JP4506134B2 - コンデンサ及びその製造方法ならびにコンデンサを内蔵したインターポーザーもしくはプリント配線板 - Google Patents
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Description
また、別の方法として、多層プリント配線板の製造工程に誘電体層を積層する工程を加えることで、特別な工程を経ることなく、コンデンサ内蔵プリント配線板を製造する方法が開示されている。(特許文献2参照)
別工程で製造した小型のコンデンサをインターポーザーあるいはプリント配線板内に埋設すると、小型であるため十分な容量を得ようとすると構造が複雑となり、かつプリント配線板等の内部に埋設するために特殊な処置や装置が必要となるため著しく生産性を害するおそれが生じる。
該3層以上の誘電体層のうち、最外層の誘電体層にはレーザー光に対して吸収率の低い誘電性材料を、又、中心となる誘電体層にはレーザー光に対して吸収率の高い誘電性材料を、それぞれ用いてあって、
該コンデンサ上部電極の柱状電極が配される非貫通孔は、該コンデンサ上部電極に近い最外層の誘電体層と中心の誘電体層に形成された穴と、該コンデンサ上部電極から離れた方の最外層の誘電体層によって形成されており、又、該該コンデンサ下部電極の柱状電極が配される非貫通孔は、該コンデンサ下部電極に近い最外層の誘電体層と中心の誘電体層に形成された穴と、該コンデンサ下部電極から離れた方の最外層の誘電体層によって形成されていること、
を特徴とするコンデンサである。
1.3層以上の誘電体層に両面から、3層以上の誘電体層のうちいずれかの層の界面まで到達する非貫通孔を形成する工程、
2.前記非貫通孔を設けた誘電体層の両面に電極を形成しコンデンサ上部電極及びコンデンサ下部電極とする工程、
である。
1.一組の対向する導電性物質で挟持された3層以上の誘電体層に両面から、3層以上の誘電体層のうちいずれかの層の界面まで到達する非貫通孔を形成する工程、
2.前記非貫通孔を導電性物質で充填し柱状電極を形成する工程、
である。
特別な装置を用意しなくてもよい。さらに、次第に高くなるクロック周波数向けに高周波特性の良好な誘電体を電極間に挿入する事により高周波向けにすぐに対応することができる。
<誘電性樹脂の製造>
熱硬化性樹脂と高誘電性フィラーを主成分とする誘電性材料を着色してレーザー光の吸収率が10%となるように調整し、誘電性樹脂aとした。同様に熱硬化性樹脂と高誘電性フィラーを主成分とする誘電性材料を着色してレーザー光の吸収率が5%となるように調整し、誘電性樹脂bとした。
<誘電体シートの製造>
厚み30μmであるフィルム状の誘電性樹脂aを誘電体層(7a)とし、この両面に、ドライフィルム状になった、先に形成した誘電体層よりもレーザー光に対して吸収率の低い誘電性樹脂bを10μmの厚さになるように積層し、誘電体層(7b)を形成して誘電体シート(13)を得た(図3(c))。
<コンデンサ内蔵プリント配線板の製造>
上記のように製造した誘電体シート(13)の片面から、レーザーにより非貫通孔(21)の穿孔を行った。このときの直径は40μm、ピッチは80μmである。同様にもう一方の面からも非貫通孔の穿孔を行った(図3(d))。このとき穿孔は離れた方の低吸収率の誘電体層(7b)で確実にとまり、非貫通孔はすべて同じ深さに形成することができた。
[比較例1]
一種類の誘電性材料aからなる厚さ50μmの誘電体シートを用いたほかは実施例と同様にしてコンデンサを内蔵した多層プリント配線板を製造したところ、誘電体シートへ非貫通孔を形成するためのレーザー穿孔工程において、誘電体層を貫通してしまう、逆に深度が足りない、などの欠陥が発生し、設計値どおりの静電容量を得ることができなかった。
3 …絶縁体層
5a…コンデンサ上部電極
5b…コンデンサ下部電極
7 …誘電体層
7a…高吸収率の誘電体層
7b…低吸収率の誘電体層
9 …コンデンサ
11…導電体層
13…誘電体シート
17…板状電極
19…柱状電極
21…非貫通孔
23…導電性物質
25…配線
27…ビアホール
29…プリント配線板
Claims (6)
- 片面に複数の柱状電極を有するコンデンサ上部電極と、同じく片面に複数の柱状電極を有するコンデンサ下部電極が、柱状電極が互いに触れることなくかみ合うように対向して配置されており、コンデンサ両電極間に熱硬化性樹脂を含む誘電性材料を用いた3層以上の誘電体層を挟持しており、
該3層以上の誘電体層のうち、最外層の誘電体層にはレーザー光に対して吸収率の低い誘電性材料を、又、中心となる誘電体層にはレーザー光に対して吸収率の高い誘電性材料を、それぞれ用いてあって、
該コンデンサ上部電極の柱状電極が配される非貫通孔は、該コンデンサ上部電極に近い最外層の誘電体層と中心の誘電体層に形成された穴と、該コンデンサ上部電極から離れた方の最外層の誘電体層によって形成されており、又、該該コンデンサ下部電極の柱状電極が配される非貫通孔は、該コンデンサ下部電極に近い最外層の誘電体層と中心の誘電体層に形成された穴と、該コンデンサ下部電極から離れた方の最外層の誘電体層によって形成されていること、
を特徴とするコンデンサ。 - 請求項1に記載のコンデンサ上部電極を電源プレーンとし、請求項1に記載のコンデンサ下部電極をグランドプレーンとした基板内蔵型コンデンサであることを特徴とするコンデンサ。
- 少なくとも以下の2工程を含むことを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載のコンデンサの製造方法、
1.3層以上の誘電体層に両面から、3層以上の誘電体層のうちいずれかの層の界面まで到達する非貫通孔を形成する工程、
2.前記非貫通孔を設けた誘電体層の両面に電極を形成しコンデンサ上部電極及びコンデンサ下部電極とする工程。 - 少なくとも以下の2工程を含むことを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載のコンデンサの製造方法、
1.一組の対向する導電性物質で挟持された3層以上の誘電体層に両面から、3層以上の誘電体層のうちいずれかの層の界面まで到達する非貫通孔を形成する工程、
2.前記非貫通孔を導電性物質で充填し柱状電極を形成する工程。 - 請求項1又は2のいずれかに記載のコンデンサを内蔵したことを特徴とするインターポーザーまたはプリント配線板。
- 請求項3又は4のいずれかに記載の方法でコンデンサを形成したことを特徴とするインターポーザーまたはプリント配線板。
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