JP4507126B2 - 偏光板の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る偏光板10の概略構成を表す断面図である。
(1)線状突起13の断面を、例えば透過型電子顕微鏡(TEM:Transmission Electron Microscope)により観察し、無電解めっき処理の触媒材料(下地層13A)を検出する。
(2)線状突起13に共析可能な金属が含まれているかどうかを、例えばSIMS(Secondary Ion-microprobe Mass Spectrometer)、X線光電子分光法(XPS:X-ray Photoelectron Spectroscopy)などにより検出する。例えば、めっき層13Bがニッケルを含んで構成されている場合には、これに加えてホウ素やリンなどが含まれているかどうかを検出する。
(3)線状突起13中に、無電解めっき処理で使用される有機化合物などの添加剤が含まれているかを、例えばSIMSにより検出する。
まず、図2(A)に示したように、線状突起13の形成予定領域に下地層13Aをパターン形成するための版(後述の凸板201)の型となるマスタ版200を作製する。このマスタ版200の凹凸パターンは、例えばサブミクロンオーダーの微細な周期構造であり、ナノインプリント技術でも応用されている電子ビームやレーザーを使った露光やフォトリソグラフィ法を用いて作製することができる。これにより、所望の精度のパターンを形成することが可能となる。マスタ版200としては、例えばシリコン、石英、ニッケルなどを用いることができる。但し、その後のプロセスに問題を生じない材料であればどのような材料を用いてもよい。
最後に、下地層13Aを形成した基板11に対して、無電解めっき処理を施すことにより、下地層13A上にめっき層13Bが析出される。この際、めっき液としては、例えばニッケルをめっき膜として析出させる場合には、上村工業社製のNi−B成膜用めっき液BEL−801(商品名)を用いることができる。めっき浴の温度は例えば60℃とし、浸漬時間は所望の膜厚によって適宜設定する。また、成膜レートは、例えば200nm/分とする。以上により、図1に示した偏光板10を完成する。
図6〜図8は、本発明の第2の実施の形態に係る偏光板の製造方法を工程順に表す断面図である。但し、本実施の形態では、下地層13Aをパターン形成する工程以外は、上記第1の実施の形態の偏光板10の製造方法と同様にして、図1に示したような偏光板10を製造することができる。従って、以下では、下地層13Aのパターン形成工程について説明する。また、上記実施の形態と同様の構成要素については、同一の符号を付し、適宜説明を省略するものとする。
次に、上記第1および第2の実施の形態に係る偏光板10の変形例について図9を参照して説明する。
次に、上記第1および第2の実施の形態で説明した偏光板10の適用例(液晶プロジェクタ1)について図10を参照して説明する。
Claims (3)
- 光透過性の基板上にその面内の一の方向に延在するように複数の線状突起を形成する偏光板の製造方法であって、
前記基板上の前記複数の線状突起の形成予定領域に、無電解めっき処理の触媒層をパターン形成する工程と、
前記触媒層をパターン形成した基板に無電解めっき処理を施すことにより前記触媒層上にめっき層を成膜して前記複数の線状突起を形成する工程とを含み、
前記触媒層をパターン形成する工程は、
平版の表面にその全面に渡って前記触媒層を成膜する工程と、
前記平版上に成膜された前記触媒層の表面に、前記複数の線状突起の形成予定領域に対応して凹凸パターンを有する凹凸版を圧着させる工程と、
圧着後、前記平版と前記凹凸版とを分離することにより前記触媒層のうちの前記凹凸版の凹面に対応する部分を前記平版上に残存させることによって、前記平版上において前記触媒層をパターン形成する工程と、
前記平版上において前記触媒層をパターン形成した後、前記平版の前記触媒層側に前記基板を圧着し、それらを分離することにより、前記パターン形成された触媒層を前記平版から前記基板上へ転写する工程と
を含む偏光板の製造方法。 - 前記平版は、ガラス基板上にシリコン樹脂を塗布することにより形成する
請求項1に記載の偏光板の製造方法。 - 前記平版は、フッ素化処理を施した一対のガラス基板間にシリコン樹脂を流し込み、前記シリコン樹脂を硬化させることにより形成する
請求項1に記載の偏光板の製造方法。
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