JP4529093B2 - 流体圧シリンダのピストン位置検出装置 - Google Patents

Description

本発明は、シリンダチューブ内を流体圧の作用により往復移動するピストンの動作位置を、該ピストンに取り付けたマグネットと上記シリンダチューブに取り付けた磁気感応式の位置センサとで検出するように構成した、流体圧シリンダのピストン位置検出装置に関するものである。

この種のピストン位置検出装置は、例えば特許文献１に記載されているように従来より公知である。この特許文献１に記載された技術は、シリンダチューブの外面にセンサ支持駒部材をバンドで固定し、このセンサ支持駒部材に位置センサを止め螺子で取り付けたもので、ピストンに取り付けたマグネットの磁気を上記位置センサで感知することによって該ピストンの動作位置を検出するものである。

ところが、上記従来のピストン位置検出装置は、位置センサが外部に露出した状態に取り付けられているため、流体圧シリンダを例えば自動車の車体等を溶接する自動溶接機に使用する場合には、溶接により飛散するスパッタによって位置センサが汚染されたり、止め螺子の頭に設けられている工具掛け用の溝あるいは穴がスパッタで塞がれて該止め螺子を回すことが困難となり、位置センサの取り外しや位置調節等を行いにくくなるなどの問題が発生し易い。また、位置センサに他の機器類が接触して破損させることもある。

上記位置センサをカバーで覆うようにすれば上述した問題は解消されるが、位置センサを取り付けるための機構の他に該カバーを取り付けるための機構を更に設けなければならないため、位置検出装置の構造が複雑化する。しかも、位置センサの着脱や位置調節等を行う際には該カバーが邪魔になるため、そのような作業を行う際には該カバーを取り外しておく必要があり、しかも、該カバーの着脱作業と位置センサの着脱作業とを別々に行わなければならないため、手数がかかってそれらの作業も非常に面倒である。
特開平８−１１０２０２号公報

そこで本発明の目的は、位置センサ及び止め螺子を覆う保護カバーによってこれらの位置センサ及び止め螺子を溶接作業時のスパッタから保護することができると共に、異物との接触からも保護することもでき、しかも、該保護カバーの取り付けを位置センサやセンサ取付金具等との取り付けと関連させて簡単に行うことができる、有効かつ合理的な設計構造を備えたピストン位置検出装置を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明に係る流体圧シリンダのピストン位置検出装置は、シリンダチューブの外面に上記位置センサを取り付けるためのセンサ取付金具と、該センサ取付金具又は上記位置センサを取付対象に止着するための止め螺子と、該止め螺子を螺着させるためのナット板と、少なくとも止め螺子の頭部と位置センサの一部とを覆う保護カバーとを有し、上記ナット板を保護カバーの一部で形成することにより、上記センサ取付金具又は位置センサと該保護カバーとを、上記止め螺子で取付対象に対して共通に取付可能とすると共に、上記位置センサの位置調節時に、上記センサ取付金具又は位置センサと保護カバーとを、上記止め螺子をナット板から外れない程度に緩めた状態で上記取付対象に対してシリンダ軸線方向に一緒に変位可能としたことを特徴とするものである。

本発明の好ましい構成態様においては、上記センサ取付金具が位置センサと別体に形成されていて、このセンサ取付金具を挟んで位置センサとナット板とが配設されており、また、上記止め螺子は、位置センサをセンサ取付金具に取り付けるためのものであって、この止め螺子を上記位置センサ及びセンサ取付金具を通して上記ナット板に螺着することにより、該位置センサと上記保護カバーとが、上記センサ取付金具に対してこの止め螺子で共通に取り付けられている。

また、本発明において、上記保護カバーは、位置センサの上面を覆う上面覆い部と、位置センサの先端面を覆う前面覆い部と、位置センサの側面を覆う側面覆い部と、上記センサ取付金具の側面を覆う上記ナット板とを有していて、このナット板と上記前面覆い部との間に、上記センサ取付金具が変位可能に介在する間隙を有すると共に、上記側面覆い部に、上記止め螺子を回転させる工具を挿入するための操作穴を有することが望ましい。
この場合、上記保護カバーが、上記側面覆い部の操作穴を開閉する穴カバーを有し、この穴カバーが、上記操作穴を覆う穴閉鎖位置と、該操作穴を露出させる穴開放位置とに変位自在であることが望ましい。
また、本発明において上記センサ取付金具は、上記シリンダチューブの外面にバンドで固定されていても良い。

本発明の他の構成態様においては、上記シリンダチューブの外面に、溝内部幅より溝口部幅の狭い金具取付溝がシリンダ軸線方向に形成され、この金具取付溝内に上記ナット板が配設されると共に、該金具取付溝外の上記ナット板と相対する位置に上記センサ取付金具が配設され、また、上記止め螺子は、該センサ取付金具を上記シリンダチューブに取り付けるためのものであって、該止め螺子が、上記センサ取付金具を通して上記ナット板に螺着されることにより、該センサ取付金具と上記保護カバーとが、上記シリンダチューブに対して上記センサ取付金具用の止め螺子で共通に取り付けられている。

本発明によれば、位置センサ及び止め螺子を覆う保護カバーを設けたことにより、これらの位置センサ及び止め螺子を溶接作業時のスパッタから保護したり、異物との接触から保護することができる。また、該保護カバーに位置センサ用又はセンサ取付金具用の止め螺子を螺着するナットとしての機能を兼備させたことにより、該保護カバーの取り付けをこれらの位置センサやセンサ取付金具等の取り付けと関連させて共通の止め螺子によって簡単に行うことができる。しかも、上記位置センサの位置調節時に、上記保護カバーを、この位置センサを覆ったまま該位置センサと一緒にシリンダ軸線方向に変位させることができるため、この保護カバーを取り外しておく必要がないという利点もある。

図１−図５には、本発明に係るピストン位置検出装置が設けられた流体圧シリンダの第１実施形態が示されている。この流体圧シリンダ１０は、アルミニウムやアルミニウム合金などの非磁性素材からなる円筒形のシリンダチューブ１１を有している。このシリンダチューブ１１の内部には円形のシリンダ室１２が形成され、このシリンダ室１２内に、円形のピストン１３が、シリンダの中心軸線であるシリンダ軸線Ｌに沿って往復移動自在に収容されている。このピストン１３の外周には、位置検出の際の被検体となる環状のマグネット１４が取り付けられている。

上記シリンダチューブ１１のヘッド側（図１の右側）の端部には、図示しない封止ブロックが嵌め着けられ、この封止ブロックによって上記シリンダ室１２の一端が塞がれている。また、上記シリンダチューブ１１のロッド側（図１の左側）の端部には、ロッドカバー１６が取り付けられ、このロッドカバー１６によって上記シリンダ室１２の他端が塞がれている。そして、これらの封止ブロック及びロッドカバー１６と、上記ピストン１３との間には、それぞれ圧力室が区画、形成され、これらの圧力室に通じるポートＰ１，Ｐ２が、シリンダチューブ１１のヘッド側端とロッドカバー１６とに形成されており、これらのポートＰ１，Ｐ２を通じて上記両圧力室に圧縮エア等の圧力流体を交互に給排することにより、上記ピストン１３がシリンダ軸線Ｌに沿って往復駆動されるように構成されている。
上記ピストン１３には、上記シリンダ軸線Ｌに沿って延びるロッド１７の基端部が連結され、このロッド１７の先端部は、上記ロッドカバー１６を摺動自在に貫通してシリンダチューブ１１の外部に延出している。

上記シリンダチューブ１１の外面には、上記マグネット１４と共にピストン位置検出装置を構成するセンサ装置２０が取り付けられている。このセンサ装置２０は、ピストン１３の前進ストローク端の位置と後退ストローク端の位置とを検出するため、シリンダ軸線Ｌ方向の異なる位置に２組設けられているが、それらの構成は同じであって、その構成は以下のようなものである。
即ち、上記センサ装置２０は、図４及び図５からも分かるように、上記マグネット１４の磁気に感応してピストン１３の位置を検出する位置センサ２１と、この位置センサ２１を取り付けるためのセンサ取付金具２２と、このセンサ取付金具２２を取付対象である上記シリンダチューブ１１に固定するためのバンド２３と、上記位置センサ２１を覆って異物との衝突や溶接作業時のスパッタの付着などから保護する保護カバー２４と、上記位置センサ２１と保護カバー２４とを上記センサ取付金具２２に取り付けるための２つの止め螺子２５とで構成されている。

上記位置センサ２１は、やや横に細長い矩形のブロック形をしたもので、その上端部寄りでしかも長手方向の両端部に近い位置には、上記止め螺子２５を挿通させるための２つの取付孔２８が設けられている。また、該位置センサ２１の長手方向の一端面からはリード線２９が延出し、該リード線２９の先端には、他の制御機器等に接続するためのコネクタ２９ａが取り付けられている。
上記止め螺子２５は、頭部に六角穴２５ａを備えたもので、この六角穴２５ａに六角レンチ等の工具を嵌合、係止させて回転操作するものである。

上記センサ取付金具２２は、アルミニウムやアルミニウム合金などの金属プレートや合成樹脂等によって断面Ｌ字形に形成されたもので、上記シリンダチューブ１１の外面に当接してシリンダ軸線Ｌ方向に延びる細長い平板状のベース部２２ｂと、このベース部２２ｂの短手方向の一端縁からシリンダチューブ１１の外方に向けて立ち上がり、上記シリンダ軸線Ｌ方向に細長く延びる平板状のセンサ取付部２２ａとを有している。このセンサ取付部２２ａの上端部寄りの位置には、上記位置センサ２１の取付孔２８に対応する２つの螺子挿通孔３０が、シリンダ軸線Ｌ方向に細長くかつ真っ直ぐに形成されている。これらの螺子挿通孔３０の上記ベース部２２ｂからの高さは互いに同じである。
なお、上記ベース部２２ｂは、シリンダチューブ１１の外周面に沿って円弧状に湾曲していることが望ましい。

また、上記センサ取付金具２２の長さ方向の中間位置には、上記ベース部２２ｂとセンサ取付部２２ａとが連なる位置に、上記バンド２３が挿通するバンド通し穴３１が形成されると共に、上記ベース部２２ｂの端縁に、このバンド２３が係合する切欠３２が形成されている。そして、上記バンド通し穴３１に挿通したバンド２３をシリンダチューブ１１の外周に巻き付け、該バンド２３の両端を締付部材３３で緊縮させることにより、該バンド２３とシリンダチューブ１１の外面との間に上記ベース部２２ｂが挟持され、それによってこのセンサ取付金具２２がシリンダチューブ１１に固定されている。
上記バンド２３は、可撓性を有する金属製の帯板あるいは合成樹脂製の帯板で形成されたものである。

上記保護カバー２４は、アルミニウムやアルミニウム合金などの金属や合成樹脂といった硬質素材によって伏溝形の断面形状を有するように形成されたもので、位置センサ２１の上面を覆う上面覆い部２４ａと、位置センサ２１の先端面を覆う前面覆い部２４ｂと、位置センサ２１の側面を覆う第１の側面覆い部２４ｃと、上記センサ取付金具２２におけるセンサ取付部２２ａの側面をその背面側から覆う第２の側面覆い部２４ｄとを有しており、該保護カバー２４の上記前面覆い部２４ｂと反対側の端面は、上記位置センサ２１のリード線２９を導出させるために開放されている。

上記第２の側面覆い部２４ｄは、上記位置センサ２１と保護カバー２４とを２つの止め螺子２５で上記センサ取付金具２２に取り付ける際に、これらの止め螺子２５を螺着するためのナット板を形成するものであり、このため、この第２の側面覆い部２４ｄ即ちナット板２４ｄには、２つの螺子孔３４が形成されている。
なお、この第１実施形態に関する以下の説明においては、上記「第１の側面覆い部」を単に「側面覆い部」と表示し、「第２の側面覆い部」は「ナット板」と表示するものとする。

上記前面覆い部２４ｂとナット板２４ｄとの間には、上記センサ取付金具２２のセンサ取付部２２ａが介在する間隙Ｇが形成され、この間隙Ｇ内を上記センサ取付部２２ａが、保護カバー２４に対してシリンダ軸線Ｌ方向に相対的に変位できるようになっている。
また、上記側面覆い部２４ｃの上端部寄りの位置には、上記止め螺子２５を回転操作する際に工具を挿入するための２つの操作穴３５が設けられ、上面覆い部２４ａには、位置センサ２１の感度位置を表示する感度位置マーク３６が設けられている。上記操作穴３５の穴径は、上記止め螺子２５の頭部の直径よりもやや大径である。
上記保護カバー２４は、その内部に位置センサ２１が完全に収まるような大きさに形成されており、また、上記センサ取付金具２２のシリンダ軸線Ｌ方向の長さは、該保護カバー２４より長く形成されている。

上記保護カバー２４はまた、上記側面覆い部２４ｃの操作穴３５を覆う穴カバー３７を有している。この穴カバー３７は、上記側面覆い部２４ｃの上半部外面に沿って横向きに延びる細長い板状をした部材である。この穴カバー３７の一端には支持部３７ａが形成され、この支持部３７ａが、上記側面覆い部２４ｃの端部に形成された同様の支持部２４ｅに枢軸（リベット）３８で回動自在に連結されており、この枢軸３８を中心に該穴カバー３７を回動させることで、該穴カバー３７が、上記操作穴３５を露出させる穴開放位置（図２の鎖線位置）と、該操作穴３５を覆う穴閉鎖位置（図２の実線位置）とに変位するように構成されている。また、該穴カバー３７が上記穴閉鎖位置にあるときその位置を安定的に保持できるように、該穴カバー３７の先端部上縁にはストッパ３７ｂが形成され、このストッパ３７ｂが保護カバー２４の上面に係止するようになっている。

上記位置センサ２１と保護カバー２４とは、シリンダチューブ１１に取り付けられた上記センサ取付金具２２に対して次のように取り付けられている。
即ち、上記保護カバー２４の内部に位置センサ２１を収容した状態で、この保護カバー２４を、前面覆い部２４ｂとナット板２４ｄとの間の間隙Ｇ内にセンサ取付部２２ａが嵌合するように上記センサ取付金具２２に装着する。このとき上記位置センサ２１は、上記センサ取付部２２ａに対してナット板２４ｄと反対側の位置を占めることになる。即ち、上記センサ取付部２２ａの一方の側面側に位置センサ２１が位置し、他方の側面側にナット板２４ｄが位置することになる。
あるいは、上記保護カバー２４をセンサ取付金具２２に装着したあと、この保護カバー２４の内部に、その開放端側から、上記位置センサ２１を上記センサ取付部２２ａの一方の側面に沿って挿入しても良い。

次に、上記穴カバー３７を図２に鎖線で示す穴開放位置まで回動させ、保護カバー２４の２つの操作穴３５から２つの止め螺子２５を、位置センサ２１の取付孔２８及びセンサ取付金具２２の螺子挿通孔３０を貫通させて先端がナット板２４ｄの２つの螺子孔３４に達するように挿入したあと、上記操作穴３５に六角レンチ等の工具を差し込んでこれらの止め螺子２５を回転させ、上記螺子孔３４に螺着させる。そうすると、上記位置センサ２１とナット板２４ｄとの間にセンサ取付部２２ａが挟持され、それによってこれらの位置センサ２１とナット板２４ｄとセンサ取付部２２ａとが相互に固定されるため、該位置センサ２１と保護カバー２４とが、共通の止め螺子２５によって上記センサ取付金具２２に同時に取り付けられることになる。

この場合、始めは上記止め螺子２５を螺子孔３４に緩くねじ込んでおき、その状態で該位置センサ２１と保護カバー２４とをセンサ取付金具２２に沿って移動させることにより位置設定を行い、そのあと上記止め螺子２５を強く締め込んでその位置に固定させるようにするのが良い。なお、上記位置センサ２１と保護カバー２４とを変位させ得る範囲は、上記センサ取付金具２２に形成された螺子挿通孔３０の長さの範囲内である。
上記位置センサ２１及び保護カバー２４の取り付けが完了したところで、上記穴カバー３７を図２に実線で示す穴閉鎖位置に戻しておく。

上記位置センサ２１をセンサ取付金具２２に一旦取り付けたあとで該位置センサ２１の位置調節を行う場合は、上記穴カバー３７を穴開放位置に回動させ、操作穴３５から工具を差し込んで上記止め螺子２５をナット板２４ｄの螺子孔３４から外れない程度に緩め、その状態で該位置センサ２１と保護カバー２４とをセンサ取付金具２２に対してシリンダ軸線Ｌ方向に変位させ、必要な位置に停止させたあと、上記止め螺子２５を再び締め込むことによりその位置に固定する。

上記センサ装置２０はこのように構成されているから、上記位置センサ２１及び止め螺子２５が、溶接作業時に飛散するスパッタの付着や異物との接触から保護され、位置センサ２１の汚染や破損が防止されるだけでなく、止め螺子２５の頭部の六角穴２５ａがスパッタで塞がれて回転操作できなくなるなどといった不都合が回避される。
また、上記保護カバー２４に止め螺子２５を螺着するナットとしての機能を兼備させたことにより、センサ取付金具２２に対する位置センサ２１の取り付けと保護カバー２４の取り付けとを、共通の止め螺子２５で行うことが可能となり、該保護カバー２４の着脱を位置センサ２１の着脱と関連させて簡単かつ合理的に行うことができる。しかも、上記位置センサ２１の位置調節時に、上記保護カバー２４を、この位置センサ２１を覆ったまま該位置センサ２１と一緒にシリンダ軸線Ｌ方向に変位させることができるため、この保護カバー２４を取り外しておく必要がないという利点もある。

上記実施形態においては、上記穴カバー３７が、枢軸３８を支点として穴閉鎖位置と穴開放位置とに揺動自在とされているが、この穴カバーは、上記側面覆い部２４ｃに沿って上下方向あるいは左右方向（横方向）にスライドさせて上記操作穴を開閉するように構成することもできる。
また、図示した例では、上記センサ取付金具２２がシリンダチューブ１１にバンド２３で固定されているが、このセンサ取付金具２２は、その他の適宜方法、例えば螺子等でシリンダチューブ１１に取り付けられていても良い。

図６−図８には、本発明に係るピストン位置検出装置が設けられた流体圧シリンダの第２実施形態が示されている。この流体圧シリンダ１０Ａは、実質的に矩形断面をなすシリンダチューブ１１を有していて、このシリンダチューブ１１の内部に、マグネットを備えたピストンが収容され、このピストンに連結されたロッド１７がシリンダチューブ１１の外部に延出しており、このような基本構成は上記第１実施形態の流体圧シリンダ１０と実質的に同じである。

上記シリンダチューブ１１の外面には、４つの側面の少なくとも一つに、リンダ軸線Ｌ方向に延びるレール４０が形成され、このレール４０内に金具取付溝４１が設けられている。この金具取付溝４１は、溝の内部幅より溝の口部幅が狭く形成されたもので、溝の口部に内側に張り出す一対の平坦な口縁部４１ａを有しており、これらのレール４０と金具取付溝４１とを利用してセンサ装置２０が、上記シリンダチューブ１１に取り付けられている。
図示した例では１組のセンサ装置２０しか示されていないが、ピストンの前進ストローク端の位置と後退ストローク端の位置とを検出する場合には、シリンダ軸線Ｌ方向の異なる位置に２組のセンサ装置２０が設けられる。

上記センサ装置２０は、位置センサ２１と、該位置センサ２１を取り付けるためのセンサ取付金具２２と、上記位置センサ２１を該センサ取付金具２２に固定するための２つのセンサ固定螺子４２と、上記センサ取付金具２２を取付対象であるシリンダチューブ１１に止着するための２つの止め螺子４３と、これらのセンサ取付金具２２と位置センサ２１とセンサ固定螺子４２及び止め螺子４３とを覆う保護カバー２４とを備えている。上記止め螺子４３は、頭部に六角穴４３ａを備えたものである。

上記位置センサ２１は、矩形のブロック状をしたもので、上記第１実施形態における位置センサ２１と同様に、側面に、上記センサ固定螺子４２を挿通するための２つの取付孔２８を有している。
また、上記センサ取付金具２２は、矩形のブロック状をしていて、上記止め螺子４３を挿通するための２つの螺子挿通孔３０を上下方向（縦方向）に有すると共に、上記センサ固定螺子４２を螺着するための２つの螺子孔４４を側面に備えている。このセンサ取付金具２２の厚さは、上記金具取付溝４１の口部幅より大きい。

更に、上記保護カバー２４は、上記第１実施形態における保護カバー２４と同様に、上面覆い部２４ａと、前面覆い部２４ｂと、第１の側面覆い部２４ｃと、第２の側面覆い部２４ｄとを有しているが、第１実施形態の保護カバーと相違する点は、上記センサ取付金具２２用の止め螺子４３を螺着するための螺子孔４５を備えたナット板２４ｆを有していて、このナット板２４ｆが、上記前面覆い部２４ｂの下端部に一体に連設され、保護カバー２４の開放端側、即ち該前面覆い部２４ｂが設けられている側とは反対の側に向けて、上記上面覆い部２４ａと平行に延びている点、及び、上記止め螺子４３を回転操作するための２つの操作穴３５が、上記上面覆い部２４ａに設けられている点である。従って、これらの操作穴３５を開閉する穴カバー３７は、この上面覆い部２４ａの上面に取り付けられ、一端に設けられた枢軸３８を支点として回動自在となっている。しかし、この穴カバー３７はスライド式のものであっても良い。
上記ナット板２４ｆは、上記金具取付溝４１内に挿入可能で、その板幅は、該金具取付溝４１の内部幅より小さいが、口部幅よりは大きく形成され、この口部から外部に抜け出さないようになっている。

そして、上記センサ取付金具２２の側面に上記位置センサ２１を２つのセンサ固定螺子４２で取り付けると共に、上記保護カバー２４のナット板２４ｆを上記金具取付溝４１内にシリンダチューブ１１の端部から挿入し、該保護カバー２４の内部に上記センサ取付金具２２及び位置センサ２１を該保護カバー２４の開放端側から挿入する。そして、穴カバー３７を穴開放位置に変位させて２つの操作穴３５を露出させたあと、２つの上記止め螺子４３を、これらの操作穴３５からセンサ取付金具２２の螺子挿通孔３０内に挿入し、工具で上記ナット板２４ｆの螺子孔４５に螺着させて締め付ける。そうすると、これらのセンサ取付金具２２とナット板２４ｆとの間に金具取付溝４１の口縁部４１ａが挟持、固定され、それによってこれらのセンサ取付金具２２とナット板２４ｆ（従って保護カバー２４）とがシリンダチューブ１１に固定されることになる。

上記位置センサ２１の位置調節を行う場合は、上記穴カバー３７を穴開放位置に回動させ、操作穴３５に工具を差し込んで、センサ取付金具２２を固定している上記止め螺子４３をナット板２４ｆの螺子孔４５から外れない程度に緩め、その状態で該センサ取付金具２２を保護カバー２４と一緒に金具取付溝４１に沿ってシリンダ軸線Ｌ方向に変位させ、必要な位置に停止させたあと、上記止め螺子４３を再び締め込むことによりその位置に固定する。

この第２実施形態における上記以外の構成及び作用は実質的に第１実施形態と同じであるから、同一構成部分に第１実施形態と同じ符号を付してその説明は省略する。
なお、この第２実施形態において、上記センサ取付金具２２は位置センサ２１と一体に形成することもできる。この場合、上記センサ固定螺子４２と、このセンサ固定螺子４２を挿通するための取付孔２８と、このセンサ固定螺子４２を螺着するためつの螺子孔４４は省略される。

また、上記各実施形態において、上記センサ装置２０は、ピストン１３の前進ストローク端の位置又は後退ストローク端の位置を検出する場合には１組だけ設けられる。

本発明に係るピストン位置検出装置が設けられた流体圧シリンダの第１実施形態を示す側面図である。 図１の要部底面図である。 図１におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線での断面図である。 ピストン位置検出装置を構成するセンサ装置の斜視図である。 図４の分解斜視図である。 本発明に係るピストン位置検出装置が設けられた流体圧シリンダの第２実施形態を示す部分正面図である。 図６の平面図である。 図６の分解斜視図である。

符号の説明

１０，１０Ａ 流体圧シリンダ
１３ ピストン
１４ マグネット
２１ 位置センサ
２２ センサ取付金具
２３ バンド
２４ 保護カバー
２４ａ 上面覆い部
２４ｂ 前面覆い部
２４ｃ 側面覆い部
２４ｄ，２４ｆ ナット板
２５ 位置センサ用の止め螺子
３５ 操作穴
３７ 穴カバー
４１ 金具取付溝
４３ センサ取付金具用の止め螺子
Ｌ シリンダ軸線
Ｇ 間隙

Claims (8)

1. シリンダチューブの内部をシリンダ軸線方向に往復移動するピストンの動作位置を、該ピストンに取り付けたマグネットと上記シリンダチューブに取り付けた位置センサとによって検出する流体圧シリンダのピストン位置検出装置であって、
   上記シリンダチューブの外面に上記位置センサを取り付けるためのセンサ取付金具と、該センサ取付金具又は上記位置センサを取付対象に止着するための止め螺子と、該止め螺子を螺着させるためのナット板と、少なくとも止め螺子の頭部と位置センサの一部とを覆う保護カバーとを有し、
   上記ナット板を保護カバーの一部で形成することにより、上記センサ取付金具又は位置センサと該保護カバーとを、上記止め螺子で取付対象に対して共通に取付可能とすると共に、上記位置センサの位置調節時に、上記センサ取付金具又は位置センサと保護カバーとを、上記止め螺子をナット板から外れない程度に緩めた状態で上記取付対象に対してシリンダ軸線方向に一緒に変位可能としたことを特徴とする流体圧シリンダのピストン位置検出装置。
2. 上記センサ取付金具が位置センサと別体に形成されていて、このセンサ取付金具を挟んで位置センサとナット板とが配設されており、また、上記止め螺子は、上記位置センサをセンサ取付金具に取り付けるためのものであって、この止め螺子を上記位置センサ及びセンサ取付金具を通して上記ナット板に螺着することにより、該位置センサと上記保護カバーとが、上記センサ取付金具に対してこの止め螺子で共通に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載のピストン位置検出装置。
3. 上記保護カバーは、位置センサの上面を覆う上面覆い部と、位置センサの先端面を覆う前面覆い部と、位置センサの側面を覆う側面覆い部と、上記センサ取付金具の側面を覆う上記ナット板とを有していて、このナット板と上記前面覆い部との間に、上記センサ取付金具が変位可能に介在する間隙を有すると共に、上記側面覆い部に、上記止め螺子を回転させる工具を挿入するための操作穴を有することを特徴とする請求項２に記載のピストン位置検出装置。
4. 上記保護カバーが、上記側面覆い部の操作穴を開閉する穴カバーを有し、この穴カバーは、上記操作穴を覆う穴閉鎖位置と、該操作穴を露出させる穴開放位置とに変位自在であることを特徴とする請求項３に記載のピストン位置検出装置。
5. 上記センサ取付金具が、上記シリンダチューブの外面にバンドで固定されていることを特徴とする請求項２から４の何れかに記載のピストン位置検出装置。
6. 上記シリンダチューブの外面に、溝内部幅より溝口部幅の狭い金具取付溝がシリンダ軸線方向に形成され、この金具取付溝内に上記ナット板が配設されると共に、該金具取付溝外の上記ナット板と相対する位置に上記センサ取付金具が配設されており、また、上記止め螺子は、該センサ取付金具を上記シリンダチューブに取り付けるためのものであって、この止め螺子を上記センサ取付金具を通して上記ナット板に螺着することにより、該センサ取付金具と上記保護カバーとが、上記シリンダチューブに対して上記センサ取付金具用の止め螺子で共通に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載のピストン位置検出装置。
7. 上記保護カバーは、上記位置センサ及びセンサ取付金具の上面を覆う上面覆い部と、該位置センサ及びセンサ取付金具の先端面を覆う前面覆い部と、該位置センサ及びセンサ取付金具の側面を覆う側面覆い部と、上記金具取付溝内に嵌合する上記ナット板とを有していて、上記上面覆い部に、上記止め螺子を回転させる工具を挿入するための操作穴を有することを特徴とする請求項６に記載のピストン位置検出装置。
8. 上記保護カバーが、上記上面覆い部の操作穴を開閉する穴カバーを有し、この穴カバーは、上記操作穴を覆う穴閉鎖位置と、該操作穴を露出させる穴開放位置とに変位自在であることを特徴とする請求項７に記載のピストン位置検出装置。

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