JP4504401B2 - 半導体パッケージ - Google Patents
半導体パッケージ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4504401B2 JP4504401B2 JP2007205846A JP2007205846A JP4504401B2 JP 4504401 B2 JP4504401 B2 JP 4504401B2 JP 2007205846 A JP2007205846 A JP 2007205846A JP 2007205846 A JP2007205846 A JP 2007205846A JP 4504401 B2 JP4504401 B2 JP 4504401B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor element
- heat
- base plate
- semiconductor
- semiconductor package
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/373—Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
- H01L23/3735—Laminates or multilayers, e.g. direct bond copper ceramic substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/367—Cooling facilitated by shape of device
- H01L23/3677—Wire-like or pin-like cooling fins or heat sinks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/373—Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
- H01L23/3733—Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon having a heterogeneous or anisotropic structure, e.g. powder or fibres in a matrix, wire mesh, porous structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/373—Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Description
この半導体素子が一方の面に実装され、他方の面が取付体に熱的に結合されて配置され、前記半導体素子の発熱部位の直下を含む金属材料層に該金属材料層に比して熱伝導率の優れた異方性熱伝導材料が、その熱伝導率の優れた方向を前記一方の面に交わるように配向させて複数配されたベースプレートを備えたパッケージ本体とを具備して半導体パッケージを構成した。
但し、この図4乃至図11の各実施の形態においては、上記図1乃至図3と同一部分について同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
Claims (9)
- 半導体素子と、
この半導体素子が一方の面に実装され、他方の面が取付体に熱的に結合されて配置され、前記半導体素子の発熱部位の直下を含む金属材料層に該金属材料層に比して熱伝導率の優れた異方性熱伝導材料が、その熱伝導率の優れた方向を前記一方の面に交わるように配向させて複数配されたベースプレートを備えたパッケージ本体と、
を具備することを特徴とする半導体パッケージ。 - 前記異方性熱伝導材料は、複数のグラファイトシートで形成され、各シート面が、前記半導体素子の実装された一方の面に交わるように配向されて前記金属材料層に所定の間隔に配置されることを特徴とする請求項1記載の半導体パッケージ。
- 前記複数のグラファイトシートは、前記半導体素子の実装された一方の面の前記半導体素子の発熱部位から他方の面に向けて配向されることを特徴とする請求項2記載の半導体パッケージ。
- 前記複数のグラファイトシートは、前記半導体素子の発熱部の長手方向に直交して配列されることを特徴とする請求項2又は3記載の半導体パッケージ。
- 前記複数のグラファイトシートは、前記半導体素子の発熱部の長手方向に並行して放射状に配列されることを特徴とする請求項2又は3記載の半導体パッケージ。
- 前記異方性熱伝導材料は、複数のカーボンナノチューブで形成され、各繊維方向が前記半導体素子の実装された一方の面に交わるように配向されることを特徴とする請求項1記載の半導体パッケージ。
- 前記複数のカーボンナノチューブは、繊維方向が前記ベースプレートの前記半導体素子の実装された一方の面の前記発熱部に向けて配向されることを特徴とする請求項6記載の半導体パッケージ。
- 前記ベースプレートは、モリブデン層を、前記金属材料層の積層方向に少なくとも一層、積層して設けたことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか記載の半導体パッケージ。
- 前記ベースプレートは、カーボンクロス層を、前記金属材料層の積層方向に少なくとも一層、積層して設けたことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか記載の半導体パッケージ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007205846A JP4504401B2 (ja) | 2007-08-07 | 2007-08-07 | 半導体パッケージ |
EP08252629A EP2023388B1 (en) | 2007-08-07 | 2008-08-05 | Semiconductor package |
DE602008004858T DE602008004858D1 (de) | 2007-08-07 | 2008-08-05 | Halbleiterpaket |
US12/186,129 US7868450B2 (en) | 2007-08-07 | 2008-08-05 | Semiconductor package |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007205846A JP4504401B2 (ja) | 2007-08-07 | 2007-08-07 | 半導体パッケージ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009043851A JP2009043851A (ja) | 2009-02-26 |
JP4504401B2 true JP4504401B2 (ja) | 2010-07-14 |
Family
ID=39765042
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007205846A Expired - Fee Related JP4504401B2 (ja) | 2007-08-07 | 2007-08-07 | 半導体パッケージ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7868450B2 (ja) |
EP (1) | EP2023388B1 (ja) |
JP (1) | JP4504401B2 (ja) |
DE (1) | DE602008004858D1 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5112101B2 (ja) * | 2007-02-15 | 2013-01-09 | 株式会社東芝 | 半導体パッケージ |
JP5013116B2 (ja) * | 2007-12-11 | 2012-08-29 | 富士通株式会社 | シート状構造体及びその製造方法並びに電子機器 |
US20100091477A1 (en) * | 2008-10-14 | 2010-04-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Package, and fabrication method for the package |
JP4643703B2 (ja) * | 2008-11-21 | 2011-03-02 | 株式会社東芝 | 半導体装置の固定具及びその取付構造 |
US8477499B2 (en) | 2009-06-05 | 2013-07-02 | Laird Technologies, Inc. | Assemblies and methods for dissipating heat from handheld electronic devices |
DE112009005084B4 (de) | 2009-07-21 | 2016-05-12 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Impfkristallachse für einkristall-lösungswachstum |
JP5806464B2 (ja) * | 2010-02-03 | 2015-11-10 | 株式会社東芝 | 半導体素子収納用パッケージ及びそれを用いた半導体装置 |
JP2011258755A (ja) * | 2010-06-09 | 2011-12-22 | Denso Corp | 熱拡散体および発熱体の冷却装置 |
JP5397340B2 (ja) * | 2010-07-22 | 2014-01-22 | 株式会社デンソー | 半導体冷却装置 |
JP5450313B2 (ja) | 2010-08-06 | 2014-03-26 | 株式会社東芝 | 高周波半導体用パッケージおよびその作製方法 |
JP5621698B2 (ja) * | 2011-04-08 | 2014-11-12 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | 発熱体モジュール及びその製造方法 |
JP7025545B2 (ja) * | 2018-06-26 | 2022-02-24 | 京セラ株式会社 | 電子素子搭載用基板、電子装置および電子モジュール |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001118974A (ja) * | 1999-10-15 | 2001-04-27 | Mitsubishi Chemicals Corp | 放熱板 |
JP2004076044A (ja) * | 2002-08-12 | 2004-03-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | セラミックス−金属系複合材料及びその製造方法 |
JP2005255503A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 低熱膨張複合体 |
JP2005272164A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高熱伝導性部材及びその製造方法、並びにそれを用いた放熱システム |
JP2006045596A (ja) * | 2004-08-02 | 2006-02-16 | Hitachi Metals Ltd | 高熱伝導・低熱膨脹複合体およびその製造方法 |
JP2006093526A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 導電性熱伝導シート |
JP2006114826A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Yamaha Corp | 熱伝導性基板、熱電モジュール、熱伝導性基板の製造方法 |
JP2006144030A (ja) * | 2004-11-16 | 2006-06-08 | Bridgestone Corp | 高熱伝導複合材料とその製造方法 |
JP2006290736A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 熱伝導材料及びその製造方法 |
JP2006310806A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-11-09 | Kyocera Corp | 放熱部材、電子部品搭載用基板、電子部品収納用パッケージおよび電子装置 |
JP2007012911A (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Polymatech Co Ltd | 放熱部品及びその製造方法 |
JP2007059875A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-03-08 | Kyocera Corp | 放熱部材およびこれを用いた電子部品収納用パッケージおよび電子装置 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09129793A (ja) | 1995-10-27 | 1997-05-16 | Tonen Corp | 半導体パッケージ用の熱伝プレート |
JP2000273196A (ja) | 1999-03-24 | 2000-10-03 | Polymatech Co Ltd | 熱伝導性樹脂基板および半導体パッケージ |
JP2001313345A (ja) | 2000-04-28 | 2001-11-09 | Kyocera Corp | 半導体素子収納用パッケージ |
US7332819B2 (en) * | 2002-01-09 | 2008-02-19 | Micron Technology, Inc. | Stacked die in die BGA package |
AT413163B (de) * | 2001-12-18 | 2005-11-15 | Fotec Forschungs Und Technolog | Kühlvorrichtung für einen chip sowie verfahren zur herstellung |
JP2004288949A (ja) | 2002-11-26 | 2004-10-14 | Kyocera Corp | 半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置 |
EP1590996B1 (en) * | 2003-02-07 | 2010-07-14 | Panasonic Corporation | Lighting system using a socket for mounting a card-type led module on a heatsink |
US7361985B2 (en) * | 2004-10-27 | 2008-04-22 | Freescale Semiconductor, Inc. | Thermally enhanced molded package for semiconductors |
US20060181860A1 (en) * | 2005-02-11 | 2006-08-17 | Larson Ralph I | Heat sink having directive heat elements |
JPWO2006088065A1 (ja) * | 2005-02-16 | 2008-07-03 | 日立金属株式会社 | 放熱部材及びその製造方法 |
JP2006261255A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
JP4608641B2 (ja) * | 2005-04-27 | 2011-01-12 | 株式会社豊田自動織機 | パワーモジュール用ヒートシンク |
JP5098642B2 (ja) * | 2005-06-16 | 2012-12-12 | パナソニック株式会社 | 放熱用グラファイトシートの製造方法 |
US7359205B1 (en) * | 2005-11-09 | 2008-04-15 | Nvidia Corporation | Bottom exit of exhaust air from a chassis to reduce acoustics emission |
US7760507B2 (en) * | 2007-12-26 | 2010-07-20 | The Bergquist Company | Thermally and electrically conductive interconnect structures |
-
2007
- 2007-08-07 JP JP2007205846A patent/JP4504401B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-08-05 EP EP08252629A patent/EP2023388B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-08-05 US US12/186,129 patent/US7868450B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-08-05 DE DE602008004858T patent/DE602008004858D1/de active Active
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001118974A (ja) * | 1999-10-15 | 2001-04-27 | Mitsubishi Chemicals Corp | 放熱板 |
JP2004076044A (ja) * | 2002-08-12 | 2004-03-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | セラミックス−金属系複合材料及びその製造方法 |
JP2005255503A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 低熱膨張複合体 |
JP2005272164A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高熱伝導性部材及びその製造方法、並びにそれを用いた放熱システム |
JP2006045596A (ja) * | 2004-08-02 | 2006-02-16 | Hitachi Metals Ltd | 高熱伝導・低熱膨脹複合体およびその製造方法 |
JP2006093526A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 導電性熱伝導シート |
JP2006114826A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Yamaha Corp | 熱伝導性基板、熱電モジュール、熱伝導性基板の製造方法 |
JP2006144030A (ja) * | 2004-11-16 | 2006-06-08 | Bridgestone Corp | 高熱伝導複合材料とその製造方法 |
JP2006310806A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-11-09 | Kyocera Corp | 放熱部材、電子部品搭載用基板、電子部品収納用パッケージおよび電子装置 |
JP2006290736A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 熱伝導材料及びその製造方法 |
JP2007012911A (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Polymatech Co Ltd | 放熱部品及びその製造方法 |
JP2007059875A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-03-08 | Kyocera Corp | 放熱部材およびこれを用いた電子部品収納用パッケージおよび電子装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009043851A (ja) | 2009-02-26 |
EP2023388A2 (en) | 2009-02-11 |
EP2023388A3 (en) | 2009-11-11 |
US20090039500A1 (en) | 2009-02-12 |
US7868450B2 (en) | 2011-01-11 |
EP2023388B1 (en) | 2011-02-09 |
DE602008004858D1 (de) | 2011-03-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4504401B2 (ja) | 半導体パッケージ | |
JP4558012B2 (ja) | 半導体パッケージ用放熱プレート及び半導体装置 | |
KR101066711B1 (ko) | 반도체 패키지 | |
JP5733893B2 (ja) | 電子部品装置 | |
WO2018146933A1 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP2000012765A (ja) | 積層型半導体装置放熱構造 | |
JP2008294284A (ja) | 半導体装置 | |
JP6862896B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP3733783B2 (ja) | 発熱素子の放熱構造を有するモジュール | |
JP2009176839A (ja) | 半導体素子の放熱構造 | |
JP2010251427A (ja) | 半導体モジュール | |
TWI522032B (zh) | 散熱模組 | |
JP2007184424A (ja) | 半導体装置 | |
JP2004022964A (ja) | Al−SiC系複合体およびそれを用いた放熱部品、半導体モジュール装置 | |
JP5935330B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法、電子装置 | |
JP5708489B2 (ja) | 互いに絶縁された金属性の電源側およびグランド側補強部材を有する半導体装置 | |
JP5145168B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2006310806A (ja) | 放熱部材、電子部品搭載用基板、電子部品収納用パッケージおよび電子装置 | |
JP2005223348A (ja) | 多層基板 | |
JP2008288379A (ja) | 半導体パッケージ | |
JP2006013420A (ja) | 電子部品収納用パッケージおよび電子装置 | |
JP6967063B2 (ja) | パワー・デバイスのパッケージ構造 | |
WO2023171019A1 (ja) | ヒートシンク一体型絶縁回路基板、および、電子デバイス | |
JP7205214B2 (ja) | ヒートシンク付絶縁回路基板 | |
JP2007043098A (ja) | パワー半導体モジュール |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090615 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090910 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090929 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100105 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100308 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100330 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100422 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4504401 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130430 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140430 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |