4°、θ=
6°)を持ったものを比較例とし、上記図4と同様に、
FEM解析にて面圧分布を求めた。
【0046】その結果、図5に示すグラフからわかるよ
うに、ダイレクトシールタイプにおいても、シール面に
ガスケットタイプと同様なテーパが付いていると、シー
ル面の内側に面圧が集中する急峻な分布を示し、外側の
部分では、必要なシール面圧が得られない。その点、θ
=0°である本実施形態では、僅かでもテーパが付いた
比較例に比べて面圧分布が均一であり、シール部全体に
渡って必要面圧を確保できている。
【0047】従って、本実施形態では、シール部の一部
に傷が付いても、シール部の他の部位でシールが確保さ
れるため、シール部の信頼性が従来よりも高い。また、
本センサ100は、ダイレクトシールタイプであるた
め、ガスケットタイプのように、別体のガスケットを不
要とでき、ガスケットを位置決めするためのハウジング
加工等を行う必要がない。よって、本センサ100によ
れば、信頼性が高く簡素なシール構造を得ることができ
る。
【0048】また、本実施形態における好ましい形態と
して、図2に示す様に、圧力導入通路(中空穴)34の
内面のうち、燃料パイプ110とのシール面33(以
下、実機用シール面33という)に対してハウジング3
0内に向かってテーパ状の段差38を有した位置に、圧
力センサの検査治具とのシールを行うための環状の検査
用シール面37が形成されている。それにより、出荷前
等の検査(センサ特性の検査)工程を行うとき、「手
段」の欄にて述べたように 検査用シール面37の変形
が実機用シール面33に影響しないようになっている。
【0049】図6に検査用シール面37による効果を具
体的に示す。図6(a)に示す様に、ハウジング30と
検査治具120とがネジ結合した状態では、検査治具1
20は検査用シール面37に直接当接し、実機用シール
面33とは接触していない。そして、検査治具120に
形成された穴121から、実機状態を想定した圧力を導
入し、センサ特性を検査する。なお、この検査治具12
0は、例えば、上記燃料パイプ110と同様の材料(炭
素鋼(S48C等)やクロム鋼等の金属等)よりなる。
【0050】このとき、もし、検査治具120によっ
て、図6(b)に示す様に、検査用シール面37が変形
して実機用シール面33側へはみ出しても、両シール面
33、37の間の段差38によって、はみ出し部K1は
吸収される。そのため、実機用シール面33には、検査
用シール面37の変形の影響が及ばず、実機とのシール
性は悪化することがない。
【0051】また、この検査用シール面37は、実機用
シール面33の内周側に形成されているため、検査工程
での締め付け軸力が、実機組付時の締め付け軸力よりも
小さくでき、ハウジング30のネジ部31への影響を少
なくすることができる。即ち、検査工程でのシール性、
実機とのシール性ともに高い信頼性を得ることができ
る。
【0052】また、検査用シール面37の変形が実機用
シール面33に影響を及ぼさないと言うことは、検査治
具120をハウジング30よりも硬い材料とすることを
可能にする。それにより、検査治具120側が変形しに
くくなり、繰り返し使用可能となるため、検査治具12
0の交換が少なくて済み、コスト的にも有利である。
【0053】このような検査用シール面37周囲の構成
の一寸法例を示すと、図7に示す各寸法において、検査
用シール面37のシール外径S5をφ4.5mm、シー
ル内径S6(即ち、圧力導入通路34の内径S1に相
当)をφ3mm、実機用シール面33の内径S2をφ6
mm、外径S3をφ8mmとし、段差38の高さS7を
0.2mmとすることができる。ここで、段差38の高
さS7は、検査用シール面37が変形したときに、実機
用シール面33の高さよりもはみ出さない程度であれば
良い。
【0054】なお、両シール面33、37の間の段差3
8は、上記各図に示したテーパ形状に限らず、図8
(a)に示す様な直角形状、図8(b)に示す様なR形
状とすることができる。さらには、上記各例における検
査用シール面37は、実機用シール面33に対して傾斜
した面であるが、図9に示す様に、実機用シール面33
と平行な面としても良い。
【0055】また、本実施形態の中空穴は、圧力導入口
32と検出部10とを連通する圧力導入通路34とした
が、この中空穴は圧力導入口32を開口部として、シー
ル面33の押圧方向に沿って延びるように形成されてい
ればよく、検出部10と直接連通していなくとも良い。
例えば、中空穴の途中から、分岐する穴をハウジング3
0内に形成し、この分岐穴を検出部10に連通させるよ
うにしても良い。
【0056】また、検出部は、ダイヤフラムを備えた金
属ステム10以外にも、半導体よりなるダイヤフラム式
のチップや、圧電素子、歪みゲージ等、圧力に基づく信
号を出力できるものならば、何でも良い。また、ハウジ
ング30の燃料パイプ110への固定は、シール面33
を押圧できる形態であれば、ネジ結合以外のものでも良
い。例えば、別体のフランジ部材等を用いてハウジング
30を被検出部材に押圧固定するようにしても良い。
【0057】また、ハウジング30は金属以外のセラミ
ック等の材料で構成されたものでも良い。また、本圧力
センサ100は、燃料圧検出以外にも、例えば、自動車
の吸気圧及び排気圧の検出や、その他液体若しくは気体
燃料の配管内圧力の検出等、幅広く適用することが可能
である。
【0058】以上、本実施形態では、ハウジング30
と、ハウジング30に配設された検出部10と、ハウジ
ングに形成された圧力導入口32と、ハウジング30に
おける圧力導入口32の周囲に形成されたシール面33
とを備え、ハウジング30を被検出部材110に取り付
けたときに、シール面33が押圧され、被検出部材11
0に形成された該押圧方向と直角な座面111に直接当
接することにより、圧力導入口32と被取付部材110
との間をシールするようになっている圧力センサにおい
て、ハウジング30の内部に、圧力導入口32と検出部
10とを連通する中空穴34を、シール面33の押圧方
向に沿って延びるように形成するとともに、シール面3
3を押圧方向と直交する平坦な面としたことを要部とす
るものであり、他の部分は適宜変更しても良いことは、
勿論である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る圧力センサの全体断面
構成図である。
【図2】図1中のD部拡大図である。
【図3】上記実施形態における中空穴の作用を示す説明
図である。
【図4】中空穴のシール部の面圧分布への効果を示す図
である。
【図5】シール面のテーパ角度とシール部の面圧分布と
の関係を示す図である。
【図6】上記実施形態における検査用シール面の作用効
果を示す説明図である。
【図7】検査用シール面の周囲の各部寸法図である。
【図8】検査用シール面と実機用シール面との段差形状
の変形例を示す図である。
【図9】検査用シール面形状の変形例を示す図である。
【図10】従来のダイレクトシールタイプの圧力センサ
を示す概略断面図である。
【図11】従来のガスケットタイプの圧力センサを示す
概略断面図である。
【図12】従来のガスケットタイプの検査治具との結合
の様子を示す説明図である。
【符号の説明】
10…金属ステム、30…ハウジング、31…ネジ部、
32…圧力導入口、33…シール面(実機用シール
面)、34…圧力導入通路、37…検査用シール面、3
8…段差、110…燃料パイプ、120…検査治具。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2F055 AA21 BB16 CC02 DD01 DD05 EE13 FF49 GG25 HH01 HH03 HH05 4M112 AA01 BA01 CA15 DA18 DA20 EA03 GA01

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被検出部材(110)に取り付け可能な
    ハウジング(30)と、 前記ハウジングに配設され、圧力検出を行う検出部(1
    0)と、 前記ハウジングに形成され、前記被検出部材からの圧力
    を前記検出部へ導入するための圧力導入口(32)と、 前記ハウジングにおける前記圧力導入口の周囲に形成さ
    れたシール面(33)とを備え、 前記ハウジングを前記被検出部材に取り付けたときに、
    前記シール面が押圧されて前記被検出部材に直接当接す
    ることにより、前記圧力導入口と前記被検出部材との間
    をシールするようにした圧力センサにおいて、 前記ハウジングの内部には、前記圧力導入口を開口部と
    する中空穴(34)が、前記シール面の前記押圧方向に
    沿って延びるように形成されており、 前記シール面は、前記押圧方向と直交する平坦な面であ
    ることを特徴とする圧力センサ。
  2. 【請求項2】 前記ハウジング(30)は、その一端側
    の外周面にネジ部(31)を有し、このネジ部を前記被
    検出部材(110)に挿入してネジ結合することによ
    り、前記被検出部材に取り付け可能となっていることを
    特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
  3. 【請求項3】 前記中空穴(34)は、前記圧力導入口
    (32)と前記検出部(10)とを連通するものである
    ことを特徴とする請求項1または2に記載の圧力セン
    サ。
  4. 【請求項4】 前記中空穴(34)の内面のうち、前記
    被検出部材(110)に当接する前記シール面(33)
    に対して前記ハウジング(30)内に向かって段差(3
    8)を有した位置に、圧力センサの検査治具(120)
    とのシールを行うための検査用シール面(37)が形成
    されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれ
    か1つに記載の圧力センサ。
  5. 【請求項5】 前記検査用シール面(37)は、前記被
    検出部材(110)に当接する前記シール面(33)よ
    りも前記ハウジング(30)の内周側に形成されている
    ことを特徴とする請求項4に記載の圧力センサ。
  6. 【請求項6】 前記被検出部材(110)に当接する前
    記シール面(33)と前記検査用シール面(37)との
    間の段差(38)は、テーパ形状であることを特徴とす
    る請求項4または5に記載の圧力センサ。
  7. 【請求項7】 前記被検出部材(110)に当接する前
    記シール面(33)と前記検査用シール面(37)との
    間の段差(38)は、R形状であることを特徴とする請
    求項4または5に記載の圧力センサ。
JP2000079353A 2000-03-16 2000-03-16 圧力センサ Pending JP2001264203A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000079353A JP2001264203A (ja) 2000-03-16 2000-03-16 圧力センサ
FR0103392A FR2806475B1 (fr) 2000-03-16 2001-03-13 Detecteur de pression du type a etancheite par contact direct avec l'element a detecter
DE2001112530 DE10112530B4 (de) 2000-03-16 2001-03-15 Drucksensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000079353A JP2001264203A (ja) 2000-03-16 2000-03-16 圧力センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001264203A true JP2001264203A (ja) 2001-09-26

Family

ID=18596611

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000079353A Pending JP2001264203A (ja) 2000-03-16 2000-03-16 圧力センサ

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2001264203A (ja)
DE (1) DE10112530B4 (ja)
FR (1) FR2806475B1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005308666A (ja) * 2004-04-26 2005-11-04 Hitachi Ltd 圧力検出装置の検出部構造
JP2017089388A (ja) * 2015-11-02 2017-05-25 トヨタ自動車株式会社 燃料配管構造

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10244760A1 (de) * 2002-02-26 2003-10-09 Continental Teves Ag & Co Ohg Drucksensorbaugruppe
DE10243538B4 (de) * 2002-09-16 2006-07-20 EBM Brosa Messgeräte GmbH & Co. KG Hochdruckaufnehmer
DE102009050911B4 (de) * 2009-10-26 2014-06-12 Borgwarner Beru Systems Gmbh Zylinderdrucksensor
DE202014104493U1 (de) * 2014-09-19 2015-12-22 Hartmut Flaig Dichtflächenkorrekturvorrichtung sowie System

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4939497A (en) * 1989-04-18 1990-07-03 Nippon Soken, Inc. Pressure sensor
JP3697862B2 (ja) * 1997-11-06 2005-09-21 株式会社デンソー 圧力検出装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005308666A (ja) * 2004-04-26 2005-11-04 Hitachi Ltd 圧力検出装置の検出部構造
JP4564775B2 (ja) * 2004-04-26 2010-10-20 日立オートモティブシステムズ株式会社 液体及び気体用圧力検出装置
JP2017089388A (ja) * 2015-11-02 2017-05-25 トヨタ自動車株式会社 燃料配管構造

Also Published As

Publication number Publication date
DE10112530B4 (de) 2009-04-16
FR2806475A1 (fr) 2001-09-21
FR2806475B1 (fr) 2004-04-09
DE10112530A1 (de) 2001-09-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7114396B2 (en) Pressure sensor
US7478560B2 (en) Sensor apparatus responsive to pressure and temperature within a vessel
KR100707923B1 (ko) 센서칩을 구비한 압력센서 및 공통 스템에 설치된신호처리회로
JP2003315193A (ja) 圧力センサ
JP3502807B2 (ja) 圧力センサ
US6578426B2 (en) Pressure sensor having semiconductor sensor chip
US20060162141A1 (en) Method for manufacturing pressure detector
EP1118849A1 (en) High-pressure sensor with one or two threaded stems bearing multi-pad sensor chips
JP6480375B2 (ja) 圧力センサ
JP2001264203A (ja) 圧力センサ
JP4281221B2 (ja) 圧力センサ
KR20160086337A (ko) 측정 챔버 내 유체 매체의 압력을 검출하기 위한 압력 센서 장치
JP3994887B2 (ja) 圧力センサ
JP2002013994A (ja) 圧力センサ
JP4407038B2 (ja) 圧力センサ
JP3603772B2 (ja) 圧力センサ
JP4389375B2 (ja) 圧力センサ
JP2008185334A (ja) 圧力センサ
JP2782572B2 (ja) 圧力センサとその製造方法
JP2005249512A (ja) 圧力検出装置
JP4876895B2 (ja) 圧力センサ
JP2006208087A (ja) 圧力センサ
JP2010032239A (ja) 圧力センサ
JPH11108787A (ja) 圧力センサ
JP2000214041A (ja) 圧力センサ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060428

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080821

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080826

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080908

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090224

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20091020